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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-01-09
(45)【発行日】2025-01-20
(54)【発明の名称】切削装置及び載置プレート
(51)【国際特許分類】
B24B 53/00 20060101AFI20250110BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20250110BHJP
B24B 53/12 20060101ALI20250110BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20250110BHJP
【ＦＩ】
B24B53/00 K
B24B27/06 M
B24B53/12 Z
H01L21/78 F
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020078176
(22)【出願日】2020-04-27
(65)【公開番号】P2021171881
(43)【公開日】2021-11-01
【審査請求日】2023-02-28
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】石山 慎一
(72)【発明者】
【氏名】花島 聡
【審査官】山内 康明
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－２０４９２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２１－１６６２７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－０００４３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－０１８１６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１１－０１３５２７４（ＫＲ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ５３／００
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｂ２４Ｂ ５３／１２
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、
該切削手段を該保持面に垂直なＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段と、
該切削ブレードの切削送り方向のＸ軸方向に該保持手段を移動させるＸ軸移動手段と、
該Ｚ軸方向と該Ｘ軸方向とに直交するＹ軸方向に該Ｚ軸移動手段を移動させるＹ軸移動手段と、
該チャックテーブルに隣接して該保持手段に配設され砥粒を接着して板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、を備える切削装置であって、
さらに、該サブチャックテーブルに搬送される該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットと、
該ドレッサボードが仮置きされるドレッサ仮置き部と、制御手段とを備え、
該ドレッサ保持ユニットは、
該ドレッサボードを保持する保持部と、該保持部をＺ軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、
該制御手段は、該ドレッサ保持ユニットと、該Ｙ軸移動手段と、該Ｘ軸移動手段とを少なくとも制御し、該ドレッサ仮置き部と該サブチャックテーブルとの間で該ドレッサボードを搬送する切削装置。
【請求項2】
保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、
該切削手段を該保持面に垂直なＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段と、
該切削ブレードの切削送り方向のＸ軸方向に該保持手段を移動させるＸ軸移動手段と、
該Ｚ軸方向と該Ｘ軸方向とに直交するＹ軸方向に該Ｚ軸移動手段を移動させるＹ軸移動手段と、
該チャックテーブルに隣接するように該保持手段に配設され砥粒を接着し板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、
被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセットステージと、
該カセットステージに載置された該カセットと該チャックテーブルとの間で被加工物を搬送する搬送手段と、
制御手段と、を備える切削装置であって、
さらに該ドレッサボードが載置される載置部を有し該カセットに収納可能な載置プレートと、
該搬送手段によって該カセットから該チャックテーブルに搬送され該保持面が保持した該載置プレートの該載置部に載置された該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットと、を備え、
該ドレッサ保持ユニットは、該ドレッサボードを保持する保持部と、
該保持部を該Ｚ軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、
該制御手段は、
該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御して、該サブチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該載置プレートの該載置部との間で該ドレッサボードを搬送する切削装置。
【請求項3】
該載置プレートは、該載置部を少なくとも２つ備え、該載置部の少なくとも１つに該ドレッサボードが載置されていて、該制御手段は、
該カセットステージに載置された該カセットに収納されている該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する載置プレート搬入制御部と、
該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬出制御部と、
該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬入制御部と、
該保持面に保持されている該載置プレートを該保持面から搬出し該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する載置プレート搬出制御部と、を備える請求項２記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、切削装置及び載置プレートに関する。
【背景技術】
【0002】
切削装置は、切削ブレードの外周の切り刃を用いて被加工物を切削している。被加工物に銅などが含まれているため、被加工物を切削加工すると、切削ブレードの切り刃に銅が付着し、切り刃が目詰まりして、切削効率が低下するという問題が有る。
【0003】
そこで、特許文献１、２に開示のように、切削ブレードを用いて砥粒を板状に形成したプリカットボード（ドレッサボード）を切削することにより切削ブレードの切れ味を復活させている。
例えば、切り刃に切削屑が付着するような軟らかい材質を切削した際は、予め設定した距離を切削したら、ドレッサボードの切削により、付着した切削屑を切り刃から除去する。
一方、硬い材質を切削した際には、切り刃の砥粒が目潰れするために切削効率が低下する。そのため、軟らかい材質の切削時と同じようにドレッサボードを切削することにより目潰れした砥粒を除去して新たな砥粒を表出させ切れ味を復活させる必要が有る。
このように、切り刃を目詰まりさせる被加工物、または切り刃を目潰れさせる被加工物を切削する際は、所定の距離を切削したらドレッサボードを切削して切削ブレードの切り刃の切れ味を復活させる必要が有る。
例えば、切り刃に切削屑が付着するような軟らかい材質を切削した際は、予め設定した距離を切削したら、ドレッサボードの切削により、付着した切削屑を切り刃から除去する。
一方、硬い材質を切削した際には、切り刃の砥粒が目潰れするために切削効率が低下する。そのため、軟らかい材質の切削時と同じようにドレッサボードを切削することにより目潰れした砥粒を除去して新たな砥粒を表出させ切れ味を復活させる必要が有る。
このように、切り刃を目詰まりさせる被加工物、または切り刃を目潰れさせる被加工物を切削する際は、所定の距離を切削したらドレッサボードを切削して切削ブレードの切り刃の切れ味を復活させる必要が有る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１４－１０３３４１号公報
【文献】特快２０１５－１６４７５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
切削装置には、切削ブレードをドレッシングするためにドレッサボードを保持するサブチャックテーブルがチャックテーブルに隣接する位置に配設されている。ドレッシングによって、ドレッサボードの表面に複数の溝が形成されていくと、次第にドレッサボードの表面に未切削エリアが無くなっていく。そのため、ドレッサボードを交換する必要が有る。
従来、ドレッサボードの交換が必要になった場合には、ウェーハの切削加工を一時停止してドレッシングボードの交換要求を作業者に通知し、そして、その通知を受けた作業者がドレッサボードを交換してドレッシングを実施し、切削加工を再開しており、作業者にとっての負担が大きく、生産性を低下させる要因の一つとなっている。
