特許 7601622 テープ剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-09

(45)【発行日】2024-12-17

(54)【発明の名称】テープ剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241210BHJP

   B65H 19/20 20060101ALI20241210BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65H19/20

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2020201893

(22)【出願日】2020-12-04

(65)【公開番号】P2022089474

(43)【公開日】2022-06-16

【審査請求日】2023-10-30

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 邦重

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０７７５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２０５０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１２７３２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２７２１２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００４／００６９１１２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ６５Ｈ １９／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上面に保護テープを貼着したウェーハの下面を保持する保持面を有する保持テーブルと、帯状の剥離テープをロール状に巻いたロールテープを回転可能に支持するロール支持部と、該ロールテープの外周から引き出された該剥離テープを把持する把持部と、該把持部が把持する該剥離テープを該保護テープの外周部分に貼着する貼着部と、を備え、該保護テープの外周部分に貼着した該剥離テープを把持する該把持部をウェーハから離間する方向に移動させ該保護テープを剥離するテープ剥離装置であって、
該ロール支持部を少なくとも２つ備え、
各々の該ロール支持部に支持された各々の該ロールテープの残量が少なくなったことを各々検知する少なくとも２つの検知部と、
一方の該ロールテープを支持する一方の該ロール支持部と該把持部との間の一方の該剥離テープに他方の該ロールテープから引き出した他方の該剥離テープの先端側を重ねて貼着してつなぎ合わせる接続部と、該接続部によってつなぎ合わせた部分より一方の該ロール支持部側で一方の該剥離テープを切断するカッターと、装置制御を行う制御部と、をさらに備え、
該接続部は、一方の該ロール支持部が支持する一方の該ロールテープの外周から引き出された一方の該剥離テープを保持する第１保持部と、他方の該ロール支持部が支持する他方の該ロールテープの外周から引き出された他方の該剥離テープを保持する第２保持部と、該第１保持部、又は該第２保持部の少なくとも一方を加熱する加熱手段と、該第１保持部、又は該第２保持部の少なくとも一方を他方に接近、および他方から離反する方向に移動させる移動機構と、を備え、
該制御部は、
一方の該検知部によって一方の該ロールテープの残量が少ないことを検知したら、一方の該剥離テープに他方の該剥離テープを重ねて該接続部によって貼着しつなぎ合わせることと、該つなぎ合わせた部分より一方の該ロール支持部側の一方の該剥離テープを該カッターによって切断することと、を制御し、該把持部が把持する該剥離テープを一方の該剥離テープから他方の該剥離テープに切り替えることを可能にし、
一方の該剥離テープと他方の該剥離テープとをつなぎ合わせた後、つなぎ合わされた剥離テープの該把持部に把持されている先端から該つなぎ合わせた部分までを廃棄して、該つなぎ合わせた部分が該貼着部によって該保護テープの外周部分に貼着されることが無いようにするテープ剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハから保護テープを剥離するテープ剥離装置に関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１に開示されているテープ剥離装置は、剥離テープをウェーハの一方の面の全面を保護するために貼着している保護テープ（ＢＧテープ）の表面の外周部分に貼着させ、剥離テープの端を把持してウェーハから離間する方向に引っ張ることによって、ウェーハから保護テープを剥離している。

【0003】

このような剥離テープは、例えば、熱によって粘着力を発現して保護テープに貼着可能なヒートシールである。ヒートシールは帯状で、ロール状に巻かれたロールテープの外周から引き出して、保護テープに押し付け熱を付与することによって貼着し、その貼着した箇所よりもロールテープ側で切断されて短くされて使用されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－２２０５０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のようなテープ剥離装置においては、ロールテープが無くなると、作業者がロールテープの補充作業を行っており、作業者の負担が増えるとともに、テープ剥離装置を停止させる時間が長くなるという問題がある。
したがって、テープ剥離装置においては、ロールテープの補充作業における作業者の負担を減らし、かつ、テープ剥離装置のロールテープ補充による停止時間を無くすようにするという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する本発明は、上面に保護テープを貼着したウェーハの下面を保持する保持面を有する保持テーブルと、帯状の剥離テープをロール状に巻いたロールテープを回転可能に支持するロール支持部と、該ロールテープの外周から引き出された該剥離テープを把持する把持部と、該把持部が把持する該剥離テープを該保護テープの外周部分に貼着する貼着部と、を備え、該保護テープの外周部分に貼着した該剥離テープを把持する該把持部をウェーハから離間する方向に移動させ該保護テープを剥離するテープ剥離装置であって、該ロール支持部を少なくとも２つ備え、各々の該ロール支持部に支持された各々の該ロールテープの残量が少なくなったことを各々検知する少なくとも２つの検知部と、一方の該ロールテープを支持する一方の該ロール支持部と該把持部との間の一方の該剥離テープに他方の該ロールテープから引き出した他方の該剥離テープの先端側を重ねて貼着してつなぎ合わせる接続部と、該接続部によってつなぎ合わせた部分より一方の該ロール支持部側で一方の該剥離テープを切断するカッターと、装置制御を行う制御部と、をさらに備え、該接続部は、一方の該ロール支持部が支持する一方の該ロールテープの外周から引き出された一方の該剥離テープを保持する第１保持部と、他方の該ロール支持部が支持する他方の該ロールテープの外周から引き出された他方の該剥離テープを保持する第２保持部と、該第１保持部、又は該第２保持部の少なくとも一方を加熱する加熱手段と、該第１保持部、又は該第２保持部の少なくとも一方を他方に接近、および他方から離反する方向に移動させる移動機構と、を備え、該制御部は、一方の該検知部によって一方の該ロールテープの残量が少ないことを検知したら、一方の該剥離テープに他方の該剥離テープを重ねて該接続部によって貼着しつなぎ合わせることと、つなぎ合わせた部分より一方の該ロール支持部側の一方の該剥離テープを該カッターによって切断することと、を制御し、該把持部が把持する該剥離テープを一方の該剥離テープから他方の該剥離テープに切り替えることを可能にし、一方の該剥離テープと他方の該剥離テープとをつなぎ合わせた後、つなぎ合わされた剥離テープの該把持部に把持されている先端から該つなぎ合わせた部分までを廃棄して、該つなぎ合わせた部分が該貼着部によって該保護テープの外周部分に貼着されることが無いようにするテープ剥離装置である。

