特許 7599775 高圧エアーを利用する装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-06

(45)【発行日】2024-12-16

(54)【発明の名称】高圧エアーを利用する装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20241209BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241209BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20241209BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20241209BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 F

H01L21/304 631

H01L21/68 P

B24B49/10

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020150270

(22)【出願日】2020-09-08

(65)【公開番号】P2022044891

(43)【公開日】2022-03-18

【審査請求日】2023-07-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(72)【発明者】

【氏名】笠井 剛史

(72)【発明者】

【氏名】上原 健

(72)【発明者】

【氏名】高橋 聡

【審査官】小山 和俊

(56)【参考文献】

【文献】中国実用新案第２１０３８６８１５（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開２０１６－２０３３０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／０９６３２５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０９－２７５０５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１４１００５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－００３０６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】脇田 邦稔，回転機械のオンライン総合監視システム「ＭＳＳ」，計装，日本，工業技術社，1994年04月01日，第37巻第4号，第85-89頁

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２４Ｂ ４９／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

高圧エアーを内部で利用する装置であって、
本体と、
高圧エアー供給源から高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給するエアー配管と、
該エアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、
該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、
該ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットと、
を備え、
該フィルター通過前の該高圧エアーに含まれる該有機ガスを検知する補助ガス検知器を該エアー配管にさらに備え、
該ガス検知器で該高圧エアーに含まれる該有機ガスが検出される一方で、該補助ガス検知器で該有機ガスが検出されない場合に該フィルターの汚染が進行していることを確認できることを特徴とする装置。

【請求項2】

該エアー配管に該高圧エアーを供給する該高圧エアー供給源は、エアーコンプレッサーであることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項3】

該報知ユニットが該高圧エアーに該油が混入していることを報知した場合に該エアー配管を流れる該高圧エアーを遮断する遮断弁を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の装置。

【請求項4】

高圧エアーを内部で利用する装置であって、
本体と、
高圧エアー供給源から高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給するエアー配管と、
該エアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、
該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、
該ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットと、
該エアー配管の該フィルターよりも下流側に設けられ該エアー配管を流れる該高圧エアーを遮断する遮断弁と、
を備え、
該遮断弁は、該報知ユニットが該高圧エアーに該油が混入していることを報知した場合に該エアー配管を流れる該高圧エアーを遮断することを特徴とする装置。

【請求項5】

高圧エアーを内部で利用する装置であって、
本体と、
第１の高圧エアー供給源から高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給する第１のエアー配管と、
該第１のエアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、
該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、
高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給する第２のエアー配管と、
該第２のエアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去する第２のフィルターと、
該第２のフィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知する第２のガス検知器と、
該第１のエアー配管の下流側及び該第２のエアー配管の下流側に接続された三方弁と、
該三方弁に接続され該本体内部に向かう内部配管と、
該ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該第１のエアー配管の内部で該高圧エアーに該油が混入していることを報知し、該第２ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該第２のエアー配管の内部で該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットと、
を備え、
該三方弁で該第１のエアー配管及び該内部配管を接続しているときに該高圧エアーに含まれる該有機ガスが該ガス検知器により検出された場合、該三方弁を切り替えて該第１のエアー配管及び該内部配管の接続を解除するとともに該第２のエアー配管及び該内部配管を接続することを特徴とする装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、高圧エアーの供給経路となる配管が接続され、高圧エアーを内部で利用する装置に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話やコンピュータ等の電子機器に使用されるデバイスチップは、シリコンやシリコンカーバイド等の材料からなるウェーハから製造される。まず、ウェーハの表面に互いに交差する複数の分割予定ラインを設定し、ウェーハの表面の分割予定ラインによって区画される各領域に、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスを形成する。次に、ウェーハを裏面側から研削して薄化し、分割予定ラインに沿ってウェーハを分割すると個々のデバイスチップを形成できる。

【0003】

ウェーハから個々のデバイスチップを形成する過程では、ウェーハを研削する研削装置やウェーハを分割する切削装置、及びレーザ加工装置等の装置が使用される（特許文献１乃至３参照）。そして、これらの装置では、ウェーハを保持するチャックテーブルの吸引源の駆動、加工されたウェーハの洗浄、及び、回転するスピンドルの軸受け等の様々な用途で高圧エアーが利用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００９－２４６０９８号公報

