特許 7625950 露光装置、露光方法、デバイス製造方法、及びデバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-27

(45)【発行日】2025-02-04

(54)【発明の名称】露光装置、露光方法、デバイス製造方法、及びデバイス

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20250128BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20250128BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 505

G03F7/20 521

H01L21/68 F

【請求項の数】 25

(21)【出願番号】P 2021067085

(22)【出願日】2021-04-12

(65)【公開番号】P2022162313

(43)【公開日】2022-10-24

【審査請求日】2024-02-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100099793

【弁理士】

【氏名又は名称】川北 喜十郎

(74)【代理人】

【識別番号】100154586

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 正広

(74)【代理人】

【識別番号】100179280

【弁理士】

【氏名又は名称】河村 育郎

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 陽司

【審査官】中尾 太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－０５８５２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０１１２６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２１５２７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ ７／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板上に配列された複数の半導体チップに設けられた引出電極の上層に形成される感光層を露光する露光装置であって、
前記複数の半導体チップが一軸方向に沿って配列された前記基板を載置する基板ステージと、
前記半導体チップ上で前記一軸方向に沿って延びた電極形成領域に設けられた前記引出電極へ向けて露光光を照射する露光部と、
前記露光部が前記感光層上に露光する露光パターンを決定するパターン決定部と、
前記基板ステージ及び前記露光部を少なくとも制御する制御部とを備え、
前記パターン決定部は、前記基板上に設けられた複数の半導体チップの位置を計測して前記複数の半導体チップの位置ずれを求める計測部からの出力を用いて、前記引出電極と前記基板に対する所定位置とを結ぶ中継配線のパターンを前記露光パターンとして決定し、
前記制御部は、前記基板ステージによって前記基板を前記一軸方向の一側から他側へ移動させつつ、前記露光部によって前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記一軸方向に延びる露光領域に露光する露光装置。

【請求項2】

前記複数の半導体チップのうちの少なくとも２つの半導体チップにおける前記電極形成領域は、前記一軸方向に延びる前記露光領域と重なる請求項１に記載の露光装置。

【請求項3】

前記露光領域を第１露光領域とするとき、
前記制御部は、
前記第１露光領域への露光の後に前記基板ステージを用いて前記複数の半導体チップが設けられた前記基板を前記一軸方向と交差する方向に移動させ、
前記前記基板ステージによって前記基板を前記一軸方向の前記他側から前記一側へ移動させつつ、前記露光部によって前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記第１露光領域から前記交差する方向に離れた第２露光領域に露光する請求項１又は２に記載の露光装置。

【請求項4】

前記第１及び第２露光領域は、前記複数の半導体チップのそれぞれの中央部と重ならない請求項３に記載の露光装置。

【請求項5】

前記電極形成領域は、前記半導体チップの中央から前記一軸方向と交差する方向に離れて局在する請求項１～４のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項6】

前記パターン決定部は、複数種類の前記位置ずれと複数種類の中継配線のパターンとの対応関係を記憶する記憶部と、
前記計測部からの出力と前記対応関係とに基づいて、前記中継配線のパターンを決定する決定部とを備える請求項１～５のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項7】

前記記憶部は、前記複数種類の中継配線のパターンを記憶し、
前記決定部は、前記複数種類の中継配線のパターンのなかから少なくとも一つの中継配線のパターンを選択する請求項６に記載の露光装置。

【請求項8】

前記中継配線のパターンは、前記引出電極から第１位置まで延びる第１中継配線のパターンと、前記第１位置から第２位置まで延びる第２中継配線のパターンとを備える請求項６又は７に記載の露光装置。

【請求項9】

前記記憶部は、複数種類の前記第１及び第２中継配線のパターンを記憶し、
前記決定部は、前記第２位置が前記所定位置となるように、前記複数種類の前記第１及び第２中継配線のパターンのなかから少なくとも一つの第１中継配線のパターンと少なくとも一つの第２中継配線のパターンとを選択する請求項８に記載の露光装置。

【請求項10】

前記露光部は、前記露光パターンの一部に対応する光パターンを形成する光パターン形成部材を備え、
前記光パターン形成部材によって形成される光パターンは、前記基板に前記一軸方向への移動に伴って変化する請求項１～９のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項11】

前記中継配線のパターンは一の方向に延在したパターンである請求項１～１０のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項12】

前記計測部は、前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記複数の半導体チップのそれぞれに設けられたチップアライメントマークとを計測する請求項１～１１のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項13】

前記計測部を備える請求項１～１２のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項14】

外部に設けられた前記計測部からの出力を受信して前記パターン決定部へ伝達する受信部を備える請求項１～１３のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項15】

外部に設けられた前記計測部を第１計測部とするとき、
前記第１計測部は、前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記複数の半導体チップのそれぞれに設けられたチップアライメントマークとを計測し、
前記露光装置は、前記基板に設けられた前記基板アライメントマークを計測する第２計測部を備える請求項１３に記載の露光装置。

【請求項16】

前記露光領域を第１露光領域とするとき、
前記制御部は、
前記第１露光領域への露光の後に前記基板ステージを用いて前記複数の半導体チップが設けられた前記基板を前記一軸方向と交差する方向に移動させつつ前記露光部によって前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記第１露光領域と交差する第２露光領域に露光する請求項１～１５のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項17】

前記第１及び第２露光領域は、前記複数の半導体チップのそれぞれの中央部と重ならない請求項１６に記載の露光装置。

【請求項18】

前記露光部は、前記パターン決定部で決定された前記露光パターンに応じた光パターンを前記感光層上に形成する可変パターン生成部材を備える請求項１～１７のいずれか一項に記載の露光装置。

【請求項19】

基板上に配列された複数の半導体チップに設けられた引出電極の上層に形成される感光層を露光する露光方法において、
請求項１～１８のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記感光層を露光する露光方法。

【請求項20】

基板上に一軸方向に沿って配列された複数の半導体チップに設けられた引出電極の上層に形成される感光層を露光する露光方法であって、
前記基板上に設けられた複数の半導体チップの位置を計測して前記複数の半導体チップの位置ずれを求めることと、
前記複数の半導体チップ上で前記一軸方向に沿って延びた電極形成領域に設けられた前記引出電極へ向けて露光光を照射することと、
前記求められた前記複数の半導体チップの位置ずれを用いて、前記引出電極と前記基板に対する所定位置とを結ぶ中継配線のパターンを露光パターンとして決定することと、
前記基板を前記一軸方向の一側から他側へ移動させつつ、前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記一軸方向に延びる露光領域に露光することとを含む露光方法。

【請求項21】

前記露光領域を第１露光領域とするとき、
前記第１露光領域への露光の後に前記複数の半導体チップが設けられた前記基板を前記一軸方向と交差する方向に移動させることと、
前記基板を前記一軸方向の前記他側から前記一側へ移動させつつ、前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記第１露光領域から前記交差する方向に離れた第２露光領域に露光することをさらに含む請求項１９又は２０に記載の露光方法。

【請求項22】

前記第１及び第２露光領域は、前記複数の半導体チップのそれぞれの中央部と重ならない請求項２１に記載の露光方法。

【請求項23】

前記計測することは、前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記複数の半導体チップのそれぞれに設けられたチップアライメントマークとを計測することを含む請求項１９～２２のいずれか一項に記載の露光方法。

【請求項24】

引出電極を備える複数の半導体チップと一端が前記引出電極に電気的に接続される中継配線と前記中継配線の他端に電気的に接続される出力配線とを備えるデバイスを製造するデバイス製造方法であって、
前記複数の半導体チップ上に感光層を形成することと、
請求項１９～２３のいずれか一項に記載の露光方法を用いて、前記感光層上に前記中継配線のパターンを露光することと、
前記露光された前記感光層を現像して感光層のパターンを形成することと、
形成された前記感光層のパターンを用いて前記中継配線を形成することとを含むデバイス製造方法。

【請求項25】

前記中継配線が形成された中継配線層の上に第２の感光層を形成することと、
前記出力配線の少なくとも一部のマスクパターンを有するフォトマスクを介した露光光により前記第２の感光層に前記出力配線のパターンの少なくとも一部を露光することとを含む請求項２４に記載のデバイス製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は露光装置、露光方法、デバイス製造方法、及びデバイスに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造においては、ウエハ上で半導体チップのパッケージを行うウエハレベルパッケージ技術が用いられている。また、ウエハレベルパッケージ技術においては、半導体チップのウエハに対する位置ずれに対処する必要性が知られている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】米国特許第８７９９８４５号明細書

【発明の概要】

【0004】

第１の態様に従えば、
基板上に配列された複数の半導体チップに設けられた引出電極の上層に形成される感光層を露光する露光装置であって、
前記複数の半導体チップが一軸方向に沿って配列された前記基板を載置する基板ステージと、
前記半導体チップ上で前記一軸方向に沿って延びた電極形成領域に設けられた前記引出電極へ向けて露光光を照射する露光部と、
前記露光部が前記感光層上に露光する露光パターンを決定するパターン決定部と、
前記基板ステージ及び前記露光部を少なくとも制御する制御部とを備え、
前記パターン決定部は、前記基板上に設けられた複数の半導体チップの位置を計測して前記複数の半導体チップの位置ずれを求める計測部からの出力を用いて、前記引出電極と前記基板に対する所定位置とを結ぶ中継配線のパターンを前記露光パターンとして決定し、
前記制御部は、前記基板ステージによって前記基板を前記一軸方向の一側から他側へ移動させつつ、前記露光部によって前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記一軸方向に延びる露光領域に露光する露光装置が提供される。

【0005】

第２の態様に従えば、
基板上に一軸方向に沿って配列された複数の半導体チップに設けられた引出電極の上層に形成される感光層を露光する露光方法であって、
前記基板上に設けられた複数の半導体チップの位置を計測して前記複数の半導体チップの位置ずれを求めることと、
前記複数の半導体チップ上で前記一軸方向に沿って延びた電極形成領域に設けられた前記引出電極へ向けて露光光を照射することと、
前記求められた前記複数の半導体チップの位置ずれを用いて、前記引出電極と前記基板に対する所定位置とを結ぶ中継配線のパターンを前記露光パターンとして決定することと、
前記基板を前記一軸方向の一側から他側へ移動させつつ、前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記一軸方向に延びる露光領域に露光することとを含む露光方法が提供される。

【0006】

第３の態様に従えば、
引出電極を備える複数の半導体チップと一端が前記引出電極に電気的に接続される中継配線と前記中継配線の他端に電気的に接続される出力配線とを備えるデバイスを製造するデバイス製造方法であって、
前記複数の半導体チップ上に感光層を形成することと、
第２の態様の露光方法を用いて、前記感光層上に前記中継配線のパターンを露光することと、
前記露光された前記感光体層を現像して感光層のパターンを形成することと、
形成された前記感光層のパターンを用いて前記中継配線を形成することとを含むデバイス製造方法が提供される。

