特許 7606441 成膜装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-17

(45)【発行日】2024-12-25

(54)【発明の名称】成膜装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/52 20060101AFI20241218BHJP

   C23C 14/34 20060101ALI20241218BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20241218BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20241218BHJP

【ＦＩ】

C23C14/52

C23C14/34 C

C23C14/34 Z

H05B33/14 A

H05B33/10

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021189983

(22)【出願日】2021-11-24

(65)【公開番号】P2023076939

(43)【公開日】2023-06-05

【審査請求日】2023-05-26

(73)【特許権者】

【識別番号】591065413

【氏名又は名称】キヤノントッキ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】内田 敏治

(72)【発明者】

【氏名】松本 行生

(72)【発明者】

【氏名】佐野 愛弓

【審査官】今井 淳一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－０９８８７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２３１７３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２３５８３６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／５２

Ｃ２３Ｃ １４／３４

Ｈ１０Ｋ ５０／１０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

チャンバ内に配される基板上に薄膜を形成するための成膜源と、
内部が大気環境に保たれ、かつ前記成膜源を支持して移動する支持台と、
前記チャンバと前記支持台とを連結するように設けられると共に、前記チャンバの外部と前記支持台の内部とを連通させ、かつ前記支持台の移動に伴って移動する連結機構と、
前記連結機構の内部に備えられ、前記成膜源に電気及び冷却液を供給する供給設備と、
前記連結機構の内部に備えられ前記連結機構の内部の電磁波を取得する取得手段を有し、前記取得手段によって取得された電磁波に基づく画像または画像データから前記供給設備の異常の発生の有無を確認するための確認手段と、を備える
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項2】

チャンバ内に配される基板上に薄膜を形成するための成膜源と、
内部が大気環境に保たれ、かつ前記成膜源を支持して移動する支持台と、
前記チャンバと前記支持台とを連結するように設けられると共に、前記チャンバの外部と前記支持台の内部とを連通させ、かつ前記支持台の移動に伴って移動する連結機構と、
前記連結機構の内部に備えられ、前記成膜源に電気及び冷却液を供給する供給設備と、
前記連結機構の内部に備えられ、前記連結機構の内部の電磁波を取得する取得手段と、を備える
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項3】

前記取得手段は、前記供給設備を撮影するために可視光線または赤外線を取得するカメラである
ことを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。

【請求項4】

前記連結機構は、互いに回動可能に連結される第１大気アーム及び第２大気アームを備えており、
前記カメラは、前記第１大気アーム内において前記第１大気アームの端部から前記第２大気アームとの連結部側に向かって撮影する第１のカメラと、前記第２大気アーム内において前記第２大気アームの端部から前記第１大気アームとの連結部側に向かって撮影する
第２のカメラとを有する
ことを特徴とする請求項３に記載の成膜装置。

【請求項5】

前記連結機構は、互いに回動可能に連結される第１大気アーム及び第２大気アームを備えており、
前記カメラは、前記第２大気アームに固定されて、前記第２大気アームとの連結部側から前記第１大気アームにおける前記連結部側とは反対側の端部に向かって撮影する第１のカメラと、前記第１大気アームに固定されて、前記第１大気アームとの連結部側から前記第２大気アームにおける前記連結部側とは反対側の端部に向かって撮影する第２のカメラとを有する
ことを特徴とする請求項３に記載の成膜装置。

【請求項6】

前記連結機構は、互いに回動可能に連結される第１大気アーム及び第２大気アームを備えており、
前記カメラは、前記第１大気アームと前記第２大気アームとの連結部に設けられ、前記第１大気アームにおける前記連結部側とは反対側の端部に向かって撮影し、かつ前記第２大気アームにおける前記連結部側とは反対側の端部に向かって撮影するように構成されている
ことを特徴とする請求項３に記載の成膜装置。

【請求項7】

前記連結機構の内部に、前記供給設備を照射する光源が設けられる
ことを特徴とする請求項３～６のいずれか一つに記載の成膜装置。

【請求項8】

前記連結機構の内部に、前記カメラ自体の撮影範囲の死角となる領域を前記カメラにより撮影可能とする反射鏡が設けられる
ことを特徴とする請求項３～７のいずれか一つに記載の成膜装置。

【請求項9】

前記連結機構の内部において前記カメラによる撮影範囲内に振り子が設けられる
ことを特徴とする請求項３～８のいずれか一つに記載の成膜装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板上に薄膜を形成する成膜装置に関する。

【背景技術】

【0002】

成膜装置においては、基板に薄膜を形成するための成膜源に対して、内部が真空雰囲気となるチャンバの外部から電気や冷却液を供給するために、内部が大気状態に保たれる大気ボックス及び大気アームが設けられる技術が知られている（特許文献１参照）。このような技術においては、何らかの異常が発生した場合、チャンバの内部を大気圧に戻した後に、大気アームの内部を開けて、電気や冷却液を供給するための設備の異常の有無を調べる必要がある。そのため、異常の原因を調べる作業に長時間を要していた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２１－９５６０９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の目的は、電気や冷却液を供給する設備の異常の有無を容易に調べることのできる成膜装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。

