特許7605752トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシランの製造装置

発明の名称　トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシランの製造装置

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 354 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 236 位（39件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7605752

公報発行日　2024年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7605752

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