知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ 株式会社荏原製作所の特許一覧 ▶ 株式会社アイエスエンジニアリングの特許一覧
特許7618158テープ貼り付けシステム、テープ貼り付け方法、テープ剥がしシステム、およびテープ剥がし方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-01-10
(45)【発行日】2025-01-21
(54)【発明の名称】テープ貼り付けシステム、テープ貼り付け方法、テープ剥がしシステム、およびテープ剥がし方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20250114BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20250114BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
H01L21/68 C
【請求項の数】
22
(21)【出願番号】P 2020135187
(22)【出願日】2020-08-07
(65)【公開番号】P2022030877
(43)【公開日】2022-02-18
【審査請求日】2023-07-20
(73)【特許権者】
【識別番号】000000239
【氏名又は名称】株式会社荏原製作所
(73)【特許権者】
【識別番号】301011327
【氏名又は名称】株式会社アイエスエンジニアリング
(74)【代理人】
【識別番号】100118500
【弁理士】
【氏名又は名称】廣澤 哲也
(74)【代理人】
【氏名又は名称】渡邉 勇
(74)【代理人】
【識別番号】100174089
【弁理士】
【氏名又は名称】郷戸 学
(74)【代理人】
【識別番号】100186749
【弁理士】
【氏名又は名称】金沢 充博
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 賢也
(72)【発明者】
【氏名】山田 拓未
(72)【発明者】
【氏名】渋谷 真人
(72)【発明者】
【氏名】南雲 大輔
【審査官】内田 正和
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１２－０６９７８２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－０９４３５５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－２１９０６９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０２１８４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０４３３４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２２４３００（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１５２３１７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－０７７１５０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板の周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付け装置を備え、前記テープ貼り付け装置は、
前記基板を回転可能に保持する貼り付け用基板保持部と、
前記保護テープを前記基板の外周側面に押し付けるサイドローラーと、
前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第１の面に貼り付ける第１のローラーと、
前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第２の面に貼り付ける第２のローラーと、
前記第２のローラーに連結されたローラー駆動モータと、
前記第１のローラーおよび前記第２のローラーに前記基板の周縁部を挟ませる挟み込み機構と、を備え、
前記テープ貼り付け装置は、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーによって、前記貼り付け用基板保持部に保持された前記基板の周縁部を挟み込みながら、前記ローラー駆動モータによって前記第２のローラーを回転させることで、前記基板を回転させるように構成されている、テープ貼り付けシステム。
【請求項2】
前記第２のローラーは、前記第１のローラーの下方に配置されている、請求項１に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項3】
前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、それらの先端に向かうにつれて徐々に断面積が小さくなるテーパー形状を有しており、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、前記先端が前記基板の表面に向かうように傾いて配置されている、請求項１または２に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項4】
前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、ゴムから構成されている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項5】
前記テープ貼り付け装置は、前記基板の周縁部に貼り付けられた前記保護テープを加熱するテープ加熱装置をさらに備えている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項6】
前記基板を前記テープ貼り付け装置に搬送する搬送ロボットをさらに備え、前記搬送ロボットは、ベルヌーイの定理を利用して前記基板を保持するベルヌーイハンドを備えている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項7】
前記テープ貼り付け装置は、複数のテープ貼り付け装置であり、前記複数のテープ貼り付け装置は、上下方向または水平方向に並んで配置されている、請求項１乃至６のいずれか一項に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項8】
前記基板の周縁部から前記保護テープを剥がすテープ剥がし装置をさらに備え、前記テープ剥がし装置は、
前記基板を保持して回転させる剥がし用基板保持部と、
回転している前記基板から保護テープを剥離させるテープ剥離ユニットと、
前記基板の周縁部に貼り付けられた保護テープに紫外線を照射するＵＶ照射モジュールと、を備えている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項9】
前記テープ剥がし装置は、前記テープ貼り付け装置の下方に配置されている、請求項８に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項10】
前記テープ剥がし装置は、複数のテープ剥がし装置であり、前記複数のテープ剥がし装置は、水平方向に並んで配置されている、請求項９に記載のテープ貼り付けシステム。
【請求項11】
基板の周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付け方法であって、貼り付け用基板保持部によって前記基板を回転可能に保持し、
前記保護テープを前記基板の外周側面に押し付け、
前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第１の面および第２の面にそれぞれ貼り付ける第１のローラーおよび第２のローラーによって、前記基板の周縁部を挟み込みながら、前記第２のローラーに連結されたローラー駆動モータによって前記第２のローラーを回転させることで、前記基板を回転させ、
前記第１のローラーによって、前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第１の面に貼り付け、
前記第２のローラーによって、前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第２の面に貼り付ける、テープ貼り付け方法。
【請求項12】
前記基板の周縁部に貼り付けられた前記保護テープを加熱する工程をさらに含む、請求項１１に記載のテープ貼り付け方法。
【請求項13】
前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程と、前記基板を回転させながら、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥がす工程をさらに含む、請求項１１または１２に記載のテープ貼り付け方法。
【請求項14】
基板の周縁部から保護テープを剥がすテープ剥がし装置を備え、前記テープ剥がし装置は、
前記基板を保持して回転させる剥がし用基板保持部と、
回転している前記基板から保護テープを剥離させるテープ剥離ユニットと、
前記基板の周縁部に貼り付けられた保護テープに紫外線を照射するＵＶ照射モジュールと、を備え、
前記テープ剥離ユニットは、
前記保護テープの終端突出部を把持する一対のチャッキング部材と、
前記保護テープを前記基板から剥がしながら、該基板の回転速度と同期した速度で前記保護テープを送り出す一対のテープ送りローラーと、
前記一対のテープ送りローラーから送り出された保護テープを巻き取る巻き取りローラーと、を含む、テープ剥がしシステム。
【請求項15】
前記ＵＶ照射モジュールは、紫外線を照射するＵＶ照射装置と、
前記基板を保持するＵＶ照射用基板保持部と、
前記ＵＶ照射装置に連結されたカップ状の遮光カバーと、をさらに備え、
前記遮光カバーは、前記基板の全体を覆うことが可能に形成されている、請求項１４に記載のテープ剥がしシステム。
【請求項16】
前記ＵＶ照射用基板保持部は、前記基板を保持して回転させる基板保持装置と、
前記基板保持装置を上下動させる昇降機構と、を備え、
前記遮光カバーは、前記基板保持装置の上方に配置されており、かつ下方に開口している、請求項１５に記載のテープ剥がしシステム。
【請求項17】
前記基板を前記テープ剥がし装置に搬送する搬送ロボットをさらに備え、前記搬送ロボットは、ベルヌーイの定理を利用して前記基板を保持するベルヌーイハンドを備えている、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載のテープ剥がしシステム。
【請求項18】
前記ＵＶ照射モジュールは、前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージ上の前記基板の周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する複数の照射ヘッドを備えており、
前記複数の照射ヘッドは、前記基板ステージ上の前記基板の周縁部に沿って配列されており、かつ前記基板ステージの基板保持面に対して垂直に配置されている、請求項１４に記載のテープ剥がしシステム。
【請求項19】
基板の周縁部から保護テープを剥がすテープ剥がし方法であって、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程と、
前記基板を回転させながら、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥離させる工程と、を備え、
前記基板の周縁部から前記保護テープを剥離させる工程は、
前記保護テープの終端突出部を一対のチャッキング部材により把持する工程と、
前記保護テープを前記基板から剥がしながら、一対のテープ送りローラーによって、前記基板の回転速度と同期した速度で前記保護テープを送り出す工程と、
前記一対のテープ送りローラーから送り出された保護テープを、巻き取りローラーによって巻き取る工程と、を含む、テープ剥がし方法。
【請求項20】
前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程は、遮光カバーによって前記基板の全体を覆いながら、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程である、請求項１９に記載のテープ剥がし方法。
【請求項21】
前記遮光カバーによって前記基板の全体を覆いながら、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程は、前記基板を回転させながら前記保護テープに紫外線を照射する工程を含む、請求項２０に記載のテープ剥がし方法。
【請求項22】
前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程は、基板ステージ上の前記基板の周縁部に沿って配列された複数の照射ヘッドから前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程であり、前記複数の照射ヘッドは、前記基板ステージの基板保持面に対して垂直に配置されている、請求項１９に記載のテープ剥がし方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェハなどの基板の周縁部を保護する保護テープを貼るためのテープ貼り付けシステムおよびテープ貼り付け方法に関する。また、本発明は、ウェハなどの基板の周縁部に貼り付けられた保護テープを剥がすためのテープ剥がしシステムおよびテープ剥がし方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、ウェハの表面に形成されたデバイスを保護するために、ウェハの表面全体に保護膜を貼り付けることが行われている。また、ウェハの裏面を薬液（例えば、めっき液、洗浄液）メタルコンタミから保護するために、ウェハの裏面（デバイスが形成されている面とは反対側の面）の全面に保護膜が貼り付けられることもある。例えば、めっき工程では、ウェハの裏面に保護膜を貼付したウェハがめっき液に浸漬され、この状態でウェハのめっきが行われる。
【0003】