【0007】

第４の態様に従えば、
基板と、前記基板に設けられた複数の半導体チップとを備えるデバイスであって、
第３の態様のデバイス製造方法を用いて前記複数の半導体チップ上に形成された前記中継配線層と、
前記中継配線層の上に形成された前記出力配線パターンとを備えるデバイスが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係る露光システムの構成を示すブロック図である。

【図2】図２は、計測部の斜視図である。

【図3】図３（ａ）は、マーク検出系の光軸を含む面であって、Ｙ_１方向に直交する面による計測部の要部の断面図である。図３（ｂ）は、マーク検出系の光軸を含む面であって、Ｘ_１方向に直交する面による計測部の要部の断面図である。

【図4】図４は、パターン決定部の構成を示すブロック図である。

【図5】図５は、パターン露光部の全体構成を示す概略図である。

【図6】図６は、パターン生成装置の可変成形マスクの平面図である。

【図7】図７は、パターン露光部が行うステップアンドスキャン方式の露光における、ウエハに対する投影領域の移動の様子を示す説明図である。

【図8】図８は、マスク露光部の全体構成を示す概略図である。

【図9】図９（ａ）は、本発明の実施形態に係る半導体デバイスの平面図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）のＢ－Ｂ線断面図である。

【図10】図１０（ａ）は、図９（ａ）のデバイスの固定層の上面図である。図１０（ｂ）は、図９（ａ）のデバイスの第１絶縁層の上面図である。図１０（ｃ）は、図９（ａ）のデバイスの第２絶縁層及び中継配線層の上面図である。図１０（ｄ）は、図９（ａ）のデバイスの第３絶縁層の上面図である。図１０（ｅ）は、図９（ａ）のデバイスの第４絶縁層及び再配線層の上面図である。図１０（ｆ）は、図９（ａ）のデバイスの第５絶縁層及び電極層の上面図である。

【図11】図１１は、本発明の実施形態に係る半導体デバイスが備える半導体チップの上面図である。

【図12】図１２は、本発明の実施形態に係るデバイス製造方法を示すフローチャートである。

【図13】図１３（ａ）は、デバイス製造方法において用いるウエハの平面図である。図１３（ｂ）は、ウエハの区画の１つを示す平面図である。図１３（ｂ）においては、ウエハの１つの区画内に３つの半導体チップが、その設計位置に配置されている。図１３（ｃ）は図１３（ｂ）のＣ－Ｃ線断面図である。

【図14】図１４は、ウエハの区画の平面図であり、半導体チップの設計位置と当該設計位置からずれた位置にある半導体チップとを示す。

【図15】図１５は、テーブルの概略を示す説明図である。

【図16】図１６は、テーブルが記憶するパターン情報の一例を示す概略図である。

【図17】図１７（ａ）～図１７（ｇ）は、中継配線形成工程において、半導体チップ上に中継配線層を形成する工程を説明するための断面図である。断面の位置は、図１３（ｂ）のＣ－Ｃ線断面の位置である。

【図18】図１８（ａ）～図１８（ｈ）は、再配線形成工程において、半導体チップ上に再配線層を形成する工程を説明するための断面図である。断面の位置は、図１３（ｂ）のＣ－Ｃ線断面の位置である。

【図19】図１９は、ウエハの１区画の平面図であり、実施形態の中継配線形成工程においてパターン露光部により中継配線のパターンを露光する際の、半導体チップに対する投影領域の移動の様子を示す。

【図20】図２０（ａ）は、変形例に係る粗調整テーブルが記憶する粗調整パターンの一例を示す概略図である。図２０（ｂ）は、変形例に係る微調整テーブルが記憶する微調整パターンの一例を示す概略図である。

【図21】図２１は、ウエハの１区画の一部の平面図であり、設計位置に対して電極配列方向に直線状にずれた位置にある半導体チップと、当該半導体チップに対応する変形例の中継配線パターンとを示す。

【図22】図２２は、ウエハの１区画の平面図であり、変形例の中継配線形成工程においてパターン露光部により中継配線のパターンを露光する際の、半導体チップに対する投影領域の移動の様子を示す。

【発明を実施するための形態】

【0009】

＜実施形態＞
本発明の実施形態の露光システムＥＳ、及び露光システムＥＳを用いるデバイス製造方法について、図１～図１９を参照して説明する。

【0010】

[露光システムＥＳ]
図１に示す通り、実施形態の露光システムＥＳは、計測部（第１計測部）１００、パターン決定部２００、パターン露光部３００、マスク露光部４００、及び制御部５００を主に備える。

【0011】

計測部１００、パターン決定部２００、パターン露光部３００、マスク露光部４００の各々の構成について、被処理対象がウエハＷ_０である場合を例として説明する。制御部５００は、露光システムＥＳの動作を全体的に制御する。

【0012】

[計測部１００]
計測部１００は、ウエハＷ_０のアライメント計測を行う。

【0013】

図２、図３（ａ）、及び図３（ｂ）に示す通り、計測部１００は、定盤１１０、スライダ１２０、駆動システム１３０、計測ユニット１４０、第１位置計測システム１５０（図３（ａ））、第２位置計測システム１６０、及び計測制御部１７０を主に有する。計測部１００の説明においては、水平面内において互いに直交する２方向をＸ_１方向、Ｙ_１方向とし、鉛直方向をＺ_１方向とする。

【0014】

定盤１１０は、平面視矩形の直方体部材である。定盤１１０の上面は平坦度の高い平面であり、スライダ１２０の移動をガイドするガイド面として機能する。

【0015】

スライダ１２０は、ウエハＷ_０を支持して水平面内を移動する。スライダ１２０は、定盤１１０の上面に摺動可能に配置されている。スライダ１２０は、平面視矩形の板状であり、その上面の中央部に平面視円形の凹部１２１が設けられている（図３（ａ）、図３（ｂ））。凹部１２１にはウエハホルダ１２２が設けられている。

【0016】

駆動システム１３０は、スライダ１２０をＸ_１方向及びＹ_１方向に移動させる。駆動システム１３０は、一対のリニアガイド１３１ａ、１３１ｂと、可動ステージ１３２とを主に有する。

【0017】

一対のリニアガイド１３１ａ、１３１ｂはそれぞれ長方体のベースであり、定盤１１０のＸ_１方向の両側に１つずつ配置されている。一対のリニアガイド１３１ａ、１３１ｂはそれぞれ平面視矩形であり、長辺方向がＹ_１方向に一致している。

【0018】

可動ステージ１３２は、Ｘ_１方向においてスライダ１２０の両側に配置された第１板部材１３２ａ、第２板部材１３２ｂと、Ｙ_１方向においてスライダ１２０の両側に配置された第３板部材１３２ｃ、第４板部材１３２ｄとを有する。第１板部材１３２ａ～第４板部材１３２ｄは、スライダ１２０を囲む枠状に連結されている。

【0019】

第１板部材１３２ａの下面には、連結部材１３３ａを介して可動子１３４ａ１が固定されている。可動子１３４ａ１は、リニアガイド１３１ａの上面近傍に設けられた固定子１３４ａ２とともにＹ軸リニアモータ１３４ａを構成する。同様に、第２板部材１３２ｂの下面には、連結部材１３３ｂを介して可動子１３４ｂ１が固定されている。可動子１３４ｂ１は、リニアガイド１３１ｂの上面近傍に設けられた固定子１３４ｂ２とともにＹ軸リニアモータ１３４ｂを構成する。可動子１３４ａ１、１３４ｂ１は、不図示のエアベアリングにより、固定子１３４ａ２、１３４ｂ２からわずかに浮上している。

【0020】

第３板部材１３２ｃの上面には、固定子１３５ｃ２が設けられている。固定子１３５ｃ２は、スライダ１２０に固定された可動子１３５ｃ１とともにＸＹリニアモータ１３５ｃを構成する。同様に、第４板部材１３２ｄの上面には、固定子１３５ｄ２が設けられている。固定子１３５ｄ２は、スライダ１２０に固定された可動子１３５ｄ１とともにＸＹリニアモータ１３５ｄを構成する。可動子１３５ｃ１、１３５ｄ１は、不図示のエアベアリングにより、固定子１３５ｃ２、１３５ｄ２からわずかに浮上している。

【0021】

可動ステージ１３２は、Ｙ軸リニアモータ１３４ａ、１３４ｂにより、一対のリニアガイド１３１ａ、１３１ｂに対してＹ_１方向に移動される。スライダ１２０は、ＸＹリニアモータ１３５ｃ、１３５ｄにより、可動ステージ１３２に対して、Ｘ_１方向に移動され、Ｙ_１方向に微小移動される。

【0022】

計測ユニット１４０は、スライダ１２０上の計測対象が有するマーク（一例としてアライメントマーク）を光学的に検出する。計測ユニット１４０は、マーク検出系１４１を主に有する。

【0023】

マーク検出系１４１として、一例としてハロゲンランプ等のブロードバンド（広帯域）光でマークを照明し、このマークの画像を画像処理することによってマーク位置を計測する画像処理方式の結像式アライメントセンサの一種であるＦＩＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｉｍａｇｅ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系を用いることができる。その他、マーク検出系１４１として、回折光干渉型、ビームスキャン型等の、任意のアライメント検出系を用い得る。マーク検出系１４１は、鏡筒１４１ｓと、鏡筒１４１ｓの内部の光軸ＡＸ１を有する光学系（不図示）を有し、スライダ１２０上の計測対象に対して検出光を射出する。マーク検出系１４１は、光学系の焦点位置を調整するアライメントオートフォーカス機能を有していてもよい。

【0024】

第１位置計測システム１５０は、主にヘッドＨＤ１と、スライダ１２０の下面１２０ｅと、下面１２０ｅに設けられたグレーティングＧ１とにより構成されている。

【0025】

ヘッドＨＤ１は、定盤１１０の上面の中央部に設けられた凹部１１０ａの内部に配置されている。

【0026】

グレーティングＧ１は、Ｘ_１方向を周期方向とする反射型の回折格子（Ｘ回折格子）と、Ｙ_１方向を周期方向とする反射型回折格子（Ｙ回折格子）とを含む。Ｘ回折格子とＹ回折格子のピッチは、一例として１μｍとし得る。

【0027】

ヘッドＨＤ１は、グレーティングＧ１に複数のビームを照射するとともに、グレーティングＧ１からの回折ビームを受光する。ヘッドＨＤ１とグレーティングＧ１とにより、エンコーダシステム１５１が構成される。エンコーダシステム１５１により、スライダ１２０のＸ_１方向の位置、及びＹ_１方向の位置が計測される。