【発明の効果】

【0009】

本発明に係るテープ剥離装置は、上面に保護テープを貼着したウェーハの下面を保持する保持面を有する保持テーブルと、帯状の剥離テープをロール状に巻いたロールテープを回転可能に支持するロール支持部と、ロールテープの外周から引き出された剥離テープを把持する把持部と、把持部が把持する剥離テープを保護テープの外周部分に貼着する貼着部と、を備え、該ロール支持部を少なくとも２つ備え、各々のロール支持部に支持された各々のロールテープの残量が少なくなったことを各々検知する少なくとも２つの検知部と、一方のロールテープを支持する一方のロール支持部と把持部との間の一方の剥離テープに他方のロールテープから引き出した他方の剥離テープの先端側を重ねて貼着してつなぎ合わせる接続部と、接続部によってつなぎ合わせた部分より一方のロール支持部側で一方の剥離テープを切断するカッターと、装置制御を行う制御部と、をさらに備えることで、制御部によって、一方の検知部によって一方のロールテープの残量が少ないことを検知したら、一方の剥離テープに他方の剥離テープを接続部によってつなぎ合わせることと、該つなぎ合わせた部分より一方のロール支持部側の一方の剥離テープをカッターによって切断することと、を制御し、把持部が把持する剥離テープを一方の剥離テープから新しく使用する他方の剥離テープに切り替えて、貼着部と把持部とによって他方の剥離テープを保護テープに貼着可能にする。即ち、本発明に係るテープ剥離装置は、作業者による剥離テープの補充作業を待つことなく、剥離テープを用いてウェーハから保護テープを剥離するという動作を継続的に実施することが可能となる。

【0010】

本発明に係るテープ剥離装置は、接続部は、一方のロール支持部が支持する一方のロールテープの外周から引き出された一方の剥離テープを保持する第１保持部と、他方のロール支持部が支持する他方のロールテープの外周から引き出された他方の剥離テープを保持する第２保持部と、該第１保持部、又は該第２保持部の少なくとも一方を加熱する加熱手段と、該第１保持部、又は該第２保持部の少なくとも一方を他方に接近、および他方から離反する方向に移動させる移動機構と、を備えることで、一方の剥離テープと他方の剥離テープとを剥がれないように適切につなぎ合わせることが可能となる。

【0011】

本発明に係るテープ剥離装置は、一方の剥離テープと他方の剥離テープとをつなぎ合わせた後、つなぎ合わされた剥離テープの把持部に把持されている先端からつなぎ合わせた部分までを廃棄して、つなぎ合わせた部分が貼着部によって保護テープの外周部分に貼着されることが無いようにすることで、つなぎ合わせた部分が保護テープに貼着されて厚みが増すことによって保護テープの剥離が失敗してしまうという事態を発生させないようにすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】テープ剥離装置の一例を示す斜視図である。

【図2】テープ剥離装置の一例を示す側面図である。

【図3】第１検知部が第１ロールテープの残量が少なくなったことを検知する状態を説明する側面図である。

【図4】接続部によって第２剥離テープの先端側に第１剥離テープを重ねて貼着してつなぎ合わせている状態を説明する側面図である。

【図5】接続部によってつなぎ合わせた部分を吸引保持する第１保持部を上昇させて、つなぎ合わせた部分に冷却のためのエアを吹き付けられるようにする状態を説明する側面図である。

【図6】接続部によってつなぎ合わせた部分よりも一方の第１ロール支持部側の一方の第１剥離テープを第１カッターによって切断している状態を説明する側面図である。

【図7】一方の第１剥離テープと他方の第２剥離テープとをつなぎ合わせて、把持部と貼着部とによって切り替え後の第２剥離テープを保護テープに貼着することが可能となった状態を説明する側面図である。

【図8】第２検知部が第２ロールテープの残量が少なくなったことを検知する状態を説明する側面図である。

【図9】接続部によって第１剥離テープの先端側に第２剥離テープを重ねて貼着してつなぎ合わせている状態を説明する側面図である。

【図10】接続部によってつなぎ合わせた部分を吸引保持する第１保持部を上昇させて、つなぎ合わせた部分に冷却のためのエアを吹き付けられるようにする状態を説明する側面図である。

【図11】接続部によってつなぎ合わせた部分よりも一方の第２ロール支持部側の一方の第２剥離テープを第２カッターによって切断している状態を説明する側面図である。

【図12】一方の第２剥離テープと他方の第１剥離テープとをつなぎ合わせて、把持部と貼着部とによって切り替え後の第１剥離テープを保護テープに貼着することが可能となった状態を説明する側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

図１に示すウェーハ９０は、例えば、シリコンを母材とする外形が円形の半導体ウェーハであり、その上面９００は、直交差する複数の分割予定ラインで格子状に区画されており、格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイスがそれぞれ形成されている。
ウェーハ９０の上面９００全面を覆うように貼着されている保護テープ９１は、本実施形態においては、例えば、樹脂（例えば、ポリオレフィン系樹脂等）からなる基材層と基材層下の粘着層（糊層）とを備えている。
なお、ウェーハ９０はシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、保護テープ９１も上記例に限定されるものではない。

【0014】

例えば、図１、２に示すように、ウェーハ９０は上面９００の反対面である下面９０１にウェーハ９０よりも大径の支持テープ９３が貼着されていてもよい。そして、支持テープ９３の糊層の外周部がリングフレーム９４にも貼着されていることで、ウェーハ９０は、支持テープ９３を介してリングフレーム９４に支持され、リングフレーム９４によるハンドリングが可能なワークセットとなっていてもよい。

【0015】

図１、図２に示す本発明に係るテープ剥離装置１は、帯状の第１剥離テープ８３、又は帯状の第２剥離テープ８４を用いて、ウェーハ９０の図１における上面９００に貼着されている保護テープ９１を剥離するテープ剥離装置の一例であり、上面９００に保護テープ９１を貼着したウェーハ９０の下面９０１側を保持する保持面３０２を有する保持テーブル３０と、帯状の第１剥離テープ８３をロール状に巻いた第１ロールテープ８５を回転可能に支持する第１ロール支持部１１３、及び帯状の第２剥離テープ８４をロール状に巻いた第２ロールテープ８６を回転可能に支持する第２ロール支持部１１４と、第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）の外周から引き出された第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を把持する把持部６０と、把持部６０が把持する第１剥離テープ８３、又は第２剥離テープ８４を保護テープ９１の外周部分に貼着する貼着部６６と、を備えている。