【0006】

すなわち、本発明の成膜装置は、
チャンバ内に配される基板上に薄膜を形成するための成膜源と、
内部が大気環境に保たれ、かつ前記成膜源を支持して移動する支持台と、
前記チャンバと前記支持台とを連結するように設けられると共に、前記チャンバの外部と前記支持台の内部とを連通させ、かつ前記支持台の移動に伴って移動する連結機構と、
前記連結機構の内部に備えられ、前記成膜源に電気及び冷却液を供給する供給設備と、
前記連結機構の内部に備えられ前記連結機構の内部の電磁波を取得する取得手段を有し、前記取得手段によって取得された電磁波に基づく画像または画像データから前記供給設備の異常の発生の有無を確認するための確認手段と、を備える
ことを特徴とする。

【0007】

また、他の発明の成膜装置は、
チャンバ内に配される基板上に薄膜を形成するための成膜源と、
内部が大気環境に保たれ、かつ前記成膜源を支持して移動する支持台と、
前記チャンバと前記支持台とを連結するように設けられると共に、前記チャンバの外部と前記支持台の内部とを連通させ、かつ前記支持台の移動に伴って移動する連結機構と、
前記連結機構の内部に備えられ、前記成膜源に電気及び冷却液を供給する供給設備と、
前記連結機構の内部に備えられ、前記連結機構内部の電磁波を取得する取得手段と、を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

以上説明したように、本発明によれば、電気や冷却液を供給する設備の異常の有無を容易に調べることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る成膜装置の内部構成を上方から見た概略構成図である。

【図2】実施形態に係る成膜装置の内部構成を断面的に見た概略構成図である。

【図3】実施形態に係る成膜装置の内部構成を断面的に見た概略構成図である。

【図4】実施形態に係る連結機構の一部を示す模式的断面図である。

【図5】実施例１に係る確認手段の配置構成図である。

【図6】実施例２に係る確認手段の配置構成図である。

【図7】実施例３に係る確認手段の配置構成図である。

【図8】実施例４に係る確認手段の配置構成図である。

【図9】電子デバイスの一例を示す模式的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

【0011】

（実施形態）
図１～図４を参照して、本発明の実施形態に係る成膜装置について説明する。なお、本実施形態においては、成膜装置の一例として、スパッタ装置の場合を例にして説明する。図１は本発明の実施形態に係る成膜装置の内部構成を上方から見た概略構成図である。図２は、成膜装置の内部構成を図１中矢印Ｖ１方向に断面的に見た概略構成図である。図３は、成膜装置の内部構成を図１中矢印Ｖ２方向に断面的に見た概略構成図である。図４は本発明の実施形態に係る連結機構の一部を示す模式的断面図であり、大気アームの一部の付近を断面図にて示している。

【0012】

＜成膜装置の全体構成＞
図１～図３を参照して、本実施例に係る成膜装置１の全体構成について説明する。成膜装置１は、内部が真空雰囲気となるチャンバ１０と、チャンバ１０内に備えられる成膜源１００と、成膜源１００を移動させるための駆動装置２００とを備えている。

【0013】

チャンバ１０内には、基板Ｓを保持する基板保持機構１１と、マスクＭを保持するマスク保持機構１２が備えられている。これらの保持機構により、基板ＳとマスクＭは、成膜動作中（スパッタリング動作中）は静止した状態が保たれる。チャンバ１０は気密容器であり、排気ポンプ２０によって、その内部は真空状態又は減圧状態に維持される。ガス供給弁３０を開き、チャンバ１０内にガスを供給することで、処理に対する適切なガス雰囲気（又は圧力帯）に適宜変更することができる。チャンバ１０全体は接地回路４０により電気的に接地されている。

【0014】

駆動装置２００は、成膜源１００を支持する支持台としての大気ボックス２１０と、大気ボックス２１０の移動を案内する一対のガイドレール２２１，２２２と、大気ボックス２１０を往復移動させる移動機構２３０とを備えている。また、駆動装置２００には、チャンバ１０と大気ボックス２１０とを連結するように設けられ、大気ボックス２１０の移動に伴って従動して移動する連結機構２４０も備えられている。大気ボックス２１０は、その内部が空洞となっており、連結機構２４０により、チャンバ１０の外部と大気ボックス２１０の内部とを連通させることで、大気ボックス２１０の内部は大気環境に保たれるように構成されている。このような構成が採用されることで、チャンバ１０の外部に設けられた電源５０に接続される配線５１と、同じくチャンバ１０の外部に設けられた冷却液供給装置６０に接続される冷却管６１を成膜源１００に接続することができる。