そこで、切削装置には、ドレッサボードの交換時における作業者の関与度合を低下させ、ドレッシングを可能にすることによって、連続的に切削加工をするという解決すべき課題がある。
従来、ドレッサボードの交換が必要になった場合には、ウェーハの切削加工を一時停止してドレッシングボードの交換要求を作業者に通知し、そして、その通知を受けた作業者がドレッサボードを交換してドレッシングを実施し、切削加工を再開しており、作業者にとっての負担が大きく、生産性を低下させる要因の一つとなっている。
そこで、切削装置には、ドレッサボードの交換時における作業者の関与度合を低下させ、ドレッシングを可能にすることによって、連続的に切削加工をするという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、該切削手段を該保持面に垂直なＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段と、該切削ブレードの切削送り方向のＸ軸方向に該保持手段を移動させるＸ軸移動手段と、該Ｚ軸方向と該Ｘ軸方向とに直交するＹ軸方向に該Ｚ軸移動手段を移動させるＹ軸移動手段と、該チャックテーブルに隣接して該保持手段に配設され砥粒を接着して板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、を備える切削装置であって、さらに、該サブチャックテーブルに搬送される該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニット、該ドレッサボードが仮置きされるドレッサ仮置き部と、制御手段とを備え、該ドレッサ保持ユニットは、該ドレッサボードを保持する保持部と、該保持部をＺ軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、該制御手段は、該ドレッサ保持ユニットと、該Ｙ軸移動手段と、該Ｘ軸移動手段とを少なくとも制御し、該ドレッサ仮置き部と該サブチャックテーブルとの間で該ドレッサボードを搬送する切削装置である。
本発明は、保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、該切削手段を該保持面に垂直なＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段と、該切削ブレードの切削送り方向のＸ軸方向に該保持手段を移動させるＸ軸移動手段と、該Ｚ軸方向と該Ｘ軸方向とに直交するＹ軸方向に該Ｚ軸移動手段を移動させるＹ軸移動手段と、該チャックテーブルに隣接するように該保持手段に配設され砥粒を接着し板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセットステージと、該カセットステージに載置された該カセットと該チャックテーブルとの間で被加工物を搬送する該搬送手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、さらに該ドレッサボードが載置される載置部を有し該カセットに収納可能な載置プレートと、該搬送手段によって該カセットから該チャックテーブルに搬送され該保持面が保持した該載置プレートの該載置部に載置された該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットと、を備え、該ドレッサ保持ユニットは、該ドレッサボードを保持する保持部と、該保持部を該Ｚ軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、該制御手段は、該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御して、該サブチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該載置プレートの該載置部との間に該ドレッサボードを搬送する切削装置である。
上記の切削装置に備える該載置プレートは、該載置部を少なくとも２つ備え、該載置部の少なくとも１つに該ドレッサボードが載置されていて、該制御手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納されている該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する載置プレート搬入制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬出制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬入制御部と、該保持面に保持されている該載置プレートを該保持面から搬出し該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する載置プレート搬出制御部と、を備える切削装置であることが望ましい。
本発明は、保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、該切削手段を該保持面に垂直なＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段と、該切削ブレードの切削送り方向のＸ軸方向に該保持手段を移動させるＸ軸移動手段と、該Ｚ軸方向と該Ｘ軸方向とに直交するＹ軸方向に該Ｚ軸移動手段を移動させるＹ軸移動手段と、該チャックテーブルに隣接するように該保持手段に配設され砥粒を接着し板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセットステージと、該カセットステージに載置された該カセットと該チャックテーブルとの間で被加工物を搬送する該搬送手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、さらに該ドレッサボードが載置される載置部を有し該カセットに収納可能な載置プレートと、該搬送手段によって該カセットから該チャックテーブルに搬送され該保持面が保持した該載置プレートの該載置部に載置された該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットと、を備え、該ドレッサ保持ユニットは、該ドレッサボードを保持する保持部と、該保持部を該Ｚ軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、該制御手段は、該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御して、該サブチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該載置プレートの該載置部との間に該ドレッサボードを搬送する切削装置である。
上記の切削装置に備える該載置プレートは、該載置部を少なくとも２つ備え、該載置部の少なくとも１つに該ドレッサボードが載置されていて、該制御手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納されている該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する載置プレート搬入制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬出制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該Ｘ軸移動手段と該Ｙ軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬入制御部と、該保持面に保持されている該載置プレートを該保持面から搬出し該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する載置プレート搬出制御部と、を備える切削装置であることが望ましい。
【発明の効果】
【0007】
本切削装置では、ドレッサ保持ユニットがドレッサボードをサブチャックテーブルに搬送することにより、ドレッサボードの交換のための作業の大部分に作業者を必要としなくなる。これにより、作業者の負担が軽減されるとともに、被加工物の効率的な切削加工が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】切削装置の全体を表した斜視図である。
【図2】切削装置の加工領域の内部を表す斜視図である。
【図3】第１ドレッサ保持ユニットの断面図である。
【図4】第１ドレッサ保持ユニットを用いてドレッサボードを保持する様子を表す断面図である。
【図5】ドレッサ仮置き部に第２ドレッサボードが載置されている様子を表す平面図である。
【図6】ドレッサ仮置き部に載置された第２ドレッサボードを第２ドレッサ保持ユニット６２に保持する様子を表す平面図である。
【図7】サブチャックテーブルに保持されている第１ドレッサボードを第１ドレッサ保持ユニットに保持する様子を表す平面図である。
【図8】第２ドレッサ保持ユニットに保持されている第２ドレッサボードをサブチャックテーブルに保持する様子を表す平面図である。
【図9】第１ドレッサ保持ユニットに保持されている第１ドレッサボードをドレッサ仮置き部に載置する様子を表す平面図である。
【図10】ドレッサ仮置き部に載置されている第１ドレッサボードを取り出すよう様子を表す平面図である。
【図11】第３ドレッサ保持ユニットの断面図である。
【図12】第３ドレッサ保持ユニットを用いてドレッサボードを保持する様子を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
１ 切削装置の構成
図１に示す切削装置１は、被加工物１４０を切削加工する切削装置である。