【0016】

第１剥離テープ８３は、例えば、熱を加えつつ保護テープ９１の外周部分に接着される接着剤層と基材とからなる２層構造のヒートシールである。基材の材質は、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂からなる。ホットメルトと呼ばれ加熱されることで粘着力を発現する接着剤層は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成されている。第１剥離テープ８３の保護テープ９１に対する粘着力は、保護テープ９１のウェーハ９０に対する粘着力よりも強く設定されている。該第１剥離テープ８３は、内側（引き出された状態における下面側）に接着剤層が位置する状態で、円筒８５５に巻回されて第１ロールテープ８５となっている。

【0017】

なお、第１剥離テープ８３は、ヒートシールに限定されない。また、第１剥離テープ８３は、例えば、一層のポリオレフィン系の樹脂テープであり、ウェーハ９０を貼着させる糊層を別途備えないものであってもよい。この場合、室温では第１剥離テープ８３は、保護テープ９１に貼着できないが、ポリオレフィン系の樹脂テープは熱可塑性を有するため、所定の圧力で押圧しながらウェーハ９０と接合させた状態で融点近傍の温度まで加熱すると、部分的に溶融してウェーハ９０に接着できる。
上記のように説明した第１剥離テープ８３と第２剥離テープ８４とは同一物であり、第２剥離テープ８４は円筒８６６に巻回されて第２ロールテープ８６となっている。

【0018】

本発明に係るテープ剥離装置１は、ロール支持部を少なくとも２つ備えている。即ち、例えば、帯状の第１剥離テープ８３をロール状に巻いた第１ロールテープ８５を回転可能に支持する第１ロール支持部１１３、及び帯状の第１剥離テープ８３と同一物である第２剥離テープ８４をロール状に巻いた第２ロールテープ８６を回転可能に支持する第２ロール支持部１１４と、を備えており、第１ロール支持部１１３の下方に第２ロール支持部１１４が配置されている。

【0019】

第１ロール支持部１１３及び第２ロール支持部１１４は、例えば図１に示す基台１０上に立設された図示しないコラムの前面に、図示しない回転手段によってそれぞれＹ軸方向の回転軸を軸にモータ等によって回転可能な状態で配設されており、それぞれが第１ロールテープ８５の円筒８５５に挿入されるシャフト、第２ロールテープ８６の円筒８６６に挿入されるシャフトとして働く。

【0020】

例えば、図２に示すように、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）に支持された第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）の円筒８５５（円筒８６６）の外側面接線よりも少しだけ下方となる位置には、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）が支持している第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）の残量を検出する第１検知部１１５（第２検知部１１６）が配設されている。第１検知部１１５（第２検知部１１６）は、例えば、受光部と投光部とからなる透過型の光センサ等であり、受光部と投光部とがＸ軸方向において第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）を挟むように配設されている。例えば第１ロールテープ８５が減っていくことで、第１ロールテープ８５の直径が小さくなっていき、投光部が照射した検知光の受光部における受光量が第１ロールテープ８５により遮られずに増加することで、第１検知部１１５は第１ロールテープ８５の残量が所定量以下まで少なくなったことを検知する。

【0021】

第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）から見てテープ送り出し方向となる－Ｘ方向側の近傍となる位置には、一対のガイドローラ１４４（一対のガイドローラ１４７）がそれぞれ配設されており、第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）から引き出された第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を挟み込んだ状態で、図１、図２に示す接続部７に向かってテンションをかけつつガイドして送り出すことができる。なお、図１においては一対のガイドローラ１４４（一対のガイドローラ１４７）は省略して示している。

【0022】

テープ剥離装置１は、一方の第１ロールテープ８５を支持する一方の第１ロール支持部１１３と把持部６０との間の一方の第１剥離テープ８３に他方の第２ロールテープ８６から引き出した他方の第２剥離テープ８４の先端側を重ねて貼着してつなぎ合わせる接続部７を備えている。

【0023】

図２に示すように、本実施形態における接続部７は、一方の第１ロール支持部１１３が支持する一方の第１ロールテープ８５の外周から引き出された一方の第１剥離テープ８３を保持する第１保持部７１と、他方の第２ロール支持部１１４が支持する他方の第２ロールテープ８６の外周から引き出された他方の第２剥離テープ８４を保持する第２保持部７２と、第１保持部７１、又は第２保持部７２の少なくとも一方を加熱する加熱手段７７と、第１保持部７１、又は第２保持部７２の少なくとも一方を他方に接近、および他方から離反するＺ軸方向に移動させる移動機構７８と、を備える。

【0024】

第２保持部７２は、第１保持部７１の下方に第１保持部７１とＺ軸方向において対向するように配設されている。
図２に示すように第１保持部７１（第２保持部７２）は、例えば、ポーラス部材等からなり第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を吸着する吸着部７１０（吸着部７２０）と、吸着部７１０（吸着部７２０）を支持する枠体７１１（枠体７２１）とを備える。吸着部７１０（吸着部７２０）は、エジェクター機構又は真空発生装置等の吸引源７９に連通し、吸引源７９が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部７１０（吸着部７２０）の平坦な露出面である保持面７１２（保持面７２２）に伝達されることで、第１保持部７１は保持面７１２（保持面７２２）上で第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を吸引保持することができる。
第１保持部７１（第２保持部７２）は、第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）の幅（Ｙ軸方向長さ）全長にわたって第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を吸引保持することができる。

【0025】

本実施形態においては、第１保持部７１のみが、加熱手段７７によって所定の温度に加熱可能となっているが、第２保持部７２のみ、又は第１保持部７１及び第２保持部７２の両方が加熱可能となっていてもよい。
図２に示す加熱手段７７は、例えば、第１保持部７１の枠体７１１に内蔵されており、図示しない電源から所定の電圧が印加され発熱体に電流が流れることで赤外線を放射し発熱する赤外線ヒータであり、セラミックヒータ又はハロゲンヒータ等であってもよく、第１保持部７１の保持面７１２と第１剥離テープ８３との接触部を短時間で均等に加熱できる。例えば第１保持部７１の温度は、図示しない温度センサによって計測可能となっている。

【0026】

本実施形態においては、第１保持部７１のみが、移動機構７８によって第２保持部７２に対して相対的にＺ軸方向に移動可能となっているが、第２保持部７２のみ、又は第１保持部７１及び第２保持部７２の両方がＺ軸方向に移動可能となっていてもよい。移動機構７８は、例えば、電動スライダー等であり、第１保持部７１の枠体７１１をＺ軸方向に移動可能に支持している。