【0028】

ヘッドＨＤ１はまた、スライダ１２０の下面１２０ｅに４本の測長ビームを照射するとともに、下面１２０ｅからの戻りビームを受光する。ヘッドＨＤ１とスライダ１２０の下面１２０ｅとにより、レーザ干渉計システム１５２が構成される。レーザ干渉計システム１５２により、スライダ１２０のＺ_１方向の位置、θＸ_１方向の位置、及びθＹ_１方向の位置が計測される。

【0029】

第２位置計測システム１６０は、主に、ヘッドＨＤ２ａ、ＨＤ２ｂと、グレーティングＧ２ａ、Ｇ２ｂにより構成されている。

【0030】

ヘッドＨＤ２ａは、マーク検出系１４１の鏡筒１４１ｓからＸ_１方向一方側に延びるヘッド取付部材１６１ａの先端に設けられている。ヘッドＨＤ２ｂは、マーク検出系１４１の鏡筒１４１ｓからＸ_１方向他方側に延びるヘッド取付部材１６１ｂの先端に設けられている。

【0031】

グレーティングＧ２ａ、Ｇ２ｂは、支持部材１６２ａ、１６２ｂを介して定盤１１０に固定されたスケール部材１６３ａ、１６３ｂの上面に設けられている。グレーティングＧ２ａ、Ｇ２ｂは反射型の２次元グレーティングであり、ヘッドＨＤ２ａ、ＨＤ２ｂと対向している。

【0032】

ヘッドＨＤ２ａとグレーティングＧ２ａとにより、エンコーダシステム１６４ａが構成され、ヘッドＨＤ２ｂとグレーティングＧ２ｂとにより、エンコーダシステム１６４ｂが構成される。エンコーダシステム１６４ａ、１６４ｂにより、定盤１１０のマーク検出系１４１に対するＸ_１方向、Ｙ_１方向、Ｚ_１方向、θＸ_１方向、θＹ_１方向、θＺ_１方向の位置が計測される。

【0033】

計測制御部１７０は、駆動システム１３０、計測ユニット１４０、第１位置計測システム１５０、及び第２位置計測システム１６０を全体的に制御して、ウエハＷ_０に対するアライメント計測を実行する。

【0034】

上記の構成を有する計測部１００として、米国特許出願公開第２０１９／２５７６４７号、米国特許第１０６８４５６２号明細書、米国特許第１０６９８３２６号明細書、米国特許第１０７７５７０８号明細書、米国特許第１０７７７４４１号明細書に開示された計測装置を用いてもよい。

【0035】

[パターン決定部２００]
パターン決定部２００は、計測部１００によるアライメント計測の結果に基づいて、パターン露光部３００がウエハＷ_０の感光層に露光する露光パターンを決定する。

【0036】

図４に示す通り、パターン決定部２００は、記憶部２１０、決定部２２０、及び受信部２３０を主に有する。

【0037】

記憶部２１０はパターンの決定に用いるテーブルを記憶する。決定部２２０は、該テーブルと計測部１００の計測結果とに基づいてパターンを決定する。受信部２３０は計測部１００からの出力を受信して決定部２２０に送る。

【0038】

パターン決定部２００について、詳細は後述する。

【0039】

[パターン露光部３００]
パターン露光部３００は、パターン決定部２００が決定したパターンを、ウエハＷ_０の感光層に露光する。

【0040】

図５に示す通り、パターン露光部３００は、照明系３１０、パターン生成装置３２０、投影光学系３３０、ステージ装置３４０、アライメント検出系（第２計測部）３５０、及びパターン露光制御部３６０を主に有する。パターン露光部３００の説明においては、水平面内において互いに直交する２方向をＸ_３方向、Ｙ_３方向とし、鉛直方向をＺ_３方向とする。

【0041】

照明系３１０は、光源系（不図示）と、照明光学系３１１と、反射ミラー３１２とを主に有する。光源系は、一例として、固体レーザ光源（ＤＦＢ半導体レーザ、ファイバレーザ等）を含む。照明光学系３１１は、照明条件を変更するための成形光学系、オプティカルインテグレータ、視野絞り、リレーレンズ系（いずれも不図示）を含む。

【0042】

パターン生成装置３２０は、ステージ装置３４０のステージ３４１（後述）に載置されたウエハＷ_０の感光層に投影するパターンを生成する電子マスク・システムである。パターン生成装置３２０は、可変成形マスク３２１と、マスク駆動部３２２とを主に有する。

【0043】

図６に示すように、可変成形マスク３２１は、Ｘ_３－Ｙ_３平面内にマトリックス状（２次元状、アレイ状）に配置された複数のマイクロミラー機構Ｍを有する。マイクロミラー機構Ｍの各々は、マイクロミラーＭ１と、マイクロミラーＭ１の反射面とは反対側に設けられた駆動機構Ｍ２とを有する。駆動機構Ｍ２は、マイクロミラーＭ１をＸ_３方向に延びる軸周りに回転させる。

【0044】

マスク駆動部３２２は、パターン露光制御部３６０からの制御信号に従って複数のマイクロミラー機構Ｍの各々の駆動機構Ｍ２を駆動し、マイクロミラーＭ１をオン状態（オン位置）とオフ状態（オフ位置）との間で切り替える。

【0045】

照明系３１０からの照明光ＩＬがオン状態にあるマイクロミラーＭ１に入射した場合、照明光ＩＬの０次回折光ＩＬ_０は、投影光学系３３０に入射する。一方、照明系３１０からの照明光ＩＬがオフ状態にあるマイクロミラーＭ１に入射した場合、照明光ＩＬの０次回折光ＩＬ_０は、投影光学系３３０から外れた非露光光路に至る。パターン生成装置３２０は、複数のマイクロミラーＭ１の各々をオン状態及びオフ状態のいずれかに設定することにより、照明光ＩＬにパターンを与える。

【0046】

投影光学系３３０は、パターン生成装置３２０で生成されたパターンを、ステージ３４１に配置されたウエハＷ_０に、投影倍率β（一例としてβ＝１／２００、１／４００、１／５００等）で縮小投影する。即ち、パターン生成装置３２０を介したエネルギービームにより、ウエハＷ_０に、パターン生成装置３２０で生成されたパターンを露光する。投影光学系は鏡筒３３０ｓと、鏡筒３３０ｓの内部に所定の位置関係で配置された複数の光学素子（不図示）を有する。

【0047】

ステージ装置３４０は、ステージ（基板ステージ）３４１と、レーザ干渉計３４２と、ステージ制御部３４３とを主に有する。

【0048】

ステージ３４１は、上面中央に設けられたウエハホルダ（不図示）を介してウエハＷ_０を保持する。ステージ３４１は、不図示のステージ駆動系によりＸ_３方向、Ｙ_３方向及びＺ_３方向に移動可能であり、且つＺ_３方向に延びる軸周りに回転可能である。

【0049】

レーザ干渉計３４２はステージ３４１の端面に設けられた反射面に測長ビームを照射することにより、ステージ３４１のＸ_３方向、Ｙ_３方向、θＺ_３方向（Ｚ_３方向に延びる軸周りの方向）の位置を、例えば０．５～１ｎｍ程度の分解能で常時検出する。

【0050】

ステージ制御部３４３は、パターン露光制御部３６０からの制御信号に従ってステージ３４１の移動を制御する。

【0051】

アライメント検出系（計測部、第２計測部）３５０は、投影光学系３３０の側面に配置されている。本実施形態では、ウエハＷ_０上に形成されたストリートラインや位置検出用マーク（基板アライメントマーク）を検出する結像式アライメントセンサがアライメント検出系３５０として用いられている。アライメント検出系３５０の詳細な構成は、例えば、特開平９―２１９３５４号公報に開示されている。アライメント検出系３５０の検出結果は、パターン露光制御部３６０に供給される。

【0052】

パターン露光制御部３６０は、照明系３１０、パターン生成装置３２０、ステージ装置３４０等の動作を制御し、可変成形マスク３２１で逐次生成されるパターンの像を、投影光学系３３０を介して、ステージ３４１に保持されたウエハＷ_０上に形成する。

【0053】

照明系３１０からの照明光ＩＬによって可変成形マスク３２１が照明されると、可変成形マスク３２１のオン状態にあるマイクロミラーＭ１にて反射した照明光ＩＬ、即ち可変成形マスク３２１によりパターンを与えられた照明光ＩＬが投影光学系３３０に入射し、該パターンの縮小像（部分倒立像）がステージ３４１に保持されたウエハＷ_０上の投影領域ＩＡに形成される。

【0054】

本実施形態においては、パターン露光制御部３６０は、図７中の軌道Ｒｔで示されるようにステップアンドスキャン方式で露光を行う。即ち、まず、ウエハＷ_０上の被露光領域（ショット領域）内のＸ_３方向の最も正側に位置する開始地点ＳＴＡから、投影領域ＩＡを－Ｙ_３側に移動させて（即ち、ステージ３４１を＋Ｙ_３側に移動させて）スキャン露光（走査露光）を行う。次に、投影領域ＩＡを－Ｘ_３側に移動させる（即ち、ステージ３４１を＋Ｘ_３側に移動させる）ステッピング動作を行う。次に、投影領域ＩＡを＋Ｙ側に移動させて（即ち、ステージ３４１を－Ｙ_３側に移動させて）スキャン露光を行う。その後も、スキャン露光とステッピング動作を繰り返し、露光領域の全域に対する露光を行う。一度のスキャン露光により露光されるＹ_３方向に延びる領域を「露光領域」と呼ぶ。

【0055】

パターン露光制御部３６０は、スキャン露光中に、ステージ３４１を適切な速度で移動させつつ、これに同期して可変成形マスク３２１で生成したパターンをスクロールさせる（即ち、可変成形マスク３２１が生成するパターンの形状を変化させる）。投影領域ＩＡのＸ_３方向の幅は、本実施形態では０．１～０．２ｍｍ程度である。

【0056】

上記の構成を有するパターン露光部３００として、米国特許第８０８９６１６号、米国特許公開第２０２０／００２５７２０５号に開示された露光装置を用いてもよい。

【0057】

[マスク露光部４００]
マスク露光部４００は、予め決定され且つレチクル（フォトマスク）に形成されたパターンを、ウエハＷ_０の感光層に露光する。

【0058】

図８に示す通り、マスク露光部４００は、照明系４１０、レチクルステージ装置４２０、投影光学系４３０、ウエハステージ装置４４０、アライメント検出系４５０、マスク露光制御部４６０を主に有する。マスク露光部４００の説明においては、水平面内において互いに直交する２方向をＸ_４方向、Ｙ_４方向とし、鉛直方向をＺ_４方向とする。