【文献】特開２０１０－３６２７５号公報

【文献】特開２０１２－２６０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

装置の外部には、高圧エアー供給源となるエアーコンプレッサー等が設けられる。そして、高圧エアー供給源として機能する該エアーコンプレッサーが空気を圧縮し、配管を通して該装置に高圧エアーを供給する。この際、エアーコンプレッサーの内部で使用される潤滑油等の油が高圧エアーに混入するおそれがある。

【0006】

装置に供給される高圧エアーに油が混入していると、該装置で加工されるウェーハに油が付着してウェーハの品質の低下が生じたり、装置で使用される光学系に油が付着して劣化させたり、駆動機構に油が付着して動作不良を引き起こしたりする。そこで、高圧エアーが通過する配管の内部にフィルターを設け、高圧エアーに混入した油を該フィルターで除去するとの対策がとられる。

【0007】

しかしながら、フィルターの油による汚染が進行すると、高圧エアーに含まれる油を該フィルターで除去できない場合や、該フィルターに捕獲された油が該フィルターから放出される場合がある。これらの場合、そのまま装置の稼働が継続されると、装置の管理者等が気付かぬまま油による問題が拡大し、大きな損失が生じることもある。

【0008】

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、供給される高圧エアーを監視し、該高圧エアーに油が混入した際に報知できる装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様によれば、高圧エアーを内部で利用する装置であって、本体と、高圧エアー供給源から高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給するエアー配管と、該エアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、該ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットと、を備え、該フィルター通過前の該高圧エアーに含まれる該有機ガスを検知する補助ガス検知器を該エアー配管にさらに備え、該ガス検知器で該高圧エアーに含まれる該有機ガスが検出される一方で、該補助ガス検知器で該有機ガスが検出されない場合に該フィルターの汚染が進行していることを確認できることを特徴とする装置が提供される。

【0010】

好ましくは、該エアー配管に該高圧エアーを供給する該高圧エアー供給源は、エアーコンプレッサーである。

【0011】

さらに、好ましくは、該報知ユニットが該高圧エアーに該油が混入していることを報知した場合に該エアー配管を流れる該高圧エアーを遮断する遮断弁を備える。

【0012】

本発明の他の一態様によれば、高圧エアーを内部で利用する装置であって、本体と、高圧エアー供給源から高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給するエアー配管と、該エアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、該ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットと、該エアー配管の該フィルターよりも下流側に設けられ該エアー配管を流れる該高圧エアーを遮断する遮断弁と、を備え、該遮断弁は、該報知ユニットが該高圧エアーに該油が混入していることを報知した場合に該エアー配管を流れる該高圧エアーを遮断することを特徴とする装置が提供される。また、本発明のさらに他の一態様によれば、高圧エアーを内部で利用する装置であって、本体と、第１の高圧エアー供給源から高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給する第１のエアー配管と、該第１のエアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、高圧エアーが供給され、該高圧エアーを該本体内部に供給する第２のエアー配管と、該第２のエアー配管内を通過する該高圧エアーに含まれる油を除去する第２のフィルターと、該第２のフィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知する第２のガス検知器と、該第１のエアー配管の下流側及び該第２のエアー配管の下流側に接続された三方弁と、該三方弁に接続され該本体内部に向かう内部配管と、該ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該第１のエアー配管の内部で該高圧エアーに該油が混入していることを報知し、該第２ガス検知器が該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該第２のエアー配管の内部で該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットと、を備え、該三方弁で該第１のエアー配管及び該内部配管を接続しているときに該高圧エアーに含まれる該有機ガスが該ガス検知器により検出された場合、該三方弁を切り替えて該第１のエアー配管及び該内部配管の接続を解除するとともに該第２のエアー配管及び該内部配管を接続することを特徴とする装置が提供される。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一態様に係る装置では、エアー配管内を通過する高圧エアーに含まれる油を除去するフィルターと、該フィルター通過後の該高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器と、を備える。そして、該装置は、ガス検知器が高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該高圧エアーに該油が混入していることを報知する報知ユニットをさらに備える。

【0014】

フィルター通過後の高圧エアーに有機ガスが含まれる場合、該フィルターの汚染が進行しており、油が該高圧エアーに混入していることが理解される。そのままでは、油が混入した高圧エアーが装置内部に供給されることとなるため、例えば、エアー配管を遮断することで高圧エアーに混入した油が装置の内部に侵入することを阻止できる。そして、汚染の進んだフィルターを交換することで、高圧エアーに混入する油をフィルターで十分に除去できるようになる。