【0027】

例えば、第１保持部７１（第２保持部７２）の枠体７１１（枠体７２１）の第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）側の側面には、第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を切断する第１カッター１７（第２カッター１８）が、電動スライダー等の第１カッター上下動手段１７７（第２カッター上下動手段１８８）によって上下動可能に配設されている。第１カッター１７の刃先は－Ｚ方向に向けられており、第２カッター１８の刃先は＋Ｚ方向に向けられている。なお、第１カッター１７（第２カッター１８）は、第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）の幅方向（Ｙ軸方向）に移動しながら、切断を行ってもよい。

【0028】

本実施形態においては、例えば、図１、図２に示すように、第２保持部７２の近傍には、コンプレッサー等のエア源１３０に連通するエアノズル１３６が配設されている。エアノズル１３６の噴射口は、第１保持部７１と第２保持部７２との間に向けられており、該間に位置付けられた第１剥離テープ８３と第２剥離テープ８４との熱接着によりつなぎ合わせた部分を噴射口から噴射したエアによって所定の温度まで冷やすことができる。なお、該つなぎ合わせた部分の冷却は、エア冷却に限定されるものではなく、例えば、第１保持部７１に内蔵した加熱手段７７をペルチェ素子等にして、加熱手段７７が第１保持部７１の冷却を介してなしえてもよい。

【0029】

図１、２に示す例では、接続部７と把持部６０との間には、例えば第１剥離テープ８３を所望の高さ位置まで下降させた後に把持部６０側に送り出すガイドローラユニット６４が配設されている。さらに、本実施形態においては、例えば切断カッター６８４の＋Ｘ方向側の近傍となる位置には、Ｚ軸方向において対向し第１剥離テープ８３の先端を－Ｘ方向側の把持部６０に向かってに水平に送り出す一対の送り出しローラ６８７（図２のみ図示）が配設されている。

【0030】

ガイドローラユニット６４及び一対の送り出しローラ６８７から送りされてきた例えば第１剥離テープ８３の先端は、例えばＸ軸方向における所定のテープ把持位置において把持部６０に把持される。

【0031】

図１に示すようにテープ剥離装置１は、Ｘ軸方向に延在する直方体状の基台１０を有しており、基台１０の上には、保持テーブル３０及びテーブル移動手段１３が配設されている。

【0032】

図１、２に示す把持部６０の移動経路下方に配設され、上面９００に保護テープ９１を貼着したウェーハ９０の下面９０１を保持する保持面３０２を有する保持テーブル３０は、平面視円形状に形成されており、例えば、ポーラス部材等からなる平坦な上面を保持面３０２として備えており、保持面３０２は、エジェクター機構又は真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源によって生み出された吸引力が伝達される。

【0033】

例えば、テープ剥離装置１は、ウェーハ９０がリングフレーム９４によってハンドリング可能に支持されている場合に、リングフレーム９４を例えば挟持固定する図２に示すリングフレーム保持部３１を備えていてもよい。
図２に示すリングフレーム保持部３１は、平面視円環状であり、その平坦な上面に載置されたリングフレーム９４を回動可能なクランプ３１８と共に挟持固定できる。クランプ３１８は、例えば、リングフレーム保持部３１の周方向に９０度間隔を空けて４つ配設されている。
例えば、リングフレーム保持部３１及びクランプ３１８は、アクチュエータ３３によって上下動可能となっている。なお、リングフレーム保持部３１等は、図１には図示していない。

【0034】

保持テーブル３０をＸ軸方向に往復移動可能とするテーブル移動手段１３は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１３７と、ボールネジ１３７と平行に配設された一対のガイドレール１３１と、ボールネジ１３７の一端に連結しボールネジ１３７を回動させるモータ１３２と、内部のナットがボールネジ１３７に螺合し底部がガイドレール１３１に摺接する可動板１３３とを備えており、モータ１３２がボールネジ１３７を回動させることに伴い、可動板１３３がガイドレール１３１にガイドされてＸ軸方向に直動し、可動板１３３上にテーブルベース３５を介して配設された保持テーブル３０をＸ軸方向に往復移動させることができる。

【0035】

例えば、把持部６０の移動経路の－Ｘ方向端側の下方の位置には、例えば第１剥離テープ８３と共にウェーハ９０から剥離した保護テープ９１を廃棄する図示しないゴミ箱が配置されている。

【0036】

図１に示す保持テーブル３０の移動経路上方に配設された把持部６０は、例えば基台１０上に立設された図示しないコラムの前面の上部側の領域に配設されたＸ軸移動手段１５によって、貼着部６６と一体となってＸ軸方向に往復移動可能となっている。

【0037】

Ｘ軸移動手段１５は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１５０と、ボールネジ１５０と平行に配設された一対のガイドレール１５１と、ボールネジ１５０に連結しボールネジ１５０を回動させるモータ１５２と、内部のナットがボールネジ１５０に螺合し側部がガイドレール１５１に摺接する可動ブロック１５３とを備え、モータ１５２がボールネジ１５０を回動させると、これに伴い可動ブロック１５３がガイドレール１５１にガイドされてＸ軸方向に往復移動し、可動ブロック１５３に取り付けられた把持部６０及び貼着部６６もＸ軸方向に往復移動する。

【0038】

テープ把持位置において例えば第１剥離テープ８３を把持し第１剥離テープ８３を引き出した状態の把持部６０の近傍には、図１、２に示すように＋Ｘ方向側から順番に剥離テープ切断手段６８と、貼着部６６と、把持部６０とが位置する。

【0039】

図１に示すように、剥離テープ切断手段６８は、第１剥離テープ８３又は第２剥離テープ８４の接着剤層側（下面側）が載置される載置面及び載置面を例えば第１剥離テープ８３の幅方向（Ｙ軸方向）に横断する逃げ溝６８１を備える載置台６８２と、逃げ溝６８１の延在方向に沿って逃げ溝６８１内を進行させる切断カッター６８４と、切断カッター６８４を逃げ溝６８１の延在方向（Ｙ軸方向）に移動させるアクチュエータ等の切断カッター移動手段６８６と、を備えている。