被加工物１４０が環状のフレーム１４１の内側に位置付けられている状態で、フレーム１４１の下面と被加工物１４０の下面とにテープ１４２が貼着されることにより、ウェーハ１４０、フレーム１４１、及びテープ１４２が一体化されたワークユニット１４が形成される。被加工物１４０の上面１４００には、互いに直交する複数の分割予定ライン１４０２が形成されており、分割予定ライン１４０２によって区画された領域には、デバイス１４０１が配設されている。
以下、切削装置１の構成について説明する。
図１に示す切削装置１は、被加工物１４０を切削加工する切削装置である。
被加工物１４０が環状のフレーム１４１の内側に位置付けられている状態で、フレーム１４１の下面と被加工物１４０の下面とにテープ１４２が貼着されることにより、ウェーハ１４０、フレーム１４１、及びテープ１４２が一体化されたワークユニット１４が形成される。被加工物１４０の上面１４００には、互いに直交する複数の分割予定ライン１４０２が形成されており、分割予定ライン１４０２によって区画された領域には、デバイス１４０１が配設されている。
以下、切削装置１の構成について説明する。
【0010】
切削装置１は、図１に示すように、Ｙ軸方向に延設された筐体１２を備えている。
切削装置１における＋Ｘ方向側の領域は、ワークユニット１４等の搬送が行われる搬送エリア１８であり、切削装置１における－Ｘ方向側の領域は、ワークユニット１４を構成する被加工物１４０の切削加工等が行われる加工エリア１９である。加工エリア１９は、筐体カバー１３に覆われている。
切削装置１における＋Ｘ方向側の領域は、ワークユニット１４等の搬送が行われる搬送エリア１８であり、切削装置１における－Ｘ方向側の領域は、ワークユニット１４を構成する被加工物１４０の切削加工等が行われる加工エリア１９である。加工エリア１９は、筐体カバー１３に覆われている。
【0011】
搬送エリア１８の－Ｙ方向側には、カセットステージ７００が設けられている。カセットステージ７００には、複数のワークユニット１４を収容可能なカセット７０を載置することができる。
【0012】
カセットステージ７００には、ワークユニット１４だけでなく、ワークユニット１４と外形が同形状の載置プレート７１も収容されている。載置プレート７１は、砥粒が接着されて板状に形成されたドレッサボード１５を載置させるための少なくとも２つの載置部を有している。本実施形態においては、載置プレート７１は第１載置部７１１及び第２載置部７１２を有するものとする。
図１においては、載置プレート７１の第１載置部７１１にドレッサボード１５が載置されており、第２載置部７１２にはドレッサボード１５が載置されていない様子が図示されている。
図１においては、載置プレート７１の第１載置部７１１にドレッサボード１５が載置されており、第２載置部７１２にはドレッサボード１５が載置されていない様子が図示されている。
【0013】
カセットステージ７００の＋Ｙ方向側には、Ｘ軸方向に延ばされたチャックテーブル２０の移動経路が設けられている。チャックテーブル２０の移動経路は、搬送エリア１８と加工エリア１９との間に跨るように形成されている。図１においては、チャックテーブル２０が搬送エリア１８に位置づけられている様子が示されている。
【0014】
チャックテーブル２０の移動経路の＋Ｙ方向側には、検査テーブル１７が配設されており、検査テーブル１７の四方には、クランプ１７１が配設されている。切削加工後の被加工物１４０を検査テーブル１７の上面である保持面１７０に載置して、フレーム１４１を四つのクランプ１７１を用いて四方から挟持することにより、ワークユニット１４を検査テーブル１７に保持することができる。
検査テーブル１７の周りには、図示しない検査キットが配設されており、該検査キットを用いて検査テーブル１７に保持された被加工物１４０の検査をすることが可能となっている。
検査テーブル１７の周りには、図示しない検査キットが配設されており、該検査キットを用いて検査テーブル１７に保持された被加工物１４０の検査をすることが可能となっている。
【0015】
切削装置１は、カセット７０からワークユニット１４等を引き出すとともにワークユニット１４等をカセット７０に押し込む搬出入手段７３を備えている。
搬出入手段７３は、筐体カバー１３の＋Ｘ方向側の側面に、Ｙ軸方向に延ばされて配設されたボールネジ７３０を備えている。ボールネジ７３０には、図示しないモータが接続されている。また、搬出入手段７３は、ボールネジ７３０に平行に配設されたガイドレール７３１と、側部のナットがボールネジ７３０に螺合してガイドレール７３１に摺接するアーム部７３４とを備えている。アーム部７３４は、ボールネジ７３０から－Ｚ方向に向かって垂下している。アーム部７３４の－Ｚ方向側の端部には、挟持部７３５が連結されている。挟持部７３５は、図示しない挟持機構を有している。
搬出入手段７３は、筐体カバー１３の＋Ｘ方向側の側面に、Ｙ軸方向に延ばされて配設されたボールネジ７３０を備えている。ボールネジ７３０には、図示しないモータが接続されている。また、搬出入手段７３は、ボールネジ７３０に平行に配設されたガイドレール７３１と、側部のナットがボールネジ７３０に螺合してガイドレール７３１に摺接するアーム部７３４とを備えている。アーム部７３４は、ボールネジ７３０から－Ｚ方向に向かって垂下している。アーム部７３４の－Ｚ方向側の端部には、挟持部７３５が連結されている。挟持部７３５は、図示しない挟持機構を有している。
【0016】
例えば、挟持部７３５を用いてカセット７０に収容されているフレーム１４１を挟持してから、該モータを用いてボールネジ７３０を回転させることにより、アーム部７３４を＋Ｘ方向に移動させて、挟持部７３５に挟持されているワークユニット１４をカセット７０から搬出することができる。
【0017】
また、挟持部７３５は、カセット７０に収容されている載置プレート７１を引き出すこともできる。
チャックテーブル２０に隣接する位置には、挟持部７３５から引き出された載置プレート７１が載置される２本のレール２７がＹ軸方向に延ばされて配設されている。この２本のレール２７は、互いがＹ軸方向に接近及び離間可能となっている。
チャックテーブル２０に隣接する位置には、挟持部７３５から引き出された載置プレート７１が載置される２本のレール２７がＹ軸方向に延ばされて配設されている。この２本のレール２７は、互いがＹ軸方向に接近及び離間可能となっている。
【0018】
挟持部７３５を用いてカセット７０内の載置プレート７１を挟持し、ボールネジ７３０を回転させてアーム部７３４を＋Ｙ方向に移動させることにより、載置プレート７１をレール２７に載置することができる。
【0019】
切削装置１は、ワークユニット１４を搬送する搬送手段７２を備えている。搬送手段７２は、＋Ｘ方向側の側面に、Ｙ軸方向に延ばされて配設されたボールネジ７２０を備えている。ボールネジ７２０には、モータ７２２が接続されている。また、搬送手段７２は、ボールネジ７２０に平行に配設されたガイドレール７２１と、内部のナットがボールネジ７２０に螺合してガイドレール７２１に摺接する可動板７２３と、可動板７２３の下端に連結された連結板７２４とを備えている。連結板７２４には、搬送パッド７２５が連結されている。
搬送パッド７２５は、例えば４つの吸盤７２５０を備えており、吸盤７２５０は、図示しない吸引源等に接続されている。吸盤７２５０に載置プレート７１が接触している状態で、該吸引源を作動させることにより、吸盤７２５０に載置プレート７１を吸引保持することができる。
搬送パッド７２５は、例えば４つの吸盤７２５０を備えており、吸盤７２５０は、図示しない吸引源等に接続されている。吸盤７２５０に載置プレート７１が接触している状態で、該吸引源を作動させることにより、吸盤７２５０に載置プレート７１を吸引保持することができる。
【0020】
搬送パッド７２５の吸盤７２５０に載置プレート７１が吸引保持された状態で、モータ７２２を用いてボールネジ７２０を回転させて可動板７２３をＹ軸方向に移動させると、可動板７２３に連結板７２４を介して連結されている搬送パッド７２５、及び搬送パッド７２５に保持されている載置プレート７１が一体的にＹ軸方向に移動することとなる。搬送手段７２を用いることにより、載置プレート７１をチャックテーブル２０の保持面２１０に移動させることができる。
【0021】
筐体カバー１３に覆われた加工エリア１９には、図２に示すように、Ｘ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の上における－Ｘ方向側に立設された門型コラム１１とが配設されている。また、加工エリア１９には、チャックテーブル２０に保持された被加工物１４０を切削する第１切削手段３１及び第２切削手段３２を備えている。
【0022】
ベース１０の上には、保持手段２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段５０が配設されている。
【0023】
保持手段２は、チャックテーブル２０を有している。チャックテーブル２０は、円板状の吸引部２１と吸引部２１を支持する環状の枠体２２とを備えている。吸引部２１の上面は、被加工物１４０が保持される保持面２１０である。枠体２２の上面２２０は、保持面２１０に面一に形成されている。
【0024】
チャックテーブル２０に隣接された位置には、チャックテーブル２０を四方から囲むようにして４つのクランプ２３が配設されている。保持面２１０に被加工物１４０を載置して、フレーム１４１を四つのクランプ２３を用いて四方から挟持することにより、ワークユニット１４をチャックテーブル２０に固定することができる。
【0025】
また、チャックテーブル２０は、回転手段２４に支持されている。回転手段２４は図示しないモータ等を備えており、チャックテーブル２０を回転させることができる。
【0026】