【0059】

照明系４１０は、光源と、該光源に送光光学系を介して接続された照明光学系（いずれも不図示）とを有する。光源は、一例としてＡｒＦエキシマレーザ光源（波長１９３ｎｍ）である。照明光学系は、光源からの照明光を、レチクルステージ装置４２０のレチクルステージ４２１に保持されたレチクルＲ_０上の照明領域ＩＡＲに、ほぼ均一な照度で照射する。照明領域ＩＡＲはＸ_４方向に細長く伸びるスリット状の領域である。

【0060】

レチクルステージ装置４２０は、レチクルステージ４２１と、レチクルレーザ干渉計４２２とを主に有する。

【0061】

レチクルステージ４２１は、中央部に設けられたホルダを介してレチクルＲ_０を保持する。レチクルステージ４２１は、不図示のレチクルステージ駆動系により、Ｘ_４方向及びＹ_４方向に微小駆動可能であり、且つ走査方向（Ｙ_４方向）に所定ストローク範囲で駆動可能である。

【0062】

レチクルレーザ干渉計４２２は、レチクルステージ４２１の端面に設けられた移動鏡ＭＲ１に測長ビームを照射することにより、レチクルステージ４２１のＸ_４方向、Ｙ_４方向、及びθＺ_４方向の位置を、例えば０．２５ｎｍ程度の分解能で常時検出する。

【0063】

投影光学系４３０は、レチクルＲ_０に形成されたパターンを、ウエハステージ４４１（後述）に配置されたウエハＷ_０に、所定の投影倍率（一例として１／４倍、１／５倍、１／８倍等）で縮小投影する。投影光学系は鏡筒４３０ｓと、鏡筒４３０ｓの内部に所定の位置関係で配置された複数の光学素子（不図示）を有する。

【0064】

ウエハステージ装置４４０は、ウエハステージ４４１と、レーザ干渉計４４２とを主に有する。

【0065】

ウエハステージ４４１は、上面中央に設けられたウエハホルダ（不図示）を介してウエハＷ_０を保持する。ウエハステージ４４１は、不図示のステージ駆動系によりＸ_４方向、及びＹ_４方向に所定ストロークで駆動されるとともに、Ｚ_４方向、θＸ_４方向、θＹ_４方向、及びθＺ_４方向に微小駆動される。

【0066】

レーザ干渉計４４２はウエハステージ４４１の端面に設けられた移動鏡ＭＲ２に測長ビームを照射することにより、ウエハステージ４４１のＸ_４方向、Ｙ_４方向、θＺ_４方向、θＸ_４方向、θＹ_４方向の位置情報を、例えば０．２５ｎｍ程度の分解能で常時検出する。

【0067】

アライメント検出系４５０は、投影光学系４３０の鏡筒４３０ｓの側面に設けられている。アライメント検出系４５０は、ウエハに形成されたアライメントマーク等を検出する。アライメント検出系４５０として、画像処理方式の結像式アライメントセンサの一種であるＦＩＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｉｍａｇｅ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系を用いることができる。画像処理方式のアライメント系に代えて、或いはこれに加えて回折光干渉型のアライメント系を用いてもよい。

【0068】

マスク露光制御部４６０は、照明系４１０、レチクルステージ装置４２０、投影光学系４３０、ウエハステージ装置４４０を総合的に制御し、レチクルステージ装置４２０が保持するレチクルＲ_０に形成されたパターンの像を、投影光学系４３０を介して、ウエハステージ４４１に保持されたウエハＷ_０上に形成する。本実施形態のマスク露光制御部４６０は、ステップアンドスキャン方式で露光を行うよう各部を制御する。

【0069】

上記の構成を有するマスク露光部４００として、米国特許第１０６８４５６２号明細書に開示された露光装置を用いてもよい。

【0070】

[デバイス製造方法]
露光システムＥＳを用いて半導体デバイスを製造するデバイス製造方法について、図９、図１０に示す半導体デバイス１０を製造する場合を例として説明する。

【0071】

図９（ａ）、図９（ｂ）に示す通り、半導体デバイス１０は、基板１１、固定層１２、第１絶縁層１３１、第２絶縁層１３２、第３絶縁層１３３、第４絶縁層１３４、第５絶縁層１３５が下からこの順番で積層された積層構造を有する。

【0072】

基板１１は、シリコンで形成された平板である。

【0073】

固定層１２は、一例としてポリイミド等の絶縁材料により形成されている。図９（ｂ）、図１０（ａ）に示す通り、固定層１２の内部には、半導体チップＣＰ１、ＣＰ２、ＣＰ３が設けられている。

【0074】

半導体チップＣＰ１～ＣＰ３は互いに同一の構成を有する。以下では互いの区別が不要である場合は単に半導体チップＣＰと呼ぶ。

【0075】

図１１に示す通り、半導体チップＣＰは、平面視略正方形の基板ＳＢと、回路ＣＲと、８つの複数の引出電極Ｔと、４つのアライメントマーク（チップアライメントマーク）ＡＭとを有する。半導体チップＣＰについては、図１１において４つの引出電極Ｔが並ぶ方向を電極配列方向（一軸方向）と呼び、基板ＳＢの面内方向であり且つ電極配列方向と直交する方向を直交方向と呼ぶ。

【0076】

基板ＳＢは、樹脂等で形成された平板である。

【0077】

回路ＣＲは、基板ＳＢの平面視中央部に設けられている。回路ＣＲは、所定の機能を奏するよう設計され、基板ＳＢ上に設けられている。

【0078】

８つの引出電極Ｔはそれぞれ、回路ＣＲを半導体チップＣＰの外部に接続するための電極である。８つの引出電極Ｔの各々は基板ＳＢ内に設けられた配線（不図示）により回路ＣＲに接続されている。

【0079】

８つの引出電極Ｔはそれぞれ、基板ＳＢの上面の、基板ＳＢの平面視において回路ＣＲが設けられていない領域に設けられている。８つの引出電極Ｔの内の４つは、回路ＣＲの直交方向の一方側に、電極配列方向に一列に並んで設けられている。８つの引出電極Ｔの内の残る４つは、回路ＣＲの直交方向の他方側に、電極配列方向に一列に並んで設けられている。

【0080】

回路ＣＲの直交方向の一方側に画定される、４つの引出電極Ｔが設けられた領域を第１電極形成領域ＴＡ１と呼ぶ。回路ＣＲの直交方向の他方側に画定される、４つの引出電極Ｔが設けられた領域を第２電極形成領域ＴＡ２と呼ぶ。第１、第２電極形成領域ＴＡ１、ＴＡ２はそれぞれ、電極配列方向に沿って延びる長尺の領域である。

【0081】

第１、第２電極形成領域ＴＡ１、ＴＡ２はそれぞれ基板ＳＢの平面視において回路ＣＲの外側の領域であり、第１、第２電極形成領域ＴＡ１、ＴＡ２に回路ＣＲは設けられていない。第１電極形成領域ＴＡ１、第２形成領域ＴＡ２は、直交方向において回路ＣＲを挟んでいる。

【0082】

第１、第２電極形成領域ＴＡ１、ＴＡ２は、直交方向において基板ＳＢの中央部から離れた位置に画定されている。第１電極形成領域ＴＡ１と第２形成領域ＴＡ２とは、直交方向において互いに離間して局在している。

【0083】

本実施形態においては、引出電極Ｔは、半導体チップＣＰの直交方向において、回路ＣＲが設けられていない領域のみに設けられている。

【0084】

４つのアライメントマークＡＭは、基板ＳＢの四隅に１つずつ設けられている。アライメントマークＡＭの各々は十字形状のマーク、ボックス状のマーク等であってよい。

【0085】

第１絶縁層１３１～第５絶縁層１３５は、一例として二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）等の絶縁材料により形成されている。

【0086】

図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示す通り、第１絶縁層１３１の内部には、複数のビアＶ１が設けられている。複数のビアＶ１はそれぞれ、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極Ｔの上に設けられている。

【0087】

図９（ｂ）、図１０（ｃ）に示す通り、第２絶縁層１３２の内部には、中継配線（中継配線層）Ｗ２が設けられている。本実施形態の半導体デバイス１０の中継配線Ｗ２は、複数のビアＶ１にそれぞれ接続された配線のセットにより構成されている（詳細後述）。中継配線Ｗ２は、ビアＶ１とビアＶ３（後述）を接続する。

【0088】

図９（ｂ）、図１０（ｄ）に示す通り、第３絶縁層１３３の内部には、複数のビアＶ３が設けられている。複数のビアＶ３はそれぞれ、中継配線Ｗ２を構成する複数の配線に接続する。

【0089】

図９（ｂ）、図１０（ｅ）に示す通り、第４絶縁層１３４の内部には、再配線（再配線層）Ｗ４が設けられている。本実施形態の半導体デバイス１０の再配線Ｗ４は、出力配線（出力配線層）Ｗ４１とチップ間配線（チップ間配線層）Ｗ４２とを含む。

【0090】

出力配線Ｗ４１は、一端がビアＶ３の位置にあり他端がビアＶ３とは異なる位置にある配線のセットにより構成されている。出力配線Ｗ４１は、ビアＶ１、Ｖ３、及び中継配線Ｗ２とともに、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３と電極Ｔ_１０（後述）とを接続する。

【0091】

チップ間配線Ｗ４２は、一端がビアＶ３の位置にあり他端が当該ビアＶ３とは異なるビアＶ３の位置にある配線のセットにより構成されている。チップ間配線Ｗ４２は、ビアＶ１、Ｖ３、及び中継配線Ｗ２とともに、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３を互いに接続する。

【0092】

図９（ｂ）、図１０（ｆ）に示す通り、第５絶縁層１３５の内部には、複数の電極（電極層）Ｔ_１０が設けられている。電極Ｔ_１０は、出力配線Ｗ４１を構成する複数の配線の各々の、ビアＶ３に接続された端部とは反対側の端部の上に設けられている。

【0093】

本実施形態のデバイス製造方法は、図１２のフローチャートに示す通り、チップ取付工程Ｓ１、誤差計測工程Ｓ２、中継配線パターン決定工程Ｓ３、中継配線形成工程Ｓ４、再配線形成工程Ｓ５、及びダイシング工程Ｓ６を主に含む。

【0094】

[チップ取付工程Ｓ１]
チップ取付工程Ｓ１においては、ウエハＷを準備し、ウエハＷ上に複数の半導体チップを取り付ける。本実施形態では、ウエハＷとして、図１３（ａ）に示す直径３００ｍｍのシリコンウエハを用いる。

【0095】

まず、図１３（ａ）に示すように、ウエハＷを複数の区画ＳＣに分ける。複数の区画ＳＣの各々は矩形であり、ウエハＷ上にマトリックス状に配置される。以下の説明においては、区画ＳＣの短辺方向、長辺方向をそれぞれ、区画ＳＣ及びウエハＷのＸ方向、Ｙ方向と呼ぶ。ウエハＷの厚さ方向を区画ＳＣ及びウエハＷのＺ方向と呼ぶ。なお、ウエハＷには回路パターンが形成されていてもよい。この場合、複数の区画ＳＣは、ウエハＷ上の複数の回路パターン形成領域間のストリートラインで分けられていてもよい。