【0040】

貼着部６６は、例えば、所定の金属等からなり外形が略直方体状に形成されており、Ｙ軸方向に直線的に第１剥離テープ８３や第２剥離テープ８４の幅以上の長さで延在しており、アクチュエータ等によってＺ軸方向に昇降可能となっている。貼着部６６が下降することで、その下面から例えば第１剥離テープ８３に所定の押圧力を加えつつ保護テープ９１に貼着することができる。
貼着部６６の内部又は図２に示すように貼着部６６の両脇には、例えば第１剥離テープ８３の粘着剤層の粘着力を発現させるための加熱を行う赤外線ヒータ６６９等が配設されている。また、赤外線ヒータ６６９等によって加熱される貼着部６６の温度は、図示しない温度センサによって計測可能となっている。

【0041】

把持部６０は、例えば、側面視略コの字状の固定台６０２と、固定台６０２のコの字状の内部空間に配設され固定台６０２の内部下面に対して接近又は離間可能な昇降爪６０３とを備えている。図１に示すように、可動ブロック１５３の下面にはＺ軸方向に進退可能なロッドを備えるアクチュエータ６０５が配設されており、ロッドの下端に取り付けられた昇降爪６０３をアクチュエータ６０５によって固定台６０２に対して接近させることにより、帯状の第１剥離テープ８３の先端をその間に把持させることができる。

【0042】

例えば、図１に示すように、テープ剥離装置１は、装置全体の制御を行う制御部５を備えている。ＣＰＵ及びメモリ等の記憶媒体等で構成される制御部５は、テープ剥離装置１の各構成要素である接続部７の第１カッター上下動手段１７７や第２カッター上下動手段１８８、第１保持部７１を上下動させる移動機構７８、保持テーブル３０を移動させるテーブル移動手段１３、把持部６０を移動させるＸ軸移動手段１５に電気的に接続されている。制御部５による制御の下で、例えば第１カッター１７や第１保持部７１の上下動動作、保持テーブル３０や把持部６０のＸ軸方向における移動動作が実施され、また、制御部５に第１検知部１１５（第２検知部１１６）から検出信号が送られてくる。

【0043】

以下に、図１に示すテープ剥離装置１の動作例について説明する。
図２に示すウェーハ９０が保持テーブル３０に互いの中心を略合わせて載置されるとともに、図示しない吸引源が作動し、保持テーブル３０の保持面３０２でウェーハ９０が保護テープ９１を上側にして吸引保持される。また、ウェーハ９０を支持するリングフレーム９４がリングフレーム保持部３１によって固定される。

【0044】

（１）第１剥離テープから第２剥離テープに切り替えて、第２剥離テープを用いてウェーハに貼着されている保護テープを剥離する場合
まず、図３に示すように、第１ロール支持部１１３に支持されている第１ロールテープ８５がほとんど空になった状態であり、そのため、使用する剥離テープを第１剥離テープ８３から第２ロール支持部１１４に支持されている第２ロールテープ８６の第２剥離テープ８４に切り替えて、ウェーハ９０の貼着されている保護テープ９１を剥離する場合について説明する。

【0045】

なお、予め、図示しない回転手段により、第１ロール支持部１１３により支持されている第１ロールテープ８５を正転方向（例えば、紙面手前から見て時計回り方向）に回転させながら、帯状となった第１剥離テープ８３が一対のガイドローラ１４４やガイドローラユニット６４の間に通され、把持部６０側に－Ｘ方向に送り出された状態になっており、第１剥離テープ８３の先端は図１に示す把持部６０によって把持された状態になっている。
また、第２ロール支持部１１４によって支持されている第２ロールテープ８６の第２剥離テープ８４が一対のガイドローラ１４７の間を通されて、その先端が第２保持部７２によって吸引保持された状態になっている。

【0046】

投光部が照射した検知光の受光部における受光量が第１ロールテープ８５により遮られずに増加することで、第１検知部１１５は第１ロールテープ８５の残量が空に近い所定量以下まで少なくなったことを検知する。そして、第１検知部１１５は、検知信号を制御部５に送信する。制御部５は、第１剥離テープ８３の残量が少なくなったため、第１剥離テープ８３から新たな第２剥離テープ８４に切り替えて、第２剥離テープ８４を用いてウェーハ９０に貼着されている保護テープ９１の剥離を行っていくと認識する。

【0047】

図４に示すように、制御部５による接続部７の移動機構７８の制御の下で、移動機構７８が、第１保持部７１を降下させる。そして、第１保持部７１が保持面７１２で第１剥離テープ８３を下方に押していき、第１剥離テープ８３が第２保持部７２で吸引保持されている第２剥離テープ８４に接触して、第１剥離テープ８３及び第２剥離テープ８４が第１保持部７１と第２保持部７２とによって上下両側から押し挟まれた状態になる。

【0048】

この状態で、第１保持部７１内のヒータである加熱手段７７に所定の電圧が印加されて電流が流れて加熱手段７７が発熱し、第１保持部７１を加熱して、第１剥離テープ８３と第２剥離テープ８４とが重ねられたつなぎ合わせた部分８４５に熱が加えられると共に、適宜の押圧力が加えられる。なお、加熱手段７７による第１保持部７１を介したつなぎ合わせた部分８４５の加熱中においては、第１保持部７１の温度が、図示しない温度センサによって測定され、予め設定された第１剥離テープ８３と第２剥離テープ８４との接着における好適な熱接着温度に達する。
なお、ヒータは、第１保持部７１の内部に配設してもよいし、第１保持部７１の横に隙間を設けて配設させ、第１保持部７１の外から加熱してもよい。

【0049】

所定時間つなぎ合わせた部分８４５の加熱を行って、第１剥離テープ８３の接着剤層の粘着性を最適な状態で発現させて、一方の第１剥離テープ８３の先端側の接着剤層を、他方の第２剥離テープ８４の基材層に貼着する。

【0050】

図５に示すように、例えば、第２保持部７２による第２剥離テープ８４の吸引保持を解除して、移動機構７８によってつなぎ合わせた部分８４５を吸引保持した第１保持部７１を上昇させる。その後、エアノズル１３６の噴射口からエアを第１保持部７１と第２保持部７２との間に露出したつなぎ合わせた部分８４５に向けて噴射させて、つなぎ合わせた部分８４５を所定の温度まで冷やして接着が剥がれてしまうことが無いようにする。

【0051】

次いで、図６に示すように、制御部５による接続部７の第１カッター上下動手段１７７の制御の下で、第１カッター上下動手段１７７が第１カッター１７を降下させ、接続部７によってつなぎ合わせた部分８４５よりも一方の第１ロール支持部１１３側の一方の第１剥離テープ８３を第１カッター１７によって切断する。