【0015】

大気ボックス２１０は、移動機構２３０によって、一対のガイドレール２２１，２２２に沿って、移動するように構成されている。移動機構２３０は、ボールねじ機構を採用し
ており、ボールねじ２３１と、ボールねじ２３１を回転させるモータなどの駆動源２３２とを備えている。ただし、大気ボックス２１０を往復移動させるための移動機構については、ボールねじ機構に限定されることはなく、ラックアンドピニオン機構など、各種公知技術を採用し得る。

【0016】

成膜源１００は、ターゲット１１０と、ターゲット１１０の両端を支持するサポートブロック１２０及びエンドブロック１３０とを備えている。なお、本実施形態においては、ターゲット１１０は、２本設けられており、サポートブロック１２０及びエンドブロック１３０も、２本のターゲット１１０にそれぞれ一つずつ設けられている。ターゲット１１０は、スパッタリング時に回転する円筒状の部材であり、ロータリーカソードとも呼ばれる。サポートブロック１２０及びエンドブロック１３０は、大気ボックス２１０の上面に固定されている。ターゲット１１０は、円筒状のターゲット本体と、その内周に配される電極であるカソードとを備えている。また、ターゲット１１０は、サポートブロック１２０及びエンドブロック１３０により回転自在に支持されており、エンドブロック１３０内に備えられた不図示のモータなどの駆動源により、スパッタリング時に回転するように構成されている。なお、マグネトロンスパッタリング方式のスパッタ装置の場合には、ターゲット１１０と基板Ｓとの間に磁場（漏洩磁場）を発生させるために、カソードの内部に磁石が設けられる。

【0017】

以上のように構成される成膜源１００においては、ターゲット１１０とアノードであるチャンバ１０との間に一定以上の電圧を印加することにより、これらの間にプラズマが発生する。そして、プラズマ中の陽イオンがターゲット１１０に衝突することで、ターゲット１１０（ターゲット本体）からターゲット材料の粒子が放出される。ターゲット１１０から放出された粒子は、衝突を繰り返しながら、放出された粒子のうちターゲット物質の中性の原子が基板Ｓに堆積していく。これにより、基板Ｓには、ターゲット１１０の構成原子による薄膜が形成される。また、マグネトロンスパッタリング方式の場合には、上記の漏えい磁場によって、ターゲット１１０と基板Ｓとの間の所定領域にプラズマを集中させることができる。これにより、効率的にスパッタリングが行われるため、基板Ｓへのターゲット物質の堆積速度を向上させることができる。更に、本実施形態に係る成膜源１００においては、スパッタリングの最中にターゲット１１０が回転するように構成されている。これにより、ターゲット１１０の消耗領域（エロ―ジョンによる浸食領域）が一部に集中することはなく、ターゲット１１０の利用効率を高めることができる。

【0018】

＜連結機構＞
連結機構２４０について、より詳細に説明する。連結機構２４０は、両端がいずれも回動自在に軸支され、かつ、内部が空洞である複数の大気アームにより構成される。より具体的には、連結機構２４０は、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２とを備えている。第１大気アーム２４１は、一端部（実施例で示す第１の端部２４１Ｐ）がチャンバ１０の底板に対して回動自在に構成されている。そして、第２大気アーム２４２は、一端部（実施例で示す第２の端部２４２Ｑ）が第１大気アーム２４１の他端部（実施例で示す第２の端部２４１Ｑ）に対して回動自在に軸支される。また、第２大気アーム２４２の他端部（実施例で示す第１の端部２４２Ｐ）が大気ボックス２１０に対して回動自在に軸支されている。

【0019】

図４には第１大気アーム２４１の一端部付近の構造を模式的断面図にて示している。図示のように、チャンバ１０の底板には貫通孔１０ａが設けられ、第１大気アーム２４１には円筒状の突出部２４１ａが設けられている。そして、チャンバ１０の底板と第１大気アーム２４１との間には、これらを回動自在に接続するための段差付きの円筒状部材２４１ｂが設けられている。この円筒状部材２４１ｂの一端は、チャンバ１０の底板に設けられた貫通孔１０ａ内に挿入されている。また、第１大気アーム２４１に設けられた突出部２
４１ａが、円筒状部材２４１ｂの他端側から挿入されている。なお、貫通孔１０ａと円筒状部材２４１ｂとの間の環状隙間と、突出部２４１ａと円筒状部材２４１ｂとの間の環状隙間は、それぞれシールリング２４１ｃ，２４１ｄによって封止されている。

