特許 7616869 樹脂組成物、及び、板状物への被覆層形成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-08

(45)【発行日】2025-01-17

(54)【発明の名称】樹脂組成物、及び、板状物への被覆層形成方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20250109BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20250109BHJP

   C08F 2/50 20060101ALI20250109BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 622J

B24B41/06 L

H01L21/304 631

C08F2/50

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020190739

(22)【出願日】2020-11-17

(65)【公開番号】P2022079881

(43)【公開日】2022-05-27

【審査請求日】2023-09-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100142804

【弁理士】

【氏名又は名称】大上 寛

(72)【発明者】

【氏名】下谷 誠

【審査官】小山 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１１８４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１４１３９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１９２４６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３３７８２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０９２５２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１６－５１３１５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｃ０８Ｆ ２／５０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状物を固定する樹脂組成物であって、
（メタ）アクリレートと、
可塑剤または反応性希釈剤と、
粘着付与剤と、
からなる組成物に光重合開始剤を含ませたものであり、
該樹脂組成物は、
該（メタ）アクリレートを２５質量％以上５５質量％以下、
該可塑剤又は反応性希釈剤を３５質量％以上６５質量％以下、
該粘着付与剤を０．１質量％以上１０質量％以下含む、
樹脂組成物。

【請求項2】

板状物を固定する樹脂組成物であって、
（メタ）アクリレートと、
可塑剤または反応性希釈剤と、
粘着付与剤と、
からなる組成物に光重合開始剤を含ませたものであり、
該樹脂組成物は、
該（メタ）アクリレートを２５質量％以上５５質量％以下、
該可塑剤又は反応性希釈剤を３５質量％以上６５質量％以下、
該粘着付与剤を１０質量％含む、
樹脂組成物。

【請求項3】

該（メタ）アクリレートは、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート、又は、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレート、のいずれか、もしくは混合からなる、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の樹脂組成物。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか一項に記載の樹脂組成物を用いた板状物への被覆層形成方法であって、
フィルム上に該樹脂組成物を供給する樹脂組成物供給ステップと、
該フィルム上の該樹脂組成物に板状物の第１面を対面させて接触させる接触ステップと、
該フィルムを該板状物とともにステージ上に載置する載置ステップと、
該板状物の第２面側から該第１面に向かう力を加えて該板状物を該ステージに向けて押しつけ、該樹脂組成物を該第１面の全体に広げる押圧ステップと、
該板状物の該第１面を覆う該樹脂組成物に光を照射して該樹脂組成物を硬化する硬化ステップと、を備えたことを特徴とする板状物への被覆層形成方法。

【請求項5】

該フィルムは（メタ）アクリレートを含む、ことを特徴とする請求項４に記載の板状物への被覆層形成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハ等の板状物に被覆層を形成するために用いられる樹脂組成物および樹脂組成物を用いる板状物の被覆層形成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイス（デバイス）の材料となるウェーハは、通常、シリコン、シリコンカーバイド、ガリウムナイトライド等の半導体でなるインゴットから、バンドソーやワイヤーソー等の工具で切り出される。

【0003】

このように切り出された直後のウェーハ（アズスライスウェーハ）には、反りやうねりが存在している。そこで、このウェーハの片面に樹脂を塗布して硬化させ被覆層を形成し、この被覆層にて基準面を形成した後、基準面側をテーブルにて保持しつつ反対側に露出した被研削面を研削することで、反りやうねりを除去してウェーハを平坦にする加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００９－１４８８６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

一般に、水や溶剤等の液体を含む樹脂は、液体を揮発させると収縮する。また、光や熱で硬化する硬化型の樹脂は、硬化の前後において体積が変化して収縮し易い。硬化の際の収縮率が高い樹脂を、ウェーハ等の板状物に被覆層を形成するために用いると、樹脂の収縮によって板状物の内部に応力が発生してしまう。