【0052】

図７に示すように、図示しない回転手段により、第１ロール支持部１１３により支持されている第１ロールテープ８５を逆転方向（例えば、紙面手前から見て反時計回り方向）に回転させながら切断された第１剥離テープ８３の自由端が、第１ロールテープ８５に巻き取られる。その後、不要になった使用済みの第１ロールテープ８５は、例えば作業者によって第１ロール支持部１１３から外されて、新たな第１ロールテープ８５が第１ロール支持部１１３に取り付けされる。この間、テープ剥離装置１を停止させる必要はない。

【0053】

一方、つなぎ合わせた部分８４５の第１保持部７１による吸引保持が解除されて、把持部６０に把持され使用される剥離テープの第１剥離テープ８３から第２剥離テープ８４への切り替えが完了する。

【0054】

本実施形態のテープ剥離装置１は、一方の第１剥離テープ８３と他方の第２剥離テープ８４とをつなぎ合わせた後、つなぎ合わされた第１剥離テープ８３の把持部６０に把持されている先端から第２剥離テープ８４とのつなぎ合わせた部分８４５までを廃棄して、つなぎ合わせた部分８４５が貼着部６６によって保護テープ９１の上面の外周部分に貼着されることが無いようにする。

【0055】

具体的には、図７に示す第２ロール支持部１１４が所定の回転速度で第２ロールテープ８６を回転させつつ、回転自在の一対のガイドローラ１４７やガイドローラユニット６４が、把持部６０と第２ロールテープ８６との間の第２剥離テープ８４にテンションをかけつつ－Ｘ方向に送り出し、さらに、図１に示すＸ軸移動手段１５が把持部６０を－Ｘ方向へと移動させていき、第２ロールテープ８６から第２剥離テープ８４を－Ｘ方向へと引き出していく。そして、例えば図７に示すつなぎ合わせた部分８４５が図２に示す第２保持部７２、ガイドローラユニット６４、及び一対の送り出しローラ６８７を通過してから、切断カッター６８４がつなぎ合わせた部分８４５よりも後方の位置（＋Ｘ方向側の位置）で第２剥離テープ８４を切断する。その結果、例えば一対の送り出しローラ６８７によって第２剥離テープ８４の先端が挟持された状態になるとともに、把持部６０がつなぎ合わせた部分８４５を有し切断された第２剥離テープ８４が後端となるつなぎ合わされた第１剥離テープ８３を把持した状態になる。

【0056】

つなぎ合わせた部分８４５を備える第１剥離テープ８３を把持した把持部６０が、把持部６０の移動経路の－Ｘ方向端側の下方に位置する図示しないゴミ箱の上方まで移動して、第１剥離テープ８３の把持を解除して、図示しないゴミ箱に不要であるつなぎ合わせた部分８４５を備える第１剥離テープ８３を落下させて廃棄する。
なお、上記のようにつなぎ合わせた部分８４５を含めた剥離テープを廃棄しないで、つなぎ合わせた部分（第１剥離テープ８３と第２剥離テープ８４とが重なった部分）を保護テープ９１に貼着しないようにして利用してもよい。

【0057】

その後、Ｘ軸移動手段１５によって把持部６０が＋Ｘ方向に移動して、一対の送り出しローラ６８７によって送り出し可能に挟持されている第２剥離テープ８４の先端が、固定台６０２の内部下面上に所定長さ載るように、把持部６０と第２剥離テープ８４とのＸ軸方向における位置合わせが行われる。そして、把持部６０の昇降爪６０３が下降することで、第２剥離テープ８４の先端を昇降爪６０３と固定台６０２との間で把持する。

【0058】

第２ロール支持部１１４が所定の回転速度で第２ロールテープ８６を回転させつつ、回転自在の一対のガイドローラ１４７、ガイドローラユニット６４、及び一対の送り出しローラ６８７が、把持部６０と第２ロールテープ８６との間の第２剥離テープ８４にテンションをかけつつ－Ｘ方向に送り出していく。また、第２剥離テープ８４を引き出す把持部６０が、図２に示すテープ貼着位置Ｐ２まで移動した後、Ｘ軸方向における移動が一度停止される。また、図１、図２に示すウェーハ９０を保持した保持テーブル３０が＋Ｘ方向に移動して、例えば、ウェーハ９０に貼着された保護テープ９１の＋Ｘ方向側の外周部分の上方に＋Ｘ方向側から順番に、切断カッター６８４と、貼着部６６及び赤外線ヒータ６６９と、第２剥離テープ８４の先端を把持した把持部６０とが位置付けられた状態になる。

【0059】

赤外線ヒータ６６９に所定の電圧が印加されて電流が流れて赤外線ヒータ６６９が発熱し、貼着部６６が、赤外線ヒータ６６９によって接触又は非接触で加熱される。赤外線ヒータ６６９による貼着部６６の加熱中においては、貼着部６６に内蔵されている図示しない温度センサが貼着部６６の温度を計測する。貼着部６６の温度が、予め設定された保護テープ９１に対する第２剥離テープ８４の好適な熱接着温度に達する。また、制御部５の制御の下で、アクチュエータによって貼着部６６が下降していく。

【0060】

図１、２示す貼着部６６を下降させ、貼着部６６が保護テープ９１の＋Ｘ方向側の外周部分の上方において延在する図７に示すように把持部６０によって引き出し可能となった第２剥離テープ８４を下方に押し動かし、第２剥離テープ８４の接着剤層を保護テープ９１の上面の外周部分に接触させ、押し付けていく。予め好適な熱接着温度まで加熱されている貼着部６６により、第２剥離テープ８４の接着剤層の粘着性を最適な状態で発現させて、第２剥離テープ８４の先端側の接着剤層を、保持テーブル３０に保持されたウェーハ９０の保護テープ９１の上面の外周部分に貼着する。

【0061】

次いで、図１、図２に示す切断カッター６８４が下降して、切断カッター６８４の刃先が載置台６８２に載置された第２剥離テープ８４に切り込み、第２剥離テープ８４を切断し帯状にする。第２剥離テープ８４を切断した後、切断カッター６８４及び貼着部６６は、＋Ｚ方向に上昇して第２剥離テープ８４から退避する。