【0020】

以上のような構成により、第１大気アーム２４１はチャンバ１０の底板に対して回動自在に支持されつつ、第１大気アーム２４１内の空洞部と、第１大気アーム２４１の外側の空間（チャンバ１０の内部空間）とは隔てられる。つまり、チャンバ１０の内部を真空状態（又は減圧状態）に維持することができる。なお、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２とが回動自在に軸支されている機構と、第２大気アーム２４２と大気ボックス２１０とが回動自在に軸支されている機構についても、同様の機構であるので、その説明は省略する。また、本実施例においては、２つのアームにより構成される場合を示したが、大気ボックス２１０の移動距離を長くしたい場合には、３つ以上のアームを連結することもできる。

【0021】

以上のように構成される連結機構２４０を備える駆動装置２００により、大気ボックス２１０に固定された成膜源１００を、大気ボックス２１０と共に往復移動させることが可能となる。これにより、往路及び復路のうちの少なくともいずれか一方の移動中に、成膜源１００を稼働させることによって、基板Ｓに対して、成膜動作（スパッタリング）を行うことができる。従って、面積の広い基板Ｓに成膜を形成する場合であっても、駆動装置２００により、成膜源１００を移動させながら成膜動作を行うことで、基板Ｓの一端側から他端側に向かって連続的に薄膜を形成することができる。

【0022】

そして、上記の通り、連結機構２４０（第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２）の内部には、成膜源１００に電気及び冷却液を供給する供給設備（配線５１及び冷却管６１）が設けられている。なお、配線５１及び冷却管６１は単数設けられることもあるし、複数設けられることもある。そして、本実施形態に係る成膜装置１においては、連結機構２４０の内部に、供給設備の異常の発生の有無を確認するための確認手段３００が設けられている。なお、供給設備の異常としては、配線５１の断線、冷却管６１からの冷却液の漏れなどを挙げることができる。

【0023】

また、本実施形態に係る成膜装置１においては、チャンバ１０の外部に、確認手段３００により得られたデータを処理する処理装置３００Ｘが設けられている。確認手段３００は以下の実施例に示すように各種の手段を採用することができ、処理装置３００Ｘは確認手段３００に応じた装置を採用することができる。例えば、確認手段３００から撮影データが送られる場合には、処理装置３００Ｘとしては、撮影画像を表示する表示装置（ディスプレイなど）を採用することができる。この場合、検査者が撮影画像から供給設備の異常の有無を確認することができる。また、処理装置３００Ｘとしては、得られたデータから供給設備の異常の有無を判定することが可能な装置（コンピュータなど）を採用することもできる。すなわち、得られた撮影画像のデータを分析して供給設備の異常の有無を判定する装置を使用することができる。また、測定温度、測定湿度、及び漏水の検出などに基づいて、供給設備の異常の有無を判定する装置を適用することもできる。なお、確認手段３００と処理装置３００Ｘは、連結機構２４０の内部を通じて、配線によって電気的に接続することもできるし、配線を用いずに無線によってデータの送受信を行うこともできる。図２及び図３においては無線によってデータの送受信を行う場合を示している。

【0024】

＜本実施形態に係る成膜装置の優れた点＞
以上のように構成される成膜装置１によれば、確認手段３００が設けられることによって、大気アームの内部を開けることなく、電気や冷却液を供給するための設備の異常の有無を容易に調べることができる。従って、異常の原因を調べる作業に要する時間を短くすることができる。なお、本実施形態では、成膜装置の一例として、スパッタ装置の場合を
示したが、本発明は成膜装置が真空蒸着装置（成膜源が蒸発源である）の場合にも適用可能である。

【0025】

以下、確認手段３００の具体的な実施例をいくつか説明する。

【0026】

（実施例１）
図５には本発明の実施例１に係る確認手段の構成について示している。図５は本発明の実施例１に係る確認手段の配置構成図であり、連結機構の内部に備えられる確認手段について、連結機構との配置関係を簡略的に示している。図５（ａ）は連結機構を上方から見た図に相当し、同図（ｂ）は連結機構を正面から見た図に相当する。また、図５においては、連結機構を構成する第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２については、その外形を点線にて示している。

【0027】

本実施例に係る確認手段として、連結機構を構成する第１大気アーム２４１及び第２大気アーム２４２の内部の電磁波を取得する取得手段としての第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２が採用されている。これら第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２は、供給設備を撮影するために、可視光線または赤外線を取得可能に構成されている。なお、第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２のうち、一方について可視光線を取得可能なカメラを採用し、他方について赤外線を取得可能なカメラを採用してもよい。

