特許 7593848 金属製チューブの加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-25

(45)【発行日】2024-12-03

(54)【発明の名称】金属製チューブの加工方法

(51)【国際特許分類】

   B23P 15/00 20060101AFI20241126BHJP

   A61M 25/00 20060101ALI20241126BHJP

   B24B 19/02 20060101ALI20241126BHJP

【ＦＩ】

B23P15/00 Z

A61M25/00 500

A61M25/00 632

B24B19/02

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2021046304

(22)【出願日】2021-03-19

(65)【公開番号】P2022145055

(43)【公開日】2022-10-03

【審査請求日】2024-02-19

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】大前 巻子

【審査官】山本 忠博

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－２３５０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６０－１４４１３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－２１３５０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０３０９５８７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００４－１７３４０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｐ １３／００－１５／５２；

Ａ６１Ｍ ２５／００；

Ｂ２４Ｂ １／００－５７／０４；

Ｂ２３Ｄ １／００－８１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属製チューブを屈曲可能に加工する金属製チューブの加工方法であって、
金属製チューブを収容する直線状の矩形溝を備えた治具を準備する治具準備工程と、
該矩形溝に金属製チューブを収容し液状樹脂を注入して金属製チューブを液状樹脂で埋設する埋設工程と、
液状樹脂を硬化させて金属製チューブの外面が四角柱状に樹脂で覆われた四角柱体を該治具から取り出す取り出し工程と、
該四角柱体の第１の面を露出させ該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第１のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第１のハーフカット溝形成工程と、
該第１の面と直交する第２の面を露出させ隣り合う該第１のハーフカット溝と該第１のハーフカット溝との中央に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第２のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第２のハーフカット溝形成工程と、
該第１の面の反対側に位置する第３の面を露出させ該第１のハーフカット溝に対応する反対側に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第３のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第３のハーフカット溝形成工程と、
該第２の面の反対側に位置する第４の面を露出させ該第２のハーフカット溝に対応する反対側に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第４のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第４のハーフカット溝形成工程と、を含む金属製チューブの加工方法。

【請求項2】

該第１のハーフカット溝形成工程の次に該第３のハーフカット溝形成工程を実施し、
該第２のハーフカット溝形成工程の次に該第４のハーフカット溝形成工程を実施する請求項１記載の金属製チューブの加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、金属製チューブを屈曲可能に加工する金属製チューブの加工方法に関する。

【背景技術】

【0002】

細長い円管状の金属製（たとえば、チタン合金製）チューブの外周に周方向に延びる多数の溝を形成し、金属製チューブを屈曲可能に加工する技術が提案されており、屈曲可能に加工された金属製チューブは、医療用のカテーテル等に用いられる（たとえば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特表２００６－５０７０７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、金属製チューブを例えば９０度毎に間欠回転させながら、全周に渡り略５０μｍの間隔をおいて略２０μｍの幅の溝を金属製チューブに形成するような場合、金属製チューブの固定が不安定となり、生産性が悪いという問題がある。

【0005】

上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、金属製チューブに溝を形成する際に、金属製チューブの安定した固定が可能となり、生産性を向上させることができる金属製チューブの加工方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明によれば、上記課題を解決する以下の金属製チューブの加工方法が提供される。すなわち、金属製チューブを屈曲可能に加工する金属製チューブの加工方法であって、金属製チューブを収容する直線状の矩形溝を備えた治具を準備する治具準備工程と、該矩形溝に金属製チューブを収容し液状樹脂を注入して金属製チューブを液状樹脂で埋設する埋設工程と、液状樹脂を硬化させて金属製チューブの外面が四角柱状に樹脂で覆われた四角柱体を該治具から取り出す取り出し工程と、該四角柱体の第１の面を露出させ該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第１のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第１のハーフカット溝形成工程と、該第１の面と直交する第２の面を露出させ隣り合う該第１のハーフカット溝と該第１のハーフカット溝との中央に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第２のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第２のハーフカット溝形成工程と、該第１の面の反対側に位置する第３の面を露出させ該第１のハーフカット溝に対応する反対側に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第３のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第３のハーフカット溝形成工程と、該第２の面の反対側に位置する第４の面を露出させ該第２のハーフカット溝に対応する反対側に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第４のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第４のハーフカット溝形成工程と、を含む金属製チューブの加工方法が提供される。

