特許 7599791 測定器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-06

(45)【発行日】2024-12-16

(54)【発明の名称】測定器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20241209BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20241209BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 M

H01L21/68 N

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021048444

(22)【出願日】2021-03-23

(65)【公開番号】P2022147271

(43)【公開日】2022-10-06

【審査請求日】2024-02-19

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】陳 曄

(72)【発明者】

【氏名】川瀬 雅之

(72)【発明者】

【氏名】藤澤 晋一

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－８７１８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－９２９９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００９／０５０７８６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－１７４７８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－１４５８７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１４７１９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１５－００４９９１３（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

中央に開口部を有するリングフレームに貼り付けられたシートの貼り付き強度を測定する測定器であって、
該リングフレームを支持できる環状の支持面を備える支持テーブルと、
該支持テーブルに載る該リングフレームに貼り付けられた該シートを該開口部の内側で上方から押圧する圧子と、
該圧子を該支持テーブルに対して昇降させる昇降ユニットと、
該圧子に掛かる荷重を測定する荷重測定部と、
該昇降ユニット及び該荷重測定部を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該荷重測定部により該圧子に掛かる荷重を測定しつつ該昇降ユニットを制御して該圧子を該シートに向けて下降させ該圧子に該シートを押圧させる測定制御部と、
該荷重測定部の測定結果を記憶する記憶部と、を有することを特徴とする測定器。

【請求項2】

該測定制御部は、該圧子に該シートを押圧させている間、該圧子に掛かる荷重の低下が観測されたときに該シートの該リングフレームからの剥離が生じたことを検出し、
該記憶部は、該圧子に掛かる荷重の低下が観測される直前の該圧子に掛かる荷重の測定値である最大荷重値を該測定結果として記憶することを特徴とする請求項１に記載の測定器。

【請求項3】

該測定制御部は、
該荷重測定部により測定される該圧子に掛かる荷重の測定値が所定の値に達するまでの間に該圧子に掛かる荷重の低下が観測された場合に該シートの該リングフレームへの貼り付き強度が不十分であると判定し、
該荷重測定部により測定される該圧子に掛かる荷重の測定値が所定の値に達するまでの間に該圧子に掛かる荷重の低下が観測されない場合に該シートの該リングフレームへの貼り付き強度が十分であると判定し、
該記憶部は、該測定結果として該測定制御部の判定結果を記憶することを特徴とする請求項１に記載の測定器。

【請求項4】

該支持テーブルの中心を貫き該支持面に垂直な方向に沿った回転軸の周りに該支持テーブルを回転させる回転ユニットをさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の測定器。

【請求項5】

該支持テーブルに支持された該リングフレームの該開口部の内側において該シートに基板が貼り付けられている場合に該圧子が該基板を介して該シートを上方から押圧可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の測定器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リングフレームに貼り付けられたシートの該リングフレームへの貼り付き強度を測定する測定器に関する。

【背景技術】

【0002】

電子機器に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が円環状の切削ブレードを備える切削装置で切削されて、または、被加工物にレーザビームが照射されて、個片化される。切削装置やレーザ加工装置で加工される被加工物の裏面側には、予めダイシングテープと呼ばれる部材が貼られる。

【0003】

ダイシングテープは、樹脂等で形成された基材層と、該基材層の一方の面に設けられた粘着層と、を有するシートである。被加工物を分割し、シートを四方から外向きに拡張すると、形成された各チップ間の距離が開き、チップのピックアップが容易となる。ここで、形成されるチップの縦横のサイズが異なる被加工物では、形成されたチップの間隔を縦横方向で同程度に開くために、拡張方向によってシートの拡張量を変える必要がある。