【0015】

このように、本発明の一態様に係る装置では、報知ユニットによる報知を受けて油による問題が深刻化する前に対処できるため、復旧作業に要する時間的コスト及び金銭的コストも少なくて済む。

【0016】

したがって、本発明によると、供給される高圧エアーを監視し、該高圧エアーに油が混入した際に報知できる装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】高圧エアーが供給される装置と、高圧エアー供給源と、を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２（Ａ）は、装置に組み込まれたエアー配管の一例を模式的に示す構成図であり、図２（Ｂ）は、装置に組み込まれたエアー配管の他の一例を模式的に示す構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る装置２を模式的に示す斜視図である。図１には、装置２で加工されるウェーハ１を含むフレームユニット１１を模式的に示す斜視図が含まれている。フレームユニット１１は、開口を備える環状のフレーム７と、該開口を塞ぐように該フレーム７に貼着されたダイシングテープ９と、開口の内側でダイシングテープ９に配設されたウェーハ１と、を備える。

【0019】

ウェーハ１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（窒化ガリウム）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等である。

【0020】

ウェーハ１の表面は、互いに交差する複数の分割予定ラインで区画される。ウェーハ１の表面の分割予定ラインで区画された各領域には、ＩＣやＬＳＩ、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等のデバイスが形成される。分割予定ラインに沿ってウェーハ１を分割すると、個々のデバイスチップが形成される。

【0021】

本実施形態に係る装置２は、例えば、環状の切削ブレードを備える切削装置である。ウェーハ１の分割は、例えば、該切削装置で実施される。ただし、本実施形態に係る装置はこれに限定されず、ウェーハ１等の被加工物にレーザビームをレーザ加工装置でもよく、被加工物を研削砥石で研削する研削装置でもよい。以下、本実施形態に係る装置２が切削装置である場合を例に説明する。

【0022】

ウェーハ１は、装置２に搬入される前にダイシングテープ９及びフレーム７と一体化されてもよく、そして、ウェーハ１と、ダイシングテープ９と、フレーム７と、を含むフレームユニット１１が形成されてもよい。この場合、ウェーハ１が分割されて形成された個々のデバイスチップは、ダイシングテープ９に支持される。その後、ダイシングテープ９を拡張することでデバイスチップ間の間隔を広げると、デバイスチップのピックアップが容易となる。

【0023】

図１に示す通り、装置２の本体４の角部には、カセット１３が載置されるカセットテーブル６が設けられている。カセットテーブル６は、昇降機構（不図示）により上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能である。図１では、カセットテーブル６に載置されたカセット１３の輪郭を二点鎖線で示している。

【0024】

本体４の上面のカセットテーブル６に隣接する位置には、Ｙ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら互いに接近、離隔される一対のガイドレール８を含む仮置きテーブル１０が設けられている。また、本体４の上面の仮置きテーブル１０に隣接する位置には、カセットテーブル６に載置されたカセット１３に収容されたフレームユニット１１をカセット１３から搬出する搬出ユニット１２が設けられている。搬出ユニット１２は、フレーム７を把持できる把持部を前面に有する。

【0025】

カセット１３に収容されたフレームユニット１１を搬出する際には、搬出ユニット１２をカセット１３に向けて移動させ、該把持部でフレーム７を把持し、その後、搬出ユニット１２をカセット１３から離れる方向に移動させる。すると、カセット１３からフレームユニット１１が仮置きテーブル１０に引き出される。このとき、一対のガイドレール８をＸ軸方向に互い近接する方向に連動させて移動させ、該一対のガイドレール８でフレーム７を挟み込むと、フレームユニット１１を所定の位置に位置付けられる。

【0026】

本体４の上面のカセットテーブル６に隣接する位置には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４ａが形成されている。開口４ａ内には、図示しないボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）と、Ｘ軸移動機構の上部を覆う蛇腹状の防塵防滴カバー２６と、が配設されている。

【0027】

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸移動テーブル１６の下部に接続されており、このＸ軸移動テーブル１６をＸ軸方向に移動させる機能を有する。例えば、Ｘ軸移動テーブル１６は、カセットテーブル６に近接する搬出入領域と、後述の切削ユニット３２の下方の加工領域と、の間を移動する。