【0006】

内部に応力が発生した状態で板状物を研削して平坦にすると、樹脂を除去する際に内部の応力が解放されて、反りやうねりが再び現れてしまう（いわゆる、スプリングバック）。この問題を解決するには、硬化の際の収縮率が十分に低い樹脂を用いて、板状物に加わる力を小さく抑えればよい。

【0007】

しかしながら、収縮率の低い樹脂は、硬化し難く、板状物に被覆層を形成するのに適さない。また、硬化の完了までに長い時間を要するため、生産性も低くなってしまう。

【0008】

したがって、硬化の際の収縮率をより低く抑えながらも、より短時間で硬化しやすい樹脂組成物が求められている現状がある。

【0009】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、板状物に被覆層を形成する際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持することが可能な樹脂組成物、及び樹脂組成物を用いる板状物の被覆層形成方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0011】

本発明の一態様によれば、板状物を固定する樹脂組成物であって、（メタ）アクリレートと、可塑剤または反応性希釈剤と、粘着付与剤と、からなる組成物に光重合開始剤を含ませたことを特徴とする樹脂組成物とするものである。

【0012】

また、本発明の一態様によれば、該樹脂組成物は、該（メタ）アクリレートを２５質量％以上５５質量％以下、該可塑剤又は反応性希釈剤を３５質量％以上６５質量％以下、該粘着付与剤を０．１質量％以上１０質量％以下含む、こととするものである。

【0013】

また、本発明の一態様によれば、該（メタ）アクリレートは、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート、又は、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレート、のいずれか、もしくは混合からなる、こととするものである。

【0014】

また、本発明の一態様によれば、樹脂組成物を用いた板状物への被覆層形成方法であって、フィルム上に該樹脂組成物を供給する樹脂組成物供給ステップと、該フィルム上の該樹脂組成物に板状物の第１面を対面させて接触させる接触ステップと、該フィルムを該板状物とともにステージ上に載置する載置ステップと、該板状物の第２面側から該第１面に向かう力を加えて該板状物を該ステージに向けて押しつけ、該樹脂組成物を該第１面の全体に広げる押圧ステップと、該板状物の該第１面を覆う該樹脂組成物に光を照射して該樹脂組成物を硬化する硬化ステップと、を備えることとするものである。

【0015】

また、本発明の一態様によれば、該フィルムは（メタ）アクリレートを含む、こととするものである。

【発明の効果】

【0016】

本発明の一態様によれば、収縮を抑えながら短時間で硬化可能な樹脂組成物を実現でき、板状物に形成した被覆層を除去した際に反りやうねりが再び現れることによる、いわゆるスプリングバックを防止することができる。

【0017】

また、本発明の一態様によれば、フィルムに（メタ）アクリレートが含まれることにより、被覆層とフィルムがより強固に固定され、後の工程において被覆層がフィルムとともに剥がしやすくなり、板状物上の被覆層の残存を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】（Ａ）は、本実施の形態の樹脂組成物で被覆層が形成される板状物の例を模式的に示す斜視図である。（Ｂ）は、板状物の例を模式的に示す断面図である。

【図2】板状物に被覆層を形成する被覆層形成装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る被覆層形成方法のフローチャートである。

【図4】（Ａ）は、樹脂組成物を用いて板状物に被覆層を形成する被覆層形成方法を模式的に示す一部断面側面図である。（Ｂ）は、押圧ステップについて説明する図である。

【図5】（Ａ）は、硬化ステップについて説明する図である。（Ｂ）は、硬化ステップを終了した状態について示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る樹脂組成物は、例えば、ウェーハ等の板状物に被覆層を形成するために用いられる。図１（Ａ）は、本実施の形態の樹脂組成物に被覆層が形成される板状物の例を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、板状物の例を模式的に示す断面図である。

【0020】

図１（Ａ）に示すように、板状物１１は、例えば、シリコン、シリコンカーバイド、ガリウムナイトライド等の半導体でなる円柱状のインゴットから、バンドソーやワイヤーソー等の工具で切り出された円盤状のウェーハ（アズスライスウェーハ）である。この板状物１１には、図１（Ｂ）に示すように、インゴットからの切り出しに伴う反りやうねりが存在している。

