特許 7592892 質量分析計、および質量分析計の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-22

(45)【発行日】2024-12-02

(54)【発明の名称】質量分析計、および質量分析計の制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01J 49/16 20060101AFI20241125BHJP

   H01J 49/04 20060101ALI20241125BHJP

   H01J 49/14 20060101ALI20241125BHJP

   G01N 30/72 20060101ALI20241125BHJP

   G01N 27/62 20210101ALI20241125BHJP

   H01J 49/10 20060101ALN20241125BHJP

【ＦＩ】

H01J49/16 500

H01J49/04 500

H01J49/14 500

G01N30/72 G

G01N27/62 X

H01J49/10 700

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2023561974

(86)(22)【出願日】2021-11-17

(86)【国際出願番号】 JP2021042194

(87)【国際公開番号】W WO2023089685

(87)【国際公開日】2023-05-25

【審査請求日】2024-03-29

(73)【特許権者】

【識別番号】501387839

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテク

(74)【代理人】

【識別番号】110001829

【氏名又は名称】弁理士法人開知

(72)【発明者】

【氏名】照井 康

(72)【発明者】

【氏名】丸岡 幹太郎

【審査官】右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】特開平７－７３８４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００５－５３９３５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１７－５２７０７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０５６１８２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０３４１２４１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ４９／００

Ｇ０１Ｎ ３０／７２

Ｇ０１Ｎ ２７／６２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

霧化した液体試料を気化、イオン化する加熱混合チャンバと、
種イオンガスから種イオンを生成し、前記加熱混合チャンバに前記種イオンを供給する電荷供給部と、
前記電荷供給部、および前記加熱混合チャンバにガスを供給するガス供給部と、を備えた質量分析計において、
前記ガス供給部は、
複数の異なるガス源と、
複数の異なる前記ガス源から供給されたガスを混合して混合ガスを作製する混合部と、
前記混合ガスの組成を制御する電磁弁と、を有し、
測定項目情報に基づいて、前記電荷供給部と前記加熱混合チャンバとに前記混合ガスを供給するように前記ガス供給部を制御する制御部を備える
ことを特徴とする質量分析計。

【請求項2】

請求項１に記載の質量分析計において、
前記測定項目情報は、測定目的物質の分子量の情報であり、
前記制御部は、前記分子量情報に基づいて前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計。

【請求項3】

請求項１に記載の質量分析計において、
前記測定項目情報は、測定目的物質を分離する液体クロマトグラフの分離方法情報であり、
前記制御部は、前記分離方法情報に基づいて前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計。

【請求項4】

請求項１に記載の質量分析計において、
前記測定項目情報は、前記ガス供給部から供給するガス種の情報であり、
前記制御部は、前記ガス種情報に基づいて前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計。

【請求項5】

請求項４に記載の質量分析計において、
前記制御部は、測定中に前記ガス種を切り替える
ことを特徴とする質量分析計。

【請求項6】

霧化した液体試料を気化、イオン化する加熱混合チャンバと、種イオンガスから種イオンを生成し、前記加熱混合チャンバに前記種イオンを供給する電荷供給部と、前記電荷供給部、および前記加熱混合チャンバにガスを供給するガス供給部と、を備えた質量分析計の制御方法において、
前記ガス供給部は、複数の異なるガス源と、複数の異なる前記ガス源から供給されたガスを混合して混合ガスを作製する混合部と、前記混合ガスの組成を制御する電磁弁と、を有し、
測定項目情報に基づいて、前記電荷供給部と前記加熱混合チャンバとに前記混合ガスを供給するように前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計の制御方法。

【請求項7】

請求項６に記載の質量分析計の制御方法において、
前記測定項目情報は、測定目的物質の分子量の情報であり、前記分子量情報に基づいて前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計の制御方法。

【請求項8】

請求項６に記載の質量分析計の制御方法において、
前記測定項目情報は、測定目的物質を分離する液体クロマトグラフの分離方法情報であり、前記分離方法情報に基づいて前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計の制御方法。