しかしながら、ウェハの処理中に裏面保護膜の外周部からの剥がれによる保護膜の浮き上がりが発生することがある。例えば、めっき液はある処理温度まで加温されているため、保護膜の接着剤の粘着力が弱まり、保護膜の外周部がウェハから剥がれ、浮き上がることがある。保護膜の外周部が剥がれると、めっき液がウェハの裏面と保護膜との隙間に浸入してしまう。その結果、めっき液に含まれる金属イオンがシリコンから成るウェハの裏面に付着して、ウェハ内に拡散し、デバイスの性能不良を引き起こしてしまうという問題があった。そのため、最近では、ウェハの表面および裏面のみならず、保護テープなどにより、ウェハの周縁部を保護する要請がある。
【0004】
例えば、ウェハ裏面の中心部のみを研磨（研削）して薄くした、いわゆるＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェハのめっき工程では、めっき液（洗浄液を含む）がまわり込まないようにウェハの裏面に保護膜を貼り付ける。しかしながら、ＴＡＩＫＯウェハのエッジ形状により外周部からの保護膜の剥がれや、浮き上がりが起きやすく、めっき液のウェハ裏面への侵入による歩留まり低下をおこしていた。このめっき液侵入を防止し安定したプロセスを進めるためウェハの周縁部（ベベル部及びエッジ上下面約３ｍｍ）を保護テープ（テープ幅；約６ｍｍ）で覆うことが必要となった。
【0005】
保護テープが貼り付けられたウェハのめっき処理やドライエッチングなどの各種処理が終了した後、保護テープは、ウェハから剥がされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特許第６３４０２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
世界的な電動化シフトが進んでいる自動車業界からの要請もあり、ウェハの大口径化へのシフト要請が顕著になってきている。ウェハの周縁部に保護テープを貼り付けるプロセスや、保護テープを貼り付ける装置についてもウェハの大口径化（例えば、直径３００ｍｍ）への対応が課題となっており、ウェハが大口径化した場合でも、ウェハに損傷を与えずに保護テープを張り付けることへの要請が高まっている。
【0008】
また、最近では、スループット向上や歩留まり向上の観点から、保護テープを剥がす時間の短縮や、保護テープを剥がした後、保護テープの粘着剤の一部がウェハに残ること（糊残り）を防止することへの要請が高まりつつある。
【0009】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、ウェハなどの基板の損傷を防止しながら、基板の周縁部に基板の周縁部を保護する保護テープを貼ることができるテープ貼り付けシステムおよびテープ貼り付け方法を提供することを目的とする。
さらに本発明は、保護テープを剥がす時間を短縮することや、保護テープの糊残りを防止することができるテープ剥がしシステムおよびテープ剥がし方法を提供することを目的とする。
さらに本発明は、保護テープを剥がす時間を短縮することや、保護テープの糊残りを防止することができるテープ剥がしシステムおよびテープ剥がし方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
一態様では、基板の周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付け装置を備え、前記テープ貼り付け装置は、前記基板を回転可能に保持する貼り付け用基板保持部と、前記保護テープを前記基板の外周側面に押し付けるサイドローラーと、前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第１の面に貼り付ける第１のローラーと、前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第２の面に貼り付ける第２のローラーと、前記第２のローラーに連結されたローラー駆動モータと、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーに前記基板の周縁部を挟ませる挟み込み機構と、を備え、前記テープ貼り付け装置は、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーによって、前記貼り付け用基板保持部に保持された前記基板の周縁部を挟み込みながら、前記ローラー駆動モータによって前記第２のローラーを回転させることで、前記基板を回転させるように構成されている、テープ貼り付けシステムが提供される。
【0011】
一態様では、前記第２のローラーは、前記第１のローラーの下方に配置されている。
一態様では、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、それらの先端に向かうにつれて徐々に断面積が小さくなるテーパー形状を有しており、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、前記先端が前記基板の表面に向かうように傾いて配置されている。
一態様では、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、ゴムから構成されている。
一態様では、前記テープ貼り付け装置は、前記基板の周縁部に貼り付けられた前記保護テープを加熱するテープ加熱装置をさらに備えている。
一態様では、前記テープ貼り付けシステムは、前記基板を前記テープ貼り付け装置に搬送する搬送ロボットをさらに備え、前記搬送ロボットは、ベルヌーイの定理を利用して前記基板を保持するベルヌーイハンドを備えている。
一態様では、前記テープ貼り付け装置は、複数のテープ貼り付け装置であり、前記複数のテープ貼り付け装置は、上下方向または水平方向に並んで配置されている。
一態様では、前記テープ貼り付けシステムは、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥がすテープ剥がし装置をさらに備え、前記テープ剥がし装置は、前記基板を保持して回転させる剥がし用基板保持部と、回転している前記基板から保護テープを剥離させるテープ剥離ユニットと、前記基板の周縁部に貼り付けられた保護テープに紫外線を照射するＵＶ照射モジュールと、を備えている。
一態様では、前記テープ剥がし装置は、前記テープ貼り付け装置の下方に配置されている。
一態様では、前記テープ剥がし装置は、複数のテープ剥がし装置であり、前記複数のテープ剥がし装置は、水平方向に並んで配置されている。
一態様では、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、それらの先端に向かうにつれて徐々に断面積が小さくなるテーパー形状を有しており、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、前記先端が前記基板の表面に向かうように傾いて配置されている。
一態様では、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーは、ゴムから構成されている。
一態様では、前記テープ貼り付け装置は、前記基板の周縁部に貼り付けられた前記保護テープを加熱するテープ加熱装置をさらに備えている。
一態様では、前記テープ貼り付けシステムは、前記基板を前記テープ貼り付け装置に搬送する搬送ロボットをさらに備え、前記搬送ロボットは、ベルヌーイの定理を利用して前記基板を保持するベルヌーイハンドを備えている。
一態様では、前記テープ貼り付け装置は、複数のテープ貼り付け装置であり、前記複数のテープ貼り付け装置は、上下方向または水平方向に並んで配置されている。
一態様では、前記テープ貼り付けシステムは、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥がすテープ剥がし装置をさらに備え、前記テープ剥がし装置は、前記基板を保持して回転させる剥がし用基板保持部と、回転している前記基板から保護テープを剥離させるテープ剥離ユニットと、前記基板の周縁部に貼り付けられた保護テープに紫外線を照射するＵＶ照射モジュールと、を備えている。
一態様では、前記テープ剥がし装置は、前記テープ貼り付け装置の下方に配置されている。
一態様では、前記テープ剥がし装置は、複数のテープ剥がし装置であり、前記複数のテープ剥がし装置は、水平方向に並んで配置されている。
【0012】
一態様では、基板の周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付け方法であって、貼り付け用基板保持部によって前記基板を回転可能に保持し、前記保護テープを前記基板の外周側面に押し付け、前記第１のローラーおよび前記第２のローラーによって、前記基板の周縁部を挟み込みながら、前記第２のモータに連結されたローラー駆動モータによって前記第２のローラーを回転させることで、前記基板を回転させ、前記第１のローラーによって、前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第１の面に貼り付け、前記第２のローラーによって、前記保護テープをその長手方向に沿って折り曲げ、前記保護テープの折り曲げられた部分を前記基板の周縁部の第２の面に貼り付ける、テープ貼り付け方法が提供される。
【0013】
一態様では、前記テープ貼り付け方法は、前記基板の周縁部に貼り付けられた前記保護テープを加熱する工程をさらに含む。
一態様では、前記テープ貼り付け方法は、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程と、前記基板を回転させながら、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥がす工程をさらに含む。
一態様では、前記テープ貼り付け方法は、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程と、前記基板を回転させながら、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥がす工程をさらに含む。
【0014】
一態様では、基板の周縁部から保護テープを剥がすテープ剥がし装置を備え、前記テープ剥がし装置は、前記基板を保持して回転させる剥がし用基板保持部と、回転している前記基板から保護テープを剥離させるテープ剥離ユニットと、前記基板の周縁部に貼り付けられた保護テープに紫外線を照射するＵＶ照射モジュールと、を備えている、テープ剥がしシステムが提供される。
【0015】
一態様では、前記ＵＶ照射モジュールは、紫外線を照射するＵＶ照射装置と、前記基板を保持するＵＶ照射用基板保持部と、前記ＵＶ照射装置に連結されたカップ状の遮光カバーと、をさらに備え、前記遮光カバーは、前記基板の全体を覆うことが可能に形成されている。
一態様では、前記ＵＶ照射用基板保持部は、前記基板を保持して回転させる基板保持装置と、前記基板保持装置を上下動させる昇降機構と、を備え、前記遮光カバーは、前記基板保持装置の上方に配置されており、かつ下方に開口している。
一態様では、前記テープ剥がしシステムは、前記基板を前記テープ剥がし装置に搬送する搬送ロボットをさらに備え、前記搬送ロボットは、ベルヌーイの定理を利用して前記基板を保持するベルヌーイハンドを備えている。
一態様では、前記ＵＶ照射用基板保持部は、前記基板を保持して回転させる基板保持装置と、前記基板保持装置を上下動させる昇降機構と、を備え、前記遮光カバーは、前記基板保持装置の上方に配置されており、かつ下方に開口している。
一態様では、前記テープ剥がしシステムは、前記基板を前記テープ剥がし装置に搬送する搬送ロボットをさらに備え、前記搬送ロボットは、ベルヌーイの定理を利用して前記基板を保持するベルヌーイハンドを備えている。
【0016】
一態様では、基板の周縁部から保護テープを剥がすテープ剥がし方法であって、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程と、前記基板を回転させながら、前記基板の周縁部から前記保護テープを剥離させる工程と、を備えている、テープ剥がし方法が提供される。
【0017】
一態様では、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程は、遮光カバーによって前記基板の全体を覆いながら、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程である。
【0018】
一態様では、前記遮光カバーによって前記基板の全体を覆いながら、前記周縁部に貼り付けられた前記保護テープに紫外線を照射する工程は、前記基板を回転させながら前記保護テープに紫外線を照射する工程を含む。
【発明の効果】
【0019】
本発明によれば、基板を回転させる力は基板の周縁部に加えられるので、基板の回転方向の力が加えられる場所と、保護テープが押し付けられる場所との基板の半径方向における距離を近付けることができる。これにより、ウェハＷに与える負荷を軽減し、ウェハＷの損傷を防止することができる。
また、本発明によれば、ＵＶ硬化型粘着層を有する保護テープに紫外線を照射することによって、粘着層が硬化し、保護テープが剥がれやすくなる。結果として、保護テープを剥がす時間を短縮することや、糊残りを防止することができる。
また、本発明によれば、ＵＶ硬化型粘着層を有する保護テープに紫外線を照射することによって、粘着層が硬化し、保護テープが剥がれやすくなる。結果として、保護テープを剥がす時間を短縮することや、糊残りを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図2】ウェハの一実施形態を示す拡大断面図である。
【図3】テープ貼り付けシステムの一実施形態を模式的に示す平面図である。
【図5】テープ貼り付けモジュールを示す模式図である。
【図7】繰り出しローラーの他の実施形態を示す模式図である。
【図9】第１のローラー、第２のローラー、および挟み込み機構を示す模式図である。
【図10】第１のローラーおよび第２のローラーによってウェハおよび保護テープが挟まれている状態を示す拡大図である。
【図11】第１のローラー、第２のローラー、ウェハ、基板ステージ、およびシャフトが回転している様子を示す図である。
【図13】保護テープがウェハの周縁部に貼り付けられる様子を示した側面図である。
【図14】テープカッターにより切断された保護テープの終端突出部を示した図である。
【図15】ベルヌーイハンドの模式図である。
【図16】テープ剥がしシステムの一実施形態を模式的に示す平面図である。
【図18】テープ剥がしモジュールを示す模式図である。
【図19】剥がし用基板保持部の側面図である。
【図20】テープ剥離ユニットを示す模式図である。
【図22】ＵＶ照射モジュールを示す模式図である。
【図23】センタリング機構を示す模式図である。
【図24】遮光カバーの斜視図である。