【0021】

反りやうねりのある板状物１１は、デバイス等の形成に適さない。そのため、板状物１１に樹脂組成物による被覆層を形成し、平坦化する必要がある。例えば、板状物１１の裏面（第１面）１１ｂ側に塗布した樹脂組成物を硬化させて平坦な基準面を形成し、その後、板状物１１の表面（第２面）１１ａ側を研削することで、板状物１１の反りやうねりを除去できる。

【0022】

図２は、板状物１１に被覆層を形成する被覆層形成装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２に示すように、被覆層形成装置２は、ロール状に巻回されたフィルム１３が装着される送り出しローラー４と、送り出しローラー４から送り出されたフィルム１３を巻き取る巻き取りローラー６とを備える。

【0023】

送り出しローラー４及び巻き取りローラー６は、それぞれ、モーター等の回転駆動源（不図示）と連結されており、フィルム１３を、送り出しローラー４側から巻き取りローラー６側へと移動させる。フィルム１３は、例えば、（メタ）アクリレート（アクリル樹脂）等の樹脂材料で形成されている。

【0024】

送り出しローラー４の上方には、スリットコーター等の樹脂供給ユニット８が配置されている。この樹脂供給ユニット８は、送り出しローラー４から送り出されたフィルム１３の表面１３ａ側に、本発明の一実施形態に係る樹脂組成物１５（図４、図５参照）を供給する。

【0025】

樹脂供給ユニット８の上方には、樹脂組成物１５が供給されたフィルム１３の表面１３ａに板状物１１を位置付ける上下一対のローラー１０，１２が設けられている。下側のローラー１０は、フィルム１３の進行方向を変えて、樹脂組成物１５が供給された表面１３ａ側を上方に位置付ける。

【0026】

フィルム１３の表面１３ａには、樹脂組成物１５を介して板状物１１が載置される。本実施の形態では、板状物１１の裏面１１ｂ側を樹脂組成物１５に接触させる。ただし、板状物１１の表面１１ａ側を樹脂組成物１５に接触させてもよい。その後、上側のローラー１２は、フィルム１３に載置された板状物１１に当接して回転する。板状物１１は、フィルム１３と共にローラー１０，１２で挟み込まれ、所定の位置に位置付けられる。

【0027】

ローラー１０，１２で所定の位置に位置付けられた板状物１１は、フィルム１３と共に隣接する樹脂硬化ユニット１４へと搬送される。樹脂硬化ユニット１４は、内部に空間を有する略直方体状の基台１６を含む。基台１６の上部には、内部の空間を閉じるように、略平坦な上面を有するステージ１８が配置されている。

【0028】

ステージ１８は、例えば、ホウ酸ガラス、石英ガラス等で構成されており、樹脂組成物１５を硬化させる波長の光を透過する。このステージ１８の上面は、ローラー１０，１２側から搬送されたフィルム１３を保持する保持面となっている。ステージ１８上に載置されたフィルム１３は、吸引機構（不図示）等で保持面に吸引保持される。

【0029】

ステージ１８の下方には、樹脂組成物１５を硬化させる波長の光を放射する光源２０が配置されている。ステージ１８と光源２０との間には、光源２０からの光を遮断するシャッター２２が設けられている。また、シャッター２２の上方には、樹脂組成物１５の硬化に必要のない波長の光を遮断するフィルタ２４が配置されている。

【0030】

シャッター２２を完全に閉じると、光源２０からの光はシャッター２２で遮断され、ステージ１８に到達しない。一方、シャッター２２を開くと、光源２０からの光は、フィルタ２４及びステージ１８を透過して、フィルム１３に照射される。フィルム１３は、樹脂組成物１５を硬化させる波長の光を透過できるように構成されており、樹脂組成物１５は、フィルム１３を透過した光で硬化する。