【0028】

Ｘ軸移動テーブル１６上には、テーブルベース１８と、該テーブルベース１８に載るチャックテーブル２０と、が設けられている。チャックテーブル２０は、ウェーハ１を含むフレームユニット１１を保持する機能を有し、上面が保持面２２となる。チャックテーブル２０の径方向外側には、フレーム７を把持するクランプ２４が設けられている。チャックテーブル２０は、上述したＸ軸移動機構によってＸ軸方向に移動する。

【0029】

チャックテーブル２０は、保持面２２に露出した多孔質部材を備える。チャックテーブル２０の内部には、一端が該多孔質部材に接続され他端が吸引源（不図示）に接続された吸引路（不図示）が配設される。例えば、該吸引源はアスピレータであり、高圧エアーが供給されることで吸引力を生じる。

【0030】

仮置きテーブル１０からチャックテーブル２０へのフレームユニット１１の搬送は、本体４の上面の仮置きテーブル１０及び開口４ａに隣接する位置に設けられた第１の搬送ユニット１４により実施される。第１の搬送ユニット１４は、本体４の上面から上方に突き出た昇降可能であるとともに回転可能な軸部と、軸部の上端から水平方向に伸長した腕部と、腕部の先端下方に設けられた保持部と、を有する。該保持部は、例えば、高圧エアーを利用して吸引力を生じさせ、該吸引力でフレームユニット１１を保持する。

【0031】

第１の搬送ユニット１４で仮置きテーブル１０からチャックテーブル２０へフレームユニット１１を搬送する際には、Ｘ軸移動テーブル１６を移動させてチャックテーブル２０を搬出入領域に位置付ける。そして、仮置きテーブル１０に仮置きされているフレームユニット１１のフレーム７を該保持部で保持し、フレームユニット１１を持ち上げて、該軸部を回転させてフレームユニット１１をチャックテーブル２０の上方に移動させる。

【0032】

その後、フレームユニット１１を下降させてチャックテーブル２０の保持面２２に載せる。そして、クランプ２４でフレーム７を固定するとともに、チャックテーブル２０でフレームユニット１１のダイシングテープ９を介してウェーハ１を吸引保持する。

【0033】

装置２は、Ｘ軸移動テーブル１６の搬出入領域から加工領域への移動経路の上方に、開口４ａを横切るように配設された支持構造２８を備える。そして、支持構造２８には下方に向いた撮像ユニット３０が設けられている。撮像ユニット３０は、切削ユニット３２の下方の加工領域へ移動するチャックテーブル２０に吸引保持されたウェーハ１の表面を撮像し、表面に設けられた分割予定ライン３の位置及び向きを検出する。

【0034】

該加工領域には、チャックテーブル２０に保持されたフレームユニット１１のウェーハ１を切削（加工）する切削ユニット（加工ユニット）３２が設けられている。切削ユニット３２は、円環状の砥石部を外周に備える切削ブレード３４と、先端部に切削ブレード３４が装着され該切削ブレード３４の回転軸となるＹ軸方向に沿ったスピンドル３６と、を備える。回転するスピンドル３６の軸受けでは、高圧エアーが利用される。

【0035】

スピンドル３６の基端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。チャックテーブル２０で保持されたフレームユニット１１に含まれるウェーハ１に回転する切削ブレード３４を切り込ませると、ウェーハ１を切削（加工）できる。すべての分割予定ラインに沿ってウェーハ１を切削すると、ウェーハ１が分割されて個々のデバイスチップが形成される。その後、チャックテーブル２０は、Ｘ軸移動機構により搬出入領域に移動される。

【0036】

本体４の上面の仮置きテーブル１０及び開口４ａに隣接する位置には開口４ｂが形成されており、開口４ｂには加工後のフレームユニット１１を洗浄する洗浄ユニット３８が収容されている。洗浄ユニット３８は、フレームユニット１１を保持するスピンナテーブルを備えている。スピンナテーブルの下部には、スピンナテーブルを所定の速さで回転させる回転駆動源（不図示）が連結されている。