【図25】ウェハが遮光カバーの内部空間に位置している状態を示す模式図である。
【図26】テープ処理システムの一実施形態を示す模式図である。
【図27】テープ剥がしシステムの他の実施形態を示す模式図である。
【図28】テープ貼り付けシステムの他の実施形態を模式的に示す平面図である。
【図30】テープ貼り付けシステムの他の実施形態を模式的に示す側面図である。
【図31】テープ貼り付けシステムの他の実施形態を模式的に示す側面図である。
【図32】テープ貼り付けシステムの他の実施形態を模式的に示す平面図である。
【図34】テープ貼り付けシステムの他の実施形態を模式的に示す平面図である。
【図36】テープ貼り付けシステムの他の実施形態を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本発明の実施形態に係るテープ貼り付けシステムおよびテープ剥がしシステムについて図面を参照しながら説明する。
テープ貼り付けシステムは、ウェハなどの基板の周縁部に保護テープを貼り付け、保護テープで基板の周縁部を保護するためのシステムである。テープ剥がしシステムは、ウェハなどの基板の周縁部に貼り付けられた保護テープを剥がすためのシステムである。保護テープの一例としてマスキングテープが挙げられる。本明細書では、基板の周縁部を、基板の最外周に位置するベベル部と、このベベル部の半径方向内側に位置するトップエッジ部およびボトムエッジ部とを含む領域として定義する。
テープ貼り付けシステムは、ウェハなどの基板の周縁部に保護テープを貼り付け、保護テープで基板の周縁部を保護するためのシステムである。テープ剥がしシステムは、ウェハなどの基板の周縁部に貼り付けられた保護テープを剥がすためのシステムである。保護テープの一例としてマスキングテープが挙げられる。本明細書では、基板の周縁部を、基板の最外周に位置するベベル部と、このベベル部の半径方向内側に位置するトップエッジ部およびボトムエッジ部とを含む領域として定義する。
【0022】
図１（ａ）および図１（ｂ）は、基板の一例であるウェハの周縁部を説明するための拡大断面図である。より詳しくは、図１（ａ）はいわゆるストレート型のウェハＷの断面図であり、図１（ｂ）はいわゆるラウンド型のウェハＷの断面図である。図１（ａ）のウェハＷにおいて、ベベル部は、上側傾斜部（上側ベベル部）Ｐ、下側傾斜部（下側ベベル部）Ｑ、および側部（アペックス）Ｒから構成される最も外側の部分（符号Ｂで示す）である。図１（ｂ）のウェハＷにおいては、ベベル部は、ウェハＷの最も外側に位置する、湾曲した断面を有する部分（符号Ｂで示す）である。トップエッジ部は、ベベル部Ｂよりも半径方向内側に位置する平坦部Ｅ１である。ボトムエッジ部は、トップエッジ部とは反対側に位置し、ベベル部Ｂよりも半径方向内側に位置する平坦部Ｅ２である。
【0023】
これらベベル部Ｂ、トップエッジ部Ｅ１、およびボトムエッジ部Ｅ２を、総称して周縁部と称する。周縁部は、デバイスが形成された領域を含むこともある。以下の説明において、ウェハＷの周縁部の外周側面とはベベル部Ｂの表面をいい、ウェハＷの周縁部の上面はトップエッジ部Ｅ１の表面をいい、ウェハＷの周縁部の下面はボトムエッジ部Ｅ２の表面をいう。
【0024】
図２は、ウェハＷの一実施形態を示す拡大断面図である。図２に示すウェハＷは、ウェハＷの裏面の中心部（ボトムエッジ部Ｅ２よりもウェハＷの半径方向内側の領域）が周縁部よりも薄くなっている、いわゆるＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェハである。一実施形態では、ボトムエッジ部Ｅ２の半径方向の長さｔ１は３ｍｍ～５ｍｍであり、中心部の厚さｔ２は５０μｍである。本実施形態では、ウェハＷとしてＴＡＩＫＯウェハが使用されるが、ウェハＷは、図面を見やすくするため中心部が研削されていないウェハとして図面に描かれることがある。ウェハＷはＴＡＩＫＯウェハに限定されず、ＴＡＩＫＯウェハ以外のウェハ（上述のように中心部が研削されていない一般的なウェハ）であってもよい。
【0025】
図３は、テープ貼り付けシステムの一実施形態を模式的に示す平面図であり、図４は、図３のテープ貼り付けシステムを模式的に示す側面図である。テープ貼り付けシステム１は、基板の一例であるウェハＷの周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付け装置１０と、ウェハＷをテープ貼り付け装置１０に搬送する搬送ロボット１３と、多数のウェハが収容されたウェハカセット（基板カセット）が載置される複数のロードポート５と、電源制御部３を備えている。
【0026】
電源制御部３は、図示しない電源と、テープ貼り付け装置１０および搬送ロボット１３の動作を制御する動作制御部４とを備えている。テープ貼り付け装置１０および搬送ロボット１３は動作制御部４に電気的に接続されている。動作制御部４は、テープ貼り付け装置１０の各構成要素および搬送ロボット１３に指令を発し、テープ貼り付け装置１０の各構成要素および搬送ロボット１３の動作を制御する。
【0027】
動作制御部４は、少なくとも１台のコンピュータから構成される。動作制御部４は、プログラムが格納された記憶装置４ａと、プログラムに含まれる命令に従って演算を実行する処理装置４ｂを備えている。記憶装置４ａは、ＲＡＭなどの主記憶装置と、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）などの補助記憶装置を備えている。処理装置４ｂの例としては、ＣＰＵ（中央処理装置）、ＧＰＵ（グラフィックプロセッシングユニット）が挙げられる。ただし、動作制御部４の具体的構成はこの例に限定されない。
【0028】
ロードポート５には、オープンカセット、ＳＭＩＦ（Standard Manufacturing Interface）ポッド、またはＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搭載することができる。ＳＭＩＦ、ＦＯＵＰは、内部に基板カセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。搬送ロボット１３は、ロードポート５と、テープ貼り付け装置１０との間でウェハＷを搬送する。また、搬送ロボット１３は、後述するテープ貼り付けモジュール２０と、テープ加熱装置１５との間でウェハＷを搬送する。
【0029】
図４に示すように、テープ貼り付けシステム１は、隔壁６と換気機構８をさらに備えている。隔壁６の内部空間は処理室７を構成している。テープ貼り付け装置１０および搬送ロボット１３は処理室７内に配置されている。隔壁６には図示しない扉が設けられており、この扉を通じてウェハＷを処理室７内に搬入し、かつ処理室７から搬出することが可能となっている。
【0030】
隔壁６の上部には、クリーンエア取入口６ａが形成されており、テープ貼り付け装置１０の下方（隔壁６の下部）には、空間内の塵やパーティクルを吸い込んで排気する局所排気装置９が形成されている。換気機構８は隔壁６の上面に設置されている。この換気機構８は、ファン８Ａと、このファン８Ａから送られた空気中のパーティクルや粉塵を除去するフィルター８Ｂとを備えている。換気機構８は、清浄な空気をクリーンエア取入口６ａを通じて処理室７に送り込み、処理室７内の気体を局所排気装置９から排出させる。これにより、処理室７内には清浄な空気のダウンフローが形成される。その結果、空間内の塵やパーティクルは局所排気装置９から排出される。結果として、パーティクルの舞い上がりによるウェハＷの表面の汚染や、ウェハＷの周縁部への塵の付着を防止することができる。
【0031】
テープ貼り付け装置１０は、ウェハＷを回転させてウェハＷの周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付けモジュール２０と、テープ貼り付けモジュール２０によってウェハＷの周縁部に貼り付けられた保護テープを加熱する複数のテープ加熱装置１５を備えている。
【0032】
図５は、テープ貼り付けモジュール２０を示す模式図である。テープ貼り付けモジュール２０は、ウェハＷを回転可能に保持する貼り付け用基板保持部２１と、ウェハＷを回転させながらウェハＷの周縁部に保護テープを貼り付けるテープ貼り付けユニット２８とを備えている。図５に示されるように、テープ貼り付けユニット２８は、基板ステージ２２（図６に図示する）に保持されたウェハＷを図中の矢印で示す方向に回転させながら、保護テープ２７をウェハＷの周縁部に貼り付ける。本実施形態では、ウェハＷの裏面（下面）には保護膜３８（図１０に図示する）が貼り付けられており、保護テープ２７は、ウェハＷの下面に貼り付けられた保護膜３８の外周部およびウェハＷの周縁部全体を覆うようにウェハＷの周縁部に貼り付けられる。保護膜３８の外周部は、ウェハＷの周縁部の下面の少なくとも一部を構成する。本実施形態では、ウェハＷは保護膜３８を含む。
【0033】
図６（ａ）および図６（ｂ）は、貼り付け用基板保持部２１を示す図である。より具体的には、図６（ａ）は貼り付け用基板保持部２１の側面図であり、図６（ｂ）は貼り付け用基板保持部２１の平面図である。図６（ａ）に示すように、貼り付け用基板保持部２１は、ウェハＷを水平に保持する基板ステージ２２と、基板ステージ２２の下面の中央部に固定されるシャフト２３と、シャフト２３を回転可能に支持するシャフト支持部２５とを備えている。基板ステージ２２は、図示しない真空源に接続されており、この真空源によって発生される真空吸引力により、ウェハＷが基板ステージ２２の上面（すなわち基板保持面）に保持される。これにより、ウェハＷのずれや、浮き上がりを防止することができる。
【0034】
シャフト２３は、基板ステージ２２に周方向の力が加わることで、基板ステージ２２と共にその軸心を中心に回転するように構成されている。具体的には、ウェハＷが基板ステージ２２に保持された状態でウェハＷに回転方向（例えば、図５の矢印で示す方向）の力が加わると、シャフト２３は、基板ステージ２２およびウェハＷと共にその軸心を中心に回転する。本実施形態では、シャフト支持部２５は、モータであり、シャフト支持部２５は、図示しない回転軸を有している。シャフト２３は、シャフト支持部２５の回転軸に連結されている。シャフト支持部２５の回転軸は、シャフト支持部２５の運転が停止している状態で、外側から回転方向の力を加えられることで、回転するように構成されている。
【0035】
シャフト支持部２５を駆動させると、シャフト２３がその軸心を中心に回転し、それに伴って、基板ステージ２２および該基板ステージ２２上のウェハＷが回転するが、貼り付け工程中、シャフト支持部２５の運転は停止している。シャフト支持部２５は、本実施形態に限定されない。一実施形態では、シャフト支持部２５は、モータではなく、シャフト２３を回転可能に支持する軸受を備えていてもよい。
【0036】
貼り付け用基板保持部２１は、図６（ｂ）に示すように、真空吸引力によりウェハＷを基板ステージ２２に保持する前に、ウェハＷをセンタリングするセンタリング機構２６をさらに備えている。センタリング機構２６は、ウェハＷの周方向に沿って等間隔に配置された複数の（図示した例では３つの）センタリングフィンガー３２から構成される。センタリングフィンガー３２は、その先端部にウェハＷの周縁部に接触可能な２本の突出部（フィンガー部）３３を有している。また、センタリングフィンガー３２は、図示しない移動機構（例えば、エアシリンダ）により、ウェハＷの中心に向かって前進およびウェハＷから後退できるように構成されている。センタリングフィンガー３２がウェハＷの中心に向かって前進すると、突出部３３がウェハＷの周縁部に接触し、この突出部３３によって、ウェハＷは、当該ウェハＷの中心に向かって押圧される。３つのセンタリングフィンガー３２をウェハＷの中心に向けて同時に移動させると、ウェハＷの周縁部が３方向から同時にウェハＷの中心に向けて押圧される。これにより、ウェハＷのセンタリングが行われる。ウェハＷのセンタリングが完了すると、シャフト２３の中心とウェハＷの中心とが同軸上に位置することになる。
【0037】
また、貼り付け用基板保持部２１は、ウェハＷのノッチを検出することができるノッチ検出機構２４をさらに備えている。ノッチ検出機構２４を用いてウェハＷのノッチを検出することにより、ウェハＷの回転位置の基準が明確になるので、後述する保護テープをウェハに貼り始める位置や、貼り終わる位置を所望の位置に決定することができる。シャフト支持部２５は、ウェハＷのノッチを検出するために、シャフト２３を回転させる。
【0038】
図５に戻って、テープ貼り付けユニット２８に供給される保護テープ２７は、繰り出しローラー３０に保持されている。繰り出しローラー３０から繰り出された保護テープ２７は、複数のローラーを有するテンションユニット３１を通過し、その間に、テンションユニット３１によって保護テープ２７に所望のテンションが与えられる。すなわち、保護テープ２７は、所望のテンションが与えられた状態でウェハＷの周縁部に貼り付けられる。テンションユニット３１を通過した保護テープ２７は、ガイドローラー３４を経由してテープ貼り付けユニット２８に供給される。保護テープ２７の接着面に貼られているセパレーションフィルム２９は、保護テープ２７がガイドローラー３４を通過すると同時に保護テープ２７から剥離され、フィルム巻き取りローラー３５に巻き取られる。
【0039】
保護テープ２７は、柔軟な基材テープと、基材テープの片面に形成された粘着層とを備えている。基材テープの材料としては、ポリオレフィン（ＰＯ）、ポリエチレン（ＰＥＴ）、あるいはポリイミドなどの合成樹脂が使用できる。上記粘着層は、粘着剤を有している。保護テープ２７の厚さは、例えば、６０μｍ～８０μｍである。一実施形態では、粘着層の粘着剤は、ＵＶ硬化型の粘着剤である。以下、ＵＶ硬化型の粘着剤を有する粘着層を、ＵＶ硬化型粘着層と呼ぶことがある。
【0040】
さらに一実施形態では、保護テープ２７は、セパレーションフィルム２９が貼られていないタイプのテープであってもよい。セパレーションフィルム２９を無くすことで、保護テープ２７全体の厚みが少なくなり、繰り出しローラー３０の半径を小さくすることができる。また、フィルム巻き取りローラー３５が不要になり、テープ貼り付け装置１０を簡素化することができ、テープ貼り付けシステム１全体をコストダウンすることができる。セパレーションフィルム２９が貼られていないタイプのテープの例として、熱硬化型の粘着層を備えたテープが挙げられる。さらに一実施形態では、セパレーションフィルム２９の有無にかかわらずテープ貼り付け装置１０を共通化するため、テープ貼り付けモジュール２０は、セパレーションフィルム２９の有無を検出するセンサを備えていてもよい。
【0041】