【0096】

次に、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３（図１１）を、複数の区画ＳＣの各々に取り付ける。

【0097】

本実施形態においては、区画ＳＣ内に半導体チップＣＰ１～ＣＰ３を、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とがＸ方向に並び、半導体チップＣＰ２と半導体チップＣＰ３とがＹ方向に並ぶように配置する（図１３（ｂ））。

【0098】

半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の区画ＳＣへの配置は、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の電極配列方向が区画ＳＣのＹ方向に一致し、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の直交方向が区画ＳＣのＸ方向に一致するように行う。

【0099】

図１３（ｂ）に示す状態においては、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とがＸ方向に並んでおり、且つ半導体チップＣＰ１の引出電極Ｔと半導体チップＣＰ２の引出電極ＴとがＹ方向において同位置にある。また、半導体チップＣＰ２と半導体チップＣＰ３とがＹ方向に並んでおり、且つ半導体チップＣＰ２の引出電極Ｔと半導体チップＣＰ３の引出電極ＴとがＸ方向において同位置にある。半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の電極配列方向は一致している。

【0100】

半導体チップＣＰ２の第１電極形成領域ＴＡ１と半導体チップＣＰ３の第１電極形成領域ＴＡ１とはＹ方向に沿って一直線状に並び、半導体チップＣＰ２の第２電極形成領域ＴＡ２と半導体チップＣＰ３の第２電極形成領域ＴＡ２とはＹ方向に沿って一直線状に並ぶ。このように、複数の半導体チップＣＰの第１電極形成領域ＴＡ１又は第２電極形成領域ＴＡ２を一直線状に並べることで、パターン露光部３００による露光においては、Ｙ_３軸方向に延びる露光領域（一度のスキャン露光で露光される領域）と複数の半導体チップＣＰの第１電極形成領域ＴＡ１又は第２電極形成領域ＴＡ２とを重ねることが出来る。これによりパターン露光部３００による露光を効率よく行うことができる（詳細後述）。

【0101】

以下の説明において、図１３（ｂ）のように配置された半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の位置を「設計位置」と呼ぶ。

【0102】

ウエハＷの区画ＳＣの各々に半導体チップＣＰ１～ＣＰ３を配置した後、樹脂により固定層１２を形成し、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３をウエハＷに固定する。固定層１２の上面と半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の上面とは面一であってもよい（図１３（ｃ））。

【0103】

本明細書において、チップ取付工程Ｓ１の完了時点で得られる、ウエハＷに半導体チップＣＰを固定層１２により取り付けた状態のものをデバイスと捉えてもよい。

【0104】

[誤差計測工程Ｓ２]
チップ取付工程Ｓ１においてウエハＷに半導体チップＣＰ１～ＣＰ３を取り付ける際に、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３が設計位置（図１３（ｂ））からずれて固定されることが多い。半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の設計位置に対する位置ずれは例えば、樹脂を硬化させて固定層１２を形成する際の樹脂の不均一収縮等により生じる。

【0105】

図１４に位置ずれの一例を示す。図１４において、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の設計位置を点線で示し、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の実際の位置を実線で示す。半導体チップＣＰ１は設計位置に対して－Ｘ方向及び－Ｙ方向にシフトしている。半導体チップＣＰ２は設計位置に対して＋Ｘ方向及び－Ｙ方向にシフトしている。半導体チップＣＰ３については、設計位置に対するずれは生じていない。

【0106】

誤差計測工程Ｓ２においては、計測部１００により、各区画ＳＣの半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の、設計位置に対するＸ方向のずれ量ΔＸ、Ｙ方向のずれ量ΔＹ、及びＺ方向に延びる軸周りの回転方向のずれ量Δθを計測する。以下、Ｘ方向のずれ量ΔＸ、Ｙ方向のずれ量ΔＹ、及びＺ方向に延びる軸周りの回転方向のずれ量Δθの組合せを位置ずれ情報ＤＩと呼ぶ。

【0107】

まず、計測部１００のスライダ１２０のウエハホルダ１２２にウエハＷを設置する。この時、ウエハＷのＸ方向、Ｙ方向を計測部１００のＸ_１方向、Ｙ_１方向に一致させる。

【0108】

次に、計測部１００のマーク検出系１４１により、ウエハＷのアライメントマーク（基板アライメントマーク）（不図示）及び半導体チップＣＰ１～ＣＰ３のアライメントマーク（チップアライメントマーク）ＡＭを検出する。

【0109】

ウエハＷ上の各区画ＳＣの位置、及び各区画ＳＣにおける半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の設計位置は既知であるため、ウエハＷのアライメントマークを検出することで、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の設計位置を求めることができる。また、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々は、四隅に配置された４つのアライメントマークＡＭを有するため、これらの検出に基づいて、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々の実際の位置を求めることが出来る。

【0110】

したがって、ウエハＷのアライメントマークの検出結果と、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々のアライメントマークＡＭの検出結果に基づいて、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々の位置ずれ情報ＤＩを算出することができる。位置ずれ情報ＤＩの算出は、例えば計測部１００の計測制御部１７０により行う。

【0111】

計測制御部１７０は、求めた位置ずれ情報ＤＩをパターン決定部２００に出力する。

【0112】

[中継配線パターン決定工程Ｓ３]
中継配線パターン決定工程Ｓ３においては、パターン決定部２００が、区画ＳＣごとに、中継配線Ｗ２のパターンを決定する。

【0113】

本実施形態のデバイス製造方法において中継配線Ｗ２を形成する理由は次の通りである。

【0114】

本実施形態のデバイス製造方法においては、後述する再配線形成工程Ｓ５において、再配線Ｗ４（図１０（ｅ））のパターンをマスク露光部４００による露光を用いて形成する。ここで、再配線Ｗ４のパターンは設計位置（図１３（ｂ））に配置された半導体チップＣＰ１～ＣＰ３を基準に設計されている。したがって、例えば図１４に示すように半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の実際の位置が設計位置に対してずれていると、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極Ｔと再配線Ｗ４との間に断絶等の接続不良が生じ得る。

【0115】

そのため、本実施形態のデバイス製造方法においては、実際の位置にある半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極Ｔの位置と、設計位置にある半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極Ｔの位置との間に延びる直線状の配線のセットにより構成される中継配線Ｗ２（図１０（ｃ））を形成する。これにより、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の実際の位置が設計位置に対してずれている場合であっても、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３と再配線Ｗ４とは中継配線Ｗ２を介して良好に接続される。

【0116】

ここで、中継配線Ｗ２のパターンは、半導体チップＣＰの設計位置に対する位置ずれの態様に応じて様々である。したがって、中継配線パターン決定工程Ｓ３では、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々について、誤差計測工程Ｓ２で取得した位置ずれ情報ＤＩに基づいて中継配線Ｗ２のパターンを決定する。

【0117】

中継配線Ｗ２のパターンは、具体的には例えば、次のようにして決定される。

【0118】

まず、パターン決定部２００の決定部２２０が、受信部２３０を介して、計測部１００の計測制御部１７０から、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々の位置ずれ情報ＤＩを受け取る。

【0119】

次に、決定部２２０は、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々について、受け取った位置ずれ情報ＤＩと、記憶部２１０に記憶されたテーブルＴＢとに基づいて、中継配線Ｗ２のパターンを決定する。

【0120】

テーブルＴＢには、多種類の位置ずれ情報ＤＩと、多種類のパターン情報ＰＩとが対応付けて記憶されている。多種類のパターン情報ＰＩの各々は、対応する位置ずれ情報ＤＩに適した中継配線Ｗ２のパターンを含む。即ちテーブルＴＢには、半導体チップＣＰが有し得る様々な種類の位置ずれと、当該位置ずれを有する半導体チップＣＰに対して形成すべき中継配線Ｗ２のパターンとが対応付けて記憶されている。

【0121】

具体的には例えば、図１５に示すテーブルＴＢ１には、－１００[ｎｍ]と＋１００[ｎｍ]の間の１０ｎｍ刻みの所定の値であるずれ量ΔＸ及びずれ量ΔＹと、+１００[μｒａｄ]であるずれ量Δθとの様々な組合せについて、対応するパターン情報ＰＩが記憶されている。

【0122】

同様に、図１５に示すテーブルＴＢ２には、－１００[ｎｍ]と＋１００[ｎｍ]の間の１０ｎｍ刻みの所定の値であるずれ量ΔＸ及びずれ量ΔＹと、-９０[μｒａｄ]であるずれ量Δθとの様々な組合せについて、対応するパターン情報ＰＩが記憶されている。図１５に示すテーブルＴＢ３には、－１００[ｎｍ]と＋１００[ｎｍ]の間の１０ｎｍ刻みの所定の値であるずれ量ΔＸ及びずれ量ΔＹと、-１００[μｒａｄ]であるずれ量Δθとの様々な組合せについて、対応するパターン情報ＰＩが記憶されている。

【0123】

テーブルＴＢには、テーブルＴＢ１～ＴＢ３の他にも、ずれ量ΔＸ、ずれ量ΔＹ、ずれ量Δθの様々な組合せについて対応するパターン情報ＰＩを記憶する複数のテーブルが含まれる。

【0124】

多種類のパターン情報ＰＩの各々は、実際の位置にある半導体チップＣＰの８つの引出電極Ｔと、設計位置にある半導体チップＣＰの８つの引出電極Ｔとの間に延びる、８つのパターンＰＴを含む（図１６）。

【0125】

図１６に示すパターン情報ＰＩは、ずれ量ΔＸが－５０[ｎｍ]、ずれ量ΔＹが－５０[ｎｍ]、ずれ量Δθが０[μｒａｄ]である位置ずれ情報ＤＩに対応するパターン情報ＰＩである。このパターン情報ＰＩに含まれる８つのパターンＰＴはそれぞれ、略正方形の第１端部ＰＴ１、略正方形の第２端部ＰＴ２、及び第１端部ＰＴ１と第２端部ＰＴ２との間に延びる直線部ＰＴ３とを含む。

【0126】

第１端部ＰＴ１の中心ＣＴ１は、第２端部ＰＴ２の中心ＣＴ２に対して、Ｘ方向に５０[ｎｍ]、Ｙ方向に５０[ｎｍ]だけ離間している。即ち、パターンＰＴはそれぞれ、実際の位置にある半導体チップＣＰの引出電極Ｔの位置に第１端部ＰＴ１を形成した場合、設計位置にある半導体チップＣＰの電極Ｔの位置に第２端部ＰＴ２が位置するように設計されている。