【0028】

第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２として、可視光線を取得可能なカメラを採用する場合には、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２の内部にそれぞれ供給設備を照射する第１光源３０３と第２光源３０４とを設けるのが望ましい。可視光線を取得可能なカメラの場合には、処理装置３００Ｘとして、ディスプレイなどの画像表示装置を採用することにより、処理装置３００Ｘに撮影した画像を表示させることができる。これにより、検査者が撮影画像から供給設備の異常の有無を確認することができる。また、赤外線を取得可能なカメラ（いわゆる赤外線カメラ）を採用した場合にも、供給設備などの撮影対象から発せられる赤外線を可視化して、処理装置３００Ｘとしてのディスプレイに撮影画像を表示させることができる。従って、同様に、検査者が撮影画像から供給設備の異常の有無を確認することができる。なお、処理装置３００Ｘとしては、得られた画像データから供給設備の異常の有無を判定することが可能な装置（コンピュータなど）を採用してもよい。すなわち、処理装置３００Ｘが、得られた撮影画像のデータを分析して供給設備の異常の有無を判定するようにしてもよい。

【0029】

第１のカメラ３０１は、第１大気アーム２４１内において第１アーム２４１の第１の端部２４１Ｐから第２大気アーム２４２との連結部２４３側の第２の端部２４１Ｑに向かって撮影するように配置されている。また、第２のカメラ３０２は、第２大気アーム２４２内において第２アーム２４２の第１の端部２４２Ｐから第１大気アーム２４１との連結部２４３側の第２の端部２４２Ｑに向かって撮影するように配置されている。以上の構成により、第１のカメラ３０１によって、第１大気アーム２４１内に配される供給設備全体を撮影することができ、第２のカメラ３０２によって、第２大気アーム２４２内に配される供給設備全体を撮影することができる。

【0030】

ここで、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２との連結部２４３の内部付近においては、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２が動作した際に、配線５１及び冷却管６１に摩擦が生じやすい。図５（ｂ）には、連結部２４３の付近における配線５１と冷却管６１の様子を部分的に実線で示している。これら配線５１や冷却管６１は複数設けられることも多く、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２が動作した際には、特に、連結部２４３の付近で配線５１や冷却管６１に捩じれるような負荷が作用し、配線５１や冷却管６１同士で摩擦が生じやすい。そのため、連結部２４３付近での断線や冷却
液漏れを確認できるようにするのが望ましい。

【0031】

上記の第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２では、連結部２４３の内部は撮影範囲の死角になっている。そこで、図５（ｂ）に示すように、反射鏡３０５を設置するのが望ましい。これにより、第２のカメラ３０２によって、死角となる領域である連結部２４３の内部を撮影可能に構成している。勿論、第１のカメラ３０１によって、連結部２４３の内部を撮影可能とする反射鏡を設けてもよい。また、連結部２４３の内部を撮影するカメラを別途設けることもできる。

【0032】

また、本実施例においては、第１のカメラ３０１による撮影範囲内に第１の振り子３０６が設けられ、第２のカメラ３０２による撮影範囲内に第２の振り子３０７が設けられている。これにより、振り子の揺れ方によって、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２が異常な振動をしているか否かや、空気漏れも検査することができる。

【0033】

（実施例２）
図６には本発明の実施例２に係る確認手段の構成について示している。図６は本発明の実施例２に係る確認手段の配置構成図であり、連結機構の内部に備えられる確認手段について、連結機構との配置関係を簡略的に示している。図６（ａ）は連結機構を正面から見た図に相当し、同図（ｂ）は第２アームを上方から見た図に相当する。また、図６においては、連結機構を構成する第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２については、その外形を点線にて示している。

【0034】

本実施例に係る確認手段として、実施例１と同様に、連結機構を構成する第１大気アーム２４１及び第２大気アーム２４２の内部の電磁波を取得する取得手段としての第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２が採用されている。これら第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２自体の構成については、実施例１で説明した通りである。

【0035】

また、第１のカメラ３０１及び第２のカメラ３０２として、可視光線を取得可能なカメラを採用する場合には、第１光源３０３と第２光源３０４とを設けるのが望ましい点についても実施例１で説明した通りである。なお、処理装置３００Ｘについても、実施例１で説明した通りである。

【0036】

第１大気アーム２４１の内部に配される第１のカメラ３０１は、支柱３０１ａによって第２大気アーム２４２に固定されている。これにより、第１のカメラ３０１は、第２大気アーム２４２との連結部側の第２の端部２４１Ｑから第１大気アーム２４１における連結部側とは反対側の第１の端部２４１Ｐに向かって撮影するように配置されている。第２大気アーム２４２の内部に配される第２のカメラ３０２は、支柱３０２ａによって第１大気アーム２４１に固定されている。これにより、第２のカメラ３０２は、第１大気アーム２４１との連結部側の第２の端部２４２Ｑから第２大気アーム２４２における連結部側とは反対側の第１の端部２４２Ｐに向かって撮影するように配置されている。以上の構成により、第１のカメラ３０１によって、第１大気アーム２４１内に配される供給設備全体を撮影することができ、第２のカメラ３０２によって、第２大気アーム２４２内に配される供給設備全体を撮影することができる。