【0062】

次に、図１、２に示すテーブル移動手段１３が保持テーブル３０を＋Ｘ方向に移動させていくとともに、Ｘ軸移動手段１５が、保護テープ９１の上面の＋Ｘ方向側の外周部分に貼着された第２剥離テープ８４の先端を把持した把持部６０を－Ｘ方向へと移動させていく。そして、第２剥離テープ８４及び保護テープ９１に付与される張力と、加熱された第２剥離テープ８４の接着剤層の保護テープ９１に対する粘着力とがウェーハ９０の上面９００に貼着される保護テープ９１の貼着力より大きいことにより、ウェーハ９０の上面９００から保護テープ９１をウェーハ９０の＋Ｘ方向側の外周部分から中心に向けて剥離していく。なお、保持テーブル３０、又は把持部６０のどちらか一方を固定して、保持テーブル３０、又は把持部６０をＸ軸方向に移動させることで、ウェーハ９０から保護テープ９１を剥離していってもよい。

【0063】

ウェーハ９０の上面全面から保護テープ９１が剥離された後、剥離した保護テープ９１及び第２剥離テープ８４を把持した把持部６０が図示しないゴミ箱の上方まで移動して、第２剥離テープ８４の把持を解除して、図示しないゴミ箱に剥離した保護テープ９１ごと落下させる。

【0064】

図示しない搬送手段が保護テープ９１が剥離されたウェーハ９０を保持テーブル３０上から搬出するとともに、保護テープ９１が上面９００に貼着された新たなウェーハ９０を保持テーブル３０上に載置し、上記と同様の第２剥離テープ８４を用いた工程を繰り返して、ウェーハ９０の上面９００から保護テープ９１を剥離していくことで、テープ剥離動作が滞りなく行われていき、複数枚のウェーハ９０の各保護テープ９１を次々に剥離していくことができる。

【0065】

複数枚のウェーハ９０の各保護テープ９１を次々に剥離した後、第２ロール支持部１１４に支持されている第２ロールテープ８６がほとんど空の状態となり、そのため、使用する剥離テープを第２剥離テープ８４から第１ロール支持部１１３に支持されている図８に示す新たな第１ロールテープ８５の第１剥離テープ８３に切り替えてウェーハ９０の貼着されている保護テープ９１を剥離していく必要がある。

【0066】

（２）第２剥離テープから第１剥離テープに切り替えて、第１剥離テープを用いてウェーハに貼着されている保護テープを剥離する場合
図８に示す投光部が照射した検知光の受光部における受光量が第２ロールテープ８６により遮られずに増加することで、第２検知部１１６は第２ロールテープ８６の残量がほとんど空に近い所定量以下まで少なくなったことを検知する。そして、第２検知部１１６は、検知信号を制御部５に送信する。制御部５は、第２剥離テープ８４の残量が少なくなったため、第２剥離テープ８４から新たな第１剥離テープ８３に切り替えて、第１剥離テープ８３を用いてウェーハ９０に貼着されている保護テープ９１の剥離を行っていくと認識する。

【0067】

図９に示すように、制御部５による接続部７の移動機構７８の制御の下で、移動機構７８が、第１剥離テープ８３の先端を吸引保持している第１保持部７１を降下させる。そして、第１保持部７１が保持面７１２で第１剥離テープ８３を下方に押していき、第１剥離テープ８３が把持部６０で先端が把持されている第２剥離テープ８４に接触して、第１剥離テープ８３及び第２剥離テープ８４が第１保持部７１と第２保持部７２とによって上下両側から押し挟まれた状態になる。

【0068】

加熱手段７７が発熱し、第１保持部７１を加熱して、第１剥離テープ８３と第２剥離テープ８４とが重ねられたつなぎ合わせた部分８３７が好適な接着温度まで加熱されると共に、適宜の押圧力が加えられる。
所定時間つなぎ合わせた部分８３７の加熱を行って、第１剥離テープ８３の接着剤層の粘着性を最適な状態で発現させて、一方の第２剥離テープ８４の先端側の基材層を、他方の第１剥離テープ８３の接着剤層に貼着する。

【0069】

例えば、図１０に示すように、制御部５の移動機構７８の制御によって、つなぎ合わせた部分８３７を吸引保持した第１保持部７１を上昇させる。その後、エアノズル１３６の噴射口からエアを第１保持部７１と第２保持部７２との間に露出したつなぎ合わせた部分８３７に向けて噴射させて、つなぎ合わせた部分８３７を所定の温度まで冷やして接着が剥がれてしまうことが無いようにする。

【0070】

次いで、図１１に示すように、制御部５による接続部７の第２カッター上下動手段１８８の制御の下で、第２カッター上下動手段１８８が第２カッター１８を上昇させ、接続部７によってつなぎ合わせた部分８３７よりも一方の第２ロール支持部１１４側の一方の第２剥離テープ８４を第２カッター１８によって切断する。

【0071】

図示しない回転手段により、図１２に示す第２ロール支持部１１４により支持されている第２ロールテープ８６を逆転方向（例えば、紙面手前から見て反時計回り方向）に回転させながら切断された第２剥離テープ８４の自由端が、第２ロールテープ８６に巻き取られる。その後、不要になった使用済みの第２ロールテープ８６は、作業者によって第２ロール支持部１１４から外されて、新たな第２ロールテープ８６が第２ロール支持部１１４に取り付けされる。この間に、テープ剥離装置１を停止させる必要はない。

【0072】

一方、つなぎ合わせた部分８３７の第１保持部７１による吸引保持が解除されて、把持部６０に把持され使用される剥離テープの第２剥離テープ８４から第１剥離テープ８３への切り替えが完了する。

【0073】

本実施形態のテープ剥離装置１は、一方の第２剥離テープ８４と他方の第１剥離テープ８３とをつなぎ合わせた後、つなぎ合わされた第２剥離テープ８４の把持部６０に把持されている先端から第１剥離テープ８３とのつなぎ合わせた部分８３７までを廃棄して、つなぎ合わせた部分８３７が図２に示す貼着部６６によって保護テープ９１の上面の外周部分に貼着されることが無いようにする。