【0004】

そこで、シートの四辺を挟持し、縦方向と横方向とで異なる拡張量でシートを拡張できる拡張装置が提案されている（特許文献１参照）。金属で形成され中央に開口部を有するリングフレームを予め準備しておき、この拡張装置でシートを拡張した状態で各チップを該開口部に収めつつ該リングフレームを該シートに貼り付け、リングフレームの外周に沿ってシートを切断してフレームユニットを形成する。このフレームユニットでは、各チップ間の間隔が保たれるため、ピックアップ装置でのチップのピックアップが容易となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第５９８０６００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、シートが拡張されると基材層とともに粘着層が薄くなるため、シートの粘着力が低くなる。そのため、時間の経過とともに徐々にシートのリングフレームへの接着力が低下したときに、最終的にシートがリングフレームから剥離してしまうとの問題が生じる。そこで、リングフレームに貼り付けられたときに所定の貼り付き強度を維持できるシートを選定する必要があり、所定の貼り付き強度を維持できるシートの拡張条件及び貼着条件の選定が必要となる。

【0007】

そして、シートの種別や拡張条件等に基づくシートのリングフレームへの貼り付き強度を評価するために、この貼り付き強度を測定できる測定器が望まれる。特に、方向によりシートの拡張量が変わる場合、接着層の厚みが場所により変化する等してリングフレームへの貼り付き強度が場所により変化することが考えられる。そのため、リングフレームへ貼り付けられたシートの貼り付き強度を各所で評価したいとの需要がある。

【0008】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、リングフレームへ貼り付けられたシートの貼り付き強度を測定できる測定器を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様によれば、中央に開口部を有するリングフレームに貼り付けられたシートの貼り付き強度を測定する測定器であって、該リングフレームを支持できる環状の支持面を備える支持テーブルと、該支持テーブルに載る該リングフレームに貼り付けられた該シートを該開口部の内側で上方から押圧する圧子と、該圧子を該支持テーブルに対して昇降させる昇降ユニットと、該圧子に掛かる荷重を測定する荷重測定部と、該昇降ユニット及び該荷重測定部を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該荷重測定部により該圧子に掛かる荷重を測定しつつ該昇降ユニットを制御して該圧子を該シートに向けて下降させ該圧子に該シートを押圧させる測定制御部と、該荷重測定部の測定結果を記憶する記憶部と、を有することを特徴とする測定器が提供される。

【0010】

好ましくは、該測定制御部は、該圧子に該シートを押圧させている間、該圧子に掛かる荷重の低下が観測されたときに該シートの該リングフレームからの剥離が生じたことを検出し、該記憶部は、該圧子に掛かる荷重の低下が観測される直前の該圧子に掛かる荷重の測定値である最大荷重値を該測定結果として記憶する。

【0011】

または、好ましくは、該測定制御部は、該荷重測定部により測定される該圧子に掛かる荷重の測定値が所定の値に達するまでの間に該圧子に掛かる荷重の低下が観測された場合に該シートの該リングフレームへの貼り付き強度が不十分であると判定し、該荷重測定部により測定される該圧子に掛かる荷重の測定値が所定の値に達するまでの間に該圧子に掛かる荷重の低下が観測されない場合に該シートの該リングフレームへの貼り付き強度が十分であると判定し、該記憶部は、該測定結果として該測定制御部の判定結果を記憶する。

【0012】

また、好ましくは、該支持テーブルの中心を貫き該支持面に垂直な方向に沿った回転軸の周りに該支持テーブルを回転させる回転ユニットをさらに備える。

【0013】

さらに、好ましくは、該支持テーブルに支持された該リングフレームの該開口部の内側において該シートに基板が貼り付けられている場合に該圧子が該基板を介して該シートを上方から押圧可能である。

【発明の効果】

【0014】

本発明の一態様にかかる測定器は、シートが貼り付けられたリングフレームを支持できる環状の支持面を備える支持テーブルと、シートを上方から押圧する圧子と、圧子を昇降させる昇降ユニットと、圧子に掛かる荷重を測定する荷重測定部と、を備える。そして、圧子で上方からシートを押圧しつつ該荷重を測定し、測定結果を制御ユニットの記憶部で記憶する。この記憶部に記憶される該測定結果を用いると、リングフレームに貼り付けられたシートの貼り付き強度を評価できる。

【0015】

例えば、シートの貼り付き強度として必要とされる強さに相当する荷重がシートに印加されるように圧子で該シートを押圧し、この時の荷重測定部の測定値によりシートの剥離の有無を判定する。または、圧子に掛かる荷重を荷重測定部で測定しつつ該圧子でシートを押圧して徐々に荷重を増大させ、該圧子に掛かる荷重の低下が観測されたときに該シートの剥離を検出し、この荷重の低下が観測される直前の測定値を最大荷重値とする。この最大荷重値の大小関係を複数のシート間で比較することにより貼り付き強度を評価する。