【0037】

そして、本実施例においては、第１大気アーム２４１の内部に配される第１のカメラ３０１は、支柱３０１ａによって第２大気アーム２４２に固定されている。また、第２大気アーム２４２の内部に配される第２のカメラ３０２は、支柱３０２ａによって第１大気アーム２４１に固定されている。これにより、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２とが相対的に回動する際に、第１のカメラ３０１と第２のカメラ３０２の撮影範囲が変化するため、カメラの撮影範囲が狭い場合であっても、広範囲の撮影が可能となる。図６
（ｂ）では、第２のカメラ３０２について示しており、第２のカメラ３０２が固定される第１大気アーム２４１に対して第２大気アーム２４２が回動することで、第２のカメラ３０２の撮影範囲が変化することが分かる。

【0038】

また、特に図示はしないが、本実施例においても、複数の反射鏡を設けたり、別途、カメラを設けることで、連結部２４３の内部を撮影可能に構成するのが望ましい。更に、本実施例においても、第１のカメラ３０１による撮影範囲内に第１の振り子を設け、第２のカメラ３０２による撮影範囲内に第２の振り子を設けてもよい。

【0039】

（実施例３）
図７には本発明の実施例３に係る確認手段の構成について示している。図７は本発明の実施例３に係る確認手段の配置構成図であり、連結機構の内部に備えられる確認手段について、連結機構との配置関係を簡略的に示している。図７（ａ）は連結機構を上方から見た図に相当し、同図（ｂ）は連結機構を正面から見た図に相当する。また、図７においては、連結機構を構成する第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２については、その外形を点線にて示している。

【0040】

本実施例に係る確認手段として、実施例１と同様に、連結機構を構成する第１大気アーム２４１及び第２大気アーム２４２の内部の電磁波を取得する取得手段としてのカメラ３１０が採用されている。本実施例に係るカメラ３１０は、撮影範囲が全天球又は半天球の全体像を撮影可能な３６０°カメラを採用している。このカメラ３１０が、供給設備を撮影するために、可視光線または赤外線を取得可能に構成される点については、実施例１と同様である。

【0041】

また、カメラ３１０として、可視光線を取得可能なカメラを採用する場合には、第１光源３０３と第２光源３０４とを設けるのが望ましい点についても実施例１で説明した通りである。なお、処理装置３００Ｘについても、実施例１で説明した通りである。

【0042】

カメラ３１０は、第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２との連結部２４３に設けられている。そして、このカメラ３１０は、第１大気アーム２４１における連結部２４３側とは反対側の第１の端部２４１Ｐに向かって撮影し、かつ第２大気アーム２４２における連結部２４３側とは反対側の第１の端部２４２Ｐに向かって撮影するように構成されている。なお、本実施例においては、第１大気アーム２４１の内部に第１の反射鏡３１１を設け、第２大気アーム２４２の内部に第２の反射鏡３１２を設けることで、カメラ３１０によって、各アームの内部全域を撮影可能としている。

【0043】

また、特に図示はしないが、本実施例においても、カメラ３１０による撮影範囲内において、第１大気アーム２４１内に設けられる第１の振り子と、第２大気アーム２４２内に設けられる第２の振り子とを設けてもよい。

【0044】

（実施例４）
図８には本発明の実施例４に係る確認手段の構成について示している。図８は本発明の実施例４に係る確認手段の配置構成図であり、連結機構の内部に備えられる確認手段について、連結機構との配置関係を簡略的に示している。図８（ａ）（ｂ）は連結機構を正面から見た図に相当する。また、図８においては、連結機構を構成する第１大気アーム２４１と第２大気アーム２４２については、その外形を点線にて示している。

【0045】

実施例１～３においては、確認手段が電磁波を取得する取得手段として、可視光線または赤外線を取得可能なカメラの場合を示した。これに対して、本実施例においては、確認手段の他の例を示す。

【0046】

図８（ａ）に示す構成においては、第１大気アーム２４１の内部に、電波を発生するレーダーと取得手段としてのアンテナとを一体的に備えるレーダー装置３２０が設けられている。このレーダー装置３２０におけるアンテナは、レーダーの反射波を取得するように構成されている。レーダー装置３２０は、第１大気アーム２４１の第１の端部２４１Ｐから第２の端部２４１Ｑに向けて電波を発生するように構成されている。処理装置３００Ｘはレーダー装置３２０から得られたデータ（電波の反射波に関する情報）により、断線の有無や冷却液の漏れを検出することができ、供給設備の異常の有無を判定することができる。

【0047】

また、図８（ａ）に示す構成においては、第２大気アーム２４２の内部に、超音波を発生する超音波源と取得手段としての受波器とを一体的に備える超音波装置３３０が設けられている。この超音波装置３３０における受波器は、超音波源からの超音波の反射波を取得するように構成されている。超音波装置３３０は、第２大気アーム２４２の第１の端部２４２Ｐから第２の端部２４２Ｑに向けて超音波を発生するように構成されている。処理装置３００Ｘは超音波装置３３０から得られたデータ（超音波の反射波に関する情報）により、断線の有無や冷却液の漏れを検出することができ、供給設備の異常の有無を判定することができる。