【0074】

具体的には、図１２に示す第１ロール支持部１１３が所定の回転速度で第１ロールテープ８５を回転させつつ、回転自在の一対のガイドローラ１４４やガイドローラユニット６４が、把持部６０と第１ロールテープ８５との間の第１剥離テープ８３にテンションをかけつつ－Ｘ方向に送り出し、さらに、図１に示すＸ軸移動手段１５が把持部６０を－Ｘ方向へと移動させていき、第１ロールテープ８５から第１剥離テープ８３を－Ｘ方向へと引き出していく。そして、例えば図１２に示すつなぎ合わせた部分８３７が図２に示す第２保持部７２、ガイドローラユニット６４、及び一対の送り出しローラ６８７を通過してから、切断カッター６８４がつなぎ合わせた部分８３７よりも後方の位置で第１剥離テープ８３を切断する。その結果、例えば一対の送り出しローラ６８７によって第１剥離テープ８３の先端が挟持された状態になるとともに、把持部６０がつなぎ合わせた部分８３７を有し切断された第１剥離テープ８３が後端となるつなぎ合わされた不要な第２剥離テープ８４を把持した状態になる。

【0075】

つなぎ合わせた部分８３７を備える第２剥離テープ８４を把持した把持部６０が、把持部６０の移動経路の－Ｘ方向端側の下方に位置する図示しないゴミ箱の上方まで移動して、第２剥離テープ８４の把持を解除して、図示しないゴミ箱に不要であるつなぎ合わせた部分８３７を備える第２剥離テープ８４を落下させて廃棄する。

【0076】

その後の、新たな第１剥離テープ８３の把持部６０による把持、及び第１剥離テープ８３のウェーハ９０に貼着された保護テープ９１への貼着は、先に説明した第２剥離テープ８４の場合と略同様に行われ、先に説明した第２剥離テープ８４を介した把持部６０による保護テープ９１の剥離と略同様に、第１剥離テープ８３を介した把持部６０による保護テープ９１の剥離が実施されていく。

【0077】

上記のように本発明に係るテープ剥離装置１は、上面９００に保護テープ９１を貼着したウェーハ９０の下面９０１を保持する保持面３０２を有する保持テーブル３０と、帯状の第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）をロール状に巻いた第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）を回転可能に支持する第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）と、第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）の外周から引き出された第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を把持する把持部６０と、把持部６０が把持する第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を保護テープ９１の上面の外周部分に貼着する貼着部６６と、を備え、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）に支持された第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）の残量が少なくなったことを検知する第１検知部１１５（第２検知部１１６）と、一方の第２ロールテープ８６を支持する一方の第２ロール支持部１１４と把持部６０との間の一方の第２剥離テープ８４に他方の第１ロールテープ８５から引き出した他方の第１剥離テープ８３の先端側を重ねて貼着してつなぎ合わせる接続部７と、接続部７によってつなぎ合わせた部分８３７より一方の第２ロール支持部１１４側で一方の第２剥離テープ８４を切断する第２カッター１８と、装置制御を行う制御部５と、をさらに備えることで、制御部５によって、一方の第２検知部１１６によって一方の第２ロールテープ８６の残量が少ないことを検知したら、一方の第２剥離テープ８４に他方の第１剥離テープ８３を接続部７によってつなぎ合わせることと、つなぎ合わせた部分８３７より一方の第２ロール支持部１１４側の一方の第２剥離テープ８４を第２カッター１８によって切断することと、を制御し、一方の第２剥離テープ８４と他方の第１剥離テープ８３とをつなぎ合わせて把持部６０が把持し使用する剥離テープを一方の第２剥離テープ８４から新たな他方の第１剥離テープ８３に切り替えて、貼着部６６と把持部６０とによって他方の第１剥離テープ８３を保護テープ９１に貼着可能にする。即ち、本発明に係るテープ剥離装置１は、作業者による例えば第１剥離テープ８３の補充作業を待つことなく、第２剥離テープ８４を用いてウェーハ９０から保護テープ９１を剥離するという動作を継続的に実施することが可能となる。

【0078】

本発明に係るテープ剥離装置１は、接続部７は、一方の第２ロール支持部１１４が支持する一方の第２ロールテープ８６の外周から引き出された一方の第２剥離テープ８４を保持する第２保持部７２と、他方の第１ロール支持部１１３が支持する他方の第１ロールテープ８５の外周から引き出された他方の第１剥離テープ８３を保持する第１保持部７１と、第１保持部７１、又は第２保持部７２の少なくとも一方（本実施形態においては、第１保持部７１）を加熱する加熱手段７７と、第１保持部７１、又は第２保持部７２の少なくとも一方（本実施形態においては、第１保持部７１）を他方に接近、および他方から離反する方向に移動させる移動機構７８と、を備えることで、一方の第２剥離テープ８４と他方の第１剥離テープ８３とを剥がれないように適切につなぎ合わせることが可能となる。

【0079】

本発明に係るテープ剥離装置１は、一方の第２剥離テープ８４と他方の第１剥離テープ８３とをつなぎ合わせた後、つなぎ合わされた剥離テープの把持部６０に把持されている先端からつなぎ合わせた部分８３７までを廃棄して、つなぎ合わせた部分８３７が貼着部６６によって保護テープ９１の上面の外周部分に貼着されることが無いようにすることで、つなぎ合わせた部分８３７が保護テープ９１に貼着されて厚みが増して保護テープ９１の剥離が失敗してしまうという事態を発生させないようにすることが可能となる。

【0080】

なお、本発明に係るテープ剥離装置１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されているテープ剥離装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0081】

９０：ウェーハ ９００：ウェーハの上面 ９０１：ウェーハの下面 ９１：保護テープ
１：テープ剥離装置
１１３：第１ロール支持部
８５：第１ロールテープ ８３：第１剥離テープ ８５５：円筒 １４４：一対のガイドローラ １１５：第１検知部 １７：第１カッター １７７：第１カッター上下動手段
７：接続部 ７１：第１保持部 ７１０：吸着部 ７１２：保持面 ７１１：枠体 ７９：吸引源 ７８：移動機構 ７２：第２保持部 ７２２：保持面
１１４：第２ロール支持部
８６：第２ロールテープ ８４：第２剥離テープ ８６６：円筒 １４７：一対のガイドローラ １１６：第２検知部 １８：第２カッター １８８：第２カッター上下動手段
１５：Ｘ軸移動手段 １５０：ボールネジ １５２：モータ
６０：把持部 ６０２：固定台 ６０３：昇降爪 ６０５：アクチュエータ
６６：貼着部 ６６９：赤外線ヒータ
６８：剥離テープ切断手段 ６８１：逃げ溝 ６８２：載置台
６８４：切断カッター ６８６：切断カッター移動手段 ６８７：一対の送り出しローラ
３０：保持テーブル ３０２：保持面 ３５：テーブルベース
３１：リングフレーム保持部 ３１８：クランプ ３３：アクチュエータ
１３：テーブル移動手段
５：制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】