特許7601276円盤状基板の製造方法、及び円盤状基板の製造装置

発明の名称　円盤状基板の製造方法、及び円盤状基板の製造装置

出願人　日立化成株式会社　（識別番号 4455）

　　　　特許公開件数ランキング 85 位（342件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 46 位（461件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7601276

公報発行日　2024年12月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7601276

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7601276「円盤状基板の製造方法、及び円盤状基板の製造装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録