【0031】

基台１６の側壁には、内部の空間に繋がる排気管２６が設けられている。この排気管２６は、基台１６の外部において排気ポンプ（不図示）等と接続されている。光源２０からの光で基台１６の内部の温度が上昇すると、ステージ１８が変形して保持面の平坦度は低下してしまう。そのため、排気管２６に接続された排気ポンプ等で基台１６の内部を排気して、温度上昇を抑制する。

【0032】

ステージ１８と隣接する位置には、支持構造２８が設けられている。支持構造２８は、基台１６に立設された壁部２８ａと、壁部２８ａの上端から水平方向に延出された庇部２８ｂとを含む。ステージ１８の上方に位置する庇部２８ｂの中央には、フィルム１３上の板状物１１を下向きに押圧する押圧機構３０が設けられている。

【0033】

押圧機構３０は、鉛直方向に伸びる中央の主ロッド３２と、主ロッド３２と平行に配置された複数（本実施の形態では４本）の副ロッド３４とを含む。複数の副ロッド３４は、主ロッド３２の周りにおいて略等間隔に配置されている。主ロッド３２及び複数の副ロッド３４の下端には、板状物１１の形状に対応した円盤状の押圧パッド３６が固定されている。

【0034】

主ロッド３２及び複数の副ロッド３４は、それぞれ、モーター等を含む昇降機構（不図示）と連結されている。この昇降機構で主ロッド３２及び複数の副ロッド３４を下降させることにより、押圧パッド３６で板状物１１の表面１１ａ側を押圧できる。昇降機構は、主ロッド３２及び複数の副ロッド３４を独立に昇降させて、板状物１１にかかる押圧力を調整する。

【0035】

フィルム１３上の樹脂組成物１５に板状物１１の裏面１１ｂ側を重ねた後、上述した押圧機構３０で表面１１ａ側を押圧して、フィルム１３の表面１３ａと板状物１１の裏面１１ｂとの間で樹脂組成物１５を均一に広げる。その後、光源２０の光を樹脂組成物１５に照射することで、樹脂組成物１５を硬化して板状物１１に被覆層を形成できる。

【0036】

フィルム１３は、（メタ）アクリレートが含まれることが好ましい。フィルム１３に（メタ）アクリレートが含まれることにより、被覆層とフィルムがより強固に強固に固定され、後の工程において被覆層がフィルムとともに剥がしやすくなり、板状物上の被覆層の残存を防ぐことができる。

【0037】

樹脂組成物１５により被覆層が形成された板状物１１は、隣接するフィルム切断ユニット３８へと搬送される。フィルム切断ユニット３８は、略直方体状の基台４０を含む。基台４０の上部には、略平坦な上面を有するテーブル４２が配置されている。このテーブル４２の上面は、樹脂硬化ユニット１４側から搬送されたフィルム１３を保持する保持面となっている。

【0038】

また、テーブル４２と隣接する位置には、支持構造４４が設けられている。支持構造４４は、基台４０に立設された壁部４４ａと、壁部４４ａの上端から水平方向に延出された庇部４４ｂとを含む。テーブル４２の上方に位置する庇部４４ｂの中央には、フィルム１３を円形に切断する切断機構４６が設けられている。

【0039】

切断機構４６は、鉛直方向に伸びるロッド４８と、板状物１１より大径のリング状の刃を備えたカッター５０とを含む。カッター５０は、ロッド４８の下端に固定されており、ロッド４８の上部に連結されたエアシリンダ等の昇降機構（不図示）で上下に移動する。この昇降機構でカッター５０を下降させて、テーブル４２上のフィルム１３に接触させれば、フィルム１３を板状物１１の外形に対応する円形に切断できる。

【0040】

被覆層形成装置２により被覆層が形成された板状物１１は、例えば、研削装置（不図示）で表面１１ａ側を研削された後に、樹脂組成物１５及びフィルム１３が除去される。

【0041】

本発明の一実施形態に係る樹脂組成物１５は、収縮を抑えながら短時間に硬化されるので、板状物１１に被覆層が形成される際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持することを可能とするものである。