【0037】

装置２は、搬出入領域に位置付けられたチャックテーブル２０から洗浄ユニット３８にフレームユニット１１を搬送する第２の搬送ユニット４０を備える。第２の搬送ユニット４０は、Ｙ軸方向に沿って移動可能な腕部と、腕部の先端下方に設けられた保持部と、を有する。

【0038】

第２の搬送ユニット４０でチャックテーブル２０から洗浄ユニット３８へフレームユニット１１を搬送する際には、まず、フレームユニット１１を該保持部で保持する。そして、腕部をＹ軸方向に沿って移動させ、フレームユニット１１を洗浄ユニット３８のスピンナテーブルの上に載せる。その後、スピンナテーブルでフレームユニット１１を保持してウェーハ１を洗浄する。

【0039】

洗浄ユニット３８でウェーハ１を洗浄する際には、スピンナテーブルを回転させながらウェーハ１の表面に向けて洗浄用の流体（代表的には、水と高圧エアーとを混合した混合流体）を噴射する。その後、高圧エアーがウェーハ１の表面に供給されて、ウェーハ１が乾燥される。そして、洗浄ユニット３８で洗浄されたフレームユニット１１は、カセットテーブル６に載るカセット１３に収容される。

【0040】

カセット１３にフレームユニット１１を収容する際には、第１の搬送ユニット１４を使用して洗浄ユニット３８から仮置きテーブル１０にフレームユニット１１を搬送する。そして、搬出ユニット１２をカセット１３に向けて移動させてフレームユニット１１をカセット１３に押し入れる。

【0041】

このように、装置２では、カセット１３からフレームユニット１１が搬出され、フレームユニット１１がチャックテーブル２０で吸引保持され、フレームユニット１１に含まれるウェーハ１が切削ユニット３２で加工される。その後、フレームユニット１１が洗浄ユニット３８で洗浄されてカセット１３に再び収容される。装置２では、カセット１３から次々にフレームユニット１１が搬出され、チャックテーブル２０上において切削ユニット３２で次々にウェーハ１が切削される。

【0042】

なお、装置２は、該装置２の各構成要素を制御する制御ユニット６０を備える。制御ユニットは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置、及び、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御ユニット６０は、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

【0043】

上述のように、装置２では様々な箇所において様々な用途で高圧エアーが利用される。図２（Ａ）は、高圧エアー供給源４２と、装置２と、接続関係を模式的に示す構成図である。高圧エアーは、例えば、高圧エアー供給源４２として機能するコンプレッサーで空気を圧縮することで生成される。そして、高圧エアーは、ウレタンや塩化ビニル等で形成された耐圧チューブ等のエアー配管４４を通して装置２に供給される。

【0044】

この際、エアーコンプレッサーの内部で使用される潤滑油等の油が高圧エアーに混入することがある。装置２に供給される高圧エアーに油が混入していると、装置２で加工されるウェーハ１に油が付着してウェーハ１から製造されるデバイスチップに電気特性不良が生じる場合がある。

【0045】

また、撮像ユニット３０に油が付着して、該撮像ユニット３０がウェーハ１の分割予定ラインを適切に検出できない状態となる場合がある。さらに、駆動機構に油が付着して動作不良を引き起こしたりする。そこで、高圧エアーが通過するエアー配管４４の内部にフィルター４６を設け、高圧エアー供給源４２内を通過する高圧エアーに含まれる油をフィルター４６で除去するとの対策がとられる。

【0046】

しかしながら、装置２を長期間稼働しているうちにフィルター４６の油による汚染が進行し、該フィルター４６から油が放出される場合がある。また、高圧エアー供給源４２からエアー配管４４に供給された高圧エアーに混入した油をフィルター４６で十分に除去できなくなる。そこで、本実施形態に係る装置２では、供給される高圧エアーを監視し、該高圧エアーに油が混入したことを検出可能とした。

【0047】

フィルター４６の汚染が進行し、フィルター４６通過後の高圧エアーに油が混入する際、油に由来する有機ガスも該高圧エアーに含まれるようになる。そこで、本実施形態に係る装置２では、フィルター４６通過後の高圧エアーを監視し、該高圧エアーに含まれる有機ガスを検出することで該高圧エアーに油が混入していることを検出して報知する。