【0016】

したがって、本発明の一態様によると、リングフレームへ貼り付けられたシートの貼り付き強度を測定できる測定器が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】測定器を模式的に示す斜視図である。

【図2】リングフレームに貼り付けられたシートが配設された測定器を模式的に示す斜視図である。

【図3】リングフレームへのシートの貼り付き強度を測定する測定器を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る測定器の測定対象物について説明する。図２には、測定器２に配設された測定対象物１の斜視図が含まれており、図３には、測定器２に配設された測定対象物１の断面図がふくまれている。

【0019】

本実施形態に係る測定器の測定対象物１は、金属等の材料で形成されたリングフレーム５と、該リングフレーム５に貼り付けられたシート３と、により構成される。リングフレーム５は中央に開口部５ａを有し、シート３はこの開口部５ａを塞ぐようにリングフレーム５に貼り付けられる。

【0020】

シート３は、ポリオレフィンやポリエステル等の樹脂材料で形成された基材層と、基材層の一方の面に設けられた粘着層と、を備える。シート３は、例えば、デバイスチップの原料となる半導体ウェーハに貼り付けられて使用される。半導体ウェーハを分割し、分割された半導体ウェーハが貼り付けられたシート３を四方から外向きに拡張すると、形成された各チップ間の距離が開き、チップのピックアップが容易となる。

【0021】

リングフレーム５を準備し、シート３を拡張した状態で各チップを開口部５ａに収めつつ該リングフレーム５を該シート３に貼り付け、リングフレーム５の外周に沿ってシート３を切断してフレームユニットを形成する。このフレームユニットでは、各チップ間の間隔が保たれるため、ピックアップ装置でのチップのピックアップが容易となる。

【0022】

ただし、シート３が拡張されると基材層とともに粘着層が薄くなるため、シート３の粘着力が低くなる。そのため、時間の経過とともに徐々にシート３のリングフレーム５への接着力も低下したときに、最終的にシート３がリングフレーム５から剥離してしまうとの問題が生じる。

【0023】

そこで、リングフレーム５に貼り付けられたときに所定の貼り付き強度を維持できるシート３を選定する必要があり、所定の貼り付き強度を維持できるシート３の拡張条件及び貼着条件の選定が必要となる。本実施形態に係る測定器は、シート３の種別や拡張条件等に基づくシート３のリングフレーム５への貼り付き強度を評価するために、この貼り付き強度を測定する。

【0024】

次に、中央に開口部５ａを有するリングフレーム５に貼り付けられたシート３の貼り付き強度を測定する本実施形態に係る測定器について説明する。図１は、本実施形態に係る測定器２を模式的に示す斜視図である。図２は、測定対象物１が配設された測定器２を模式的に示す斜視図であり、図３は、シート３のリングフレーム５への貼り付き強度を測定する際の測定器２を模式的に示す断面図である。

【0025】

測定器２は、構成要素を収容する矩形状の外装カバー４を有する。外装カバー４の上面４ａの中央部には円形の開口４ｂが形成されており、開口４ｂではリングフレーム５を支持できる環状の支持面６ａを備える支持テーブル６が上方に露出している。支持テーブル６の上面の支持面６ａの内側には、円形凹部８が形成されている。

【0026】

支持テーブル６は、交換可能であることが好ましい。そして、測定器２には、測定対象物１に含まれる可能性のある各種のリングフレーム５にそれぞれ対応できる複数の種類の支持テーブル６が準備されるとよい。すなわち、測定器２では、測定対象物１に含まれるリングフレーム５を適切に支持できる支持テーブル６が測定器２に予め配設され、使用されることが好ましい。

【0027】

測定器２では、支持面６ａの内径が測定対象物１のリングフレーム５の開口部５ａの径と概略一致し、支持面６ａの外径が該リングフレーム５の外径よりも大きい支持テーブル６が使用される。