図７は、繰り出しローラー３０の他の実施形態を示す模式図である。図７に示す繰り出しローラー３０は、保護テープ２７が巻き付けられる芯部１３３と、芯部１３３の両端部に設けられた支持面１３０，１３１を備えている。支持面１３０，１３１の半径は、芯部１３３の半径よりも大きい。支持面１３０，１３１は、フランジ１３０ａ，１３１ａを有している。ウェハの大口径化（例えば直径３００ｍｍのウェハ）に伴い、繰り出しローラー３０に保持される保護テープ２７の長さが長くなる場合がある。このような場合、保護テープ２７は、保護テープ２７の幅方向にずれて繰り出しローラー３０に巻き付けられることがある。本実施形態では、フランジ１３０ａ，１３１ａによって、上述のずれを防止することができる。
【0042】
さらに一実施形態では、図７に示すように、支持面１３０，１３１の表面に、それぞれの支持面を表すマーキングをしてもよい。具体的には、支持面１３０には、支持面１３０を表すマーク１３５を記載し、支持面１３１には、マーク１３５とは異なる形状のマークを記載する。図７に示す例では、支持面１３０にはＡという文字を記載し、支持面１３１にはＢという文字（図示せず）を記載する。これにより、繰り出しローラー３０の表面と裏面が明確になり、誤った向きに繰り出しローラー３０を設置することを防止することができる。
【0043】
さらに一実施形態では、繰り出しローラー３０に、ロット番号、製造年月日、使用期限、メーカー名等の識別情報を有するＩＣチップなどの識別装置を埋め込んでもよく、テープ貼り付けモジュール２０は、ＩＣチップの識別情報を読み取る読み取り装置を備えていてもよい。繰り出しローラー３０の設置時に読み取り装置で識別情報を読み取ることで、使用予定外の繰り出しローラー３０（例えば、使用予定外の保護テープ２７が保持された繰り出しローラーや、使用済みの繰り出しローラー）が設置されることを防止することができる。
【0044】
さらに一実施形態では、繰り出しローラー３０の近傍に複数の繰り出しローラー３０が収容されるストッカーを設けてもよい。これにより、繰り出しローラー３０をスムーズに入れ替えることが可能となる。
【0045】
図５に戻って、テープ貼り付けユニット２８は、保護テープ２７の始端を保持して、該始端をウェハＷの外周側面（図１（ａ）および図１（ｂ）の符号Ｂ参照）に貼り付けるテープ保持ヘッド４０と、ウェハＷの表面と垂直な方向における保護テープ２７の位置決めを行う位置決め部材としての位置決めローラー４２と、保護テープ２７をウェハＷの外周側面に押し付けるサイドローラー４３とを備えている。
【0046】
さらに、テープ貼り付けユニット２８は、ウェハＷの外周側面に押し付けられた保護テープ２７をその長手方向に沿って折り曲げ、さらに保護テープ２７の折り曲げられた部分をウェハＷの周縁部の第１の面に貼り付ける第１のローラー４６と、ウェハＷの外周側面に押し付けられた保護テープ２７をその長手方向に沿って折り曲げ、さらに保護テープ２７の折り曲げられた部分をウェハＷの周縁部の第２の面に貼り付ける第２のローラー４７（図９に図示する）とを有している。第１のローラー４６および第２のローラー４７は、サイドローラー４３に隣接して配置されている。本実施形態では、ウェハＷの周縁部の第１の面は、ウェハＷの周縁部の上面であり、ウェハＷの周縁部の第２の面は、ウェハＷの周縁部の下面である。
【0047】
第１のローラー４６および第２のローラー４７は、ウェハＷの周縁部を上下から挟み込むように配置されている。本実施形態では、第２のローラー４７は第１のローラー４６の下方に配置されており、ウェハＷの周縁部は、これら第１のローラー４６と第２のローラー４７の間に位置している。第１のローラー４６の下方に第２のローラー４７が位置しているため、図５では、第１のローラー４６のみが示されている。
【0048】
テープ保持ヘッド４０は、ヘッドアクチュエータとしての電動シリンダ４１に連結されており、この電動シリンダ４１によって、ウェハＷの周縁部に近接および離間する方向に移動可能に構成される。テープ保持ヘッド４０は、保護テープ２７の始端を着脱自在に保持できるように構成されている。より具体的には、テープ保持ヘッド４０は真空ライン３９に接続されており、この真空ライン３９によって発生される真空吸引力で保護テープ２７の始端を保持することができるようになっている。
【0049】
図８（ａ）乃至図８（ｃ）は、テープ保持ヘッド４０で保護テープ２７の始端をウェハＷの外周側面に貼り付ける工程を示した斜視図である。テープ保持ヘッド４０の前面には、ウェハＷの表面と平行に延びるテープ保持溝４０ａが形成されている。このテープ保持溝４０ａの底面には、テープ保持ヘッド４０が保護テープ２７の始端を着脱可能に保持することを可能とする真空吸引口４０ｂが形成されている。この真空吸引口４０ｂは、上述した真空ライン３９に連通している。
【0050】
テープ保持ヘッド４０は次のように動作する。図８（ａ）に示すように、保護テープ２７の始端がテープ保持ヘッド４０に真空吸引によって保持される。次に、図８（ｂ）に示されるように、電動シリンダ４１（図５参照）を動作させて、保護テープ２７の始端がウェハＷの外周側面に接触するまで、テープ保持ヘッド４０をウェハＷの外周側面に向かって移動させる。次に、真空ライン３９の真空吸引を遮断すると共に、テープ保持ヘッド４０をウェハＷの周縁部から離間させる。このようにテープ保持ヘッド４０を動作させることで、図８（ｃ）に示されるように、保護テープ２７の始端がウェハＷの外周側面に貼り付けられる。
【0051】
図５に示すように、位置決めローラー４２およびサイドローラー４３は、共通の支持台４４に回転自在に固定されている。位置決めローラー４２およびサイドローラー４３の軸心は、ウェハＷの表面と垂直な方向（すなわち鉛直方向）に延びている。支持台４４は、ローラーアクチュエータとしてのエアシリンダ４５に連結されている。
【0052】
エアシリンダ４５を動作させると、位置決めローラー４２およびサイドローラー４３がウェハＷの外周側面に向かって同時に移動する。位置決めローラー４２とサイドローラー４３の移動方向は、ウェハＷの表面と平行な方向である。位置決めローラー４２とサイドローラー４３は、その移動方向に対して異なる位置に配置されている。したがって、図５に示すように、サイドローラー４３は保護テープ２７をウェハＷの外周側面に押し付ける一方で、位置決めローラー４２は保護テープ２７の裏面（すなわち、粘着面とは反対の面）に接触するのみであり、保護テープ２７をウェハＷの外周側面に押し付けない。位置決めローラー４２およびサイドローラー４３は、それぞれ別々のエアシリンダに連結されていてもよい。
【0053】
テープ貼り付けユニット２８は、第１のローラー４６および第２のローラー４７にウェハＷの周縁部を挟ませる挟み込み機構６０をさらに備えている。図９は、第１のローラー４６、第２のローラー４７、および挟み込み機構６０を示す模式図である。第１のローラー４６および第２のローラー４７は、回転軸３６および回転軸３７にそれぞれ固定されている。回転軸３６および回転軸３７は、軸受５７および軸受５８によって回転可能に支持されている。第１のローラー４６の軸心と回転軸３６の軸心は一致しており、第１のローラー４６は回転軸３６の軸心を中心に回転可能に構成されている。第２のローラー４７の軸心と回転軸３７の軸心は一致しており、第２のローラー４７は回転軸３７の軸心を中心に回転可能に構成されている。
【0054】
テープ貼り付けユニット２８は、第２のローラー４７を回転させるローラー駆動モータ４９をさらに備えている。回転軸３７はローラー駆動モータ４９に連結されている。第２のローラー４７は、回転軸３７を介してローラー駆動モータ４９に連結されている。ローラー駆動モータ４９を駆動させると、回転軸３７が回転し、それに伴って、第２のローラー４７が回転する。第１のローラー４６は回転自在に構成されているが、モータのような回転駆動機は接続されていない。
【0055】
挟み込み機構６０は、第１のローラー４６および第２のローラー４７を、ウェハＷの周縁部に近接および離間する方向にそれぞれ移動させる移動機構６１，６２と、移動機構６１，６２にそれぞれ連結されたブリッジ６３，６４と、移動機構６１とブリッジ６３とを連結するばね６６とを備えている。第１のローラー４６および第２のローラー４７は、挟み込み機構６０に連結されている。具体的には、第１のローラー４６は、回転軸３６および軸受５７を介してブリッジ６３に接続されており、第２のローラー４７は、回転軸３７およびローラー駆動モータ４９を介してブリッジ６４に接続されている。移動機構６１，６２の位置は固定されている。
【0056】
移動機構６１，６２は、エアシリンダなどから構成されている。この移動機構６１を動作させると、第１のローラー４６は、回転軸３６、軸受５７、ブリッジ６３、およびばね６６と一体に第２のローラー４７に近接および離間する方向（すなわち、ウェハＷの周縁部に近接および離間する方向）に移動する。移動機構６２を動作させると、第２のローラー４７は、回転軸３７、軸受５８、ローラー駆動モータ４９、およびブリッジ６４と一体に第１のローラー４６に近接および離間する方向（すなわち、ウェハＷの周縁部に近接および離間する方向）に移動する。第１のローラー４６および第２のローラー４７の移動方向は、ウェハＷの表面と垂直な方向である。一実施形態では、移動機構６１，６２は、サーボモータと、ボールねじ機構と、モータドライバとの組み合わせから構成されてもよい。移動機構６１，６２は、ローラー４６，４７を、ウェハＷに接触するまでウェハＷの周縁部に近接する方向に移動させる。これにより、第１のローラー４６および第２のローラー４７は、ウェハＷの周縁部を挟み込む。
【0057】
第１のローラー４６がウェハＷに接触すると第１のローラー４６、回転軸３６、軸受５７、ばね６６、およびブリッジ６３はそれ以上下降しなくなるが、この状態でさらに移動機構６１を動作させる（ばね６６に下向きの力を加える）と、ばね６６に反発力が発生し、ばね６６は上記反発力に相当する下向き（ウェハＷ方向）の力をブリッジ６３に与える。このばね６６が発生させる下向きの力は、回転軸３６、軸受５７を介して第１のローラー４６に伝えられる。したがって、第１のローラー４６は、上記下向きの力を含む押圧力でウェハＷの周縁部を押す（または保護テープ２７をウェハＷの周縁部に押し付ける）。
【0058】
このような構成により、第１のローラー４６および第２のローラー４７は適切な力で上下からウェハＷを挟むことができ、かつ保護テープ２７をその長手方向に沿って折り曲げて、その折り曲げられた部分をウェハＷの周縁部の上面および下面に押し付けることができる。ウェハＷの周縁部を押す（または保護テープ２７をウェハＷの周縁部に押し付ける）押圧力は、例えば、エアシリンダなどから構成される移動機構６１，６２の空気圧を調整することで調整することができる。
【0059】
図１０は、第１のローラー４６および第２のローラー４７によってウェハＷおよび保護テープ２７が挟まれている状態を示す拡大図である。ウェハＷが貼り付け用基板保持部２１に保持された状態で、第１のローラー４６および第２のローラー４７によって、ウェハＷの周縁部を挟み込みながら（すなわち、第１のローラー４６および第２のローラー４７によってウェハＷの周縁部の上面および下面を押しながら）、ローラー駆動モータ４９を駆動して第２のローラー４７を回転させると、第２のローラー４７の回転に伴ってウェハＷ、第１のローラー４６、基板ステージ２２、およびシャフト２３が回転する。第１のローラー４６および第２のローラー４７は、挟み込み機構６０によって、適切な力で上下からウェハＷを挟むことができるので、第２のローラー４７によるウェハＷの周縁部への送り動力（ウェハＷを回転させる力）が的確に伝えられる。第１のローラー４６、第２のローラー４７、ウェハＷ、基板ステージ２２、およびシャフト２３が回転している様子を図１１に示す。
【0060】
上述のように、保護テープ２７は、テンションユニット３１によって所望のテンションが与えられた状態でウェハＷの周縁部に貼り付けられる。言い換えれば、保護テープ２７は、サイドローラー４３によってウェハＷの周縁部に押し付けられながら、テンションユニット３１によって、ウェハＷの回転方向とは、逆方向に引っ張られる。これにより、保護テープ２７が押し付けられる位置に、ウェハＷの回転方向と逆方向の力が加わる。
【0061】
例えば、モータ等の駆動源に連結されていない第２のローラーに相当するローラーを有するテープ張り付け装置では、基板ステージに連結されたモータを駆動して、基板ステージを回転させることで基板ステージに保持されたウェハを回転させるが、この場合、ウェハを回転させる力は、保護テープが押し付けられる位置よりもウェハの半径方向内側に加えられる。その結果、ウェハの回転方向の力が加えられる場所と、保護テープが押し付けられる場所とのウェハの半径方向における距離が遠くなるので、ウェハには大きな負荷が加わる。
【0062】
このような装置では、ウェハが大口径化するほど、ウェハに回転方向の力が加わる場所と、保護テープが押し付けられる場所とのウェハの半径方向における距離が遠くなる。したがって、大口径ウェハの保護テープ貼り付けプロセスに、上述したテープ貼り付け装置（モータ等の駆動源に連結されていない第２のローラーに相当するローラーを有するテープ張り付け装置）を適用した場合、ウェハに損傷を与える可能性がある。例えば、直径２００ｍｍのＴＡＩＫＯウェハと同じ厚さ（５０μｍ以下）で大口径化したＴＡＩＫＯウェハ（例えば、直径３００ｍｍのウェハ）に、上述したテープ貼り付け装置（モータ等の駆動源に連結されていない第２のローラーに相当するローラーを有するテープ張り付け装置）を適用した場合、ＴＡＩＫＯウェハの中心部分とエッジの境界部に応力集中が起こりウェハの機械的強度が損なわれ、ウェハが破損するリスクが高くなる。
【0063】
本実施形態によれば、ウェハＷを回転させる力は、ウェハＷの周縁部に加えられるので、ウェハＷの回転方向の力が加えられる場所と、保護テープが押し付けられる場所とのウェハＷの半径方向における距離を近付けることができる。これにより、ウェハＷに与える負荷が軽減され、ウェハＷの損傷を防止することができる。また、本実施形態では、ローラー４６、４７は、サイドローラー４３に隣接して配置されているので、ウェハＷの回転方向の力が加えられる場所と、保護テープが押し付けられる場所を近付けることができる。これにより、ウェハＷに与える負荷をさらに軽減することができる。
【0064】
本実施形態では、第２のローラー４７は第１のローラー４６の下方に配置されているので、ローラー駆動モータ４９からの発塵がウェハＷの表面に落下してウェハＷの表面を汚染させることを防ぐことができる。一実施形態では、第２のローラー４７が、第１のローラー４６の上方に配置され、これら第１のローラー４６と第２のローラー４７の間にウェハＷの周縁部が位置していてもよい。この場合、ウェハＷの周縁部の第１の面は、ウェハＷの周縁部の下面となり、ウェハＷの周縁部の第２の面は、ウェハＷの周縁部の上面となる。