【請求項9】

請求項６に記載の質量分析計の制御方法において、
前記測定項目情報は、前記ガス供給部から供給するガス種の情報であり、前記ガス種情報に基づいて前記ガス供給部を制御する
ことを特徴とする質量分析計の制御方法。

【請求項10】

請求項９に記載の質量分析計の制御方法において、
測定中に前記ガス種を切り替える
ことを特徴とする質量分析計の制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、質量分析計、および質量分析計の制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

質量分析法において液体試料を分析する代表的な分析装置には、液体クロマトグラフ質量分析計がある。液体クロマトグラフから送出された液体試料をイオン化し質量分析計に導入することで定性、定量測定を行う。代表的なイオン化法には大気圧イオン化法（以下ＡＰＣＩ法）（非特許文献１）やエレクトロスプレーイオン化法（以下ＥＳＩ法）（非特許文献２）がある。

【0003】

ＡＰＣＩ法では、初めに測定試料を霧化する。測定試料は数～１０００［μＬ／ｍｉｎ］程度の溶媒とともに液体クロマトグラフから連続的に送液されるため、霧化には窒素ガス等を用いた気流支援によるスプレーを用いることが多い。その後、霧化試料を加熱することで気化し、気化した試料を針形状の電極で生成するコロナ放電中に導入しイオン化する。

【0004】

ＥＳＩ法では、ＡＰＣＩ法と同様に液体試料を気流支援によるスプレーによって霧化し、霧化器に高電圧を印加、霧を帯電液滴とする。もしくは測定試料自身に高電圧を印加し霧化、帯電液滴とする。帯電液滴を加熱乾燥させ帯電液滴を小型化、帯電液滴の小型化により過剰となった電荷がクーロン斥力によって、イオンが液滴から脱離しイオン化する。

【0005】

一般的にＡＰＣＩ法は極性が低極性から中極性、ＥＳＩ法では極性が中極性から高極性の測定試料に対してイオン化効率が高く、感度の良い測定が可能と言われている。そのため液体クロマトグラフ質量分析計を用いる測定者は、測定目的物質の極性を考慮してイオン化法の選択をする必要がある。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0006】

【文献】“Atmospheric pressure ionization mass spectrometry. Corona discharge ion source for use in a liquid chromatograph-mass spectrometer-computer analytical system”, D. I. Carroll, I. Dzidic, R. N. Stillwell, K. D. Haegele, and E. C. Horning, Anal. Chem., 47, 2369 (1975).

【文献】“Electrospray ionization for mass spectrometry of large biomolecules” JB Fenn, M Mann, CK Meng, SF Wong, CM Whitehouse, Science, 06 Oct 1989: Vol. 246, Issue 4926, pp. 64-71

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

液体クロマトグラフ質量分析計の測定に用いるイオン化法は目的物質の極性や分子量、分子構造等により選択することが基本であるものの、実際はＡＰＣＩ法やＥＳＩ法で実際に測定した後で、測定感度の高いイオン化法を選択することが多い。

【0008】

イオン源には液体試料を乾燥されるための高温部があり、液体クロマトグラフで分離した目的物質ごとにイオン源を交換することは難しかった。そのため、液体クロマトグラフ質量分析計の測定者は、実試料の測定を行う際に目的物質のイオン化特性の近い試料を纏め測定を行っていた。

【0009】

このような課題を解決するために、ＡＰＣＩ法とＥＳＩ法との両方のイオン化法を搭載しているイオン源がある。液体クロマトグラフにて成分分離された目的物質を、イオン源に入る前に分岐、切り替えし、ＡＰＣＩ法、ＥＳＩ法のそれぞれが得意とする目的物質をイオン化する。

【0010】

この手法はイオン源までの試料導入距離が長くなり、液体クロマトグラフの分離が低下することや、単体のイオン源と比較するとイオン化条件が制限されることから、感度が低下するなどの課題があった。