【0048】

本実施形態に係る装置２は、図２（Ａ）に示す通り、フィルター４６通過後の高圧エアーに含まれる有機ガスを検知するガス検知器４８を備える。ガス検知器４８は、エアー配管４４の内部の壁面に設置される。ガス検知器４８は、エアー配管４４を通過する高圧エアーを監視し、高圧エアーに含まれる各種の成分に関する情報を次に説明する報知ユニット５０に出力する機能を備える。例えば、ガス検知器４８には、センシリオン株式会社製のガスセンサ“ＳＧＰ３０”を使用できる。

【0049】

さらに、本実施形態に係る装置２は、ガス検知器４８が高圧エアーに含まれる有機ガスを検知した際に該高圧エアーに油が混入していることを報知する報知ユニット５０を備える。報知ユニット５０は、例えば、装置２の制御ユニット６０の機能により実現される。ここで、報知ユニット５０は、該高圧エアーに油が混入していることを報知することに代えて該高圧エアーに有機ガスが含まれていることを報知してもよい。

【0050】

図１に示す通り、装置２は、各種の情報を表示できる表示モニタ５２を備えてもよい。また、装置２の状態に応じて所定の色のランプを点灯させる警報ランプ５４を備えてもよい。または、警報音を発することのできるスピーカー（不図示）を備えてもよい。

【0051】

報知ユニット５０は、装置２に高圧エアー供給源４２から装置２に供給される高圧エアーに有機ガスが含まれることをガス検知器４８が検知した場合、例えば、表示モニタ５２に警告情報を表示させる。または、異常状態を示す赤色の警報ランプ５４を点灯させる。または、該スピーカーに警報音を発生させる。こうして、報知ユニット５０は、装置２の使用者等に高圧エアーに有機ガスが含まれており、油が混入したことを報知する。

【0052】

装置２は、エアー配管４４の内部に高圧エアーの流れを停止させる遮断弁５６をさらに備えてもよい。例えば、遮断弁５６は、報知ユニット５０に電気的に接続された電磁弁であり、報知ユニット５０からの指令を受けて開閉可能である。そして、報知ユニット５０は、装置２に高圧エアー供給源４２から装置２に供給される高圧エアーに有機ガスが含まれることをガス検知器４８が検知した場合、遮断弁５６を作動させて高圧エアーの流れを遮断し、装置２の内部に油が侵入するのを防止する。

【0053】

また、制御ユニット６０により実現される報知ユニット５０は、高圧エアーに混入した有機ガスが検出された場合、装置２の各所に問題を進行させないように、装置２の稼働を可能な限り早く停止させる。そして、作業者は、高圧エアー供給源４２を点検し、または、フィルター４６を交換する等の措置を実施し、装置２を再稼働させる。

【0054】

なお、高圧エアーの供給が停止している間に装置２の稼働を停止させると、装置２で実施される加工が止まり、被加工物の加工効率が低下することとなる。そこで、高圧エアーの供給が停止している間に、別の供給源から高圧エアーを装置２に供給し、装置２の稼働を継続してもよい。

【0055】

図２（Ｂ）は、高圧エアーが２つの系統から供給される本実施形態に係る装置２ａの構成を模式的に示す構成図である。図２（Ｂ）に示す装置２ａは、第１の高圧エアー供給源４２ａから高圧エアーが供給される第１のエアー配管４４ａと、第２の高圧エアー供給源４２ｂから高圧エアーが供給される第２のエアー配管４４ｂと、を備える。

【0056】

第１のエアー配管４４ａには、第１の高圧エアー供給源４２ａから供給された高圧エアーに含まれる油を除去する第１のフィルター４６ａと、該第１のフィルター４６ａの通過後の高圧エアーに含まれる有機ガスを検知する第１のガス検知器４８ａと、が配設される。第１のガス検知器４８ａは、報知ユニット５０に電気的に接続されている。

【0057】

また、第２のエアー配管４４ｂには、第２の高圧エアー供給源４２ｂから供給された高圧エアーに含まれる油を除去する第２のフィルター４６ｂと、該第２のフィルター４６ｂの通過後の高圧エアーに含まれる有機ガスを検知する第２のガス検知器４８ｂと、が配設される。第２のガス検知器４８ｂは、報知ユニット５０に電気的に接続されている。