【0065】
第１のローラー４６、回転軸３６、軸受５７、第２のローラー４７、回転軸３７、軸受５８、およびローラー駆動モータ４９は、ウェハＷを回転させる回転装置４８を構成している。
【0066】
上述のように、保護テープ２７は、テンションユニット３１によって所望のテンションが与えられた状態でウェハＷの周縁部に貼り付けられる。言い換えれば、保護テープ２７がウェハＷの周縁部に押し付けられているとき、テンションユニット３１は、保護テープ２７をウェハＷの接線方向に引っ張っている。本実施形態では、第１のローラー４６および第２のローラーはゴムから構成されている。第１のローラー４６および第２のローラー４７の材質をゴムとすることにより、保護テープ２７が引っ張られてずれることを防止することができる。このようなゴムの例として、ウレタンゴムやシリコンゴムが挙げられる。
【0067】
ウェハＷの表面と垂直な方向（基板ステージ２２の基板保持面と垂直な方向）から見たとき、ローラー４６，４７の軸心および回転軸３６，３７の軸心は、ウェハＷの半径方向に延びているが（図５参照）、ローラー４６，４７の軸心および回転軸３６，３７の軸心は、ウェハＷの表面と垂直な方向に傾いて配置されている。具体的には、ローラー４６，４７、回転軸３６，３７、およびローラー駆動モータ４９は、ローラー４６，４７の先端がウェハＷの表面に向かうように傾いて配置されている。第１のローラー４６および第２のローラー４７は、先端に向かうにつれて徐々に断面積が小さくなるテーパー形状を有している。このような構成によれば、ウェハＷの半径方向内側に向かうほど、ローラー４６、４７の断面の円周は短くなる。結果として、保護テープ２７が捻れて貼り付けられることを抑制することができる。
【0068】
位置決めローラー４２およびサイドローラー４３は回転自在に構成されているが、モータのような回転駆動機は接続されていない。したがって、これらローラー４２，４３は、ウェハＷの回転によって移動する保護テープ２７との接触によって回転される。
【0069】
次に、テープ貼り付けユニット２８の動作について説明する。まず、図８（ａ）乃至図８（ｃ）に示すように、保護テープ２７の始端がテープ保持ヘッド４０によりウェハＷの外周側面に貼り付けられる。次に、サイドローラー４３がウェハＷの外周側面に接触するまで、位置決めローラー４２およびサイドローラー４３をウェハＷに向かって移動させる。そして、外周側面に保護テープ２７の始端が貼り付けられた状態で、挟み込み機構６０によって第１のローラー４６および第２のローラー４７を互い近接する方向に移動させ、ローラー４６，４７によってウェハＷを所望の力で挟み込む。そして、ローラー４６，４７によってウェハＷを挟み込みながらローラー駆動モータ４９を駆動する。その結果、ウェハＷはその軸心を中心として回転する。図１２（ａ）に示すように、位置決めローラー４２は、保護テープ２７の進行方向においてサイドローラー４３の上流側に配置されている。したがって、保護テープ２７は、位置決めローラー４２およびサイドローラー４３の順にガイドされる。
【0070】
保護テープ２７はその上下方向の位置が位置決めローラー４２によって固定される。すなわち、位置決めローラー４２は、その中央部がくびれたドラム形状を有しており、このくびれた部分で保護テープ２７がガイドされることで保護テープ２７の上下方向の位置決めがなされる。位置決めローラー４２を通過した保護テープ２７は、サイドローラー４３によって所定の力でウェハＷの外周側面に押し付けられ、これにより保護テープ２７はウェハＷの外周側面に貼り付けられる。
【0071】
サイドローラー４３は、弾性を有する材料、例えばウレタンゴムから構成されており、サイドローラー４３が所定の力で保護テープ２７をウェハＷの外周側面に押し付けると、サイドローラー４３の外周面がウェハＷの周縁部の形状に沿って窪む。その結果、図１２（ｂ）に示すように、サイドローラー４３の窪んだ外周面に倣って、保護テープ２７の全体がウェハＷの半径方向内側に撓められる。
【0072】
ウェハＷの回転に伴って保護テープ２７は、第１のローラー４６および第２のローラー４７に到達する。サイドローラー４３によって撓められた保護テープ２７は、第１のローラー４６および第２のローラー４７によって所定の力で挟み込まれる。図１２（ｂ）および図１３に示すように、第１のローラー４６により、保護テープ２７の上半分はその長手方向に沿って折り曲げられ、ウェハＷの周縁部の上面（第１の面）に押し付けられる。同時に、第２のローラー４７により、保護テープ２７の下半分はその長手方向に沿って折り曲げられ、ウェハＷの周縁部の下面（第２の面）に押し付けられる。このようにして、保護テープ２７がウェハＷの周縁部に貼り付けられる。この状態で、ウェハＷを一回転させることにより、図１２（ｃ）に示すように、ウェハＷの周縁部全体に保護テープ２７が貼り付けられる。
【0073】
テープ貼り付けユニット２８は、図５に示されるように、第３のローラー５４および第４のローラー５５を有していてもよい。第３のローラー５４は第４のローラー５５の上方に配置されており、ウェハＷの周縁部は、これら第３のローラー５４と第４のローラー５５の間に位置している。第３のローラー５４の下方に第４のローラー５５が位置しているため、図５では、第３のローラー５４のみが示されている。
【0074】
第３のローラー５４および第４のローラー５５は、その軸心まわりに回転自在に構成されている。第３のローラー５４および第４のローラー５５のそれぞれの軸心は、ウェハＷの表面と平行に延び、かつウェハＷの半径方向に延びている。第３のローラー５４と第４のローラー５５とは、エアシリンダなどから構成される移動機構５６に連結されている。この移動機構５６を動作させると、第３のローラー５４と第４のローラー５５は、互い近接および離間する方向（すなわち、ウェハＷの周縁部に近接および離間する方向）に移動する。第３のローラー５４と第４のローラー５５の移動方向は、ウェハＷの表面と垂直な方向である。
【0075】
このような構成により、第３のローラー５４と第４のローラー５５とは、第１のローラー４６と第２のローラー４７とでウェハＷの周縁部に貼り付けられた保護テープ２７を、再度ウェハＷの周縁部に押し付ける。したがって、第３のローラー５４と第４のローラー５５とにより、保護テープ２７がウェハＷの周縁部に確実に貼り付けられる。第３のローラー５４と第４のローラー５５とが保護テープ２７をウェハＷの周縁部に押し付ける押圧力は、例えば、エアシリンダなどから構成される移動機構５６の空気圧を調整することで調整することができる。
【0076】
一実施形態では、第３のローラー５４および第４のローラー５５は、先端に向かうにつれて徐々に断面積が小さくなるテーパー形状を有していてもよく、ローラー５４，５５の先端がウェハＷの表面に向かうように傾いて配置されていてもよい。
【0077】
保護テープ２７の折り曲げられた部分の幅は、２ｍｍ～３ｍｍである。ウェハＷの周縁部の上面に貼り付けられる保護テープ２７の折り曲げられた部分の幅（以下、上側のテープ幅という）は、ウェハＷの周縁部の下面に貼り付けられる保護テープ２７の折り曲げられた部分の幅（以下、下側のテープ幅という）と同じでもよく、または異なってもよい。通常、ウェハＷは、その上に形成されたデバイスが上を向いた状態で貼り付け用基板保持部２１の基板ステージ２２上に保持される。この場合、上側のテープ幅は下側のテープ幅よりも大きくてもよい。上側のテープ幅と下側のテープ幅との割合は、位置決めローラー４２の上下方向の位置によって調整することができる。
【0078】
テープ貼り付け工程が終了した後、保護テープ２７は、図１２（ｃ）に示すように、テープカッター５０により切断される。保護テープ２７が切断された後で、第１のローラー４６と第２のローラー４７とで該保護テープ２７を挟み込んでウェハＷを回転させると、図１４に示されるように、ウェハＷの周縁部から突出した保護テープ２７の終端である終端突出部５２が形成される。
【0079】
図３に戻って、テープ加熱装置１５は、ウェハＷが載置される加熱ステージ１５ａと、加熱ステージ１５ａを加熱するヒーター（図示せず）を備えている。周縁部に保護テープ２７が貼り付けられたウェハＷを加熱ステージ１５ａに載置することによって、保護テープ２７が加熱される。これにより、貼り付け後の保護テープ２７の粘着強度が高くなる。
【0080】
本実施形態では、テープ貼り付けシステム１は、複数の（図示した例では３つの）テープ加熱装置１５を備えているが、テープ加熱装置１５の数は本実施形態に限定されない。テープ貼り付けシステム１は、１つのテープ加熱装置１５を備えていてもよく、４つ以上のテープ加熱装置１５を備えていてもよい。複数のテープ加熱装置１５を設けることにより、複数のウェハを同時に加熱することができる。
【0081】
一実施形態では、テープ加熱装置１５は、ウェハＷの周縁部に貼り付けられた保護テープ２７のみに熱が当たるように配置されたスポットヒーターであってもよい。テープ加熱装置１５を、基板ステージ２２の近傍など、保護テープ２７のみに熱を当てることが可能な位置に配置し、回転装置４８によってウェハＷを回転させることにより、保護テープ２７の全体に熱を当てることができる。スポットヒーターの例として、赤外線を放射する赤外スポットヒーターや、赤外ランプ式ヒーターが挙げられる。
【0082】
図３に戻って、搬送ロボット１３は、ウェハＷを保持するベルヌーイハンド１６と、ベルヌーイハンド１６を旋回および／または昇降させる旋回昇降機構（図示せず）を備えている。図１５は、ベルヌーイハンド１６の模式図である。図１５に示すように、ベルヌーイハンド１６は、基部１７と、基部１７に接続された複数のチャック１８を備えている。ベルヌーイハンド１６は、ウェハＷの下面を流体を介して非接触に吸引するように構成されている。ベルヌーイハンド１６は、ベルヌーイの定理を利用してウェハＷを保持する機構である。
【0083】
具体的には、チャック１８の吸引面１８ａの外周部から外側に向けて流体（例えば、クリーンエア、不活性ガス等の気体、または純水等の液体）が吐出されることによって、吸引面１８ａの中心部とウェハＷの下面との間の空間に負圧が形成される。これにより、チャック１８は、吸引面１８ａの中心部に吸引力を発生させウェハＷを吸引する。吸引面１８ａの外周部とウェハＷとの間の空間に流体の流れが形成されるため、チャック１８はウェハＷを非接触に吸引することができる。これにより、ウェハＷの下面を清浄に保ったままウェハＷを吸引することができる。結果として、ウェハＷの周縁部を汚すことなく、保護テープ２７の粘着強度を維持することが可能となる。また、ＴＡＩＫＯウェハを使用した場合のウェハＷの中心部が薄くなったことによる中心部のたわみによる影響を受けず、ハンドリングスピードを上げることが可能となる。
【0084】
図１６は、テープ剥がしシステムの一実施形態を模式的に示す平面図であり、図１７は、図１６のテープ剥がしシステムを模式的に示す側面図である。テープ剥がしシステム７０は、ウェハＷの周縁部から保護テープ２７を剥がすテープ剥がし装置８０と、ウェハＷをテープ剥がし装置８０に搬送する搬送ロボット７３と、多数のウェハが収容されたウェハカセット（基板カセット）が載置される複数のロードポート７５と、電源制御部７１を備えている。
【0085】
電源制御部７１は、図示しない電源と、テープ剥がし装置８０および搬送ロボット７３の動作を制御する動作制御部７４とを備えている。テープ剥がし装置８０および搬送ロボット７３は動作制御部７４に電気的に接続されている。動作制御部７４は、テープ剥がし装置８０の各構成要素および搬送ロボット７３に指令を発し、テープ剥がし装置８０の各構成要素および搬送ロボット７３の動作を制御する。
【0086】
動作制御部７４は、少なくとも１台のコンピュータから構成される。動作制御部７４は、プログラムが格納された記憶装置７４ａと、プログラムに含まれる命令に従って演算を実行する処理装置７４ｂを備えている。記憶装置７４ａは、ＲＡＭなどの主記憶装置と、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）などの補助記憶装置を備えている。処理装置７４ｂの例としては、ＣＰＵ（中央処理装置）、ＧＰＵ（グラフィックプロセッシングユニット）が挙げられる。ただし、動作制御部７４の具体的構成はこの例に限定されない。
【0087】
ロードポート７５には、オープンカセット、ＳＭＩＦ（Standard Manufacturing Interface）ポッド、またはＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搭載することができる。搬送ロボット７３は、ロードポート７５と、テープ剥がし装置８０との間でウェハＷを搬送する。また、搬送ロボット７３は、後述するテープ剥がしモジュール８１と、ＵＶ照射モジュール８５との間でウェハＷを搬送する。
【0088】
図１７に示すように、テープ剥がしシステム７０は、隔壁７６と換気機構７８をさらに備えている。隔壁７６の内部空間は処理室７７を構成している。テープ剥がし装置８０および搬送ロボット７３は処理室７７内に配置されている。隔壁７６には図示しない扉が設けられており、この扉を通じてウェハＷを処理室７７内に搬入し、かつ処理室７７から搬出することが可能となっている。
【0089】
隔壁７６の上部には、クリーンエア取入口７６ａが形成されており、テープ剥がし装置８０の下方（隔壁７６の下部）には、空間内の塵やパーティクルを吸い込んで排気する局所排気装置７９が形成されている。換気機構７８は隔壁７６の上面に設置されている。この換気機構７８は、ファン７８Ａと、このファン７８Ａから送られた空気中のパーティクルや粉塵を除去するフィルター７８Ｂとを備えている。換気機構７８は、清浄な空気をクリーンエア取入口７６ａを通じて処理室７７に送り込み、処理室７７内の気体を局所排気装置７９から排出させる。これにより、処理室７７内には清浄な空気のダウンフローが形成される。その結果、空間内の塵やパーティクルは局所排気装置７９から排出される。結果として、パーティクルの舞い上がりによるウェハＷの表面の汚染や、ウェハＷの周縁部への塵の付着を防止することができる。
【0090】