【0007】

好ましくは、該第１のハーフカット溝形成工程の次に該第３のハーフカット溝形成工程を実施し、該第２のハーフカット溝形成工程の次に該第４のハーフカット溝形成工程を実施する。

【発明の効果】

【0008】

本発明の金属製チューブの加工方法は、金属製チューブを収容する直線状の矩形溝を備えた治具を準備する治具準備工程と、該矩形溝に金属製チューブを収容し液状樹脂を注入して金属製チューブを液状樹脂で埋設する埋設工程と、液状樹脂を硬化させて金属製チューブの外面が四角柱状に樹脂で覆われた四角柱体を該治具から取り出す取り出し工程と、該四角柱体の第１の面を露出させ該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第１のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第１のハーフカット溝形成工程と、該第１の面と直交する第２の面を露出させ隣り合う該第１のハーフカット溝と該第１のハーフカット溝との中央に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第２のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第２のハーフカット溝形成工程と、該第１の面の反対側に位置する第３の面を露出させ該第１のハーフカット溝に対応する反対側に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第３のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第３のハーフカット溝形成工程と、該第２の面の反対側に位置する第４の面を露出させ該第２のハーフカット溝に対応する反対側に該四角柱体の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第４のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第４のハーフカット溝形成工程と、を含むので、金属製チューブに溝を形成する際に、金属製チューブの安定した固定が可能となり、生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】金属製チューブおよび治具の斜視図。

【図2】埋設工程を実施している状態を示す斜視図。

【図3】（ａ）紫外線を照射して液状樹脂を硬化させている状態を示す斜視図、（ｂ）金属製チューブの外面が四角柱状に樹脂で覆われた四角柱体の斜視図。

【図4】（ａ）図３（ｂ）に示す四角柱体がダイシングテープを介して環状フレームに支持された状態を示す斜視図、（ｂ）（ａ）におけるＢ－Ｂ矢視図。

【図5】第１のハーフカット溝形成工程を実施している状態を示す斜視図。

【図6】第１のハーフカット溝が形成された四角柱体の正面図。

【図7】第１・第３のハーフカット溝が形成された四角柱体の正面図。

【図8】第１・第２・第３のハーフカット溝が形成された四角柱体の正面図。

【図9】（ａ）第１～第４のハーフカット溝が形成された四角柱体の正面図、（ｂ）（ａ）に示す四角柱体から樹脂が除去された金属製チューブの斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、金属製チューブを屈曲可能に加工する金属製チューブの加工方法の好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。

【0011】

図１を参照して説明すると、本実施形態においては、まず、金属製チューブ２を収容する直線状の矩形溝４ａを備えた治具４を準備する治具準備工程を実施する。金属製チューブ２としては、たとえば、血管の治療や検査等に使用される医療用の細長いカテーテルが挙げられる。金属製チューブ２がカテーテルとして用いられる場合、金属製チューブ２の材質にはチタン合金を採用することができ、また、金属製チューブ２のサイズについては、たとえば、外径０．４ｍｍ、内径０．３５ｍｍ、長さ３００ｍｍ程度でよい。

【0012】

治具４の材質については、紫外線を透過する材質（たとえばガラス）を用いることができる。治具４は、全体として図１に示すような細長い直方体状でよく、治具４の矩形溝４ａの断面（治具４の長手方向を横断する面）の形状は正方形でよい。また、矩形溝４ａの幅、深さは、金属製チューブ２の外径よりも若干大きく、矩形溝４ａの長さは金属製チューブ２の長さより若干長く、金属製チューブ２の全体を矩形溝４ａの中に収容することができるようになっている。なお、図面には、理解の容易さの観点から、矩形溝４ａの長手方向端部に壁がなく、矩形溝４ａの長手方向端部が開放されている例を示しているが、矩形溝４ａの長手方向端部には、後述の液状樹脂の流出を防止する壁を治具４に設けることができる。

