特許7603442ネガ型感光性樹脂組成物及びパターン形成方法

発明の名称　ネガ型感光性樹脂組成物及びパターン形成方法

出願人　東京応化工業株式会社　（識別番号 220239）

　　　　特許公開件数ランキング 249 位（40件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 349 位（24件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7603442

公報発行日　2024年12月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7603442

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