【0011】

ここで、液体クロマトグラフ質量分析計では、測定試料を液体クロマトグラフで成分分離し目的物質の測定を行うことが多い。液体クロマトグラフの使用法には、水とアセトニトリル、メタノール等の有機溶媒を混合し、混合比を変えながら成分分離をする方法がある。この水と有機溶媒の混合液を溶離液と呼ぶ。

【0012】

しかし、目的物質が変わると、溶離液に使用する有機溶媒や混合比が変わる。そのため、質量分析計に導入される液体の組成は様々であり、一意に決定することができない、との問題がある。

【0013】

水と有機溶媒の混合物をイオン化すると、自分自身のイオン以外に、複数のイオンが結合したクラスターイオンと呼ばれる分子イオンが発生する場合がある。クラスターイオンには複数の水分子が結合した分子イオンや、水と有機溶媒イオンが結合した分子イオンなどがあり、クラスターイオンを質量分析計で測定すると、低分子量域に複雑なバックグラウンドとして信号が検出される。

【0014】

従来法の代表的なイオン化法であるＡＰＣＩは、気化した測定試料をコロナ放電中に導入しイオン化する。また、ＥＳＩは霧化器もしくは液体試料自身に高電圧を印加して、液体の霧化時にイオン化する。どちらのイオン化法も目的物質とともに溶離液もイオン化している。そのため、質量分析計では目的物質由来の信号と溶離液由来の信号とが同時に観測される。従って、測定したい目的物質の分子量が小さい場合、クラスターイオンの信号と目的物質からの信号とが重なることで感度が低下する場合があった。

【0015】

本発明の目的は、液体クロマトグラフ質量分析計の測定感度を従来に比べて向上させることが可能な質量分析計、および質量分析計の制御方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明は、上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、質量分析計において、測定項目情報に基づいて、電荷供給部と加熱混合チャンバとに混合ガスを供給するようにガス供給部を制御する制御部を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、液体クロマトグラフ質量分析計の測定感度を従来に比べて向上させることができる。上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施例の質量分析計の全体構成を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明の質量分析計、および質量分析計の制御方法の実施例について図１を用いて説明する。

【0020】

最初に、質量分析計の全体構成について図１を用いて説明する。図１は本実施例の質量分析計の全体構成を示す図である。

【0021】

液体試料を分析する代表的な分析装置には、図１に示すような液体クロマトグラフ質量分析計（以下、質量分析計１と記載）がある。

【0022】

質量分析計１での測定試料は、液体クロマトグラフ３００によって約数～１０００［μＬ／ｍｉｎ］の速さで連続して霧化器１００に送液される。

【0023】

霧化器１００は、液体クロマトグラフ３００から送液された液体試料を霧化する。代表的な霧化器として、液体試料の流れる細管の周囲に高速ガスを流し、細管の出口で液体試料と高速ガスを接触させることで霧化する気体支援によるスプレーがある。高速ガスとしては、一般的に窒素ガスや空気が用いられる。気体支援によるスプレーに換えて、加湿器に用いられているような超音波霧化器を用いることができる。

【0024】

加熱混合チャンバ１１０は、霧化器１００において霧化された測定試料流体（霧化流体）を気化、イオン化するために、霧化流体が導入される。加熱混合チャンバ１１０は、それ自体がヒータ等により加熱されており、導入された霧化流体が加熱混合チャンバ１１０からの伝熱によって気化が促進される。その他の加熱方法としては、加熱混合チャンバ１１０内に高周波加熱の電場を生成して霧化流体を加熱する方法や、赤外線を発生する光源により加熱する方法を用いることもできる。

【0025】

電荷供給部１２０は、加熱混合チャンバ１１０内で気化した測定試料流体（気化流体）に電荷を印加するための種イオンを種イオンガスから生成し、生成した種イオンを加熱混合チャンバ１１０に供給する。電荷供給部１２０は、ＡＰＣＩの針電極によるコロナ放電中に種イオンガス１２２を導入する手段や、種イオンガス１２２を用いたプラズマ放電による手段により、種イオンを生成する。