Ｘ軸移動手段５０は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ５００と、ボールネジ５００に平行に配設された一対のガイドレール５０１と、ボールネジ５００を回転させるＸ軸モータ５０２と、底部のナットがボールネジ５００に螺合してガイドレール５０１に摺接する可動板５０３とを備えている。可動板５０３は、回転手段２４を支持している。
また、ガイドレール５０１に隣接される位置には、保持手段２のＸ軸方向の水平位置を認識するためのスケール５０４が配設されている。
また、ガイドレール５０１に隣接される位置には、保持手段２のＸ軸方向の水平位置を認識するためのスケール５０４が配設されている。
【0027】
Ｘ軸モータ５０２を用いてボールネジ５００を回転させると、可動板５０３がガイドレール５０１に案内されてＸ軸方向に移動するとともに、可動板５０３に回転手段２４を介して支持されているチャックテーブル２０が、可動板５０３と一体的にＸ軸方向に移動することとなる。
【0028】
保持手段２は、チャックテーブル２０に隣接されるように配設された第１サブチャックテーブル２５１及び第２サブチャックテーブル２５２を備えている。可動板５０３の上には、２本の支柱２６が立設されており、支柱２６の上には、第１サブチャックテーブル２５１及び第２サブチャックテーブル２５２がそれぞれ支持されている。第１サブチャックテーブル２５１及び第２サブチャックテーブル２５２は矩形状を有している。
【0029】
門型コラム１１の＋Ｘ方向側かつ－Ｙ方向側には、第１切削手段３１を昇降可能に支持する第１Ｚ軸移動手段４１が配設されている。
【0030】
第１Ｚ軸移動手段４１は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ４１０と、ボールネジ４１０に平行に配設されたガイドレール４１１と、ボールネジ４１０を回動させるＺ軸モータ４１２と、側部のナットがボールネジ４１０に螺合してガイドレール４１１に摺接する昇降板４１３とを備えている。昇降板４１３には、スピンドルハウジング３１１が連結されている。
また、ガイドレール４１１に隣接する位置には、昇降板４１３の高さ位置を認識するためのスケール４１４が配設されている。昇降板４１３の高さ位置を認識することによって、昇降板に連結された第１切削手段３１等の高さ位置を認識することが可能となっている。
また、ガイドレール４１１に隣接する位置には、昇降板４１３の高さ位置を認識するためのスケール４１４が配設されている。昇降板４１３の高さ位置を認識することによって、昇降板に連結された第１切削手段３１等の高さ位置を認識することが可能となっている。
【0031】
Ｚ軸モータ４１２を用いてボールネジ４１０を回転させることにより、昇降板４１３がガイドレール４１１に案内されてＺ軸方向に移動するとともに、昇降板４１３に連結されているスピンドルハウジング３１１がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0032】
第１切削手段３１は、切削ブレード３１０とスピンドルハウジング３１１とを備えている。スピンドルハウジング３１１の内部には図示しないスピンドルが配設されており、切削ブレード３１０は該スピンドルに装着されている。該スピンドルは、図示しないモータ等に連結されている。該スピンドルが該モータにより駆動されて回転すると、該スピンドルに連結されている切削ブレード３１０が回転することとなる。
【0033】
第１切削手段３１の切削ブレード３１０に隣接する位置には、撮像手段３３が配設されている。撮像手段３３は例えばカメラであり、チャックテーブル２０の保持面２１０に保持されたウェーハ１４０に予め形成されている分割予定ライン１４０２を撮像することができる。
【0034】
門型コラム１１の＋Ｘ方向側かつ＋Ｙ方向側には、第２切削手段３２を昇降可能に支持する第２Ｚ軸移動手段４２が配設されている。
【0035】
第２Ｚ軸移動手段４２は第１Ｚ軸移動手段４１と同様に構成されている。第２Ｚ軸移動手段４２は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ４２０と、ボールネジ４２０に平行に配設されたガイドレール４２１と、ボールネジ４２０を回動させるＺ軸モータ４２２と、側部のナットがボールネジ４２０に螺合してガイドレール４２１に摺接する昇降板４２３とを備えている。昇降板４２３には、スピンドルハウジング３２１が連結されている。
また、ガイドレール４２１に隣接する位置には、昇降板４２３の高さ位置を認識するためのスケール４２４が配設されている。昇降板４２３の高さ位置を認識することによって、昇降板に連結された第２切削手段３２の高さ位置を認識することが可能となっている。
また、ガイドレール４２１に隣接する位置には、昇降板４２３の高さ位置を認識するためのスケール４２４が配設されている。昇降板４２３の高さ位置を認識することによって、昇降板に連結された第２切削手段３２の高さ位置を認識することが可能となっている。
【0036】
Ｚ軸モータ４２２を用いてボールネジ４２０を回転させると、昇降板４２３がガイドレール４２１に案内されてＺ軸方向に移動し、これに伴って昇降板４２３に連結されているスピンドルハウジング３２１がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0037】
第２切削手段３２は第１切削手段３１と同様に構成されている。すなわち、第２切削手段３２は、切削ブレード３２０とスピンドルハウジング３２１とを備えている。スピンドルハウジング３２１の内部には図示しないスピンドルが配設されており、切削ブレード３２０は該スピンドルに回転可能に装着されている。該スピンドルは、図示しないモータ等に連結されている。該スピンドルが該モータにより駆動されて回転すると、該スピンドルに装着された切削ブレード３２０が回転する。
【0038】
門型コラム１１には、第１切削手段３１をＹ軸方向に移動させる第１Ｙ軸移動手段５１と、第２切削手段３２をＹ軸方向に移動させる第２Ｙ軸移動手段５２とが配設されている。
【0039】
第１Ｙ軸移動手段５１は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ５１０と、ボールネジ５１０を回動させる図示しないＹ軸モータ（図示せず）と、ボールネジ５１０に平行に配設されたガイドレール５１１と、側部のナットがボールネジ５１０に螺合しガイドレール５１１に摺接するスライド板５１３とを備えている。スライド板５１３は、第１Ｚ軸移動手段４１を支持している。
また、ガイドレール５１１に隣接する位置には、第１Ｚ軸移動手段４１、及び第２Ｚ軸移動手段のＹ軸方向の水平位置を認識するためのスケール５１４が配設されている。
また、ガイドレール５１１に隣接する位置には、第１Ｚ軸移動手段４１、及び第２Ｚ軸移動手段のＹ軸方向の水平位置を認識するためのスケール５１４が配設されている。
【0040】
該Ｙ軸モータを用いてボールネジ５１０を回転させるとスライド板５１３がガイドレール５１１に案内されてＹ軸方向に移動し、これに伴ってスライド板５１３に支持されている第１Ｚ軸移動手段４１及び第１Ｚ軸移動手段４１の昇降板４１３に支持されている第１切削手段３１が一体的にＹ軸方向に移動することとなる。
【0041】
第２Ｙ軸移動手段５２は、第１Ｙ軸移動手段５１と同様に構成されている。すなわち、第２Ｙ軸移動手段５２は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ５２０と、ボールネジ５２０を回動させるＹ軸モータ５２２と、ボールネジ５２０に平行に配設されたガイドレール５２１と、側部のナットがボールネジ５２０に螺合しガイドレール５２１に摺接するスライド板５２３とを備えている。
【0042】
Ｙ軸モータ５２２を用いてボールネジ５２０を回転させるとスライド板５２３がガイドレール５２１に案内されてＹ軸方向に移動し、これに伴ってスライド板５２３に支持されている第２Ｚ軸移動手段４２及び第２Ｚ軸移動手段４２の昇降板４２３に支持されている第２切削手段３２が一体的にＹ軸方向に移動することとなる。
【0043】
第１切削手段３１に隣接する位置には、第１ドレッサ保持ユニット６１が配設されている。第１ドレッサ保持ユニット６１は、ドレッサボード１５を保持する第１保持部６１０と、第１保持部６１０をＺ軸方向に移動させる上下移動手段６１１とを備えている。
【0044】
第１保持部６１０は、図３に示すように、軸部６１６を介して上下移動手段６１１に連結されている。軸部６１６の内部には、Ｚ軸方向に延ばされた吸引路６７が、軸部６１６の上下面を貫通するようにして形成されている。また、第１保持部６１０の内部には、吸引路６７に接続された連通路６８が形成されている。連通路６８は、複数の分岐路６８０に分岐されている。
第１保持部６１０の下面６１９には、複数の分岐路６８０に貫通されて形成された吸引孔６１９０が設けられている。
吸引路６７には、吸引源６１４が接続されている。吸引源６１４を作動して吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が吸引路６７、連通路６８、及び分岐路６８０を通じて吸引孔６１９０に伝達されることとなる。
第１保持部６１０の下面６１９には、複数の分岐路６８０に貫通されて形成された吸引孔６１９０が設けられている。
吸引路６７には、吸引源６１４が接続されている。吸引源６１４を作動して吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が吸引路６７、連通路６８、及び分岐路６８０を通じて吸引孔６１９０に伝達されることとなる。
【0045】