【0127】

複数のパターン情報ＰＩの間では、含まれるパターンＰＴの直線部ＰＴ３の長さ（配線長）及び延在方向の少なくとも一方が異なっている。ずれ量Δθが０[μｒａｄ]である位置ずれ情報ＤＩに対応するパターン情報ＰＩにおいては、図１６に示すように、８つのパターンＰＴの直線部ＰＴ３の長さ及び延在方向は同一である。これに対し、ずれ量Δθが０[μｒａｄ]ではない位置ずれ情報ＤＩに対応するパターン情報ＰＩにおいては、８つのパターンＰＴの直線部ＰＴ３の長さ及び延在方向は同一ではない。

【0128】

ずれ量ΔＸ、ずれ量ΔＹ、ずれ量Δθがいずれもゼロであるか、無視できる程度に小さい場合は、第１端部ＰＴ１のみを有し第２端部ＰＴ２及び直線部ＰＴ３を有さない略正方形のパターンの組合せが選択される。

【0129】

決定部２２０は、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々について、計測部１００から受けとった位置ずれ情報ＤＩに含まれるずれ量ΔＸ、ずれ量ΔＹ、ずれ量Δθを読み取り、その組合せに対応するパターン情報ＰＩをテーブルＴＢから選択する。そして、選択したパターン情報ＰＩにより示されるパターンを、当該半導体チップのための中継配線Ｗ２のパターンとして決定する。

【0130】

決定部２２０は、決定したパターンを露光パターンとしてパターン露光部３００に送る。

【0131】

[中継配線形成工程Ｓ４]
中継配線形成工程Ｓ４においては、中継配線パターン決定工程Ｓ３において決定したパターンを有する中継配線Ｗ２を各区画ＳＣの半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の上に形成する。中継配線Ｗ２は、具体的には例えば、次の手順で形成される。

【0132】

（１）固定層１２（図１７（ａ））の上に第１絶縁層１３１を形成し、第１絶縁層１３１の上に第１感光層１４１を形成する（図１７（ｂ））。尚、固定層１２が半導体チップＣＰの上部を覆っている場合には、固定層１２が第１絶縁層１３１の機能を果たすため、第１絶縁層１３１を形成せずに、固定層１２の上に第１感光層を形成してもよい。

【0133】

（２）パターン露光部３００を用いて、パターン生成装置３２０で生成したビアＶ１（図１０（ｂ））のパターンを第１感光層１４１に投影する。パターン露光部３００による走査露光は、走査方向を半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の電極配列方向に一致させて行う。そして、ビアＶ１のパターンが露光された位置の第１感光層１４１及び第１絶縁層１３１を除去し（図１７（ｃ））、残る第１感光層１４１も除去した後、第１絶縁層１３１に残された凹部に導体（一例として銅）を埋め込む（図１７（ｄ））。これにより、第１絶縁層１３１の内部にビアＶ１が形成される。

【0134】

ビアＶ１は実際の位置にある半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極Ｔの位置に形成される。ビアＶ１の位置は、誤差計測工程Ｓ２の計測結果に基づいて決定し得る。

【0135】

（３）第１絶縁層１３１の上に第２絶縁層１３２を形成し、第２絶縁層１３２の上に第２感光層１４２を形成する（図１７（ｅ））。

【0136】

（４）パターン露光部３００を用いて、パターン生成装置３２０で生成した中継配線Ｗ２（図１０（ｃ））のパターン（即ち、中継パターン決定工程Ｓ３で決定したパターン）を第２感光層１４２に投影する。パターン露光部３００による走査露光は、走査方向を半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の電極配列方向（ウエハＷのＹ方向）に一致させて行う。そして、中継配線Ｗ２のパターンが露光された位置の第２感光層１４２及び第２絶縁層１３２を除去し（図１７（ｆ））、残る第２感光層１４２も除去した後、第２絶縁層１３２に残された凹部に導体を埋め込む（図１７（ｇ））。これにより、第２絶縁層１３２の内部に中継配線（中継配線層）Ｗ２が形成される。尚、ビアＶ１が形成された第１絶縁層１３１の上に第２絶縁層１３２を形成する前に、第１絶縁層１３１の平坦化処理（例えばＣＭＰ）を行ってもよく、中継配線Ｗ２が形成された第２絶縁層１３２の平坦化処理を行ってもよい。また、ビアＶ１が形成される前の第１絶縁層１３１の平坦化処理を行ってもよい。

【0137】

[再配線形成工程Ｓ５]
再配線形成工程Ｓ５においては、予め決定されたパターンを有する再配線Ｗ４、及び電極Ｔ_１０を、各区画ＳＣの中継配線Ｗ２の上に形成する。再配線Ｗ４は、具体的には例えば、次の手順で形成される。

【0138】

（１）第２絶縁層１３２の上に第３絶縁層１３３を形成し、第３絶縁層１３３の上に第３感光層１４３を形成する。そして、マスク露光部４００を用いて、レチクル（フォトマスク）に予め形成されたビアＶ３（図１０（ｄ））のパターンを第３感光層１４３に投影し、ビアＶ３のパターンが露光された位置の第３感光層１４３及び第３絶縁層１３３を除去する（図１８（ａ））。残る第３感光層１４３も除去した後、第３絶縁層１３３に残された凹部に導体を埋め込む（図１８（ｂ））。これにより、第３絶縁層１３３の内部にビアＶ３が形成される。ビアＶ３は設計位置にある半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極の位置に形成される。ここで、第３絶縁層１３３の形成後に平坦化処理を行ってもよい。

【0139】

（２）第３絶縁層１３３の上に第４絶縁層１３４を形成し、第４絶縁層１３４の上に第４感光層１４４を形成する（図１８（ｃ））。なお、第４絶縁層１３４の形成後に平坦化処理を行ってもよい。

【0140】

（３）マスク露光部４００を用いて、レチクル（フォトマスク）に予め形成された再配線Ｗ４（図１０（ｅ））のパターン（マスクパターン）を第４感光層１４４に投影する。そして、再配線Ｗ４のパターンが露光された位置の第４感光層１４４及び第４絶縁層１３４を除去し（図１８（ｄ））、残る第４感光層１４４も除去した後、第４絶縁層１３４に残された凹部に導体を埋め込む（図１８（ｅ））。これにより、第４絶縁層１３４の内部に再配線（再配線層）Ｗ４が形成される。

【0141】

（４）第４絶縁層１３４の上に第５絶縁層１３５を形成し、第５絶縁層１３５の上に第５感光層１４５を形成する（図１８（ｆ））。

【0142】

（５）マスク露光部４００を用いて、レチクルに形成された電極Ｔ_１０（図１０（ｆ））のパターンを第５感光層１４５に投影する。そして、電極Ｔ_１０のパターンが露光された位置の第５感光層１４５及び第５絶縁層１３５を除去し（図１８（ｇ））、残る第５感光層１４５も除去した後、第５絶縁層１３５に残された凹部に導体を埋め込む（図１８（ｈ））。これにより、第５絶縁層１３５の内部に電極Ｔ_１０が形成される。

【0143】

[ダイシング工程Ｓ６]
ダイシング工程Ｓ６においては、ウエハＷを区画ＳＣごとに分断する。これにより、複数（本実施形態では８６個）の半導体デバイス１０が形成される。区画ＳＣを単位として切断されたウエハＷの各部が、半導体デバイス１０の基板１１となる。

【0144】

本実施形態の露光システムＥＳ、及びこれを用いるデバイス製造方法の効果を次にまとめる。

【0145】

本実施形態の露光システムＥＳは、中継配線Ｗ２のパターンを決定するパターン決定部２００、及びパターン決定部２００が決定したパターンを有する中継配線Ｗ２を形成するパターン露光部３００を備える。また、本実施形態のデバイス製造方法は、パターン決定部２００を用いて中継配線Ｗ２のパターンを決定する中継配線パターン決定工程Ｓ３、及び決定したパターンを有する中継配線Ｗ２をパターン露光部３００を用いて形成する中継配線形成工程Ｓ３を含む。

【0146】

したがって、ウエハＷ上に配置された半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の位置が設計位置に対してずれている場合であっても、設計位置にある半導体チップＣＰ１～ＣＰ３と接続されるよう設計された再配線Ｗ４と設計位置からずれた位置にある半導体チップＣＰ１～ＣＰ３とを中継配線Ｗ２により中継して（電気的に接続して）、良好に接続することができる。

【0147】

このように、設計位置に対してずれた位置にある半導体チップと再配線との接続を行う方法として、特許文献１のように、半導体チップの位置ずれに基づいて再配線自体のパターンを再設計することが考えられる。しかしながら、再配線自体のパターンを、様々な態様であり得る半導体チップの位置ずれに応じて都度再設計すると、多大な処理時間を要してしまう。

【0148】

これに対し、本実施形態は、再配線自体のパターンは変更せず、設計位置に対してずれた位置にある半導体チップの引出電極と再配線とを中継する中継配線を形成する。したがって再配線のパターンを再設計する必要がなく、高スループットでデバイスを製造することが出来る。

【0149】

また、本実施形態の露光システムＥＳ、及びこれを用いるデバイス製造方法では、再配線自体のパターンは変更しないため、再配線の形成を、再配線のパターンが予め形成されたレチクル（フォトマスク）を用いて、マスク露光機４００により行うことが出来る。したがって、再設計した再配線をパターン露光機を用いて形成する特許文献１の方法に比べて、高スループットでデバイスを製造することが出来る。

【0150】

更に、本実施形態の露光システムＥＳ、及びこれを用いるデバイス製造方法では、中継配線Ｗ２のパターンの決定に、多種類の位置ずれ情報ＤＩと多種類のパターン情報ＰＩとの対応を記憶したテーブルＴＢを用いる。したがって、半導体チップＣＰの位置ずれ情報ＤＩを取得した後、複雑な処理を要することなく、テーブルＴＢを参照して迅速に中継配線Ｗ２のパターンを決定することができる。

【0151】

本実施形態の露光システムＥＳ、及びこれを用いるデバイス製造方法においては、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の各々の引出電極Ｔは、回路ＣＲの外側において電極配列方向に延びる第１、第２電極形成領域ＴＡ１、ＴＡ２のみに設けられている。また、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３は、ウエハＷ上の区画ＳＣにおいて、電極配列方向が互いに一致するように配置されている。更に、半導体チップＣＰ２と半導体チップＣＰ３とは、半導体チップＣＰ２の第１電極形成領域ＴＡ１と半導体チップＣＰ３の第１電極形成領域ＴＡ１とが一直線上に並び、且つ半導体チップＣＰ２の第２電極形成領域ＴＡ２と半導体チップＣＰ３の第２電極形成領域ＴＡ２とが一直線上に並ぶように配置されている。

【0152】

したがって、中継配線形成工程Ｓ４において、中継配線Ｗ２やビアＶ１、Ｖ３を形成する際には、区画ＳＣのＸ方向の全域を露光する必要がなく、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の第１、第２電極形成領域ＴＡ１、ＴＡ２が存在する一部の領域を露光するだけで足りる。