【0048】

図８（ａ）では、第１大気アーム２４１の内部にレーダー装置３２０を設け、第２大気アーム２４２の内部に超音波装置３３０を設ける場合を示した。しかしながら、両アームの内部にレーダー装置３２０を設けたり、両アームの内部に超音波装置３３０を設けることもできる。勿論、第１大気アーム２４１の内部に超音波装置３３０を設け、第２大気アーム２４２の内部にレーダー装置３２０を設けることもできる。また、上記実施例１，２または３の構成に対して、本実施例で示したレーダー装置３２０や超音波装置３３０を組み合わせる構成を採用することもできる。

【0049】

図８（ｂ）に示す構成においては、第１大気アーム２４１の内部に、確認手段としての温湿度計３４０が設けられている。処理装置３００Ｘは温湿度計３４０から得られたデータ（温度と湿度）により、冷却液の漏れを検出することができ、供給設備の異常の有無を判定することができる。なお、温湿度計３４０ではなく、温度を測定する温度計のみ、又は、湿度を測定する湿度計のみを設けてもよい。また、温度を測定する手段としては、赤外線により温度を測定する取得手段としての赤外線温度計を採用することもできる。

【0050】

また、図８（ｂ）に示す構成においては、第２大気アーム２４２の内部に、水漏れを検出する確認手段としての漏水センサー３５０が設けられている。処理装置３００Ｘは漏水センサー３５０から得られたデータ（漏水を検出した情報）により、冷却液の漏れを検出することができ、供給設備の異常の有無を判定することができる。

【0051】

図８（ｂ）では、第１大気アーム２４１の内部に温湿度計３４０を設け、第２大気アーム２４２の内部に漏水センサー３５０を設ける場合を示した。しかしながら、両アームの内部に温湿度計３４０を設けたり、両アームの内部に漏水センサー３５０を設けることもできる。勿論、第１大気アーム２４１の内部に漏水センサー３５０を設け、第２大気アーム２４２の内部に温湿度計３４０を設けることもできる。また、上記実施例１，２または３の構成に対して、本実施例で示した温湿度計３４０（温度計のみ、または湿度計のみも可）や漏水センサー３５０を組み合わせる構成を採用することもできる。

【0052】

＜電子デバイスの製造方法＞
上記実施形態で示した成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法の一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機ＥＬ表示装置の構成を示し、有機ＥＬ表示装置の製造方
法を例示する。

【0053】

まず、製造する有機ＥＬ表示装置について説明する。図９（ａ）は有機ＥＬ表示装置５００の全体図、図９（ｂ）は１画素の断面構造を表している。

【0054】

図９（ａ）に示すように、有機ＥＬ表示装置５００の表示領域５０１には、発光素子を複数備える画素５０２がマトリクス状に複数配置されている。詳細は後で説明するが、発光素子のそれぞれは、一対の電極に挟まれた有機層を備えた構造を有している。なお、ここでいう画素とは、表示領域５０１において所望の色の表示を可能とする最小単位を指している。本実施例に係る有機ＥＬ表示装置の場合、互いに異なる発光を示す第１発光素子５０２Ｒ、第２発光素子５０２Ｇ、第３発光素子５０２Ｂの組み合わせにより画素５０２が構成されている。画素５０２は、赤色発光素子と緑色発光素子と青色発光素子の組み合わせで構成されることが多いが、黄色発光素子とシアン発光素子と白色発光素子の組み合わせでもよく、少なくとも１色以上であれば特に制限されるものではない。

【0055】

図９（ｂ）は、図９（ａ）のＶ－Ｖ線における部分断面模式図である。画素５０２は、複数の発光素子からなり、各発光素子は、基板５０３上に、第１電極（陽極）５０４と、正孔輸送層５０５と、発光層５０６Ｒ、５０６Ｇ、５０６Ｂのいずれかと、電子輸送層５０７と、第２電極（陰極）５０８と、を有している。これらのうち、正孔輸送層５０５、発光層５０６Ｒ、５０６Ｇ、５０６Ｂ、電子輸送層５０７が有機層に当たる。また、本実施例では、発光層５０６Ｒは赤色を発する有機ＥＬ層、発光層５０６Ｇは緑色を発する有機ＥＬ層、発光層５０６Ｂは青色を発する有機ＥＬ層である。発光層５０６Ｒ、５０６Ｇ、５０６Ｂは、それぞれ赤色、緑色、青色を発する発光素子（有機ＥＬ素子と記述する場合もある）に対応するパターンに形成されている。