テープ剥がし装置８０は、ウェハＷを回転させてウェハＷの周縁部から保護テープを剥がすテープ剥がしモジュール８１と、ウェハＷの周縁部に貼り付けられた保護テープ２７に紫外線を照射するＵＶ照射モジュール８５を備えている。搬送ロボット７３は、ウェハＷを保持するベルヌーイハンド８２と、ベルヌーイハンド８２を旋回および／または昇降させる旋回昇降機構（図示せず）を備えている。ベルヌーイハンド８２は、ウェハＷの下面を流体を介して非接触に吸引するように構成されている。ベルヌーイハンド８２は、ベルヌーイの定理を利用してウェハＷを保持する機構である。ベルヌーイハンド８２の構成は、ベルヌーイハンド１６と同様である。ベルヌーイハンド８２により、ウェハＷの下面を清浄に保ったままウェーハＷを吸引することができる。
【0091】
図１８は、テープ剥がしモジュール８１を示す模式図である。テープ剥がしモジュール８１は、ウェハＷを保持して回転させる剥がし用基板保持部８３と、回転しているウェハＷから保護テープ２７を剥離させるテープ剥離ユニット９０を備えている。
【0092】
図１９は、剥がし用基板保持部８３の側面図である。図１９に示すように、剥がし用基板保持部８３は、ウェハＷを水平に保持する基板ステージ８６と、基板ステージ８６の下面の中央部に固定されるシャフト８７と、シャフト８７および基板ステージ８６を回転させるためのステージモータ８８とを備えている。基板ステージ８６は、図示しない真空源に接続されており、この真空源によって発生される真空吸引力により、ウェハＷが基板ステージ８６の上面（すなわち基板保持面）に保持される。ステージモータ８８を駆動させると、シャフト８７が図中の矢印で示す方向に回転し、それに伴って、基板ステージ８６および基板ステージ８６上のウェハＷが回転する。
【0093】
図１８に示すように、剥がし用基板保持部８３は、真空吸引力によりウェハＷを基板ステージ８６に保持する前に、ウェハＷをセンタリングするセンタリング機構８４をさらに備えている。センタリング機構８４は、ウェハＷの周方向に沿って等間隔に配置された複数の（図示した例では３つの）センタリングフィンガー９２から構成される。センタリングフィンガー９２は、その先端部にウェハＷの周縁部に接触可能な２本の突出部（フィンガー部）９４を有している。センタリングフィンガー９２の構成および動作は、センタリングフィンガー３２と同様である。また、剥がし用基板保持部８３は、ウェハＷのノッチを検出することができるノッチ検出機構８９をさらに備えている。
【0094】
図２０は、テープ剥離ユニット９０を示す模式図である。図２０に示すように、テープ剥離ユニット９０は、保護テープ２７の終端を把持してウェハＷから保護テープ２７を引き出すチャッキング機構９３を備えている。このチャッキング機構９３は、保護テープ２７の終端突出部５２を把持する一対のチャッキング部材（例えばチャッキング爪）９１，９１を有している。チャッキング機構９３は、ウェハＷに向かって前進およびウェハＷから後退が出来るように構成されている。
【0095】
テープ剥離ユニット９０は、保護テープ２７をウェハＷから剥がしながら、ウェハＷの回転速度と同期した速度で保護テープ２７を送り出す一対のテープ送りローラー９５，９５と、これらテープ送りローラー９５，９５から送り出された保護テープ２７を巻き取る巻き取りローラー９６と、をさらに有する。一対のテープ送りローラー９５，９５の一方は、モータ９７に連結され、巻き取りローラー９６は、モータ９９に連結され、これらモータ９７，９９によってローラー９５，９６はそれぞれ所定の速度で回転される。
【0096】
テープ剥離ユニット９０の動作は、次のように行われる。まず、図２０に示されるように、終端突出部５２がチャッキング機構９３の正面に位置するまでウェハＷが剥がし用基板保持部８３によって回転させられる。チャッキング機構９３はウェハＷに向かって移動し、そのチャッキング部材９１，９１で終端突出部５２を把持する。そして、図２１（ａ）に示されるように、チャッキング部材９１，９１で終端突出部５２を把持した状態で、チャッキング機構９３を後退させながら、ウェハＷを回転させる。この際、ウェハＷから剥離された保護テープ２７とウェハＷの接線方向とがなす角度が９０°となるように、チャッキング機構９３の後退速度とウェハＷの回転速度とが同期させられる。
【0097】
チャッキング機構９３が後退を完了すると、図２１（ｂ）に示されるように、テープ送りローラー９５，９５が互いに近づき、剥離した保護テープ２７をその間に挟み込む。巻き取りローラー９６は、保護テープ２７の剥離された部分に当接するまで移動される。この状態で、テープ送りローラー９５，９５が回転し、剥離した保護テープ２７を巻き取りローラー９６に所定の速度で送り出す。同時に、保護テープ２７に当接した巻き取りローラー９６を回転させることにより、剥離した保護テープ２７が巻き取りローラー９６に巻き取られる。
【0098】
保護テープ２７の巻き取りが開始されると同時に、チャッキング機構９３が巻き取りローラー９６に向かって移動する。ある程度保護テープ２７が巻き取りローラー９６に巻き取られると、チャッキング部材９１，９１は終端突出部５２を解放し、これによって巻き取りローラー９６が保護テープ２７の巻き取りを継続することが許容される。テープ送りローラー９５，９５は、ウェハＷから剥離された保護テープ２７とウェハＷの接線方向とがなす角度が９０°となるように、ウェハＷの回転速度と同期した回転速度で回転する。
【0099】
保護テープ２７の全体がウェハＷの周縁部から剥離され、剥離された保護テープ２７が全て巻き取りローラー９６に巻き取られるまで、巻き取りローラー９６、およびテープ送りローラー９５，９５は回転し続ける。図２１（ｂ）には図示していないが、テープ送りローラー９５，９５および巻き取りローラー９６は、モータ９７，９９によってそれぞれ回転される。保護テープ２７の巻き取りが完了すると、巻き取りローラー９６は後退し、テープ送りローラー９５，９５は互いに離間する方向に移動する。
【0100】
図２２は、ＵＶ照射モジュール８５を示す模式図である。ＵＶ照射モジュール８５は、ウェハＷを保持するＵＶ照射用基板保持部１０１と、ウェハＷの周縁部に貼り付けられた保護テープ２７に紫外線を照射するＵＶ照射装置１１０と、ＵＶ照射装置１１０に連結されたカップ状の遮光カバー１１１を備えている。
【0101】
ＵＶ照射用基板保持部１０１は、基板を保持して回転させる基板保持装置１０４と、基板保持装置１０４を上下動させる昇降機構１０７と、を備えている。基板保持装置１０４は、ウェハＷを水平に保持する基板ステージ１０２と、基板ステージ１０２の下面の中央部に固定されるシャフト１０３と、シャフト１０３および基板ステージ１０２を回転させるためのステージモータ１０５とを備えている。基板ステージ１０２は、図示しない真空源に接続されており、この真空源によって発生される真空吸引力により、ウェハＷが基板ステージ１０２の上面（すなわち基板保持面）に保持される。ステージモータ１０５を駆動させると、シャフト１０３が図中の矢印で示す方向に回転し、それに伴って、基板ステージ１０２および基板ステージ１０２上のウェハＷが回転する。
【0102】
ＵＶ照射用基板保持部１０１は、図２３に示すように、真空吸引力によりウェハＷを基板ステージ１０２に保持する前に、ウェハＷをセンタリングするセンタリング機構１１６をさらに備えている。センタリング機構１１６は、ウェハＷの周方向に沿って等間隔に配置された複数の（図示した例では３つの）センタリングフィンガー１１７から構成される。センタリングフィンガー１１７は、その先端部にウェハＷの周縁部に接触可能な２本の突出部（フィンガー部）１１８を有している。センタリングフィンガー１１７の構成は、センタリングフィンガー３２と同様である。
【0103】
図２２に示すように、昇降機構１０７は、基板保持装置１０４に接続されている。昇降機構１０７は、エアシリンダなどから構成される移動機構１０９と、複数のガイドロッド１０８ａと、複数のリニアガイド１０８ｂと、基台１０６と、を備えている。基板保持装置１０４のステージモータ１０５は、基台１０６に固定されており、基台１０６には、各ガイドロッド１０８ａが接続されている。各ガイドロッド１０８ａは、各リニアガイド１０８ｂにより低摩擦で上下動自在に支持されている。
【0104】
移動機構１０９は、エアシリンダなどから構成されている。この移動機構１０９を動作させると、基台１０６および基台１０６に固定された基板保持装置１０４が上下方向に移動する。本実施形態では、エアシリンダなどから構成される移動機構１０９の空気圧を調整することで基板保持装置１０４を上下動させることができる。一実施形態では、移動機構１０９は、サーボモータと、ボールねじ機構と、モータドライバとの組み合わせから構成されてもよい。
【0105】
ＵＶ照射装置１１０は、紫外線を発する光源などを備えたＵＶ発生装置１１５と、ＵＶ発生装置１１５で発生した紫外線を放射（照射）する複数の照射ヘッド１１３と、ＵＶ発生装置で発生した紫外線を照射ヘッド１１３に伝達する複数のファイバーケーブル１１４を備えている。各ファイバーケーブル１１４の一端は各照射ヘッド１１３に接続され、他端はＵＶ発生装置１１５に接続されている。照射ヘッド１１３は、遮光カバー１１１に接続されている。ＵＶ発生装置１１５を運転させることにより、ＵＶ発生装置１１５が紫外線を発し、ファイバーケーブル１１４を通じて紫外線が照射ヘッド１１３に伝達され、照射ヘッド１１３は紫外線を放射する。
【0106】
遮光カバー１１１は、基板保持装置１０４の上方に配置されており、下方に開口している。図２４は、遮光カバー１１１の斜視図である。遮光カバー１１１の内径は、ウェハＷの直径以上であり、遮光カバー１１１は、ウェハＷの全体を覆うことが可能に形成されている。複数の照射ヘッド１１３は、遮光カバー１１１の上壁１２０に形成された複数の通孔１１１ａを通って、遮光カバー１１１の内部空間１１２に延びている。このような構成により、ＵＶ照射装置１１０は、内部空間１１２で紫外線を照射することができる。具体的には、複数の通孔１１１ａおよび複数の照射ヘッド１１３は、上壁１２０の周方向に沿って配列されている。
【0107】
図２５に示すように、ウェハＷが基板ステージ１０２に保持された状態で、基板保持装置１０４を上昇させることによって、ウェハＷの全体が遮光カバー１１１の内部空間１１２に位置する。その結果、ウェハＷは、遮光カバー１１１に覆われる。複数の照射ヘッド１１３は、ウェハＷが内部空間１１２に位置しているとき、ウェハＷに貼り付けられた保護テープ２７に紫外線が照射される位置に配置されている。
【0108】
ウェハＷが内部空間１１２に位置している状態で、照射ヘッド１１３から紫外線が保護テープ２７に照射される。すなわち、ＵＶ照射モジュール８５は、ウェハＷの全体を遮光カバー１１１で覆いながら照射ヘッド１１３から紫外線を保護テープ２７に照射する。
【0109】
ＵＶ硬化型粘着層を有する保護テープ２７に紫外線を照射することによって、粘着層が硬化し、保護テープ２７が剥がれやすくなる。結果として、保護テープを剥がす時間を短縮することや、保護テープを剥がした後、保護テープの粘着剤の一部がウェハに残ること（糊残り）を防止することができる。本実施形態では、ウェハＷの全体を遮光カバー１１１で覆いながら照射ヘッド１１３から紫外線を保護テープ２７に照射するので、効率よく紫外線を照射することができ、より短時間で粘着層を硬化させることができる。
【0110】
本実施形態では、ウェハＷが内部空間１１２に位置している状態で、ウェハＷは、その軸心を中心として基板保持装置１０４のステージモータ１０５により、回転させられる。ＵＶ照射装置１１０は、回転しているウェハＷに貼り付けられている保護テープ２７に紫外線を照射する。これにより、より効率的に紫外線を保護テープ２７に照射することができ、より短時間でＵＶ硬化型粘着層を硬化させることができる。
【0111】
本実施形態では、ＵＶ照射装置１１０は、複数の照射ヘッド１１３を備えているが、照射ヘッド１１３の数は１つでもよい。さらに一実施形態では、照射ヘッド１１３は、通孔１１１ａを通じて内部空間１１２に紫外線を照射可能に構成されていれば、照射ヘッド１１３の先端は内部空間１１２に配置されていなくてもよい。例えば、照射ヘッド１１３は、照射ヘッド１１３の先端が通孔１１１ａ内に位置するように配置されていてもよい。
【0112】
さらに一実施形態では、ＵＶ照射装置１１０は、紫外線を発する光源を備えたＵＶランプから構成されていてもよい。この場合、ＵＶ照射装置１１０は、内部空間１１２内に配置され、かつ保護テープ２７が貼り付けられたウェハＷが内部空間１１２内に位置しているとき、保護テープ２７に紫外線が照射される位置に配置される。さらに一実施形態では、ＵＶ照射モジュール８５は、紫外線を発する光源を備えたＵＶランプから構成された複数のＵＶ照射装置１１０を備えていてもよく、複数のＵＶ照射装置１１０は、内部空間１１２内で、上壁１２０の周方向に沿って配列されていてもよい。
【0113】
さらに一実施形態では、ＵＶ照射モジュール８５は、紫外線を発する光源を備えたＵＶランプから構成されていてもよい。ＵＶランプを、基板ステージ２２の近傍など、保護テープ２７に紫外線を照射することが可能な位置に配置し、保護テープ２７に紫外線を照射しながら保護テープ２７を剥がすことにより、保護テープ２７を剥がす速度が上がり、糊残りを防止することができる。
【0114】
さらに一実施形態では、テープ剥がしモジュール８１は、保護テープ２７を温めるためのドライヤーを備えていてもよい。保護テープ２７の粘着層が、温度が高くなるにつれて粘着強度が低くなる性質を有する粘着を有している場合、保護テープ２７を温めることで粘着層の粘着強度が低くなり、保護テープ２７が剥がれやすくなる。ドライヤーで保護テープ２７を温めながら、保護テープ２７を剥がすことにより、保護テープ２７を剥がす速度が上がり、糊残りを防止することができる。
【0115】
図２６は、本実施形態のテープ貼り付けシステム１およびテープ剥がしシステム７０を備えたテープ処理システムの一実施形態を示す模式図である。テープ貼り付けシステム１およびテープ剥がしシステム７０は、図２６に示すようなテープ処理システム１００内に設置されている。テープ貼り付けシステム１とテープ剥がしシステム７０は、水平方向に並んで配置されている。
【0116】
次に、テープ貼り付け方法の一実施形態について説明する。本明細書では、テープ貼り付け方法は、後述するテープ貼り付け工程と、加熱工程と、テープ剥がし工程と、を含んだものとして定義され、テープ剥がし工程は、後述する回転剥離工程と、ＵＶ照射工程を含んだものとして定義される。まず、テープ貼り付け工程について説明する。まず、搬送ロボット１３によってウェハＷをロードポート５からテープ貼り付けモジュール２０に搬送し、貼り付け用基板保持部２１の基板ステージ２２に載置する。貼り付け用基板保持部２１は、ウェハＷを回転可能に保持する。次に、図８（ａ）乃至図８（ｃ）に示すように、テープ保持ヘッド４０により保護テープ２７の始端をウェハＷの外周側面に貼り付ける。次に、サイドローラー４３がウェハＷの外周側面に接触するまで、位置決めローラー４２およびサイドローラー４３をウェハＷに向かって移動させて、サイドローラー４３によって保護テープ２７を所定の力でウェハＷの外周側面に押し付ける。そして、外周側面に保護テープ２７の始端が貼り付けられた状態で、挟み込み機構６０によって第１のローラー４６および第２のローラー４７を互い近接する方向に移動させ、ローラー４６，４７によってウェハＷを所望の力で挟み込む。そして、ローラー４６，４７によってウェハＷを挟み込みながらローラー駆動モータ４９を駆動する。その結果、ウェハＷはその軸心を中心として回転する。