【0042】

樹脂組成物１５は、（メタ）アクリレートと、可塑剤又は反応性希釈剤と、粘着付与剤と、からなる組成物Ａに、光重合開始剤を含ませてなるものである。このような複数の材料を適切な分量で混合することにより、収縮を抑えながら短時間で硬化可能な樹脂組成物を実現でき、板状物に形成した被覆層を除去した際に反りやうねりが再び現れることによる、いわゆるスプリングバックを防止することができる。

【0043】

樹脂組成物１５には、以下の３成分を、所定の質量％の割合で含んで構成される。
成分１：（メタ）アクリレートを２５質量％以上５５質量％以下
成分２：可塑剤又は反応性希釈剤を３５質量％以上６５質量％以下
成分３：粘着付与剤を０．１質量％以上１０質量％以下

【0044】

上記の成分１、２、３を含むものを本明細書において組成物Ａとする。

【0045】

（メタ）アクリレートは、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート、又は、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレート、のいずれか、もしくは混合からなる、こととする。

【0046】

組成物Ａにおいて、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートの含有率が増えると、硬化性が高くなり、硬化時の収縮率が低くなる。

【0047】

組成物Ａにおいて、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートの含有率が増えると、硬化性が高くなり、硬化時の収縮率が高くなる。

【0048】

組成物Ａにおいて、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、を混合して含有させることができる。ここで、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートは、分子内にウレタン結合を有することにより、分子量が大きくなり、粘性が高くなる傾向にある。一方で、ウレタン結合を有しない（メタ）アクリレートは、硬化時の収縮率は高いものの、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートよりも粘性が低く硬度が高い。そこで、ウレタン結合の有／なしの二種類の（メタ）アクリレートを混合して含有させることで、硬化性や収縮率、硬度を調整することができる。

【0049】

なお、（メタ）アクリレートとは、アクリル酸化合物であるアクリレート、又はメタクリル酸化合物であるメタクリレートを示し、ウレタン結合（ウレタン基）を有する（メタ）アクリレートは、分子内にウレタン基を有するものをいう。

【0050】

ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートとして、具体的には、ライトアクリレートＩＡＡ、ＡＴ－６００、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＵＡ－５１０Ｈ、ＵＦ－８００１Ｇ、ＤＡＵＡ－１６７、ＵＦ－０７ＤＦ（いずれも共栄社化学株式会社製）、Ｒ－１２３５、Ｒ－１２２０、ＲＳＴ－２０１、ＲＳＴ－４０２、Ｒ－１３０１、Ｒ－１３０４、Ｒ－１２１４、Ｒ－ １３０２ＸＴ、ＧＸ－８８０１Ａ、Ｒ－１６０３、Ｒ－１１５０Ｄ、ＤＯＣＲ－１０２、ＤＯＣＲ－２０６（いずれも第一工業製薬株式会社製）、ＵＸ－３２０４、ＵＸ－４１０１、ＵＸＴ－６１００、ＵＸ－６１０１、ＵＸ－７１０１、ＵＸ－８１０１、ＵＸ－０９３７、ＵＸＦ－４００１－Ｍ３５、ＵＸＦ－４００２、ＤＰＨＡ－４０Ｈ、ＵＸ－５０００、ＵＸ－５１０２Ｄ－Ｍ２０、ＵＸ－５１０３Ｄ、ＵＸ－５００５、ＵＸ－３２０４、ＵＸ－４１０１、ＵＸ－６１０１、ＵＸ－７１０１、ＵＸ－８１０１、ＵＸ－０９３７、ＵＸＦ－４００１－Ｍ３５、ＵＸＦ－４００２、ＵＸＴ－６１００、ＤＰＨＡ－４０Ｈ、ＵＸ－５０００、ＵＸ－５１０２Ｄ－Ｍ２０、ＵＸ－５１０３、ＵＸ－５００５（いずれも日本化薬株式会社製）を用いることができる。