【0028】

また、支持面６ａには、複数の位置決めピン６ｂが立設される。位置決めピン６ｂは、支持面６ａに載置される測定対象物１のリングフレーム５の外側に側面が当たり、リングフレーム５の位置及び向きを決める。すなわち、リングフレーム５が測定に適した位置及び向きに合わせられるように位置決めピン６ｂの配置が決定される。

【0029】

特に、リングフレーム５の外周部に特定の形状の切り欠きが設けられている場合、この切り欠きの位置に合うように位置決めピン６ｂが配置されるとよい。この場合、位置決めピン６ｂによりリングフレーム５が高精度に所定の位置及び向きに合わせられる。後述のように、リングフレーム５に対するシート３の貼り付き強度が測定対象物１の複数の箇所で測定される場合、高精度な測定のためにリングフレーム５の位置合わせが重要となる。

【0030】

支持テーブル６は、該支持テーブル６の中心を貫く回転軸の周りに回転可能である。図３には、支持テーブル６を回転させる回転ユニットとして機能するモーター２６と、スピンドル２８と、が示されている。後述の通り、回転ユニットを作動させると、測定対象物１におけるシート３の貼り付き強度の測定位置を変更できる。

【0031】

スピンドル２８の上端は支持テーブル６の下面中央に固定されており、スピンドル２８の下端はモーター２６に収容されている。モーター２６は、スピンドル２８を回転させることで支持面６ａに垂直な方向に沿って支持テーブル６の中心を貫く回転軸３０の周りに該支持テーブル６を回転させる。

【0032】

支持テーブル６の上方には、支持面６ａに載せられた測定対象物１におけるリングフレーム５に対するシート３の貼り付き強度を測定する測定ユニットが配設される。該測定ユニットは、シート３を上方から押圧する圧子１８と、圧子１８を昇降させる昇降ユニット１２と、圧子１８に掛かる荷重を測定する荷重測定部（センサー）１６と、を含む。以下、シート３の貼り付き強度を測定する測定ユニットの構成について詳述する。

【0033】

外装カバー４の上面４ａの後端部には、昇降ユニット１２を収容した立設部１０が設けられる。昇降ユニット１２は、例えば、ボールねじ式の駆動機構により構成される。すなわち、立設部１０の内部には、概略鉛直方向に沿ったガイドレール（不図示）と、該ガイドレールに沿って移動可能な移動体（不図示）と、該ガイドレールに沿ったボールねじ（（不図示）と、が設けられる。該移動体には、該ボールねじに螺合されるナット部（不図示）が設けられている。

【0034】

該ボールねじの上端部には、該ボールねじを回転させるパルスモータ１２ａが設けられている。パルスモータ１２ａを作動させて該ボールねじを回転させると、該移動体が該ガイドレールに沿って移動する。立設部１０の前面には、該移動体に基端部が接続された腕部１４が通される開口１２ｂが形成されている。開口１２ｂは、昇降ユニット１２により昇降する腕部１４が昇降可能となるように、鉛直方向に長い形状とされる。

【0035】

立設部１０から支持テーブル６の上方に向けて水平方向に伸びた腕部１４の先端部には、測定ユニットの荷重測定部１６が固定されている。荷重測定部１６の下面には、棒状の圧子１８が突き出ている。

【0036】

腕部１４の長さは、圧子１８が支持テーブル６の支持面６ａの上方ではなく円形凹部８の上方に位置付けられるように決定される。特に、リングフレーム５の開口部５ａの内側において、シート３に半導体ウェーハ等の基板が貼り付けられることが想定される領域と、該開口部５ａと、の中間で圧子１８がシート３を押圧できるように腕部１４の長さが決定されることが好ましい。ただし、腕部１４の長さはこれに限定されない。

【0037】

昇降ユニット１２を作動させると、荷重測定部１６及び圧子１８を昇降できる。昇降ユニット１２を作動させて測定対象物１が載せ置かれた支持テーブル６に向けて圧子１８を下降させると、圧子１８の下端がシート３の上面に接触する。圧子１８をさらに下降させると、シート３が下方に押し伸ばされるとともに、シート３から上方に向く反発力を圧子１８が受ける。