また、第１保持部６１０の下面６１９の外周部分には、環状のシール部６１８が、その一部が下面６１９から突出した状態で埋設されている。シール部６１８は、例えばドレッシングにより複数の溝が形成されたドレッサボードを第１保持部６１０の下面６１９に吸引保持可能にするパッキンである。
【0046】
上下移動手段６１１は、図２に示した第１Ｚ軸移動手段４１の昇降板４１３の＋Ｘ方向側の側面に配設されたシリンダ６１２と、シリンダ６１２に収容されたピストン６１３とを有するシリンダ機構であり、第１保持部６１０はピストン６１３の下端に連結されている。
上下移動手段６１１は、例えば図示しないエア源に接続されている。該エア源からシリンダ６１２の内部にエアを供給することにより、ピストン６１３をシリンダ６１２から－Ｚ方向に突出させることができる。該エア源からシリンダ６１２の内部に供給するエアの供給量を制御して、ピストン６１３をＺ軸方向に昇降させることにより、第１保持部６１０を昇降させることができる。
上下移動手段６１１は、例えば図示しないエア源に接続されている。該エア源からシリンダ６１２の内部にエアを供給することにより、ピストン６１３をシリンダ６１２から－Ｚ方向に突出させることができる。該エア源からシリンダ６１２の内部に供給するエアの供給量を制御して、ピストン６１３をＺ軸方向に昇降させることにより、第１保持部６１０を昇降させることができる。
【0047】
第１ドレッサ保持ユニット６１を用いてドレッサボード１５を保持する際には、第１保持部６１０をドレッサボード１５の直下に位置づけてから、上下移動手段６１１を用いて第１保持部６１０を下降させて、図４に示すように、第１保持部６１０の下面６１９をドレッサボード１５の上面に接触させる。そして、第１保持部６１０の下面６１９がドレッサボード１５に接触している状態で吸引源６１４を作動させて、吸引孔６１９０に吸引力を伝達することにより、第１保持部６１０にドレッサボード１５を吸引保持することができる。
【0048】
第１保持部６１０の下面６１９をドレッサボード１５に接触させると、第１保持部６１０に埋設されているシール部６１８の下面がドレッサボード１５の上面に接触し、シール部６１８がドレッサボード１５の上面から＋Ｚ方向に押圧されて押し縮められるとともに、シール部６１８の下面にドレッサボード１５の上面が密着する。したがって、ドレッサボード１５の上面にドレッシングによる切削溝が形成されている場合には、シール部６１８の下面が切削溝に密着し、エアのリークを防ぐ。
【0049】
図２に示すように、第１ドレッサ保持ユニット６１の－Ｙ方向側には、第２ドレッサ保持ユニット６２が配設されている。
第２ドレッサ保持ユニット６２は、第１ドレッサ保持ユニット６１と同様に構成されている。第２ドレッサ保持ユニット６２は、ドレッサボード１５を保持する第２保持部６２０と、第２保持部６２０をＺ軸方向に移動させる上下移動手段６２１とを備えている。
第２ドレッサ保持ユニット６２は、第１ドレッサ保持ユニット６１と同様に構成されている。第２ドレッサ保持ユニット６２は、ドレッサボード１５を保持する第２保持部６２０と、第２保持部６２０をＺ軸方向に移動させる上下移動手段６２１とを備えている。
【0050】
上下移動手段６２１は、第１Ｚ軸移動手段４１の昇降板４１３の＋Ｘ方向側の側面に配設されたシリンダ６２２と、シリンダ６２２に収容されたピストン６２３とを有するシリンダ機構であり、第２保持部６２０はピストン６２３の下端に連結されている。
上下移動手段６２１は、例えば図示しないエア源に接続されている。該エア源からシリンダ６２２の内部にエアを供給することにより、ピストン６２３をシリンダ６２２から－Ｚ方向に突出させることができる。該エア源からシリンダ６２２の内部に供給するエアの供給量を制御して、ピストン６２３をＺ軸方向に昇降させることにより、第２保持部６２０を昇降させることができる。
上下移動手段６２１は、例えば図示しないエア源に接続されている。該エア源からシリンダ６２２の内部にエアを供給することにより、ピストン６２３をシリンダ６２２から－Ｚ方向に突出させることができる。該エア源からシリンダ６２２の内部に供給するエアの供給量を制御して、ピストン６２３をＺ軸方向に昇降させることにより、第２保持部６２０を昇降させることができる。
【0051】
第２ドレッサ保持ユニット６２の－Ｙ方向側には、ドレッサ仮置き部６３が配設されている。ドレッサ仮置き部６３は、その上面６３０にドレッサボード１５を仮置きするための矩形状の仮置きテーブルであり、ベース１０の上における－Ｙ方向側に立設された支柱６３１に支持されている。
【0052】
また、図１に示すように、筐体カバー１３の＋Ｘ方向側の側面には、ドレッサ仮置き部アクセス扉６３２が設けられている。ドレッサ仮置き部アクセス扉６３２を開くことにより、筐体カバー１３に覆われた加工エリア１９の内外の空間が連通され、ドレッサボード１５をドレッサ仮置き部６３の上面６３０に載置することができるようになる。
【0053】
切削装置１は、切削装置１の各種の機構を制御する制御手段６４を備えている。制御手段６４は、カセットステージ７００に載置されたカセット７０に収納されている載置プレート７１を保持面２１０に搬入するために搬送手段７２及び搬出入手段７３を制御する載置プレート搬入制御部６４１を備えている。
【0054】
また、制御手段６４は、保持面２１０に保持された載置プレート７１の第１載置部７１１及び第２載置部７１２のうち、ドレッサボードが載置されていない側の載置部に、サブチャックテーブル２５１又は２５２に保持されているドレッサボードを搬出するために、Ｘ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１と第１ドレッサ保持ユニット６１とを制御するドレッサ搬出制御部６４２を備えている。
【0055】
また、制御手段６４は、保持面２１０に保持された載置プレート７１の第１載置部７１１または第２載置部７１２に載置されているドレッサボードをサブチャックテーブル２５１又は２５２に搬入するためにＸ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１と第１ドレッサ保持ユニット６１とを制御するドレッサ搬入制御部６４３を備えている。
【0056】
制御手段６４は、保持面２１０に保持されている載置プレート７１をカセットステージ７００に載置されたカセット７０に収納するために搬送手段７２及び搬出入手段７３を制御する載置プレート搬出制御部６４４を備えている。
【0057】
制御手段６４は、検査テーブル１７に載置された載置プレート７１を保持面２１０に搬入するために該搬送手段を制御する第２載置プレート搬入制御部６５１を備えている。
【0058】
制御手段６４は、保持面２１０に保持された載置プレート７１のドレッサボード１５が載置されていない側の載置部に、第１サブチャックテーブル２５１に保持されているドレッサボードを搬出するためにＸ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１と第１ドレッサ保持ユニット６１とを制御する第２ドレッサ搬出制御部６５２を備えている。
【0059】
制御手段６４は、保持面２１０に保持された載置プレート７１の載置部７１１、７１２に載置されているドレッサボード１５を第１サブチャックテーブル２５１に搬入するためにＸ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１と第１ドレッサ保持ユニット６１とを制御する第２ドレッサ搬入制御部６５３を備えている。
【0060】
制御手段６４は、保持面２１０に保持されている載置プレート７１をカセットステージ７００に載置されたカセット７０に収納するために搬送手段７２及び搬出入手段７３を制御する第２載置プレート搬出制御部６５４を備えている。
【0061】
２ 切削装置の動作
（被加工物の切削加工）
上記の切削装置１を用いた被加工物１４０の切削加工の際の切削装置１の動作について、以下に説明する。
（被加工物の切削加工）
上記の切削装置１を用いた被加工物１４０の切削加工の際の切削装置１の動作について、以下に説明する。
【0062】
まず、図１に示した搬出入手段７３を用いてカセット７０に収容されているワークユニット１４を１枚引き出してレール２７に載置し、その後、搬送手段７２がワークユニット１４を保持し、レール２７が離間してからワークユニット１４を下降させてチャックテーブル２０に搬送し、被加工物１４０を保持面２１０に載置する。そして、４つのクランプ２３を用いてフレーム１４１を把持して固定する。また、保持面２１０を吸引源に連通させテープ１４２を吸引保持する。これにより、被加工物１４０が保持面２１０に保持される。
【0063】
次に、図２に示したＸ軸移動手段５０を用いてチャックテーブル２０を－Ｘ方向に移動させて、ワークユニット１４を搬送エリア１８から加工エリア１９に移動させる。これにより、チャックテーブル２０に保持されている被加工物１４０が撮像手段３３の下方に位置付けられる。
【0064】
被加工物１４０を撮像手段３３の下方に位置付けた後、撮像手段３３を用いて分割予定ライン１４０２を撮像する。そして、撮像された分割予定ライン１４０２の画像に基づいて、第１Ｙ軸移動手段５１や第２Ｙ軸移動手段５２を用いて第１切削手段３１や第２切削手段３２をＹ軸方向に適宜移動させて、分割予定ライン１４０２に対する第１切削手段３１や第２切削手段３２のＹ軸方向の位置合わせを行う。
【0065】
その後、スピンドルハウジング３１１の内部に収容されている図示しないスピンドルに連結されている図示しないモータ等を用いて、第１切削手段３１、及び第２切削手段３２に備える切削ブレード３１０及び３２０をそれぞれ回転させる。
【0066】