【0051】

ウレタン結合を有しない（メタ）アクリレートは、分子内に（ウレタン基）を有しないものをいう。
具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート、イソボルニルアクリレート、フェニルグリシジルエーテルアクリレート、１，９－ノナンジオールジアクリレート等が挙げられ、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート、もしくは、イソボルニルアクリレートを用いることができる。

【0052】

可塑剤は、エステルを使用することができる。可塑剤としてのエステルは、低い収縮率を示す。
可塑剤は、樹脂の間隙に入り込むことで、樹脂が規則正しく配向するのを阻害し、ガラス遷移点以下でもアモルファス状態を維持することができる材料をいう。この可塑剤は、（メタ）アクリレートのアクリル基と反応しにくい特性を有するため、（メタ）アクリレートと可塑剤とを混合して重合させる場合に、樹脂組成物１５ａの収縮率を抑えることができる。可塑剤として、具体的には、フタル酸エステルであるジメチルフタレート、エチルフタリルエチルグリコレート、脂肪族二塩基酸エステルであるビス［２－（２－ブトキシエトキシ）エチル］アジペート、スルホンアミドであるＮ－ブチルベンゼンスルホンアミド、もしくは、安息香酸グリコールエステルが用いることができる。

【0053】

反応性希釈剤は、単一のエポキシ基を有するエーテルを使用することができる。
反応性希釈剤は、低い収縮率を示す。反応性希釈剤は、（メタ）アクリレートの特性を損なわずに低粘度化するものである。反応性希釈剤としてはグリシジルエーテルが挙げられ、具体的には、グリシジ２－エチルヘキシル－グリシジルエーテル、ｐ－ｓｅｃ－ブチルフェニル－グリシジルエーテル（エピオール（登録商標）ＳＢ（日油株式会社））、もしくは、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル－グリシジルエーテル等を用いることができる。

【0054】

粘着付与剤は、タッキファイヤーと称されるものであり、例えば、テルペン樹脂、ロジン系樹脂、石油系樹脂、アルキルフェノール樹脂、キシレン樹脂である。
組成物Ａにおいて、粘着付与剤を含有させる目的は、可塑剤または反応性希釈剤の含有に伴う硬化不良を解消することである。即ち、可塑剤または反応性希釈剤は（メタ）アクリレート同士の反応を阻害して、（メタ）アクリレート同士の結合を阻害し、硬化不良をきたす。そこで、粘着付与剤を含有させることで、反応が阻害された状況下で（メタ）アクリレート同士を粘着させ、硬化不良の解消を図るものである。

【0055】

光重合開始剤は、上述した組成物Ａの光（紫外線）重合を開始させるためのものをいう。
本実施形態では、光重合開始剤として、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（例えば、ＢＡＳＦ社製のＩｒｇａｃｕｒｅ（登録商標）１８４等）、α－ヒドロキシアルキルフェノン（例えば、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製のＯｍｎｉｒａｄ（登録商標）１８４等）が用いられる。なお、光重合開始剤の分量は、樹脂組成物１５の硬化性を維持できる範囲で任意に調整される。

【0056】

以下、以上に説明した装置構成、及び、樹脂組成物を用い、板状物に被覆層を形成する方法について、図３に示すフローチャートの順に従って説明する。

【0057】

＜樹脂組成物供給ステップ＞
本実施の形態に係る生産方法では、まず、フィルム１３上に樹脂組成物１５を供給する樹脂組成物供給ステップを実施する。具体的には、図２に示すように樹脂供給ユニット８にて送り出しローラー４から送り出されたフィルム１３の表面１３ａ側に樹脂組成物１５を供給する。供給される樹脂組成物１５の量は、樹脂組成物１５により形成される被服層が板状物１１の反りやうねりを吸収できる十分な厚みを形成できるように設定される。

【0058】

＜接触ステップ＞
次いで、フィルム１３上の樹脂組成物１５に板状物１１の第１面（裏面１１ｂ）を対面させて接触させる接触ステップを実施する。具体的には、図２に示すように、フィルム１３と、フィルム１３に載置された板状物１１とを、上下のローラー１０，１２で挟み込むようにして、樹脂組成物１５に板状物１１を接触させる。

