特許7592955荷電粒子顕微鏡を使用してサンプルを検査する方法

発明の名称　荷電粒子顕微鏡を使用してサンプルを検査する方法

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1007 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7592955

公報発行日　2024年12月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7592955

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