【0056】

また、第１電極５０４は、発光素子毎に分離して形成されている。正孔輸送層５０５と電子輸送層５０７と第２電極５０８は、複数の発光素子５０２Ｒ、５０２Ｇ、５０２Ｂで共通に形成されていてもよいし、発光素子毎に形成されていてもよい。なお、第１電極５０４と第２電極５０８とが異物によってショートするのを防ぐために、第１電極５０４間に絶縁層５０９が設けられている。さらに、有機ＥＬ層は水分や酸素によって劣化するため、水分や酸素から有機ＥＬ素子を保護するための保護層５１０が設けられている。

【0057】

図９（ｂ）では正孔輸送層５０５や電子輸送層５０７は一つの層で示されているが、有機ＥＬ表示素子の構造によっては、正孔ブロック層や電子ブロック層を備える複数の層で形成されてもよい。また、第１電極５０４と正孔輸送層５０５との間には第１電極５０４から正孔輸送層５０５への正孔の注入が円滑に行われるようにすることのできるエネルギーバンド構造を有する正孔注入層を形成することもできる。同様に、第２電極５０８と電子輸送層５０７の間にも電子注入層が形成することもできる。

【0058】

次に、有機ＥＬ表示装置の製造方法の例について具体的に説明する。

【0059】

まず、有機ＥＬ表示装置を駆動するための回路（不図示）及び第１電極５０４が形成された基板（マザーガラス）５０３を準備する。

【0060】

第１電極５０４が形成された基板５０３の上にアクリル樹脂をスピンコートで形成し、アクリル樹脂をリソグラフィ法により、第１電極５０４が形成された部分に開口が形成されるようにパターニングし絶縁層５０９を形成する。この開口部が、発光素子が実際に発光する発光領域に相当する。

【0061】

絶縁層５０９がパターニングされた基板５０３を粘着部材が配置された基板キャリアに
載置する。粘着部材によって、基板５０３は保持される。第１の有機材料成膜装置に搬入し、反転後、正孔輸送層５０５を、表示領域の第１電極５０４の上に共通する層として成膜する。正孔輸送層５０５は真空蒸着により成膜される。実際には正孔輸送層５０５は表示領域５０１よりも大きなサイズに形成されるため、高精細なマスクは不要である。

【0062】

次に、正孔輸送層５０５までが形成された基板５０３を第２の有機材料成膜装置に搬入する。基板とマスクとのアライメントを行い、基板をマスクの上に載置し、基板５０３の赤色を発する素子を配置する部分に、赤色を発する発光層５０６Ｒを成膜する。

【0063】

発光層５０６Ｒの成膜と同様に、第３の有機材料成膜装置により緑色を発する発光層５０６Ｇを成膜し、さらに第４の有機材料成膜装置により青色を発する発光層５０６Ｂを成膜する。発光層５０６Ｒ、５０６Ｇ、５０６Ｂの成膜が完了した後、第５の成膜装置により表示領域５０１の全体に電子輸送層５０７を成膜する。電子輸送層５０７は、３色の発光層５０６Ｒ、５０６Ｇ、５０６Ｂに共通の層として形成される。

【0064】

電子輸送層５０７まで形成された基板を金属性蒸着材料成膜装置で移動させて第２電極５０８を成膜する。

【0065】

その後プラズマＣＶＤ装置に移動して保護層５１０を成膜して、基板５０３への成膜工程を完了する。反転後、上述の実施例で説明したように粘着部材を基板５０３から剥離することで、基板キャリアから基板５０３を分離する。その後、裁断を経て有機ＥＬ表示装置５００が完成する。

【0066】

絶縁層５０９がパターニングされた基板５０３を成膜装置に搬入してから保護層８１０の成膜が完了するまでは、水分や酸素を含む雰囲気にさらしてしまうと、有機ＥＬ材料からなる発光層が水分や酸素によって劣化してしまうおそれがある。従って、本実施例において、成膜装置間の基板の搬入搬出は、真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気の下で行われる。

【0067】

上記各実施例においては、連結機構を構成する２つのアーム（第１大気アーム２４１及び第２大気アーム２４２）の内部に確認手段３００を設ける場合を示した。しかしながら、連結機構を構成するアームを３つ以上備える場合においても、全てのアームの内部において、設備の異常の有無を確認できるように、確認手段を設けるのが望ましい。

【符号の説明】

【0068】

１…成膜装置 １０…チャンバ ５０…電源 ５１…配線 ６０…冷却液供給装置 ６１…冷却管 １００…成膜源 ２１０…大気ボックス ２４０…連結機構 ３００…確認手段 ３００Ｘ…処理装置 ３０１，３０２，３１０…カメラ ３０５，３１１，３１２…反射鏡 ３０６，３０７…振り子 ３２０…レーダー装置 ３３０…超音波装置 ３４０…温湿度計 ３５０…漏水センサー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】