【0059】

＜載置ステップ＞
次いで、フィルム１３を板状物１１とともにステージ１８上に載置する載置ステップを実施する。具体的には、図２に示すようにフィルム１３を搬送することで、板状物１１を樹脂硬化ユニット１４のステージ１８上に搬入する。

【0060】

＜押圧ステップ＞
次いで、板状物１１の第２面（表面１１ａ）側から第１面（裏面１１ｂ）に向かう力を加えて板状物１１をステージ１８に向けて押しつけ、樹脂組成物１５を第１面（裏面１１ｂ）の全体に広げる押圧ステップを実施する。具体的には、まず、図４（Ａ）に示すように、板状物１１を押圧機構３０の下方に位置付けた状態で、フィルム１３をステージ１８の保持面に吸引保持させる。

【0061】

次いで、図４（Ｂ）に示すように、押圧パッド３６を所定の位置まで下降させて停止させる。これにより、板状物１１が下向きに押圧され、フィルム１３の表面１３ａと板状物１１の第１面（裏面１１ｂ）との間において、樹脂組成物１５が板状物１１の第１面（裏面１１ｂ）の全面に均一に広がる。

【0062】

＜硬化ステップ＞
次いで、板状物１１の第１面（裏面１１ｂ）を覆う樹脂組成物１５に光を照射して樹脂組成物１５を硬化する硬化ステップを実施する。具体的には、図５（Ａ）に示すように、光源２０から光２１を放射した状態でシャッター２２を開き、光源２０の光２１を樹脂組成物１５に照射する。その結果、樹脂組成物１５が硬化して、板状物１１に被覆層が形成される。

【0063】

保持面となるステージ１８の上面は、略平坦に形成されているので、フィルム１３の表面１３ａと接する樹脂組成物１５の下面も略平坦になる。本実施の形態では、上述した樹脂組成物１５を用いるので、収縮を抑えながら短時間に硬化して、板状物１１に被覆層を形成できる。

【0064】

なお、硬化ステップの過程においては、押圧パッド３６に作用する荷重の変化を図示せぬ荷重測定器にて測定される。硬化が開始すると荷重変化が始まり、硬化が完了すると荷重変化が終了する。この荷重の変化の開始から終了までの時間を計測することで、計測された時間を硬化時間として評価することができる。

【0065】

硬化終了後は、図５（Ｂ）に示すように、シャッター２２を閉じて光の照射を停止するとともに、押圧パッド３６を上昇させて板状物１１を開放し、下側に樹脂層が形成された板状物１１が下流へと搬送される。

【0066】

なお、被覆層の形成に使用される装置は、上述した装置構成に限定されない。例えば、ステージの上方に、板状物１１を保持する保持機構を備えた被覆層形成装置を用いて板状物１１に被覆層を形成することもできる。この場合、ステージに対面させるように板状物１１を保持機構で保持し、ステージ上に樹脂組成物１５を供給してから、板状物１１をステージにプレスして樹脂組成物１５を均一に広げる。その後、樹脂組成物１５に光を照射することで板状物１１に被覆層を形成できる。

【0067】

次に、本実施の形態に係る樹脂組成物１５の有効性を確認するために行った実験について説明する。

【0068】

＜実験１：粘着付与剤なし＞
本実験では、粘着付与剤を含有しない場合において、収縮率と硬化性を評価した。
（メタ）アクリレートと反応性希釈剤との混合比が異なる複数の樹脂組成物によりシリコンウェーハ（アズスライスウェーハ）に被覆層を形成した。

【0069】

本実験では、（メタ）アクリレート及び反応性希釈剤の全量に対して０．２質量％の光重合開始剤を添加した。
（メタ）アクリレートは、ＵＦ－８００１Ｇ（共栄社化学株式会社）を用いた（ウレタン結合有）。
反応性希釈剤は、エピオール（登録商標）ＳＢ（日油株式会社）を用いた。
光重合開始剤は、Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）１８４（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．）を用いた。
本実験の結果は次表の通りである。