そして、切削ブレード３１０、及び３２０が回転している状態で、第１Ｚ軸移動手段４１及び第２Ｚ軸移動手段４２を用いて第１切削手段３１を－Ｚ方向に移動させて、回転する切削ブレード３１０、及び３２０を被加工物１４０の分割予定ライン１４０２に当接させるとともに、Ｘ軸移動手段５０を用いてチャックテーブル２０に保持されている被加工物１４０を－Ｘ方向に移動させる。これにより、被加工物１４０と切削ブレード３１０とがＸ軸方向に相対移動して、被加工物１４０の分割予定ライン１４０２に沿って被加工物１４０が切削される。
【0067】
１つの分割予定ライン１４０２の切削を行った後、例えば、隣り合う分割予定ライン１４０２の間隔の分だけ第１Ｙ軸移動手段５１及び第２Ｙ軸移動手段５２を用いて第１切削手段３１及び第２切削手段３２をＹ軸方向に移動させて、同様に分割予定ライン１４０２に対して切削ブレード３０を切り込ませることにより、隣り合う分割予定ライン１４０２を切削加工する。
【0068】
このようにして、被加工物１４０に形成されている同一方向の分割予定ライン１４０２を全て切削した後に、例えば、回転手段２４を用いてチャックテーブル２０を例えば９０度回転させてから、同様に切削加工を行うことによって、被加工物１４０の全ての分割予定ライン１４０２に対して切削加工を行う。これにより、被加工物１４０に形成されているすべての分割予定ライン１４０２が切削される。
【0069】
被加工物１４０の切削加工を行った後、Ｘ軸移動手段５０を用いてチャックテーブル２０を＋Ｘ方向に移動させて、チャックテーブル２０に保持されているワークユニット１４を図１に示した搬送エリア１８に位置づける。
そして、搬送手段７２を用いてワークユニット１４をチャックテーブル２０から検査テーブル１７に搬送し、検査テーブル１７の保持面１７０に被加工物１４０保持する。そして、被加工物１４０が適切に切削加工されたどうか検査する。
なお、検査テーブル１７の上方には、保持面１７０に保持された被加工物１４０の上面を撮像するカメラが配置されている。
そして、搬送手段７２を用いてワークユニット１４をチャックテーブル２０から検査テーブル１７に搬送し、検査テーブル１７の保持面１７０に被加工物１４０保持する。そして、被加工物１４０が適切に切削加工されたどうか検査する。
なお、検査テーブル１７の上方には、保持面１７０に保持された被加工物１４０の上面を撮像するカメラが配置されている。
【0070】
被加工物１４０の検査を行った後、搬送手段７２及び搬出入手段７３によって被加工物１４をカセット７０に収容する。その後、搬出入手段７３を用いてカセット７０に収容されているまだ被加工物１４０が切削加工されていないワークユニット１４を引き出し、同様に切削加工していく。これにより、複数の被加工物１４０を連続して切削加工することができる。
【0071】
（切削ブレードのドレッシング）
上記のように、切削装置１を用いて複数の被加工物１４０を切削加工していくと、図２に示した第１切削手段３１の切削ブレード３１０及び第２切削手段の切削ブレード３２０の切り刃に目つぶれが生じて切削効率が低下する。そこで、切削ブレードを用いて図５に示す第１ドレッサボード１５１を切削して切削ブレードをドレッシングすることにより、切り刃に生じている目つぶれを解消して切削ブレードの切れ味を取り戻す。
以下、切削装置１に備える第１切削手段３１の切削ブレード３１０のドレッシングを行う際の切削装置１の動作について説明する。
上記のように、切削装置１を用いて複数の被加工物１４０を切削加工していくと、図２に示した第１切削手段３１の切削ブレード３１０及び第２切削手段の切削ブレード３２０の切り刃に目つぶれが生じて切削効率が低下する。そこで、切削ブレードを用いて図５に示す第１ドレッサボード１５１を切削して切削ブレードをドレッシングすることにより、切り刃に生じている目つぶれを解消して切削ブレードの切れ味を取り戻す。
以下、切削装置１に備える第１切削手段３１の切削ブレード３１０のドレッシングを行う際の切削装置１の動作について説明する。
【0072】
切削ブレード３１０をドレッシングする際には、まず、第１サブチャックテーブル２５１の上に第１ドレッサボード１５１が保持されている状態で、切削ブレード３１０と第１ドレッサボード１５１とのＹ軸方向の位置合わせを行う。該位置合わせの際の切削装置１の動作は、上記の第１切削手段３１とチャックテーブル２０に保持された被加工物１４０とのＹ軸方向の位置合わせの際の切削装置１の動作と同様である。
すなわち、撮像手段３３のカメラ等を用いて第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を撮像し、撮像された画像に基づいて、第１切削手段３１をＹ軸方向に移動させる。
これにより、切削ブレード３１０が切削ブレード３１０のドレッシングを開始するためのＹ軸位置に位置づけられる。
なお、撮像手段３３を用いなくてもよい。第１サブチャックテーブル２５１のＹ軸方向の位置と、第１ドレッサボード１５１の大きさを記憶していて、第１切削手段３１をＹ軸方向に移動させる。また、ドレッシングの終了時に切削ブレード３１０のＹ軸方向の位置を記憶していて、次回のドレッシングを開始するＹ軸位置に切削ブレード３１０を位置づけてもよい。
すなわち、撮像手段３３のカメラ等を用いて第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を撮像し、撮像された画像に基づいて、第１切削手段３１をＹ軸方向に移動させる。
これにより、切削ブレード３１０が切削ブレード３１０のドレッシングを開始するためのＹ軸位置に位置づけられる。
なお、撮像手段３３を用いなくてもよい。第１サブチャックテーブル２５１のＹ軸方向の位置と、第１ドレッサボード１５１の大きさを記憶していて、第１切削手段３１をＹ軸方向に移動させる。また、ドレッシングの終了時に切削ブレード３１０のＹ軸方向の位置を記憶していて、次回のドレッシングを開始するＹ軸位置に切削ブレード３１０を位置づけてもよい。
【0073】
その後、切削ブレード３１０が回転している状態で、第１Ｚ軸移動手段４１を用いて第１切削手段３１を－Ｚ方向に移動させて、回転する切削ブレード３１０を第１ドレッサボード１５１に当接させるとともに、Ｘ軸移動手段５０を用いて第１ドレッサボード１５１を－Ｘ方向に移動させる。これにより、第１ドレッサボード１５１と切削ブレード３１０とがＸ軸方向に相対移動して第１ドレッサボード１５１が切削され、切削ブレード３１０がドレッシングされる。
【0074】
第２切削手段３２の切削ブレード３２０のドレッシングも同様に行われる。
切削ブレード３１０及び３２０のドレッシングは、例えば所定の枚数の被加工物１４０を切削加工する毎に行われるものとする。
切削ブレード３１０及び３２０のドレッシングは、例えば所定の枚数の被加工物１４０を切削加工する毎に行われるものとする。
【0075】
（ドレッサボードの交換）
例えば、所定の枚数の被加工物１４０を切削加工する毎に、第１ドレッサボード１５１に切削ブレード３１０及び３２０を切り込ませると、第１ドレッサボード１５１の上面に複数の溝が形成されていき、次第に第１ドレッサボード１５１の上面に未切削の領域がなくなっていく。
そこで、例えば、第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を用いて切削ブレード３１０を所定の回数だけドレッシングした後、第１ドレッサボード１５１を未使用の第２ドレッサボード１５２に交換する。
以下、第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を第２ドレッサボード１５２に交換する際の切削装置１の動作について説明する。
例えば、所定の枚数の被加工物１４０を切削加工する毎に、第１ドレッサボード１５１に切削ブレード３１０及び３２０を切り込ませると、第１ドレッサボード１５１の上面に複数の溝が形成されていき、次第に第１ドレッサボード１５１の上面に未切削の領域がなくなっていく。
そこで、例えば、第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を用いて切削ブレード３１０を所定の回数だけドレッシングした後、第１ドレッサボード１５１を未使用の第２ドレッサボード１５２に交換する。
以下、第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を第２ドレッサボード１５２に交換する際の切削装置１の動作について説明する。
【0076】
【0077】
その後、図２に示したＸ軸移動手段５０を用いて可動板５０３を－Ｘ方向に移動させて、可動板５０３に支持されている第１サブチャックテーブル２５１を、第１ドレッサ保持ユニット６１及び第２ドレッサ保持ユニット６２のＹ軸方向の水平移動の移動経路の下方に位置づける。
【0078】
そして、第１Ｙ軸移動手段５１を用いて第１Ｚ軸移動手段４１を－Ｙ方向に移動させる。これにより、第１Ｚ軸移動手段４１に支持されている第１ドレッサ保持ユニット６１及び第２ドレッサ保持ユニット６２が一体的に－Ｙ方向に移動して、図６に示すように、第２ドレッサ保持ユニット６２の第２保持部６２０が、ドレッサ仮置き部６３に仮置きされている第２ドレッサボード１５２の上方に位置付けられる。
【0079】
第２ドレッサボード１５２の上方に第２ドレッサ保持ユニット６２の第２保持部６２０が位置付けられている状態で、図２に示した上下移動手段６２１を用いて第２保持部６２０を－Ｚ方向に下降させて、第２保持部６２０の下面を第２ドレッサボード１５２に接触させる。そして、第２保持部６２０に接続されている図示しない吸引源を作動させて、第２保持部６２０が第２ドレッサボード１５２を保持する。その後、上下移動手段６２１を用いて第２保持部６２０を＋Ｚ方向に上昇させる。
【0080】