【0013】

治具準備工程を実施した後、図２に示すとおり、矩形溝４ａに金属製チューブ２を収容し液状樹脂６を注入して金属製チューブ２を液状樹脂６で埋設する埋設工程を実施する。液状樹脂６としては、紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化型の液状樹脂を用いることができる。

【0014】

埋設工程を実施した後、液状樹脂６を硬化させて金属製チューブ２の外面が四角柱状に樹脂で覆われた四角柱体を治具４から取り出す取り出し工程を実施する。取り出し工程において液状樹脂６を硬化させる際は、たとえば、治具４が紫外線を透過する材質から形成され、かつ、液状樹脂６として紫外線硬化型の液状樹脂を用いた場合には、図３（ａ）に示すとおり、治具４の周囲から紫外線ＵＶを照射することにより液状樹脂６を容易に硬化させることができる。液状樹脂６を硬化させたら、図３（ｂ）に示すとおり、金属製チューブ２の外面が四角柱状に樹脂６’で覆われた四角柱体８を治具４から取り出す。なお、図３（ｂ）では、液状樹脂６が硬化した樹脂を符号６’で示している。

【0015】

取り出し工程を実施した後、四角柱体８の第１の面を露出させ四角柱体８の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第１のハーフカット溝を切削ブレードで形成する第１のハーフカット溝形成工程を実施する。

【0016】

第１のハーフカット溝形成工程においては、まず、図４（ａ）に示すとおり、周縁が環状フレーム１０に固定されたダイシングテープ１２に四角柱体８を貼り付け、ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に四角柱体８を支持させる。このように図示の実施形態では、四角柱体８をダイシングテープ１２に貼り付け、ダイシングテープ１２によって四角柱体８を面で支持するため、金属製チューブ２の安定した固定が可能である。

【0017】

第１のハーフカット溝形成工程において、四角柱体８をダイシングテープ１２に貼り付ける際には、四角柱体８に未だ溝が形成されておらず、軸方両側端面以外の４つの面に違う点はないので、第１のハーフカット溝形成工程において露出させる（上に向ける）第１の面として、軸方向両側端面以外の４つの面から任意に選択することができる。図示の実施形態では図４（ｂ）に示すとおり、上に向けた面を第１の面８ａとし、第１の面８ａと直交する一方の面（図４（ｂ）における右側面）を第２の面８ｂとし、第１の面８ａの反対側に位置する面（図４（ｂ）における下面）を第３の面８ｃとし、第１の面８ａと直交する他方の面（図４（ｂ）における左側面）を第４の面８ｄとしている。

【0018】

ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に支持させた四角柱体８に対して、第１のハーフカット溝を形成するには、たとえば図５に示すダイシング装置１４を用いて実施することができる。また、後述の第２～第４のハーフカット溝を形成する際も同様にダイシング装置１４を用いて実施することができる。

【0019】

ダイシング装置１４は、被加工物を保持するチャックテーブル（図示していない。）と、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段１６と、チャックテーブルに保持された被加工物を撮像し切削加工を施すべき領域を検出する撮像手段（図示していない。）とを備える。切削手段１６は、図５に矢印Ｙで示すＹ軸方向を軸心として回転自在に構成されたスピンドル１８と、スピンドル１８の先端に固定された環状の切削ブレード２０とを含む。なお、図５に矢印Ｘで示すＸ軸方向はＹ軸方向に直交する方向であり、Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定するＸＹ平面は実質上水平である。

【0020】

図５を参照して説明を続けると、第１のハーフカット溝形成工程においては、まず、ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に支持させた四角柱体８をチャックテーブルに保持させる。次いで、撮像手段で四角柱体８を撮像し、撮像手段で撮像した四角柱体８の画像に基づいて、四角柱体８の長手方向をＹ軸方向に整合させると共に、四角柱体８の長手方向端部を基準として、四角柱体８と切削ブレード２０とのＹ軸方向の位置合わせを行う。