【0117】
ウェハＷの回転に伴って保護テープ２７は、第１のローラー４６および第２のローラー４７に到達する。そして、第１のローラー４６および第２のローラー４７によってサイドローラー４３によって撓められた保護テープ２７を、所定の力で挟み込む。第１のローラー４６は、保護テープ２７の上半分をその長手方向に沿って折り曲げ、ウェハＷの周縁部の上面（第１の面）に押し付ける。同時に、第２のローラー４７は、保護テープ２７の下半分をその長手方向に沿って折り曲げ、ウェハＷの周縁部の下面（第２の面）に押し付ける。このようにして、保護テープ２７がウェハＷの周縁部に貼り付けられる。この状態で、ウェハＷを一回転させることにより、ウェハＷの周縁部全体に保護テープ２７を貼り付ける。その後、テープカッター５０によって保護テープ２７を切断し、ウェハＷを回転させて、終端突出部５２を形成させる。
【0118】
次に、保護テープ２７が貼り付けられたウェハＷを、搬送ロボット１３によって貼り付け用基板保持部２１から取り出して、加熱工程を実施する。搬送ロボット１３は、保護テープ２７が貼り付けられたウェハＷをテープ加熱装置１５に搬送し、加熱ステージ１５ａに載置する。その結果、ウェハＷがテープ加熱装置１５に加熱される。
【0119】
加熱工程が終了した後、ウェハＷは、テープ加熱装置１５から取り出され、ロードポート５に搬送される。その後、めっき処理などのウエット処理および／またはドライエッチングなどのドライ処理などの各種処理がウェハＷに対して行われる。ウェハＷの処理が終了した後、ウェハＷはテープ剥がしシステム７０に搬送され、テープ剥がし工程が実施される。
【0120】
次にテープ剥がし工程の一実施形態について説明する。本実施形態では、ＵＶ硬化型粘着層を有する保護テープ２７の剥離工程について説明する。まず、ＵＶ照射工程を実施する。ＵＶ照射工程では、まず、搬送ロボット７３によってウェハＷをロードポート７５からＵＶ照射モジュール８５に搬送し、ＵＶ照射用基板保持部１０１の基板ステージ１０２に載置する。そして、移動機構１０９を動作させ、基板保持装置１０４を上昇させる。ウェハＷが遮光カバー１１１の内部空間１１２に位置するまで基板保持装置１０４が上昇したら移動機構１０９を停止する。
【0121】
ウェハＷが遮光カバー１１１の内部空間１１２に位置している状態で、ＵＶ照射装置１１０は、照射ヘッド１１３からウェハＷに紫外線を照射する。ＵＶ照射装置１１０は、遮光カバー１１１によって、ウェハＷの全体を覆いながら、ウェハＷに貼り付けられた保護テープ２７に紫外線を照射する。このとき、基板保持装置１０４のステージモータ１０５によって、ウェハＷを回転させる。ＵＶ照射モジュール８５は、ウェハＷを回転させながら、かつウェハＷの全体を遮光カバー１１１で覆いながら保護テープ２７に紫外線を照射する。
【0122】
所定時間紫外線を照射した後、ＵＶ照射装置１１０およびステージモータ１０５を停止する。そして、移動機構１０９を動作させ、基板保持装置１０４を下降させる。その後、搬送ロボット７３によってウェハＷをＵＶ照射用基板保持部１０１から取り出して、回転剥離工程を実施する。回転剥離工程は、ウェハＷを回転させながらウェハＷの周縁部から保護テープを剥がす工程である。回転剥離工程では、まず、搬送ロボット７３によってウェハＷをテープ剥がしモジュール８１に搬送し、剥がし用基板保持部８３の基板ステージ８６に載置する。そして、図２０および図２１を参照して説明したように、テープ剥離ユニット９０および剥がし用基板保持部８３を動作させ、保護テープをウェハＷから剥がす。保護テープ２７を剥がし終えたらテープ剥離ユニット９０および剥がし用基板保持部８３を停止する。その後、搬送ロボット７３は、剥がし用基板保持部８３から基板を取り出し、ウェハＷをロードポート７５に搬送する。
【0123】
図２７は、テープ剥がしシステム７０の他の実施形態を示す模式図である。図２７に示すように、剥離された保護テープ２７を廃棄するための廃棄ボックス１２１をテープ剥がし装置８０の下方に設けてもよい。このような排気ボックス１２１を設けることにより、剥離された保護テープ２７を効率よく廃棄することができる。
【0124】
本実施形態では、テープ処理システム１００が、テープ貼り付けシステム１およびテープ剥がしシステム７０を備えているが、一実施形態では、テープ貼り付けシステム１がテープ剥がし装置８０を備えていてもよい。この場合、テープ貼り付け装置１０とテープ剥がし装置８０は、水平方向に並んで配置されていてもよく、テープ貼り付け装置１０の下方にテープ剥がし装置８０が配置されていてもよい。テープ貼り付けシステム１がテープ剥がし装置８０を備えている場合、搬送ロボット１３は、テープ貼り付け装置１０と、テープ剥がし装置８０との間でウェハＷを搬送する。また、搬送ロボット１３は、さらに、テープ剥がしモジュール８１と、ＵＶ照射モジュール８５との間でウェハＷを搬送する。テープ貼り付け装置１０をテープ剥がし装置８０の上方に配置することによって、ウェハＷの表面を汚さずに保護テープ２７を貼り付けることが可能となる。テープ剥がし装置８０をテープ貼り付け装置１０の下方に配置することによって、剥離された保護テープ２７の廃棄が容易となる。
【0125】
図２８は、テープ貼り付けシステム１の他の実施形態を模式的に示す平面図であり、図２９は、図２８のテープ貼り付けシステム１を模式的に示す側面図である。特に説明しない本実施形態の詳細は図３乃至図２７を参照して説明した実施形態と同じであるのでその重複する説明を省略する。図２８および図２９に示すように、本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、複数のテープ剥がし装置８０と、搬送ロボット１３を移動可能に保持するリニアガイド１４と、一時的にウェハＷを置くための複数の仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂと、ロードポート５と仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂとの間でウェハＷを搬送する基板搬送システム１３５をさらに備えている。本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、複数のテープ貼り付け装置１０を備えている。本実施形態では、搬送ロボット１３およびリニアガイド１４によって搬送装置１９が構成されている。より具体的には、本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、２つのテープ貼り付け装置１０および２つのテープ剥がし装置８０を備えている。
【0126】
基板搬送システム１３５は、ロードポート５と仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂとの間でウェハＷを搬送する搬送ロボット１３６と、搬送ロボット１３６を移動可能に保持するリニアガイド１３７とを備えている。基板搬送システム１３５の例として、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が挙げられる。一実施形態では、搬送ロボット１３６は、図１５を参照して説明したベルヌーイハンド１６と同様の構成を有するベルヌーイハンドを備えていてもよい。テープ貼り付け装置１０、テープ剥がし装置８０、搬送ロボット１３、リニアガイド１４、仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂ、および基板搬送システム１３５は、隔壁６の内部に配置されている。
【0127】
以下、本明細書では、複数のロードポート５が配列されている方向を第１方向と定義し、上から見たときに、第１方向に垂直な方向を第２方向と定義する。以下、本明細書では、第１方向と第２方向の両方に垂直な方向を垂直方向と定義する。また、本明細書では、第１方向と第２方向を総称して水平方向と呼ぶことがある。また、本明細書では、テープ貼り付け装置１０およびテープ剥がし装置８０を総称してテープ処理装置１０，８０と呼ぶことがある。
【0128】
リニアガイド１３７は、第１方向に延びており、搬送ロボット１３６は、第１方向に移動可能に構成されている。リニアガイド１４は、第２方向に延びており、搬送ロボット１３は、第２方向に移動可能に構成されている。
【0129】
本実施形態では、隔壁６の内部は、プロセスエリア１２９と、ＥＭＥＦエリア１４０とに分けられる。テープ貼り付け装置１０、テープ剥がし装置８０、搬送ロボット１３、リニアガイド１４、および仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂは、プロセスエリア１２９に配置されており、基板搬送システム１３５は、ＥＭＥＦエリア１４０に配置されている。搬送ロボット１３６は、ロードポート５および仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂにアクセス可能に構成されている。
【0130】
搬送ロボット１３は、プロセスエリア１２９の中心部に配置されており、テープ貼り付け装置１０、テープ剥がし装置８０、および仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂにアクセス可能に構成されている。搬送ロボット１３は、テープ貼り付け装置１０、テープ剥がし装置８０、および仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂの間でウェハを搬送する。
【0131】
テープ貼り付けシステム１は、隔壁６の内部をプロセスエリア１２９と、ＥＭＥＦエリア１４０に区画する仕切り壁１２５Ａを備えている。仕切り壁１２５Ａは、テープ処理装置１０，８０と基板搬送システム１３５との間、および仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂと基板搬送システム１３５との間に配置されている。仕切り壁１２５Ａは、第１方向および垂直方向に延びている。
【0132】
すなわち、プロセスエリア１２９は、隔壁６と、仕切り壁１２５Ａによって囲まれた領域であり、ＥＭＥＦエリア１４０は、隔壁６と、仕切り壁１２５Ａによって囲まれた領域である。仕切り壁１２５Ａには図示しない扉が設けられており、この扉を通じてウェハを仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂに搬入し、かつ仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂから搬出することが可能となっている。
【0133】
本実施形態では、複数のテープ貼り付け装置１０は、水平方向（第２方向）に並んで配置されている。同様に、複数のテープ剥がし装置８０は、水平方向（第２方向）に並んで配置されている。複数のテープ剥がし装置８０は、複数のテープ貼り付け装置１０の下方に配置されている。より具体的には、各テープ剥がし装置８０は、各テープ貼り付け装置１０の下方に配置されている。このような配置により、ウェハＷの表面を汚さずに保護テープ２７を貼り付けることが可能となり、かつ剥離された保護テープ２７の廃棄が容易となる。一実施形態では、図３０に示すように、剥離された保護テープ２７を廃棄するための複数の廃棄ボックス１２８を複数のテープ剥がし装置８０の下方に設けてもよい。
【0134】
仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂは、搬送装置１９と基板搬送システム１３５との間に配置されており、仮置きステージ１２３Ｂは、仮置きステージ１２３Ａの下方に配置されている。一実施形態では、仮置きステージ１２３Ａを、保護テープ２７を貼り付けるためのウェハ専用とし、仮置きステージ１２３Ｂを保護テープ２７を剥がすためのウェハ専用としてもよい。一実施形態では、仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂは縦方向並んで配置されていてもよい。
【0135】
本実施形態では、４つのロードポート５を備えている。これにより、ウェハの種類による使い分けが可能となる。例えば、第１方向において、テープ貼り付け装置１０側の２つのロードポート５を保護テープ２７を貼り付けるためのウェハ専用とし、他の２つを保護テープ２７を剥がすためのウェハ専用としてもよい。このような構成により、カセット（フープ）内でのウェハのエッジ部分のコンタミを防止することが可能となる。特に、保護テープ２７の貼付け前またはめっき前のウェハと、めっき後または保護テープ２７を剥がした後のウェハとを分けることでウェハエッジ部及びウェハ裏面のメタル汚染を防止することができる。
【0136】
本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂと搬送装置１９との間に配置された仕切り壁１２５Ｂと、水平方向に並んで配置されたテープ処理装置１０，８０の間（水平方向に並んで配置された複数のテープ貼り付け装置１０の間、および水平方向に並んで配置された複数のテープ剥がし装置８０の間）に配置された仕切り壁１２５Ｃと、テープ処理装置１０，８０と搬送装置１９との間、およびテープ処理装置１０，８０と仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂとの間に配置された仕切り壁１２５Ｄと、テープ貼り付け装置１０とテープ剥がし装置８０との間に配置された仕切り壁１２６と、仮置きステージ１２３Ａと仮置きステージ１２３Ｂとの間に配置された仕切り壁１２７をさらに備えている。
【0137】
仕切り壁１２５Ｂ，１２５Ｃは、第１方向および垂直方向に延びており、仕切り壁１２５Ｄは、第２方向および垂直方向に延びている。仕切り壁１２６，１２７は水平方向に延びている。仕切り壁１２５Ｃは、仕切り壁１２６を貫通して延びている。
【0138】
このような仕切り壁１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２５Ｄ，１２６によって、各テープ処理装置１０，８０が配置されるエリアが区画される。仕切り壁１２５Ｂ，１２５Ｄには図示しない扉が設けられており、この扉を通じてウェハを各各テープ処理装置１０，８０に搬入し、かつ各テープ処理装置１０，８０から搬出することが可能となっている。