【0038】

圧子１８の下端が角張った形状であると、シート３の貼り付き強度を測定する際に圧子１８がシート３を破くおそれがある。これではリングフレーム５に対するシート３の貼り付き強度を適切に測定できない。そこで、圧子１８の下端の形状は角のない形状であることが好ましく、半球状とされることがより好ましい。例えば、圧子１８は、下端が半球形状で、主要部が１．２ｍｍ径の円筒状である。ただし、圧子１８の形状はこれに限定されない。

【0039】

このように、圧子１８は、支持テーブル６に載るリングフレーム５に貼り付けられたシート３を開口部５ａの内側で上方から押圧する。荷重測定部１６は、このとき圧子１８に掛かる荷重（反発力）を測定する。荷重測定部１６は、他の機器等と有線又は無線を介して接続されて使用される電子機器であり、荷重の測定値を接続された機器に送信する機能を有する。

【0040】

測定器２の外装カバー４の前面４ｃには、測定器２のユーザーインターフェース及び表示モニターの機能を兼ねるタッチパネル付きディスプレイ２０が配される。ただし、タッチパネル付きディスプレイ２０は、外装カバー４の他の面に設けられてもよい。タッチパネル付きディスプレイ２０には、測定器２の各種の情報や操作画面が表示される。測定器２の使用者は、タッチパネル付きディスプレイ２０を使用して測定器２を操作できる。なお、測定器２のユーザーインターフェース及び表示モニターは、これに限定されない。

【0041】

測定器２は、さらに、昇降ユニット１２及び荷重測定部１６等の各種の構成要素を制御する制御ユニット２２を備える。制御ユニット２２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。

【0042】

補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されている。このソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御ユニット２２の機能が実現される。なお、補助記憶装置の一部は、制御ユニット２２に特定の動作を実行させるプログラムを記憶した記憶部２２ａとして機能する。そして、記憶部２２ａに記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

【0043】

荷重測定部１６には、制御ユニット２２が接続されている。制御ユニット２２は、記憶部２２ａに記憶されたソフトウェア等に従って測定器２の測定動作を制御する測定制御部２２ｂを備える。測定制御部２２ｂは、リングフレーム５に対するシート３の貼り付き強度を系毎に比較するための指標となる測定結果が得られるように昇降ユニット１２及び荷重測定部１６等を制御する。そして、記憶部２２ａは、測定結果を記憶する。

【0044】

図３を用いて測定器２における測定動作の第１の例について説明する。制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、圧子１８に掛かる荷重を荷重測定部１６で測定しながら昇降ユニット１２を制御して圧子１８をシート３に向けて下降させ該圧子１８に該シート３を押圧させる。圧子１８でシート３が押圧されると、シート３が下方に押し伸ばされて、シート３のリングフレーム５に貼り付いた領域に力が掛かる。なお、支持テーブル６には円形凹部８が形成されているため、シート３は円形凹部８の中で変形し、床面に接しない。

【0045】

シート３の貼り付き強度を超える大きさの力が該領域にかかると、シート３がリングフレーム５から剥離する。シート３がリングフレーム５から剥離すると、圧子１８で押圧されて変形するシート３が圧子１８に掛ける反発力が低下する。そのため、荷重測定部１６で観測される荷重の測定値が急激に減少する。制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、圧子１８にシート３を押圧させている間、該圧子１８に掛かる荷重の低下が観測されたときにシート３のリングフレーム５からの剥離が生じたことを検出する。

【0046】

シート３の剥離が生じる際の圧子１８によるシート３の押圧力の大きさは、シート３のリングフレーム５への貼り付き強度に対応する。そこで、記憶部２２ａは、荷重測定部１６で観測される荷重の低下が観測される直前の該荷重の測定値である最大荷重値を測定結果として記憶する。

【0047】

この最大荷重値は、シート３の貼り付き強度を表す一つの指標となる。例えば、シート３のリングフレーム５への貼り付け条件やシート３の種別、シート３の拡張条件を変更し、同様に測定器２において圧子１８でシート３を押圧し、この最大荷重値を記憶部２２ａに記憶させる。この場合、記憶部２２ａに記憶された各系の最大荷重値を比較することで、シート３の貼り付き強度の大小を判定できる。

