特許7608696電子エネルギー損失分光（ＥＥＬＳ）スペクトルを取得する、サンプルを荷電粒子顕微鏡を使用して検査する方法

発明の名称　電子エネルギー損失分光（ＥＥＬＳ）スペクトルを取得する、サンプルを荷電粒子顕微鏡を使用して検査する方法

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 450 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 872 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7608696

公報発行日　2025年1月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7608696

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