次に、第１Ｙ軸移動手段５１を用いて第１Ｚ軸移動手段４１を＋Ｙ方向に移動させて、図７に示すように、第１ドレッサ保持ユニット６１の第１保持部６１０を第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１の上方に位置づける。そして、図２に示した上下移動手段６１１を用いて第１保持部６１０を－Ｚ方向に下降させて、第１保持部６１０の下面を第１ドレッサボード１５１に接触させる。そして、第１保持部６１０に接続されている図示しない吸引源を作動させて、第１保持部６１０に第１ドレッサボード１５１を保持する。
【0081】
さらに、第１Ｙ軸移動手段５１を用いて第１Ｚ軸移動手段４１を＋Ｙ方向に移動させて、図８に示すように、第２ドレッサ保持ユニット６２の第２保持部６２０に保持されている第２ドレッサボード１５２を、第１サブチャックテーブル２５１の上方に位置づける。
【0082】
そして、図２に示した上下移動手段６２１を用いて第２保持部６２０を－Ｚ方向に下降させるとともに、第２保持部６２０に作用している吸引力を取り除いて第１サブチャックテーブル２５１に第２ドレッサボード１５２を載置し、吸引力を作用させる。
【0083】
その後、第１Ｙ軸移動手段５１を用いて第１Ｚ軸移動手段４１を－Ｙ方向に移動させて、図９に示すように、第１ドレッサ保持ユニット６１に保持されている第１ドレッサボード１５１をドレッサ仮置き部６３の上方に位置づける。
そして、図２に示した上下移動手段６１１を用いて第１保持部６１０を－Ｚ方向に下降させるとともに、第１保持部６１０に作用している吸引力を取り除いてドレッサ仮置き部６３に第１ドレッサボード１５１を仮置きする。
そして、図２に示した上下移動手段６１１を用いて第１保持部６１０を－Ｚ方向に下降させるとともに、第１保持部６１０に作用している吸引力を取り除いてドレッサ仮置き部６３に第１ドレッサボード１５１を仮置きする。
【0084】
最後に、図１０に示すように、ドレッサ仮置き部アクセス扉６３２を開いて、ドレッサ仮置き部６３に仮置きされている第１ドレッサボード１５１を切削装置１の外部へと回収する。
【0085】
以上のように、切削装置１におけるドレッサボードの交換では、ドレッサボードの交換のための作業の大部分に作業者を必要としないため、切削ブレード３１０及び３２０のドレッシングと、被加工物１４０の連続加工とを行うことができる。これにより、被加工物１４０の効率的な切削加工が可能となる。
【0086】
ドレッサボードの交換は、上記のようにドレッサ仮置き部６３と第１サブチャックテーブル２５１との間で、第１ドレッサボード１５１及び第２ドレッサボード１５２を搬送して交換するという構成にかえて、図１に示した載置プレート７１をチャックテーブル２０に保持して、第１サブチャックテーブル２５１と、チャックテーブル２０に保持された載置プレート７１との間において、第１ドレッサボード１５１及び第２ドレッサボード１５２を搬送して交換するという構成でもよい。
【0087】
かかる交換の際には、まず、載置プレート搬入制御部６４１により搬送手段７２等を制御して、カセット７０に収納されている載置プレート７１を保持面２１０に搬入する。
【0088】
具体的には、搬出入手段７３を用いてカセット７０に収納されている載置プレート７１を引き出して、レール２７に載置する。載置プレート７１の第１載置部７１１には第２ドレッサボード１５２が載置されているものとする。
【0089】
載置プレート７１をレール２７に引き出した後、レール２７を離間させ、搬送手段７２を用いてレール２７に載置されている載置プレート７１をチャックテーブル２０の保持面２１０の上に移動させる。そして、チャックテーブル２０に接続されている図示しない吸引源を作動させて保持面２１０を吸引する。これにより、載置プレート７１が保持面２１０に保持される。
載置プレート７１は、Ｙ軸方向に第１載置部７１１と第２載置部７１２とが並ぶように保持面２１０に保持させている。
載置プレート７１は、Ｙ軸方向に第１載置部７１１と第２載置部７１２とが並ぶように保持面２１０に保持させている。
【0090】
次に、ドレッサ搬出制御部６４２により、図２に示したＸ軸移動手段５０、第１Ｙ軸移動手段５１、及び第１ドレッサ保持ユニット６１を制御して、保持面２１０に保持された載置プレート７１のドレッサボードが載置されていない第２載置部７１２に、第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１を搬出する。
【0091】
具体的には、まず、Ｘ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１とを制御して、第１サブチャックテーブル２５１に保持された第１ドレッサボード１５１の直上に第１保持部６１０を位置付ける。
次いで、上下移動手段６１１を制御して、第１保持部６１０を下降させて、第１保持部６１０に第１ドレッサボード１５１を保持してから、第１保持部６１０を上昇させる。
次いで、上下移動手段６１１を制御して、第１保持部６１０を下降させて、第１保持部６１０に第１ドレッサボード１５１を保持してから、第１保持部６１０を上昇させる。
【0092】
さらに、Ｘ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１とを制御して、第１ドレッサボード１５１が保持されている第１保持部６１０を、チャックテーブル２０上の載置プレート７１のドレッサボードが載置されていない側の第２載置部７１２の直上に位置付ける。
【0093】
そして、上下移動手段６１１を制御して、第１保持部６１０を下降させるとともに、第１保持部６１０に保持されている第１ドレッサボード１５１を第２載置部７１２に載置する。こうして、第１ドレッサボード１５１が、第１サブチャックテーブル２５１から搬出されて、チャックテーブル２０に保持されている載置プレート７１の第２載置部７１２に載置される。
【0094】
次に、ドレッサ搬入制御部６４３により、第１Ｙ軸移動手段５１、及び第１ドレッサ保持ユニット６１を制御して、保持面２１０に保持された載置プレート７１の第１載置部７１１に載置されている第２ドレッサボード１５２を第１サブチャックテーブル２５１に搬入する。
【0095】
具体的には、まず、第１Ｙ軸移動手段５１を制御して、第１ドレッサ保持ユニット６１の第１保持部６１０を、チャックテーブル２０に保持された載置プレート７１の第１載置部７１１に載置されている第２ドレッサボード１５２の直上に、位置付ける。
【0096】
次いで、上下移動手段６１１を制御して、第１保持部６１０を下降させて、第１保持部６１０に第２ドレッサボード１５２を保持してから、第１保持部６１０を上昇させる。
【0097】
さらに、第１Ｙ軸移動手段５１を制御して、第２ドレッサボード１５２が保持された第１保持部６１０を、第１サブチャックテーブル２５１の直上に位置付ける。
【0098】
そして、上下移動手段６１１を制御して、第１保持部６１０を下降させるとともに、第１保持部６１０に保持されている第２ドレッサボード１５２を第１保持部６１０から離反させて、第１サブチャックテーブル２５１に載置する。
【0099】
上記のように、チャックテーブル２０の保持面２１０に載置プレート７１を保持して、載置プレート７１に載置された第２ドレッサボード１５２と、第１サブチャックテーブル２５１に保持されている第１ドレッサボード１５１とを交換することにより、ドレッサボードの交換を自動化することができる。これにより、被加工物１４０の連続加工が可能となる。
【0100】
ドレッサボードの交換は、一旦、第２ドレッサボード１５２が載置されている載置プレート７１を検査テーブル１７に載置してから、検査テーブル１７からチャックテーブル２０の保持面２１０に搬送した後、上記と同様にして第１サブチャックテーブル２５１と、チャックテーブル２０に保持された載置プレート７１の第１載置部７１１、及び第２載置部７１２との間において、第１ドレッサボード１５１、及び第２ドレッサボード１５２を搬送するという構成でもよい。
なお、検査テーブル１７に搬入した第２ドレッサボード１５２の上面をカメラで撮像し、第１ドレッサボード１５１がドレッシング可能か否かを検査する。
なお、検査テーブル１７の保持面１７０に保持された載置プレート７１の第２ドレッサボード１５２の上面を洗浄する洗浄ノズルを備えて、洗浄ノズルから洗浄水を噴射させ、チャックテーブル２０の保持面２１０に載置プレート７１を搬入する前に載置プレート７１に載置されている第２ドレッサボード１５２を洗浄してもよい。
また、チャックテーブル２０の保持面２１０から搬出し検査テーブル１７の保持面１７０に保持された載置プレート７１の第１ドレッサボード１５１に洗浄ノズルから洗浄水を噴射させ洗浄してもよい。
なお、検査テーブル１７に搬入した第２ドレッサボード１５２の上面をカメラで撮像し、第１ドレッサボード１５１がドレッシング可能か否かを検査する。
なお、検査テーブル１７の保持面１７０に保持された載置プレート７１の第２ドレッサボード１５２の上面を洗浄する洗浄ノズルを備えて、洗浄ノズルから洗浄水を噴射させ、チャックテーブル２０の保持面２１０に載置プレート７１を搬入する前に載置プレート７１に載置されている第２ドレッサボード１５２を洗浄してもよい。
また、チャックテーブル２０の保持面２１０から搬出し検査テーブル１７の保持面１７０に保持された載置プレート７１の第１ドレッサボード１５１に洗浄ノズルから洗浄水を噴射させ洗浄してもよい。
【0101】
かかる構成においては、まず、搬出入手段７３及び搬送手段７２によって図１に示したカセット７０から載置プレート７１を引き出して、検査テーブル１７の保持面１７０に載置する。
【0102】
そして、第２載置プレート搬入制御部６５１により、搬送手段７２を制御して検査テーブル１７に載置されている載置プレート７１を保持面２１０に搬入する。
【0103】