【0026】

また、電荷供給部１２０は、気化流体が流入しないように加熱混合チャンバ１１０より陽圧（高圧）とし、電荷供給部１２０から加熱混合チャンバ１１０へのガス流れを発生させる。

【0027】

電荷供給部１２０に供給する種イオンガス１２２は、空気，窒素，Ｈｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ、もしくはそれらの混合ガスである。

【0028】

霧化器１１０から供給され、加熱混合チャンバ１１０内で気化した測定試料と電荷供給部１２０から供給された種イオンとが加熱混合チャンバ１１０内で混合されることで、測定試料がイオン化される。電荷供給部１２０は加熱混合チャンバ１１０より陽圧となっているため、測定試料由来の流体が電荷供給部１２０に流入することが無く、測定試料由来の汚染を防ぐことができる。また、霧化器１００は霧化のみの機能となり、電荷供給部１２０は電荷供給のみの機能となることから、測定安定性が向上する。

【0029】

イオン化した測定試料は第１細孔１４０と呼ばれる孔を通り、分析部１５０内に導入され、検出される。加熱混合チャンバ１１０は第１細孔１４０と接しており、伝熱により第１細孔１４０との温度差を低減する。

【0030】

分析部１５０では第１細孔１４０が大気と真空とを隔てるインターフェースとなっている。第１細孔１４０のある分析部１５０内の部屋（第１細孔１４０を有する真空室）は、真空ポンプ１７０に接続されており、第１細孔１４０の面積、長さ、真空ポンプ１７０の排気速度とによって、分析部１５０へのガス導入量が決定する。そのため、霧化器１００からのガス供給量と電荷供給部１２０からのガス供給量との総和による測定気体の分析部１５０へのガス供給量と真空ポンプ１７０による分析部１５０へのガス導入量とが異なる場合がある。

【0031】

測定気体の分析部１５０へのガス供給量と分析部１５０へのガス導入量とを調整するために、補助ガス１３０を加熱混合チャンバに供給する。補助ガス１３０は空気，窒素，Ｈｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅもしくはそれらの混合ガスである。補助ガス１３０の流量は、導入している液体流量と種イオンガス１２２の流量との和と、第１細孔１４０を通過するガス流量との差分から決定することができ、他には第１細孔１４０を有する真空室の圧力に基づいて決定することができる。

【0032】

第１細孔１４０を有する真空室の圧力は、例えばその真空室に設けた圧力計１６０にて検出する。補助ガス１３０を供給することにより、装置環境条件に影響されにくいイオン化が実現する。

【0033】

このように、霧化器１００、加熱混合チャンバ１１０、電荷供給部１２０を備えるイオン源によってイオン化した測定試料を質量分析計に導入し、質量分析計の検出部によって測定する。

【0034】

ガス供給部５００は、電荷供給部１２０、および加熱混合チャンバ１１０にガスを供給する部分であり、ガス種の切り替えや流量制御は制御部４００によって行われる。

【0035】

制御部４００は、測定項目情報４１０に基づいて、電荷供給部１２０と加熱混合チャンバ１１０とに混合ガス（種イオンガス１２２、補助ガス１３０）を供給するようにガス供給部５００を制御する機構であり、単一の制御装置であってもよいし、各々担当する機構の異なる複数の制御部によって構成されてもよい。

【0036】

種イオンガス１２２および補助ガス１３０は、上述の、空気，窒素，Ｈｅ，Ａｒ，Ｘｅもしくはそれらの混合ガスからなる。

【0037】

ガス供給部５００は、流量０を含み、種イオンガス１２２のガス流量を制御する第１流量制御部５１０、流量０を含み、補助ガス１３０のガス流量を制御する第２流量制御部５２０、種イオンガスや補助ガスとする複合ガスを混合するガス混合部５３０、種イオンガスや補助ガスの基となる空気，窒素，Ｈｅ，Ａｒ，Ｘｅ等の単体ガスの流量制御を行う単体ガス制御部５４０等により構成される。