【0139】
このように、各テープ処理装置１０，８０（各テープ貼り付け装置１０または各テープ剥がし装置８０）が配置されるエリアを区画し、作業者のアクセス面を装置側面（隔壁６）とすることで、各テープ処理装置１０，８０において消耗品（保護テープ、ＵＶランプ等）を交換することができ、故障発生時には個別にシャットダウンすることができる。これにより、通常可動できるテープ処理装置１０，８０を生かすことでき、テープ処理装置１０，８０のダウンタイムを短縮することができる。結果として、処理能力を落とすことなく、継続してテープ貼り付け工程およびテープ剥がし工程を行うことが可能となる。さらに仮置きステージ１２３Ａと、仮置きステージ１２３Ｂとの間に仕切り壁１２７を設けることにより、仮置きステージ１２３Ａと、仮置きステージ１２３Ｂとの間のコンタミの移動を防止することができる。
【0140】
図３１に示すように、テープ貼り付けシステム１は、複数の局所排気装置１４２をさらに備えていてもよい。仕切り壁１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２５Ｄ，１２６には図示しない吸気口が形成されている。本実施形態では、各局所排気装置１４２は、各テープ処理装置１０，８０（各テープ貼り付け装置１０または各テープ剥がし装置８０）の下方に設置されている。これにより、各テープ処理装置１０，８０において、パーティクルの舞い上がりによるウェハＷの表面の汚染や、ウェハＷの周縁部への塵の付着を防止することができる。
【0141】
さらに一実施形態では、仕切り壁１２５Ａによって、プロセスエリア１２９と、ＥＭＥＦエリア１４０とを完全に仕切ってもよい。プロセスエリア１２９と、ＥＭＥＦエリア１４０とを完全に仕切って、局所排気装置１４２でプロセスエリア１２９を陰圧にすることにより、テープ貼り付け工程またはテープ剥がし工程で発生するパーティクルのＥＭＥＦエリア１４０またはロードポート５への移動を防ぐことができる。結果として、長期にわたり安定的にウェハへのゴミ付着を防止することが可能となる。
【0142】
図３２は、テープ貼り付けシステム１の他の実施形態を模式的に示す平面図であり、図３３は、図３２のテープ貼り付けシステム１を模式的に示す側面図である。特に説明しない本実施形態の詳細は図２８乃至図３１を参照して説明した実施形態と同じであるのでその重複する説明を省略する。図３２および図３３に示すように、本実施形態では、複数のテープ貼り付け装置１０は、第１方向に並んで配置されている。同様に、複数のテープ剥がし装置８０は、第１方向に並んで配置されている。図３３には、１つのテープ剥がし装置８０のみが図示されているが、本実施形態では、テープ貼り付けシステム１は、２つのテープ剥がし装置８０を備えており、各テープ剥がし装置８０は、各テープ貼り付け装置１０の下方に配置されている。リニアガイド１４は、第１方向に延びており、搬送ロボット１３は、第１方向に移動可能に構成されている。搬送装置１９は、仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂとテープ処理装置１０，８０との間に配置されている。
【0143】
本実施形態では、仕切り壁１２５Ａは、仮置きステージ１２３Ａ，１２３Ｂと基板搬送システム１３５との間に配置されている。仕切り壁１２５Ｃは、第２方向および垂直方向に延びている。仕切り壁１２５Ｄは、テープ処理装置１０，８０と搬送装置１９との間に配置されており、第１方向および垂直方向に延びている。図３０および図３１を参照して説明した実施形態は、本実施形態にも適用することができる。
【0144】
図３４は、テープ貼り付けシステム１の他の実施形態を模式的に示す平面図であり、図３５は、図３４のテープ貼り付けシステム１を模式的に示す側面図である。特に説明しない本実施形態の詳細は図２８乃至図３１を参照して説明した実施形態と同じであるのでその重複する説明を省略する。図３４および図３５に示すように、本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、上下左右（上下方向および水平方向）に並んで配置された複数のテープ貼り付け装置１０を備えている。本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、テープ剥がし装置８０を備えていない。以下、本明細書では、各テープ貼り付け装置１０を、テープ貼り付け装置１０Ａ、テープ貼り付け装置１０Ｂ、テープ貼り付け装置１０Ｃ、またはテープ貼り付け装置１０Ｄと呼ぶことがある。テープ貼り付け装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄの構成は、テープ貼り付け装置１０と同じである。
【0145】
テープ貼り付け装置１０Ｃ，１０Ｄは、テープ貼り付け装置１０Ａ，１０Ｂの下方に配置されている。テープ貼り付け装置１０Ａとテープ貼り付け装置１０Ｂは水平方向に並んで配置されており、テープ貼り付け装置１０Ｃとテープ貼り付け装置１０Ｄは水平方向に並んで配置されている。
【0146】
仕切り壁１２５Ｃは、テープ貼り付け装置１０Ａとテープ貼り付け装置１０Ｂとの間、およびテープ貼り付け装置１０Ｃとテープ貼り付け装置１０Ｄとの間に配置されている。仕切り壁１２６は、テープ貼り付け装置１０Ａとテープ貼り付け装置１０Ｃとの間、およびテープ貼り付け装置１０Ｂとテープ貼り付け装置１０Ｄとの間に配置されている。一実施形態では、テープ貼り付けシステム１は、テープ貼り付け装置１０Ｃ，１０Ｄの下方に配置された１つまたは複数のテープ剥がし装置８０を備えていてもよく、テープ貼り付け装置１０Ｃ，１０Ｄと、テープ剥がし装置８０との間に、水平方向に延びる仕切り壁が配置されていてもよい。さらに一実施形態では、テープ貼り付け装置１０Ｃ，１０Ｄの下方に配置された複数のテープ剥がし装置８０がテープ貼り付け装置１０Ｃ，１０Ｄと同じ方向（第２方向）に並んで配置されていてもよい。図３０および図３１を参照して説明した実施形態は、本実施形態にも適用することができる。
【0147】
図３６は、テープ貼り付けシステム１の他の実施形態を模式的に示す平面図であり、図３７は、図３６のテープ貼り付けシステム１を模式的に示す側面図である。特に説明しない本実施形態の詳細は図２８乃至図３１を参照して説明した実施形態と同じであるのでその重複する説明を省略する。図３６および図３７に示すように、本実施形態のテープ貼り付けシステム１は、３つのテープ貼り付け装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、１つのテープ剥がし装置８０を備えている。
【0148】
テープ貼り付け装置１０Ａと、テープ貼り付け装置１０Ｂは、水平方向に並んで配置されており、テープ剥がし装置８０と、テープ貼り付け装置１０Ｃは、水平方向に並んで配置されている。テープ貼り付け装置１０Ｃは、テープ貼り付け装置１０Ｂの下方に配置されており、テープ剥がし装置８０は、テープ貼り付け装置１０Ａの下方に配置されている。
【0149】
仕切り壁１２５Ｃは、テープ貼り付け装置１０Ａとテープ貼り付け装置１０Ｂとの間、およびテープ貼り付け装置１０Ｃとテープ剥がし装置８０との間に配置されている。仕切り壁１２６は、テープ貼り付け装置１０Ｂとテープ貼り付け装置１０Ｃとの間、およびテープ貼り付け装置１０Ａとテープ剥がし装置８０との間に配置されている。図３０および図３１を参照して説明した実施形態は、本実施形態にも適用することができる。
【0150】
図２８乃至図３７を参照して説明したテープ貼り付けシステム１は、上下方向および水平方向に並んで配置された処理装置１０，８０を備えているため、複数のウェハで同時にテープ貼り付け工程や、テープ剥がし工程を行うことができる。その結果、テープ貼り付けシステム１のスループットを上げることができる。また、搬送ロボット１３は、プロセスエリア１２９の中心部に配置されており、各処理装置にアクセス可能に構成されている。このような配置により、搬送ロボット１３は、各テープ貼り付け装置１０および各テープ剥がし装置８０へのウェハの供給、回収を効率よく行うことができる。
【0151】
上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。
【符号の説明】
【0152】
１ テープ貼り付けシステム
３ 電源制御部
４ 動作制御部
５ ロードポート
６ 隔壁
７ 処理室
８ 換気機構
９ 局所排気装置
１０ テープ貼り付け装置
１３ 搬送ロボット
１４ リニアガイド
１５ テープ加熱装置
１５ａ 加熱ステージ
１６ ベルヌーイハンド
１７ 基部
１８ チャック
１８ａ 吸引面
１９ 搬送装置
２０ テープ貼り付けモジュール
２１ 貼り付け用基板保持部
２２ 基板ステージ
２３ シャフト
２４ ノッチ検出機構
２５ シャフト支持部
２６ センタリング機構
２７ 保護テープ
２８ テープ貼り付けユニット
２９ セパレーションフィルム
３０ 繰り出しローラー
３１ テンションユニット
３２ センタリングフィンガー
３３ 突出部（フィンガー部）
３４ ガイドローラー
３５ フィルム巻き取りローラー
３６，３７ 回転軸
３８ 保護膜
３９ 真空ライン
４０ テープ保持ヘッド
４１ 電動シリンダ
４２ 位置決めローラー
４３ サイドローラー
４４ 支持台
４５ エアシリンダ
４６ 第１のローラー
４７ 第２のローラー
４８ 回転装置
４９ ローラー駆動モータ
５０ テープカッター
５２ 終端突出部
５４ 第３のローラー
５５ 第４のローラー
５６ 移動機構
５７，５８ 軸受
６０ 挟み込み機構
６１，６２ 移動機構
６３，６４ ブリッジ
６６ ばね
７０ テープ剥がしシステム
７１ 電源制御部
７３ 搬送ロボット
７４ 動作制御部
７５ ロードポート
７６ 隔壁
７７ 処理室
７８ 換気機構
７９ 局所排気装置
８０ テープ剥がし装置
８１ テープ剥がしモジュール
８２ ベルヌーイハンド
８３ 剥がし用基板保持部
８４ センタリング機構
８５ ＵＶ照射モジュール
８６ 基板ステージ
８７ シャフト
８８ ステージモータ
８９ ノッチ検出機構
９０ テープ剥離ユニット
９１ チャッキング部材
９２ センタリングフィンガー
９３ チャッキング機構
９４ 突出部（フィンガー部）
９５ テープ送りローラー
９６ 巻き取りローラー
９７，９９ モータ
１００ テープ処理システム
１０１ ＵＶ照射用基板保持部
１０２ 基板ステージ
１０３ シャフト
１０４ 基板保持装置
１０５ ステージモータ
１０６ 基台
１０７ 昇降機構
１０８ａ ガイドロッド
１０８ｂ リニアガイド
１０９ 移動機構
１１０ ＵＶ照射装置
１１１ 遮光カバー
１１１ａ 通孔
１１２ 内部空間
１１３ 照射ヘッド
１１４ ファイバーケーブル
１１５ ＵＶ発生装置
１１６ センタリング機構
１１７ センタリングフィンガー
１１８ 突出部（フィンガー部）
１２０ 上壁
１２１ 廃棄ボックス
１２３Ａ，１２３Ｂ 仮置きステージ
１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２５Ｄ，１２６，１２７ 仕切り壁
１２８ 廃棄ボックス
１２９ プロセスエリア
１３０，１３１ 支持面
１３３ 芯部
１３５ 基板搬送システム
１３６ 搬送ロボット
１３７ リニアガイド
１４０ ＥＦＥＭエリア
１４２ 局所排気装置
３ 電源制御部
４ 動作制御部
５ ロードポート
６ 隔壁
７ 処理室
８ 換気機構
９ 局所排気装置
１０ テープ貼り付け装置
１３ 搬送ロボット
１４ リニアガイド
１５ テープ加熱装置
１５ａ 加熱ステージ
１６ ベルヌーイハンド
１７ 基部
１８ チャック
１８ａ 吸引面
１９ 搬送装置
２０ テープ貼り付けモジュール
２１ 貼り付け用基板保持部
２２ 基板ステージ
２３ シャフト
２４ ノッチ検出機構
２５ シャフト支持部
２６ センタリング機構
２７ 保護テープ
２８ テープ貼り付けユニット
２９ セパレーションフィルム
３０ 繰り出しローラー
３１ テンションユニット
３２ センタリングフィンガー
３３ 突出部（フィンガー部）
３４ ガイドローラー
３５ フィルム巻き取りローラー
３６，３７ 回転軸
３８ 保護膜
３９ 真空ライン
４０ テープ保持ヘッド
４１ 電動シリンダ
４２ 位置決めローラー
４３ サイドローラー
４４ 支持台
４５ エアシリンダ
４６ 第１のローラー
４７ 第２のローラー
４８ 回転装置
４９ ローラー駆動モータ
５０ テープカッター
５２ 終端突出部
５４ 第３のローラー
５５ 第４のローラー
５６ 移動機構
５７，５８ 軸受
６０ 挟み込み機構
６１，６２ 移動機構
６３，６４ ブリッジ
６６ ばね
７０ テープ剥がしシステム
７１ 電源制御部
７３ 搬送ロボット
７４ 動作制御部
７５ ロードポート
７６ 隔壁
７７ 処理室
７８ 換気機構
７９ 局所排気装置
８０ テープ剥がし装置
８１ テープ剥がしモジュール
８２ ベルヌーイハンド
８３ 剥がし用基板保持部
８４ センタリング機構
８５ ＵＶ照射モジュール
８６ 基板ステージ
８７ シャフト
８８ ステージモータ
８９ ノッチ検出機構
９０ テープ剥離ユニット
９１ チャッキング部材
９２ センタリングフィンガー
９３ チャッキング機構
９４ 突出部（フィンガー部）
９５ テープ送りローラー
９６ 巻き取りローラー
９７，９９ モータ
１００ テープ処理システム
１０１ ＵＶ照射用基板保持部
１０２ 基板ステージ
１０３ シャフト
１０４ 基板保持装置
１０５ ステージモータ
１０６ 基台
１０７ 昇降機構
１０８ａ ガイドロッド
１０８ｂ リニアガイド
１０９ 移動機構
１１０ ＵＶ照射装置
１１１ 遮光カバー
１１１ａ 通孔
１１２ 内部空間
１１３ 照射ヘッド
１１４ ファイバーケーブル
１１５ ＵＶ発生装置
１１６ センタリング機構
１１７ センタリングフィンガー
１１８ 突出部（フィンガー部）
１２０ 上壁
１２１ 廃棄ボックス
１２３Ａ，１２３Ｂ 仮置きステージ
１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ，１２５Ｄ，１２６，１２７ 仕切り壁
１２８ 廃棄ボックス
１２９ プロセスエリア
１３０，１３１ 支持面
１３３ 芯部
１３５ 基板搬送システム
１３６ 搬送ロボット
１３７ リニアガイド
１４０ ＥＦＥＭエリア
１４２ 局所排気装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】