【0021】

次いで、スピンドル１８を下降させ、四角柱体８の第１の面８ａから金属製チューブ２の径方向中心には至らない深さまで、図５に矢印Ａで示す方向に高速回転させた切削ブレード２０の刃先を切り込ませると共に、切削ブレード２０の刃先を切り込ませた部分に切削水を供給しながら、切削手段１６に対してチャックテーブルを所定の送り速度でＸ軸方向に加工送りする。これによって、金属製チューブ２の径方向中心には至らない第１のハーフカット溝２２ａを形成することができる。

【0022】

さらに、四角柱体８の長手方向（図示の実施形態ではＹ軸方向）に所定間隔で割り出し送りしながら、第１のハーフカット溝２２ａの形成を繰り返す。これによって、図６に示すとおり、四角柱体８の長手方向に所定間隔をおいて複数の第１のハーフカット溝２２ａを形成することができる。なお、図６には、四角柱体８や第１のハーフカット溝２２ａの寸法が示されているが、これらの寸法はあくまで参考の寸法である。

【0023】

本実施形態においては、第１のハーフカット溝形成工程を実施した後、第１の面８ａの反対側に位置する第３の面８ｃを露出させ（上に向け）、第１のハーフカット溝２２ａに対応する反対側に四角柱体８の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第３のハーフカット溝を切削ブレード２０で形成する第３のハーフカット溝形成工程を実施する。

【0024】

第３のハーフカット溝形成工程においては、まず、ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に支持された四角柱体８をチャックテーブルから取り外すと共に、四角柱体８からダイシングテープ１２を一旦剥離する。次いで、第３の面８ｃを上に向けて、ダイシングテープ１２に四角柱体８を再度貼り付けると共に、ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に支持させた四角柱体８をチャックテーブルに再度保持させる。

【0025】

次いで、第３の面８ｃを上に向けた四角柱体８を撮像手段で撮像し、撮像手段で撮像した四角柱体８の画像に基づいて、四角柱体８の長手方向をＹ軸方向に整合させると共に、四角柱体８の長手方向端部を基準として、四角柱体８と切削ブレード２０とのＹ軸方向の位置合わせを行う。この際は、複数の第１のハーフカット溝２２ａのうち、端の第１のハーフカット溝２２ａの真上に切削ブレード２０を位置づける。

【0026】

そして、第１のハーフカット溝２２ａを形成した際と同様に、第３の面８ｃから金属製チューブ２の径方向中心には至らない深さまで、切削ブレード２０の刃先を切り込ませると共に、チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りして、第３のハーフカット溝２２ｃ（図７参照。）を形成する。また、第１のハーフカット溝２２ａの間隔と同じ間隔で四角柱体８の長手方向に割り出し送りしながら、第３のハーフカット溝２２ｃの形成を繰り返す。これによって、図７に示すとおり、複数の第１のハーフカット溝２２ａのそれぞれに対応する反対側に、金属製チューブ２の径方向中心には至らない複数の第３のハーフカット溝２２ｃを形成することができる。

【0027】

図７を参照することによって理解されるとおり、第３のハーフカット溝２２ｃのＹ軸方向位置は、第１のハーフカット溝２２ａのＹ軸方向位置と同一であるが、第１・第３のハーフカット溝２２ａ、２２ｃの双方ともに、金属製チューブ２の径方向中心には至らない深さなので、第１のハーフカット溝２２ａと第３のハーフカット溝２２ｃとは連結せず、第１・第３のハーフカット溝２２ａ、２２ｃによって金属製チューブ２が分断されることはない。

【0028】

第３のハーフカット溝形成工程を実施した後、第１の面８ａと直交する第２の面８ｂを露出させ隣り合う第１のハーフカット溝２２ａと第１のハーフカット溝２２ａとの中央に四角柱体８の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第２のハーフカット溝を切削ブレード２０で形成する第２のハーフカット溝形成工程を実施する。