【0070】

【表1】

【0071】

収縮率（単位：％）は、供給した樹脂組成物の硬化前の体積Ａと、硬化後の体積Ｂを求め、次の式（１）により求めた。
収縮率＝（Ａ―Ｂ）／Ａ×１００ （単位：％）
また、硬化性は、硬化時間が１０秒以下の場合は硬化が早いとして硬化性が良好○、１０秒超え１５秒未満を可△、１６秒以上を不可×とした。

【0072】

＜実験２：粘着付与剤あり＞
本実験では、粘着付与剤を含有した場合において、収縮率と硬化性を評価した。
（メタ）アクリレートは、ＵＦ－８００１Ｇ（共栄社化学株式会社）を用いた（ウレタン結合有）。
反応性希釈剤は、エピオール（登録商標）ＳＢ（日油株式会社）を用いた。
粘着付与剤は、ＹＳポリスターＵＨ１１５（ヤスハラケミカル株式会社）を用いた。
光重合開始剤は、Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）１８４（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．）を用いた。

【0073】

【表2】

【0074】

＜評価＞
以上のように、実験２において、試料２－２～試料２－８において、低い収縮率と良好な硬化性を両立できることが確認された。

【0075】

＜収縮率について＞
表１、２の比較から明らかなように、粘着付与剤を含有することで、収縮率（％）が低下することが確認された。例えば、同じ（メタ）アクリレートを６０質量％とする試料１－２と試料２－１を比較すると、収縮率（％）が２．２４と１．１８というように低下している。このことから、粘着付与剤を含有させることが収縮率（％）の低下に有効なことが確認された。

【0076】

ここで、実験１（表１）において、反応性希釈剤が収縮率（％）を低下させることを目的として含有させているが、実験２（表２）において反応性希釈剤に加え粘着付与剤が含有されることで、収縮率（％）がさらに低下することが確認できた。したがって、反応性希釈剤と粘着付与剤の組み合わせが、収縮率（％）の低減に有効であるといえる。

【0077】

＜硬化性について＞
表２から明らかなように、粘着付与剤を含有することで、試料２－２～試料２－８において、良好な硬化性が実現されることが確認された。このことから、粘着付与剤を含有させることが収縮率（％）を低下させつつ良好な硬化性も得られることが確認された。

【0078】

ここで、硬化性については、反応性希釈剤を含有させることで（メタ）アクリレート同士の反応及び結合が阻害されることが懸念されるが、粘着付与剤によって（メタ）アクリレート同士を粘着させることで、良好な硬化性が得られるものと考えられる。また、粘着付与剤によって硬化性を補完できることにより、反応性希釈剤の含有量を増やすことができ、反応性希釈剤による硬化時間短縮の機能を活用することができる。即ち、粘着付与剤と反応性希釈剤の含有量の設定により、硬化時間を調整することが可能となる。

【0079】

なお、上記の実験１，２では、（メタ）アクリレートとして、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートを用いたが、ウレタン結合を有しない（メタ）アクリレート、又は、両方を混合したものを用いた場合についても、同様の収縮率の低下と良好な硬化性を実現することが可能である。ウレタン結合の有／なし、又は、両方の（メタ）アクリレートのいずれを用いても粘着付与剤による効果は奏されるものであり、いずれの種類の（メタ）アクリレートを使用するかについては、求める硬化性や収縮率、硬度によって適宜選択されるものである。また、反応性希釈剤の代わりに、可塑剤を使用した場合においても、同様の収縮率の低下と良好な硬化性を実現することが可能である。

【符号の説明】

【0080】

１１ 板状物
１１ａ 表面（第２面）
１１ｂ 裏面（第１面）
１３ フィルム
１３ａ 表面
１５ 樹脂組成物
２ 被覆層形成装置
４ 送り出しローラー
６ 巻き取りローラー
８ 樹脂供給ユニット
１０ ローラー
１２ ローラー
１４ 樹脂硬化ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】