【0153】

この点は、中継配線形成工程Ｓ４における露光がパターン露光部３００で行われる点を考慮すれば、特に有利である。即ち、パターン露光部３００の投影領域ＩＡのＸ方向（非スキャン方向）の幅は一般に０．１～０．２ｍｍ程度であり小さい。したがって、半導体チップの電極が区画ＳＣのＸ方向の全域に存在している場合は、ステップアンドスキャン方式の露光において、非常に多くのスキャン露光及びステッピング動作を行う必要が生じる。

【0154】

これに対し、本実施形態の露光システムＥＳ、及びこれを用いるデバイス製造方法においては、図１９に示すように、半導体チップＣＰ２、ＣＰ３の第１電極形成領域ＴＡ１と重なる第１露光領域ＥＡ１、半導体チップＣＰ２、ＣＰ３の第２電極形成領域ＴＡ２と重なる第２露光領域ＥＡ２、半導体チップＣＰ１の第１電極形成領域ＴＡ１と重なる第３露光領域ＥＡ３、及び半導体チップＣＰ１の第２電極形成領域ＴＡ２と重なる第４露光領域ＥＡ４について露光を行えば足りる。したがって、例えば、図１９の軌道Ｒｔ２で示されるように、開始地点ＳＴＡ２からスキャン露光を開始して、４回のスキャン露光と３回のステップ動作で１つの区画ＳＣに対する露光を終えることができる。

【0155】

このように、本実施形態の露光システムＥＳ、及びこれを用いるデバイス製造方法では、区画ＳＣのＸ方向において、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の引出電極Ｔが一部の領域に局在している。したがって、中継配線形成工程Ｓ４におけるパターン露光部３００による露光を効率よく行うことができ、デバイス製造のスループットを高めることができる。

【0156】

＜変形例＞
上記実施形態において、次の変形態様を用いることもできる。

【0157】

上記実施形態においては、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３は互いに同一の構成を有しているが、これには限られない。半導体チップＣＰ１～ＣＰ３は互いに異なる構成であってもよい。また、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３における引出電極Ｔの数及び配置も任意である。第１電極形成領域ＴＡ１及び／又は第２電極形成領域ＴＡ２において、電極配列方向に並ぶ引出電極Ｔの列が、直交方向に並んで複数列設けられていてもよい。また、半導体チップＣＰが有するアライメントマークＡＭの数及び配置は、必要な位置ずれ情報ＤＩが得られるよう、任意に設定し得る。

【0158】

区画ＳＣに配置される半導体チップの数、及び区画ＳＣに配置される半導体チップの配置、配列は任意である。ただし、複数の半導体チップを配置する場合であって、各半導体チップが所定方向に並ぶ引出電極を有する場合は、当該所定方向が一致するように複数の半導体チップを配置することでパターン露光部３００によるスキャン露光の回数を減らすことができる。また、複数の半導体チップの電極形成領域が一直線上に並ぶように複数の半導体チップを並べることで、パターン露光部３００によるスキャン露光の回数を更に減らすことができる。

【0159】

上記実施形態においては、誤差計測工程Ｓ２を計測部１００を用いて行っているが、これには限られない。例えば、パターン露光装置３００のアライメント系３５０を用いて誤差計測工程Ｓ２を行ってもよい。この場合は、露光システムＥＳから計測部１００を省いてもよい。

【0160】

上記実施形態のパターン決定部２００においては、記憶部２１０はテーブルＴＢを記憶し、決定部２２０は、テーブルＴＢから１つのパターン情報ＰＩを選択して中継配線Ｗ２のパターンを決定する。

【0161】

しかしながらこれには限られず、記憶部２１０はテーブルＴＢに代えて粗調整テーブルと微調整テーブルを記憶してもよく、決定部２２０は、粗調整テーブルから選択した１つのパターン情報と微調整テーブルから選択した１つのパターン情報とを組み合わせて中継配線Ｗ２のパターンを決定してもよい。

【0162】

この場合は例えば、粗調整テーブルは多種類の位置ずれ情報ＤＩと多種類の粗調整パターン情報との対応を記憶し、微調整テーブルは多種類の位置ずれ情報ＤＩと多種類の微調整パターン情報との対応を記憶する。

【0163】

粗調整パターン情報の各々が含む８つの粗調整パターンＰＴＲ（第１中継配線のパターン）（図２０（ａ））は、略正方形の第１端部ＰＴＲ１、略正方形の第２端部ＰＴＲ２、及び第１端部ＰＴＲ１と第２端部ＰＴＲ２との間に延びる直線部ＰＴＲ３とを含む。

【0164】

微調整パターン情報の各々が含む８つの微調整パターンＰＴＦ（第２中継配線のパターン）（図２０（ｂ））は、略正方形の第１端部ＰＴＦ１、略正方形の第２端部ＰＴＦ２、及び第１端部ＰＴＦ１と第２端部ＰＴＦ２との間に延びる直線部ＰＴＦ３とを含む。

【0165】

粗調整パターンＰＴＲの直線部ＰＴＲ３は、微調整パターンＰＴＦの直線部ＰＴＦ３よりも長くてもよい。粗調整パターンＰＴＲの直線部ＰＴＲ３は、微調整パターンＰＴＦの直線部ＰＴＦ３よりも長さの調整幅が広くてもよい。一例として、多種類の粗調整パターンＰＴＲの直線部ＰＴＲ３の長さは１０μｍ～１２μｍ程度の幅に収まっており、多種類の微調整パターンＰＴＦの直線部ＰＴＦ３の長さは１０μｍ～１０．２μｍ程度の幅に収まっている。

【0166】

決定された中継配線Ｗ２のパターンにおいては、粗調整パターンＰＴＲの第１端部ＰＴＲ１が半導体チップＣＰの引出電極Ｔの位置に形成され、粗調整パターンＰＴＲの第２端部ＰＴＲ２が出力配線Ｗ４からわずかに離間した位置（第１位置）に配置される。そして、微調整パターンＰＴＦの第１端部ＰＴＦ１が粗調整パターンＰＴＲの第２端部ＰＴＲ２の位置に形成され微調整パターンＰＴＦの第２端部ＰＴＦ２が再配線Ｗ４に接続する位置（第２位置）に形成される。中継配線Ｗ２の粗調整パターンＰＴＲに基づいて形成される部分と微調整パターンＰＴＦに基づいて形成される部分とは、同一の絶縁層内に一層の配線層として形成されてもよく、それぞれ異なる絶縁層内に形成されてもよい。

【0167】

このように、テーブルＴＢを粗調整テーブルと微調整テーブルに分けることで、記憶部２１０に記憶すべき情報量を少なくすることが出来る。例えばテーブルＴＢを用いる場合に１００種類の位置ずれ情報ＤＩに対応して１００種類のパターン情報ＰＩを記憶する必要があるとする。この場合、微調整テーブルと粗調整テーブルを用いれば、粗調整テーブルに１０種類の粗調整パターン情報を、微調整テーブルに１０種類の微調整パターン情報をそれぞれ記憶させ、これを掛け合わせることで１００種類パターン情報を提供できる。即ち、計２０種類のパターン情報を記憶するのみで足りる。

【0168】

上記実施形態においては、再配線Ｗ４のパターン、及び中継配線Ｗ２のパターンを決定するためのパターン情報ＰＩは、半導体チップＣＰに位置ずれがない場合、或いは位置ずれが無視できる程度に小さい場合には、中継配線Ｗ２のパターンとして、Ｘ方向にもＹ方向にも延びない点状のパターンが選択されるよう設計されている。

【0169】

しかしながら、これには限られず、再配線Ｗ４のパターン及びパターン情報ＰＩを、半導体チップＣＰに位置ずれがない場合に、半導体チップＣＰの電極配列方向に交差する方向に延びる直線状のパターンが選択されるように設計してもよい。

【0170】

これにより、例えば図２１に示すように、半導体チップＣＰの実際の位置（図２１の実線）が半導体チップＣＰの設計位置（図２１の点線）から電極配列方向に大きくずれた場合でも、パターンＰＴ同士の短絡を生じることなく、中継配線Ｗ２を形成することができる。

【0171】

上記実施形態のテーブルＴＢにおいて、１種類のパターン情報ＰＩに対応させる位置ずれ情報ＤＩの数は任意である。中継配線Ｗ２は、必ずしもパターンＰＴの第１端部ＰＴ１の中心部に半導体チップＣＰの端部Ｔが位置するように形成される必要はなく、半導体チップＣＰの端部Ｔが第１端部ＰＴ１に電気的に接続されるように形成されれば足りる。したがって、１種類のパターン情報ＰＩにより、類似する複数種類の位置ずれ状態をカバーすることができる。

【0172】

上記実施形態のテーブルＴＢは、ずれ量ΔＸ、ずれ量ΔＹについては１０[ｎｍ]ごとに異なるパターン情報ＰＩが対応し、ずれ量Δθについては１０[μｒａｄ]ごとに異なるパターン情報ＰＩが対応するように構成されている。これよりも大きい周期で対応するパターン情報ＰＩが変わるよう構成してもよく、これよりも小さい周期で対応するパターン情報ＰＩが変わるよう構成してもよい。

【0173】

上記実施形態において、パターン決定部２００は、記憶部２１０が記憶するテーブルＴＢを用いて中継配線Ｗ２のパターンを決定するが、これには限られない。パターン決定部２００は、テーブルＴＢを用いることなく中継配線Ｗ２のパターンを決定してもよい。具体的には例えば、位置ずれ情報ＤＩに基づいて、所定の計算処理により中継配線Ｗ２のパターンを導出してもよい。

【0174】

半導体チップＣＰ１～ＣＰ３は、電極配列方向に沿って並ぶ引出電極Ｔに加えて、電極配列方向における回路ＣＲの両側に、直交方向に並ぶ引出電極Ｔを更に備えてもよい。

【0175】

このような半導体チップＣＰ１～ＣＰ３に対してパターン露光部３００により中継配線Ｗ２のパターンを露光する場合は、まずウエハＷのＹ方向がパターン露光部３００のＹ_３方向に一致するようにウエハＷをステージ３４１に設置する。そして、図２２に示すように、開始地点ＳＴＡ３から経路Ｒｔ３に沿ったステップアンドスキャン方式の露光を行い、第１露光領域ＥＡ１、第２露光領域ＥＡ２、第３露光領域ＥＡ３、第４露光領域ＥＡ４を露光する。これにより、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の電極配列方向に並ぶ引出電極Ｔに接続される中継配線Ｗ２を形成するための露光がなされる。