【0029】

第２のハーフカット溝形成工程においては、第３のハーフカット溝形成工程と同様に、まず、四角柱体８を支持している環状フレーム１０をチャックテーブルから取り外すと共に、四角柱体８からダイシングテープ１２を一旦剥離する。次いで、第２の面８ｂを上に向けて、ダイシングテープ１２に四角柱体８を再度貼り付けると共に、ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に支持させた四角柱体８をチャックテーブルに再度保持させる。

【0030】

次いで、第２の面８ｂを上に向けた四角柱体８を撮像手段で撮像し、撮像手段で撮像した四角柱体８の画像に基づいて、四角柱体８の長手方向をＹ軸方向に整合させると共に、四角柱体８の長手方向端部を基準として、四角柱体８と切削ブレード２０とのＹ軸方向の位置合わせを行う。この際は、隣り合う第１のハーフカット溝２２ａと第１のハーフカット溝２２ａとの中央に切削ブレード２０を位置づける。

【0031】

そして、第１・第３のハーフカット溝２２ａ、２２ｃを形成した際と同様に、第２の面８ｂから金属製チューブ２の径方向中心には至らない深さまで、切削ブレード２０の刃先を切り込ませると共に、チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りして、第２のハーフカット溝２２ｂ（図８参照。）を形成する。また、第１・第３のハーフカット溝２２ａ、２２ｃの間隔と同じ間隔で四角柱体８の長手方向に割り出し送りしながら、第２のハーフカット溝２２ｂの形成を繰り返す。これによって、隣り合う第１のハーフカット溝２２ａ間のそれぞれ（隣り合う第３のハーフカット溝２２ｃ間のそれぞれでもある。）に、金属製チューブ２の径方向中心には至らない複数の第２のハーフカット溝２２ｂを形成することができる。

【0032】

第２のハーフカット溝形成工程を実施した後、第２の面８ｂの反対側に位置する第４の面８ｄを露出させ第２のハーフカット溝２２ｂに対応する反対側に四角柱体８の長手方向に所定間隔で割り出し送りしながら中心には至らない第４のハーフカット溝を切削ブレード２０で形成する第４のハーフカット溝形成工程を実施する。

【0033】

第４のハーフカット溝形成工程においては、第２・第３のハーフカット溝形成工程と同様に、まず、四角柱体８を支持している環状フレーム１０をチャックテーブルから取り外すと共に、四角柱体８からダイシングテープ１２を一旦剥離する。次いで、第４の面８ｄを上に向けて、ダイシングテープ１２に四角柱体８を再度貼り付けると共に、ダイシングテープ１２を介して環状フレーム１０に支持させた四角柱体８をチャックテーブルに再度保持させる。

【0034】

次いで、第４の面８ｄを上に向けた四角柱体８を撮像手段で撮像し、撮像手段で撮像した四角柱体８の画像に基づいて、四角柱体８の長手方向をＹ軸方向に整合させると共に、四角柱体８の長手方向端部を基準として、四角柱体８と切削ブレード２０とのＹ軸方向の位置合わせを行う。この際は、複数の第２のハーフカット溝２２ｂのうち、端の第２のハーフカット溝２２ｂの真上に切削ブレード２０を位置づける。

【0035】

そして、第１～第３のハーフカット溝２２ａ～２２ｃを形成した際と同様に、第４の面８ｄから金属製チューブ２の径方向中心には至らない深さまで、切削ブレード２０の刃先を切り込ませると共に、チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りして、第４のハーフカット溝２２ｄ（図９（ａ）参照。）を形成する。また、第２のハーフカット溝２２ｂの間隔と同じ間隔で四角柱体８の長手方向に割り出し送りしながら、第４のハーフカット溝２２ｄの形成を繰り返す。これによって、複数の第２のハーフカット溝２２ｂのそれぞれに対応する反対側に、金属製チューブ２の径方向中心には至らない複数の第４のハーフカット溝２２ｄを形成することができる。