【0048】

測定器２における測定動作の第２の例について説明する。制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、圧子１８に掛かる荷重を荷重測定部１６で測定しながら昇降ユニット１２を制御して圧子１８をシート３に向けて下降させ、荷重の測定値が所定の値となるまで該圧子１８に該シート３を押圧させる。この所定の値は、シート３に求められる貼り付き強度に相当する大きさの測定値に設定されるとよい。

【0049】

荷重測定部１６で測定される荷重の測定値が該所定の値に達する前にシート３がリングフレーム５から剥離すると、シート３が圧子１８に掛ける荷重（反発力）が低下する。このとき、荷重測定部１６で観測される荷重の測定値が急激に減少するため、制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、シート３の剥離が生じたことを検出する。制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、シート３のリングフレーム５への貼り付き強度が必要な水準を満たしておらず、不十分であると判定する。

【0050】

その一方で、荷重の測定値が該所定の値に達するまでの間に荷重測定部１６で観測される荷重の測定値に急激な減少が観測されない場合、制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、シート３のリングフレーム５からの剥離が生じていないと判定する。すなわち、制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）は、シート３のリングフレーム５への貼り付き強度が必要な水準を満たしており、十分であると判定する。

【0051】

そして、記憶部２２ａは、荷重測定部の測定結果として、シート３のリングフレーム５からの剥離が生じているか否か、すなわち、貼り付き強度が十分であるか否かについての制御ユニット２２（測定制御部２２ｂ）による判定結果を記憶する。

【0052】

以上に説明する通り、本実施形態に係る測定器２によると、リングフレーム５に貼り付けられたシート３の貼り付き強度を測定し、シート３の種別やリングフレーム５への貼着条件、シート３の拡張条件等の良否を判定できる。測定器２の使用者は、加工され分割された半導体ウェーハが貼り付けられたシート３を拡張してチップ間の間隔を広げ、リングフレーム５に該シート３を貼り付けるに際し、最適な種別のシート３や貼着条件、拡張条件を選択できる。

【0053】

ここで、半導体ウェーハが分割されて形成されるチップの縦横のサイズが異なる場合、形成されたチップの間隔が縦横方向で同程度に開かれるように、拡張方向によってシート３の拡張量が変えられる。方向によりシート３の拡張量が変わる場合、拡張されたシート３の接着層の厚みが場所により変化する等してリングフレーム５への貼り付き強度が場所により変化することが考えられる。そのため、リングフレーム５へ貼り付けられたシート３の貼り付き強度を各所で評価したいとの需要がある。

【0054】

そこで、本実施形態に係る測定器２では、圧子１８で押圧するシート３の押圧箇所を切り替えつつ、シート３の各所でリングフレーム５への貼り付き強度を測定する。次に、圧子１８による押圧箇所を切り替えながらシート３の貼り付き強度を測定する際の測定動作について説明する。

【0055】

なお、シート３における押圧箇所の違いによる貼り付き強度の差を評価する場合、測定器２の支持テーブル６に置かれる測定対象物１の向きが重要となる。そこで、測定対象物１が特定の向きで支持テーブル６に置かれるように、位置決めピン６ｂの配置が決定されるとよい。

【0056】

リングフレーム５の外周縁は一様な円状ではなく、リングフレーム５の外周部には直線形状や切り欠き等が設けられる。そこで、リングフレーム５の外周部の直線形状や切り欠きの配置に対応するように位置決めピン６ｂの配置が決定されるとよい。この場合、図２に示す通り各位置決めピン６ｂに囲まれるように支持テーブル６の支持面６ａにリングフレーム５を載せると、自動的にリングフレーム５の向きが特定の向きに向けられる。

【0057】

測定器２は、シート３の最初の押圧箇所を圧子１８で押圧し、シート３の貼り付き強度を測定する。その後、次の押圧箇所を圧子１８で押圧してシート３の貼り付き強度を測定するために、モーター２６を作動させてスピンドル２８を回転させることで回転軸３０の周りに支持テーブル６を回転させ、該次の押圧箇所を圧子１８の下方に位置付ける。

