特許7598462半導体熱処理設備の載置装置及び半導体熱処理設備

発明の名称　半導体熱処理設備の載置装置及び半導体熱処理設備

出願人　北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司　（識別番号 510182294）

　　　　特許公開件数ランキング 1019 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 995 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7598462

公報発行日　2024年12月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7598462

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