【0038】

単体ガスの流量制御を行う単体ガス制御部５４０は、各々、複数の異なる種類の単体ガスの供給源５７０、ガス流れをＯｎ／Ｏｆｆする電磁弁５６０、流量制御を行う単体ガス流量制御部５５０から構成される。

【0039】

この単体ガス制御部５４０は、１種類以上使用し、例えばＡｒ，窒素、Ｈｅガスを使用する場合は、３系統接続する。

【0040】

次いで、上述の種イオンガスや補助ガスの流量制御の詳細について説明する。

【0041】

上述のように、液体クロマトグラフ質量分析計では、測定試料を液体クロマトグラフで成分分離し、目的物質の測定を行うことが多い。液体クロマトグラフによる成分分離では、同一分離条件、同じ物質であれば同じ時間（タイミング）に測定成分は分離される。この時間を保持時間と呼ぶ。故に液体クロマトグラフに測定試料を導入し、目的成分は決まった保持時間に分離されることになる。その成分分離される保持時間に合わせ、質量分析装置の測定条件（例えば観測する質量やＭＳＭＳ条件）を変えて測定を行う。

【0042】

このため、測定する物質（目的物質）は、測定者が事前に把握している。少なくとも、測定する質量が既知であり、さらに分子構造も既知であることも多い。

【0043】

ここで、種イオンガス（特に希ガス）と放電を用いて目的成分をイオン化させる方法はペニングイオン化法と呼ばれている。

【0044】

ペニングイオン化法では、放電により生じた希ガスの準安定励起種から複数の反応を経て、分子のイオン化に至る。質量分析計１でのイオン化において、ペニングイオン化の重要点である種イオンガス種は、おのおの異なる内部エネルギーをもつため、種イオンガスを適宜選択することで，測定成分に与えるエネルギーを調節できる点にある。

【0045】

例えば，Ｈｅガスから生成される準安定励起種は、その内部エネルギーが１９．８［ｅＶ］と高いため、ほぼあらゆる分子がイオン化できると考えられる。またＡｒガスならイオン化エネルギーが１１．７［ｅＶ］以下の分子を選択的にイオン化できる。

【0046】

上述の内部エネルギーは各ガス種により固有の値を持ち、ガス種の変更により変更可能、かつ測定目的物質も既知での測定であることから、測定目的物質により種イオンガスを選択制御、流量制御することで、溶媒由来のバックグラウンド信号を低下させ、目的物質自身のイオン化が可能となる。

【0047】

そこで、測定項目情報４１０として、測定目的物質の分子量の情報を用いることとし、制御部４００は、分子量情報に基づいてガス供給部５００を制御するものとする。

【0048】

例えば、液体クロマトグラフ質量分析計の測定者は、主に定量分析を行う際、測定前に目的物質の分子量情報を入力する。制御部４００は測定時に入力された値に従って、測定するイオンを選択するようにガス供給部５００を制御する。分子量とイオン化のエネルギーの関係は、一般的に低分子量側が高く、高分子量側が低い傾向にあるため、測定時のイオン選択時に種イオンガスも目的物質によって切り替えることで、高感度な測定が可能となる。

【0049】

また、例えば液体クロマトグラフによる分離方法として、逆相クロマトグラフィーがある。逆相クロマトグラフィーは、極性の低い分離カラムに、極性の高い溶媒を流し、炭素鎖の短い目的成分から炭素鎖の長い成分を溶出させる方法である。一般的に炭素鎖の短い成分は低分子量側、炭素鎖の長い成分は高分子量側となると想定される。上述のようにイオン化エネルギーは、一般的に低分子量側が高く、高分子量側が低い傾向にある。

【0050】

更に、液体クロマトグラフによる分離方法として、順相クロマトグラフィーもある。順相クロマトグラフィーは、極性の高い分離カラムに、極性の低い溶媒を流し、極性の低い目的成分から極性の高い成分を溶出させる方法である。目的成分の極性の大小も、質量分析計のイオン化法の選択において、測定感度に影響を与える因子である。一般的に極性が小さい目的成分はイオン化しにくいため、イオン化エネルギーが大きくなり、極性の大きな成分は、イオン化エネルギーが小さくなる傾向にある。