次いで、第２ドレッサ搬出制御部６５２により、Ｘ軸移動手段５０と第１Ｙ軸移動手段５１と第１ドレッサ保持ユニット６１とを制御して、保持面２１０に保持された載置プレート７１の第１載置部７１１に載置されている第２ドレッサボード１５２を第１サブチャックテーブル２５１に搬入する。
【0104】
その後、第２載置プレート搬出制御部６５４により、搬送手段７２を制御して、保持面２１０に保持されている載置プレート７１をカセットステージ７００に載置されたカセット７０に収納する。
【0105】
なお、切削装置１は、第１ドレッサ保持ユニット６１にかえて、図１１に示す第３ドレッサ保持ユニット９を備えるものであってもよい。
【0106】
第３ドレッサ保持ユニット９は、第３保持部９１と、第３保持部９１をＺ軸方向に移動させる上下移動手段９３とを備えている。上下移動手段９３は、図２に示した第１ドレッサ保持ユニット６１に備える上下移動手段６１１と同様の構成を有しているため、説明を省略する。
第３保持部９１は、図１１に示すように、上下移動手段９３に連結された連結部材９１１と、連結部材９１１の下端に配設された支持板９１０と、支持板９１０の両端に配設された把持部９０とを備えている。把持部９０は、かぎ爪状を有しており、回転軸９５を軸にして回転自在である。また、各々の把持部９０の上部側面には、錘９４が配設されている。
第３保持部９１は、図１１に示すように、上下移動手段９３に連結された連結部材９１１と、連結部材９１１の下端に配設された支持板９１０と、支持板９１０の両端に配設された把持部９０とを備えている。把持部９０は、かぎ爪状を有しており、回転軸９５を軸にして回転自在である。また、各々の把持部９０の上部側面には、錘９４が配設されている。
【0107】
各々の錘９４が自重によって略下向きに下降すると、錘９４の荷重を受けて把持部９０が回転軸９５を軸にして支持板９１０の中心に向けて回転して、向かい合う把持部９０の爪９００が接近することとなる。錘９４が自重によって把持部９０の上部側面における下限の位置まで下がった状態においては、支持板９１０と把持部９０とは互いに直交している状態にあるものとする。
【0108】
かかる状態で、例えば、第３ドレッサ保持ユニット９の第３保持部９１を、ドレッサ仮置き部６３に保持されているドレッサボード１５の上方に位置付けてから、上下移動手段９３を用いて第３保持部９１を－Ｚ方向に下降させていくと、図１１に示すように、ドレッサボード１５の側面によって爪９００の先端が外側へと押されて、把持部９０が回転軸９５を軸にして支持板９１０の中心から離れる方向にやや回転する。そして、その状態で、上下移動手段９３を用いて第３保持部９１をやや上昇させると、図１２に示すように、ドレッサボード１５が把持部９０の爪９００に引っ掛けられて把持される。
ドレッサボード１５が把持部９０に把持されている状態で、上下移動手段９３を用いて第３保持部９１を＋Ｚ方向に上昇させることにより、ドレッサボード１５を搬送することができる。
ドレッサボード１５が把持部９０に把持されている状態で、上下移動手段９３を用いて第３保持部９１を＋Ｚ方向に上昇させることにより、ドレッサボード１５を搬送することができる。
【0109】
なお、図２に示した切削装置１は、第１切削手段３１及び第２切削手段３２を備え、これに対応して第１サブチャックテーブル２５１及びサブチャックテーブル２５２を備える構成としたが、切削手段は１つのみでもよく、その場合は、サブチャックテーブルも１つのみでよい。
【0110】
また、第１ドレッサ保持ユニット６１又は第２ドレッサ保持ユニット６２は、第１切削手段３１とともにＹ軸方向に移動する構成としたが、第１切削手段３１及び第２切削手段３２とは別に、独立してＹ軸方向に移動する構成としてもよい。もっとも、本実施形態のように、第１ドレッサ保持ユニット６１及び第２ドレッサ保持ユニット６２をＹ軸方向に移動させるための機構が、いずれかの切削手段をＹ軸方向に移動させるための機構を兼ねることにより、装置構成が複雑化するのを回避することができる。
【符号の説明】
【0111】
１：切削装置 １０：ベース １１：門型コラム １２：筐体 １３：筐体カバー
１４：ワークユニット
１４０：被加工物 １４０：ウェーハ １４１：フレーム １４２：テープ
１４００：上面 １４０１：デバイス １４０２：分割予定ライン
１５：ドレッサボード １５１：第１ドレッサボード １５２：第２ドレッサボード
１７：検査テーブル １７０：保持面 １７１：クランプ
１８：搬送エリア １９：加工エリア
２：保持手段 ２０：チャックテーブル ２１：吸引部 ２１０：保持面 ２２：枠体
２２０：枠体の上面 ２３：クランプ ２４：回転手段
２５１：第１サブチャックテーブル ２５２：第２サブチャックテーブル
２６：支柱 ２７：レール
３１：第１切削手段 ３１０：切削ブレード ３１１：スピンドルハウジング
３２：第２切削手段 ３２０：切削ブレード ３２１：スピンドルハウジング
３３：撮像手段
４１：第１Ｚ軸移動手段 ４１０：ボールネジ ４１１：ガイドレール
４１２：Ｚ軸モータ ４１３：昇降板 ４１４：スケール
４２：第２Ｚ軸移動手段 ４２０：ボールネジ ４２１：ガイドレール
４２２：Ｚ軸モータ ４２３：昇降板 ４２４：スケール
５０：Ｘ軸移動手段 ５００：ボールネジ ５０１：ガイドレール
５０２：Ｘ軸モータ ５０３：可動板 ５０４：スケール
５１：第１Ｙ軸移動手段 ５１０：ボールネジ
５１１：ガイドレール ５１３：スライド板
５２：第２Ｙ軸移動手段 ５２０：ボールネジ ５２１：ガイドレール
５２２：Ｙ軸モータ ５２３：スライド板 ５２４：スケール
６１：第１ドレッサ保持ユニット ６１０：第１保持部 ６１１：上下移動手段
６１２：シリンダ ６１３：ピストン ６１４：吸引源 ６１６：軸部
６７：吸引路 ６８：連通路 ６８０：分岐路 ６１８：シール部 ６１９：下面
６１９０：吸引孔
６２：第２ドレッサ保持ユニット ６２０：第２保持部 ６２１：上下移動手段
６２２：シリンダ ６２３：ピストン
６３：ドレッサ仮置き部 ６３０：上面 ６３１：支持柱
７００：カセットステージ ７０：カセット ７１：載置プレート
７１０：上面 ７１１：第１載置部 ７１２：第２載置部
７２：搬送手段 ７２０：ボールネジ ７２１：ガイドレール ７２２：モータ
７２３：可動板 ７２４：連結板 ７２５：搬送パッド ７２５０：吸盤
７３：搬出入手段 ７３０：ボールネジ ７３１：ガイドレール
７３４：アーム部 ７３５：引き出し具
９：第３ドレッサ保持ユニット ９１：第３保持部 ９１０：支持板
９１１：連結部材 ９０：把持部 ９００：爪 ９３：上下移動手段
９４：錘 ９５：回転軸
６４：制御手段 ６４１：載置プレート搬入制御部 ６４２：ドレッサ搬出制御部
６４３：ドレッサ搬入制御部 ６４４：載置プレート搬出制御部
６５１：第２載置プレート搬入制御部 ６５２：第２ドレッサ搬出制御部
６５３：第２ドレッサ搬入制御部 ６５４：第２載置プレート搬出制御部
１４：ワークユニット
１４０：被加工物 １４０：ウェーハ １４１：フレーム １４２：テープ
１４００：上面 １４０１：デバイス １４０２：分割予定ライン
１５：ドレッサボード １５１：第１ドレッサボード １５２：第２ドレッサボード
１７：検査テーブル １７０：保持面 １７１：クランプ
１８：搬送エリア １９：加工エリア
２：保持手段 ２０：チャックテーブル ２１：吸引部 ２１０：保持面 ２２：枠体
２２０：枠体の上面 ２３：クランプ ２４：回転手段
２５１：第１サブチャックテーブル ２５２：第２サブチャックテーブル
２６：支柱 ２７：レール
３１：第１切削手段 ３１０：切削ブレード ３１１：スピンドルハウジング
３２：第２切削手段 ３２０：切削ブレード ３２１：スピンドルハウジング
３３：撮像手段
４１：第１Ｚ軸移動手段 ４１０：ボールネジ ４１１：ガイドレール
４１２：Ｚ軸モータ ４１３：昇降板 ４１４：スケール
４２：第２Ｚ軸移動手段 ４２０：ボールネジ ４２１：ガイドレール
４２２：Ｚ軸モータ ４２３：昇降板 ４２４：スケール
５０：Ｘ軸移動手段 ５００：ボールネジ ５０１：ガイドレール
５０２：Ｘ軸モータ ５０３：可動板 ５０４：スケール
５１：第１Ｙ軸移動手段 ５１０：ボールネジ
５１１：ガイドレール ５１３：スライド板
５２：第２Ｙ軸移動手段 ５２０：ボールネジ ５２１：ガイドレール
５２２：Ｙ軸モータ ５２３：スライド板 ５２４：スケール
６１：第１ドレッサ保持ユニット ６１０：第１保持部 ６１１：上下移動手段
６１２：シリンダ ６１３：ピストン ６１４：吸引源 ６１６：軸部
６７：吸引路 ６８：連通路 ６８０：分岐路 ６１８：シール部 ６１９：下面
６１９０：吸引孔
６２：第２ドレッサ保持ユニット ６２０：第２保持部 ６２１：上下移動手段
６２２：シリンダ ６２３：ピストン
６３：ドレッサ仮置き部 ６３０：上面 ６３１：支持柱
７００：カセットステージ ７０：カセット ７１：載置プレート
７１０：上面 ７１１：第１載置部 ７１２：第２載置部
７２：搬送手段 ７２０：ボールネジ ７２１：ガイドレール ７２２：モータ
７２３：可動板 ７２４：連結板 ７２５：搬送パッド ７２５０：吸盤
７３：搬出入手段 ７３０：ボールネジ ７３１：ガイドレール
７３４：アーム部 ７３５：引き出し具
９：第３ドレッサ保持ユニット ９１：第３保持部 ９１０：支持板
９１１：連結部材 ９０：把持部 ９００：爪 ９３：上下移動手段
９４：錘 ９５：回転軸
６４：制御手段 ６４１：載置プレート搬入制御部 ６４２：ドレッサ搬出制御部
６４３：ドレッサ搬入制御部 ６４４：載置プレート搬出制御部
６５１：第２載置プレート搬入制御部 ６５２：第２ドレッサ搬出制御部
６５３：第２ドレッサ搬入制御部 ６５４：第２載置プレート搬出制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】