【0036】

図９（ａ）を参照することによって理解されるとおり、第４のハーフカット溝２２ｄのＹ軸方向位置は、第２のハーフカット溝２２ｂのＹ軸方向位置と同一であるが、第２・第４のハーフカット溝２２ｂ、２２ｄの双方ともに、金属製チューブ２の径方向中心には至らない深さなので、第２のハーフカット溝２２ｂと第４のハーフカット溝２２ｄとは連結せず、第２・第４のハーフカット溝２２ｂ、２２ｄによっても金属製チューブ２が分断されることはない。

【0037】

このような第１～第４のハーフカット溝形成工程は、たとえば、以下の加工条件で実施することができる。
＜被加工物＞
チューブの材質 ：チタン合金
チューブの外径 ：０．４ｍｍ
チューブの内径 ：０．３５ｍｍ
チューブの長さ ：３００ｍｍ）
＜第１～第４のハーフカット溝＞
溝の幅 ：０．０２～０．０５ｍｍ
溝の深さ ：０．１５～０．１８ｍｍ
溝同士の間隔 ：０．１０～０．１５ｍｍ
＜ダイシング装置＞
切削ブレードの直径 ：５０ｍｍ
切削ブレードの幅 ：０．０２ｍｍ
切削ブレードの回転数：３０，０００ｒｐｍ
切削水 ：１．６Ｌ／ｍｉｎ
加工送り速度 ：３ｍｍ／ｓ

【0038】

そして、第４のハーフカット溝形成工程を実施した後、適宜の溶剤を用いて四角柱体８の樹脂６’を除去することにより、図９（ｂ）に示すような第１～第４のハーフカット溝２２ａ～２２ｄが形成された屈曲可能な金属製チューブ２を得ることができる。

【0039】

以上のとおりであり、図示の実施形態の金属製チューブの加工方法においては、金属製チューブ２の外面を樹脂６’で覆い四角柱体８を形成してから、面で四角柱体８を支持した状態で第１～第４のハーフカット溝形成工程を実施する。したがって、第１～第４のハーフカット溝を形成する際に、四角柱体８がズレることがなく、つまり、金属製チューブ２の安定した固定が可能となり、生産性を向上させることができる。

【0040】

図示の実施形態とは異なり、円筒状の金属製チューブ２をダイシングテープ１２に直接貼り付けて環状フレーム１０で支持する場合は、金属製チューブ２とダイシングテープ１２とが線接触となり、金属製チューブ２を線で支持することになるので、金属製チューブ２の固定が不安定となってしまい、金属製チューブ２に精密な切削加工を施すことが困難になる。これにひきかえ、図示の実施形態では、金属製チューブ２の外面を樹脂６’で覆った四角柱体８をダイシングテープ１２に貼り付けて環状フレーム１０で支持しており、四角柱体８とダイシングテープ１２とが面接触となり、面で四角柱体８を支持することになる。したがって、金属製チューブ２の安定した固定が可能であり、金属製チューブ２に精密な切削加工を施すことができる。

【0041】

なお、図示の実施形態では、第１のハーフカット溝形成工程の次に第３のハーフカット溝形成工程を実施し、第２のハーフカット溝形成工程の次に該第４のハーフカット溝形成工程を実施する例を説明したが、第１～第４のハーフカット溝形成工程の順は問わず、たとえば、第１、第２、第３、第４の順で実施してもよい。

【符号の説明】

【0042】

２：金属製チューブ
４：治具
４ａ：矩形溝
６：液状樹脂
６’：硬化した樹脂
８：四角柱体
８ａ：第１の面
８ｂ：第２の面
８ｃ：第３の面
８ｄ：第４の面
２０：切削ブレード
２２ａ：第１のハーフカット溝
２２ｂ：第２のハーフカット溝
２２ｃ：第３のハーフカット溝
２２ｄ：第４のハーフカット溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】