【0051】

上述の、液体クロマトグラフによる分離では、使用する分離条件により、分子量順や極性の大きさ順に成分が分離される。質量分析のイオン化では分子量順、極性の大きさにより、イオン化エネルギーが変化する傾向にある。

【0052】

そこで、測定項目情報４１０として、測定目的物質を分離する液体クロマトグラフの分離方法情報を用いることとし、制御部４００は、分離方法情報に基づいてガス供給部５００を制御するものとする。

【0053】

例えば、測定者が液体クロマトグラフによる分離方法を決定することで、分離方法の情報を元に、種イオンガスのガス種やその流量を選択する。ヘリウムガスは内部エネルギーが高く、質量分析計１でのイオン化の観点では最も使いやすいと考えられる。一方で資源としては有限であり、かつ高価という課題がある。

【0054】

そこで、測定項目情報４１０として、ガス供給部５００から供給するガス種の情報を用いることとし、制御部４００は、ガス種情報に基づいてガス供給部５００を制御するものとする。この際、制御部４００は、測定中にガス種を切り替えるものとする。

【0055】

例えば、空気の分離から生成可能な窒素を用い、目的成分や液体クロマトグラフによる分離方法情報を元に、種イオンガスを測定中に切り替える。

【0056】

次に、本実施例の効果について説明する。

【0057】

上述した本実施例の質量分析計１は、ガス供給部５００は、複数の異なる供給源５７０と、複数の異なる供給源５７０から供給されたガスを混合して混合ガスを作製するガス混合部５３０と、混合ガスの組成を制御する電磁弁５６０と、を有し、測定項目情報４１０に基づいて、電荷供給部１２０と加熱混合チャンバ１１０とに混合ガスを供給するようにガス供給部５００を制御する制御部４００を備える。

【0058】

よって、液体クロマトグラフ質量分析計において、測定目的物質の極性や分子量等の物性に由来する影響を低減し、高効率なイオン化（高感度）を実現することができる。また、液体クロマトグラフに使用する溶離液由来のクラスターイオン信号を低減し、バックグラウンド信号を低減することができる。従って、従来の質量分析計に比べて高感度な測定を実施することが可能となる。

【0059】

また、測定項目情報４１０は、測定目的物質の分子量の情報であり、制御部４００は、分子量情報に基づいてガス供給部５００を制御するため、高感度な測定が可能となる。

【0060】

更に、測定項目情報４１０は、測定目的物質を分離する液体クロマトグラフの分離方法情報であり、制御部４００は、分離方法情報に基づいてガス供給部５００を制御することで、目的成分自身のイオン化に適する、高効率なイオン化（高感度）が可能となる。

【0061】

また、測定項目情報４１０は、ガス供給部５００から供給するガス種の情報であり、制御部４００は、ガス種情報に基づいてガス供給部５００を制御することにより、測定時の運用費用の低減を図ることができるようになり、より効率的な測定が可能となる。

【0062】

更に、制御部４００は、測定中にガス種を切り替えることで、さらに効率的な測定が可能となる。

【0063】

＜その他＞
なお、本発明は上記の実施例に限られず、種々の変形、応用が可能なものである。上述した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。

【符号の説明】

【0064】

１：質量分析計
１００：霧化器
１１０：加熱混合チャンバ
１２０：電荷供給部
１２２：種イオンガス
１３０：補助ガス
１４０：第１細孔
１５０：分析部
１６０：圧力計
１７０：真空ポンプ
３００：液体クロマトグラフ
４００：制御部
４１０：測定項目情報
５００：ガス供給部
５１０：第１流量制御部
５２０：第２流量制御部
５３０：ガス混合部
５４０：単体ガス制御部
５５０：単体ガス流量制御部
５６０：電磁弁
５７０：供給源（ガス源）

【図1】