【0058】

そして、第１のエアー配管４４ａの下流側及び第２のエアー配管４４ｂの下流側には、三方弁５８が接続される。三方弁５８は、装置２ａの本体４の内部に向かう内部配管４４ｃに接続されており、第１のエアー配管４４ａと第２のエアー配管４４ｂの一方と、該内部配管４４ｃと、を切り替え可能に接続する。

【0059】

例えば、三方弁５８で第１のエアー配管４４ａ及び内部配管４４ｃを接続し、第１の高圧エアー供給源４２ａから供給される高圧エアーを装置２ａに供給する。このとき、第１のガス検知器４８ａで高圧エアーを監視する。そして、該高圧エアーに含まれる有機ガスが第１のガス検知器４８ａにより検出された場合、報知ユニット５０は、高圧エアーへの油の混入を作業者に報知するとともに、三方弁５８を切り替える。すなわち、第２の高圧エアー供給源４２ｂから供給される高圧エアーが装置２ａに供給される。

【0060】

この場合、第１のフィルター４６ａを交換する作業や第１の高圧エアー供給源４２ａを点検する作業等を実施する間にも、装置２ａには高圧エアーが供給され続ける。そのため、第１の高圧エアー供給源４２ａ等を復旧する作業を実施する間、装置２ａにおける加工を停止させる必要がない。

【0061】

その後、第２のガス検知器４８ｂで第２のエアー配管４４ｂを流れる高圧エアーを監視し、該高圧エアーに含まれる有機ガスが第２のガス検知器４８ｂで検出された場合、再び三方弁５８を切り替える。すなわち、第１の高圧エアー供給源４２ａから供給される高圧エアーを装置２ａに供給する。

【0062】

このように、一方の高圧エアーの供給系統に問題が生じた場合でも、該一方の高圧エアーの供給系統を復旧させる間に他方の高圧エアーの供給系統で装置２ａに高圧エアーを供給し続けられる。なお、高圧エアーの供給系統の数は２を超えてもよく、３以上の高圧エアーの供給系統が準備されてもよい。

【0063】

以上に説明するとおり、本実施形態に係る装置は、供給される高圧エアーを監視して該高圧エアーに含まれる有機ガスを検出できる。そのため、高圧エアー供給源４２，４２ａ，４２ｂで使用される潤滑油等の油が該高圧エアーに混入した場合においても、作業者等は該油に起因する問題が拡大する前に該問題に対処可能となる。

【0064】

なお、上記実施形態では、高圧エアーに混入した油を除去するフィルター４６よりも下流側においてエアー配管４４にガス検知器４８が設けられる場合について説明したが、本発明の一態様に係る装置２はこれに限定されない。すなわち、装置２では、ガス検知器４８に加え、エアー配管４４の内部のフィルター４６よりも上流側に補助ガス検知器が設けられてもよい。この場合、フィルター４６の前後で高圧エアーを監視でき、油の発生源を特定しやすくなる。

【0065】

例えば、ガス検知器４８で高圧エアーに含まれる有機ガスが検出される一方で、補助ガス検知器で該有機ガスが検出されない場合、フィルター４６の汚染が進行し該フィルター４６通過後の高圧エアーに油が混入していることを確認できる。また、補助ガス検知器で有機ガスが検出される場合、高圧エアー供給源４２に何らかの不具合が生じていることが理解される。

【0066】

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0067】

１ ウェーハ
３ 分割予定ライン
９ ダイシングテープ
７ フレーム
１１ フレームユニット
１３ カセット
２，２ａ 装置
４ 本体
４ａ，４ｂ 開口
６ カセットテーブル
８ ガイドレール
１０ 仮置きテーブル
１２ 搬出ユニット
１４，４０ 搬送ユニット
１６ 移動テーブル
１８ テーブルベース
２０ チャックテーブル
２２ 保持面
２４ クランプ
２６ 防塵防滴カバー
２８ 支持構造
３０ 撮像ユニット
３２ 切削ユニット
３４ 切削ブレード
３６ スピンドル
３８ 洗浄ユニット
４２，４２ａ，４２ｂ 高圧エアー供給源
４４，４４ａ，４４ｂ エアー配管
４４ｃ 内部配管
４６，４６ａ，４６ｂ フィルター
４８，４８ａ，４８ｂ ガス検知器
５０ 報知ユニット
５２ 表示モニタ
５４ 警報ランプ
５６ 遮断弁
５８ 三方弁
６０ 制御ユニット

【図1】

【図2】