【0058】

その後、同様に圧子１８でシート３を押圧してシート３の貼り付き強度を測定する。こうして、モーター２６を作動させて押圧箇所を変化しながら圧子１８で次々にシート３を押圧すると、シート３の各所における貼り付き強度を測定できる。

【0059】

なお、シート３の拡張方向は、第１の方向と、該第１の方向に直交する第２の方向と、で個別に設定されうる。そのため、第１の方向及び第２の方向への拡張量の差がシート３の貼り付き強度に与える影響を評価したい場合、少なくともシート３の２カ所でシート３の貼り付き強度が測定されるとよい。より詳細には、シート３の最初の押圧箇所を圧子１８で押圧してシート３の貼り付き強度を測定した後、支持テーブル６を９０°回転させて、次の押圧箇所を圧子１８で押圧してシート３の貼り付き強度を測定する。

【0060】

ここで、シート３の貼り付き強度の評価位置は２カ所に限定されず、圧子１８による押圧箇所は２カ所を超えて設定されてもよい。この場合、より詳細にシート３の各所における貼り付き強度をより詳細に解析できる。ただし、圧子１８で押圧された箇所の周囲ではシート３のリングフレーム５への貼り付き強度が低下するため、一つのシート３における各押圧箇所は互いに所定の距離だけ離間するように選定されることが好ましい。

【0061】

以上に説明する通り、本実施形態に係る測定器２によると、リングフレーム５に貼り付けられたシート３の貼り付き強度をシート３の各所で測定し、方向により異なる拡張量でシート３を拡張する際のシート３の拡張条件の良否を評価できる。

【0062】

なお、上記実施形態では、シート３及びリングフレーム５からなる測定対象物１において、シート３を圧子１８で押圧してシート３のリングフレーム５への貼り付き強度を測定する場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様に係る測定器２はこれに限定されない。すなわち、測定対象物１は、シート３及びリングフレーム５以外の他の要素を含んでいてもよい。

【0063】

例えば、半導体ウェーハを分割して複数のチップを形成し、この複数のチップをシート３に貼着し、シート３を外側に拡張して各チップの間隔を広げ、各チップを開口部５ａに収容するようにリングフレーム５をシート３に貼着する。そして、リングフレーム５の外周縁に沿ってリングフレーム５を切断すると、チップと、シート３と、リングフレーム５と、が一体となったフレームユニットが形成される。

【0064】

複数のチップはフレームユニットの状態でピックアップ装置に搬送され、該ピックアップ装置でピックアップされる。ここで、フレームユニットの搬送時に該フレームユニットに予期せぬ衝撃が加わると、チップが大きく揺れてシート３のリングフレーム５からの剥離が誘発される。

【0065】

そこで、シート３及びリングフレーム５の実使用の態様に近い状態でシート３の貼り付き強度の測定を実施するために、測定対象物１には、チップを模した基板が含まれてもよい。この場合、測定器２では、シート３に貼り付けられた基板を圧子１８で押圧することで、圧子１８が該基板を介してシート３を上方から押圧するとよい。

【0066】

さらに、基板がシート３に貼り付けられていると、実使用時を再現した状態でシート３のリングフレーム５への貼り付け強度を測定できる。そのため、圧子１８がシート３を直接的に押圧する場合においても、より有用な測定結果を得るために、基板がシート３に貼り付けられていることが好ましい。

【0067】

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0068】

１ 測定対象物
３ シート
５ リングフレーム
５ａ 開口部
２ 測定器
４ 外装カバー
４ａ 上面
４ｂ 開口
４ｃ 前面
６ 支持テーブル
６ａ 支持面
６ｂ 位置決めピン
８ 円形凹部
１０ 立設部
１２ 昇降ユニット
１２ａ パルスモータ
１２ｂ 開口
１４ 腕部
１６ 荷重測定部
１８ 圧子
２０ タッチパネル付きディスプレイ
２２ 制御ユニット
２２ａ 記憶部
２２ｂ 測定制御部
２６ モーター
２８ スピンドル
３０ 回転軸

【図1】

【図2】

【図3】