【0176】

次に、まずウエハＷをＺ方向に延びる軸周りに９０°回転させて、ウエハＷのＸ方向がパターン露光部３００のＹ_３方向に一致するようにウエハＷをステージ３４１に設置する。そして、図２２に示すように、開始地点ＳＴＡ４から経路Ｒｔ４に沿ったステップアンドスキャン方式の露光を行い、第５露光領域ＥＡ５、第６露光領域ＥＡ６、第７露光領域ＥＡ７、第８露光領域ＥＡ８を露光する。これにより、半導体チップＣＰ１～ＣＰ３の直交方向に並ぶ引出電極Ｔに接続される中継配線Ｗ２を形成するための露光がなされる。

【0177】

直交方向に並ぶ電極Ｔに対する露光を、電極配列方向（ウエハＷのＹ方向）に沿ったスキャン露光により行う場合は、直交方向（ウエハＷのＸ方向）における電極Ｔの存在領域が広いため、スキャン露光の回数が増えてしまう。しかしながら、ウエハＷを回転させて走査方向を変えることで、露光を効率よく行うことが出来る。

【0178】

上記実施形態では、パターン決定部２００はパターン露光装置３００、マスク露光部４００から分離して設けられているがこれには限られない。パターン決定部２００は、パターン露光装置３００又はマスク露光部４００の一部として設けられていてもよい。また、パターン決定部２００を備えるパターン露光装置３００又はパターン決定部２００を備えるマスク露光部４００を、露光システムＥＳから独立した露光装置として構成してもよい。

【0179】

上記実施形態では、再配線Ｗ４のパターンの全てをマスク露光装置４００で露光しているが、これには限られない。レチクル（フォトマスク）には、再配線Ｗ４（出力配線Ｗ４１、及び／又はチップ間配線Ｗ４２）のパターンの少なくとも一部のみを形成し、再配線Ｗ４のパターンの少なくとも一部のみをマスク露光装置４００で露光してもよい。残るパターンはパターン露光装置３００で露光してもよい。

【0180】

上記実施形態では、中継配線形成工程Ｓ４において、パターン露光部３００を用いて中継配線Ｗ２のパターンを露光しているがこれには限られない。中継配線形成工程Ｓ４において、マスク露光部４００を用いて中継配線Ｗ２のパターンを露光してもよい。

【0181】

上記実施形態では、再配線形成工程Ｓ５において、マスク露光部４００を用いて再配線Ｗ４のパターンを露光しているがこれには限られない。再配線形成工程Ｓ５において、パターン露光部３００を用いて再配線Ｗ４のパターンを露光してもよい。

【0182】

中継配線Ｗ２は、必ずしも半導体チップＣＰの引出電極Ｔと再配線Ｗ４とを接続する配線でなくてもよい。中継配線Ｗ２は、引出電極ＴとウエハＷに対する所定位置とを結ぶ配線であってよく、中継配線Ｗ２のパターンはそのような配線のパターンであってよい。この場合、パターンＰＴの第２端部ＰＴ２や、微調整パターンＰＴＦの第２端部ＰＴＦ２は、当該所定位置に形成される。

【0183】

上記実施形態においてはウエハＷの複数の区画ＳＣの各々に複数の半導体チップＣＰ１～ＣＰ３を取り付けたが、複数の区画ＳＣの各々に１つの半導体チップを取り付けてもよい。この場合、一つの区画ＳＣに取り付けられる半導体チップの電極配列方向と、その一つの区画のＹ方向側に位置する別の区画に取り付けられる半導体チップの電極配列方向とが同じＹ方向に一致するように、半導体チップを区画ＳＣに配置すればよい。

【0184】

上記実施形態においてはシリコン製のウエハＷを用いているがこれには限られない。シリコン製のウエハＷに代えて、ガラス、樹脂等により形成される任意の基板を用いて良い。また、上記実施形態においては、円形基板を用いているが、例えば角形基板を用いても良い。

【0185】

本発明の特徴を維持する限り、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。

【0186】

（付記）
上述した複数の実施形態またはその変形例は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0187】

（第１項）
引出電極を備える複数の半導体チップと一端が前記引出電極に電気的に接続される中継配線と前記中継配線の他端に電気的に接続される出力配線とを備えるデバイスを製造するデバイス製造方法であって、
基板上に設けられた前記複数の半導体チップの位置を計測して、前記複数の半導体チップの設計位置からの位置ずれを求めることと、
前記位置ずれに基づいて、前記中継配線のパターンを決定することを含むデバイス製造方法。

【0188】

（第２項）
前記複数の半導体チップの上に感光層を形成することと、
パターン形成装置を介したエネルギービームにより、前記感光層に、前記決定した中継配線のパターンを露光することを更に含む第１項に記載のデバイス製造方法。

【0189】

（第３項）
前記露光された前記感光層を用いて前記中継配線を形成することと、
前記中継配線の上に前記感光層とは異なる感光層を形成することと、
前記出力配線の少なくとも一部のマスクパターンを有するマスクを介した露光光により、異なる前記感光層に、前記出力配線のパターンを露光することを更に含む第２項に記載のデバイス製造方法。

【0190】

（第４項）
前記複数の半導体チップが配列される一軸方向の一側から他側へ前記基板を移動させつつ、前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記一軸方向に延びる露光領域に露光することをさらに含む第２項又は第３項に記載のデバイス製造方法。

【0191】

（第５項）
前記露光領域を第１露光領域とするとき、
前記第１露光領域への露光の後に前記複数の半導体チップが設けられた前記基板を前記一軸方向と交差する方向に移動させることと、
前記基板を前記一軸方向の前記他側から前記一側へ移動させつつ、前記中継配線のパターンを前記感光層上で前記第１露光領域から前記交差する方向に離れた第２露光領域に露光することとをさらに含む第４項に記載のデバイス製造方法。

【0192】

（第６項）
前記引出電極は、前記半導体チップ上で前記一軸方向に沿って延びた電極形成領域に設けられている第１項～第５項のいずれか一項に記載のデバイス製造方法。

【0193】

（第７項）
前記基板を準備することと、
前記基板上の複数の区画に前記複数の半導体チップを取り付けることと
をさらに含む第１項～第６項のいずれか一項に記載のデバイス製造方法。

【0194】

（第８項）
前記複数の区画に前記基板を分断することをさらに含む第７項に記載のデバイス製造方法。

【0195】

（第９項）
前記中継配線の他端は、前記基板に対して所定位置に位置する第１項～第８項のいずれか一項に記載のデバイス製造方法。

【0196】

（第１０項）
前記中継配線のパターンの決定は、前記位置ずれに基づいて、予め記憶された複数の配線パターンから少なくとも１つの配線パターンを選択することを含む第１項～第９項のいずれか一項に記載のデバイス製造方法。

【0197】

（第１１項）
前記複数の配線パターンはそれぞれ直線状のパターンであり、前記複数の配線パターンの配線長及び延在方向の少なくとも一方が互いに異なる第１０項に記載のデバイス製造方法。

【0198】

（第１２項）
前記予め記憶された複数の配線パターンは、
複数の第１配線パターンと、
複数の第２配線パターンであって、各々の配線長が前記複数の第１配線パターンの各々の配線長よりも短い第２配線パターンとを含み、
前記予め記憶された複数の配線パターンから少なくとも１つの配線パターンを選択することは、前記複数の第１配線パターンの１つと前記複数の第２配線パターンの１つとを選択することを含む第１０項又は第１１項に記載のデバイス製造方法。

【0199】

（第１３項）
前記複数の半導体チップの各々は、中央部に設けられた回路と、前記回路に電気的に接続され且つ第１方向において前記回路の外側に設けられた複数の前記引出電極とを有し、
前記複数の半導体チップの各々において、前記複数の引出電極は前記第１方向と交差する第２方向に並んでいる第１項～第１２項のいずれか一項に記載のデバイス製造方法。

【0200】

（第１４項）
前記複数の半導体チップが前記設計位置に位置するとき、前記複数の半導体チップの各々の前記複数の引出電極の並ぶ方向が互いに一致する第１３項に記載のデバイス製造方法。

【0201】

（第１５項）
前記中継配線のパターンの決定は、前記位置ずれに基づいて、予め記憶された複数の配線パターンから少なくとも１つの配線パターンを選択することを含み、
前記位置ずれがない場合に、前記少なくとも１つの配線パターンとして前記第２方向に交差する方向に延びるパターンを選択する第１４項に記載のデバイス製造方法。

【0202】

（第１６項）
前記複数の半導体チップの各々は、前記複数の半導体チップの中央部に設けられた回路を備え、
前記引出電極は、前記回路に電気的に接続され且つ第１方向において前記回路の外側に前記第１方向と交差する第２方向に沿って設けられた複数の第１引出電極と、前記回路に電気的に接続され且つ前記第２方向において前記回路の外側に前記第１方向に沿って設けられた複数の第２引出電極とを有し、
前記複数の半導体チップが前記設計位置に位置するとき、前記複数の半導体チップの各々の前記第２引出電極が並ぶ方向が互いに一致し、
パターン形成装置を介したエネルギービームにより、前記感光層に、前記決定した中継配線のパターンを露光することは、
前記複数の半導体チップの第１方向に沿って前記エネルギービームを走査露光することと、
前記複数の半導体チップの第２方向に沿って前記エネルギービームを走査露光することを含む第２項又は第３項に記載のデバイス製造方法。

【0203】

（第１７項）
基板上に設けられた複数の半導体チップの位置を計測する計測部と、
前記計測された位置に基づいて前記複数の半導体チップの設計位置からの位置ずれを求め、該位置ずれに基づいて前記複数の半導体チップと出力配線とを中継する中継配線のパターンを決定するパターン決定部と、
パターン形成装置を介したエネルギービームにより前記複数の半導体チップの上に前記決定された中継配線のパターンを露光するパターン露光部とを備える露光システム。

【0204】

（第１８項）
前記出力配線の少なくとも一部のマスクパターンを有するマスクを介した露光光により、露光された前記中継配線のパターンを用いて形成される前記中継配線の上に前記出力配線のパターンを露光するマスク露光部を更に備える第１７項に記載の露光システム。

【0205】

（第１９項）
前記パターン決定部が、
複数種類の前記位置ずれと複数の配線パターンとの対応関係を記憶する記憶部と、
前記位置ずれと前記対応関係とに基づいて前記中継配線のパターンを決定する決定部とを有する第１１項又は第１２項に記載の露光システム。

【0206】

（第１９項）
前記パターン決定部が、
複数種類の前記位置ずれと複数の第１配線パターンとの第１対応関係、及び複数種類の前記位置ずれと複数の第２配線パターンとの第２対応関係を記憶する記憶部と、
前記位置ずれ、第１対応関係、及び第２対応関係に基づいて前記中継配線のパターンを決定する決定部とを有し、
前記複数の第２配線パターンの各々の配線長が前記複数の第１配線パターンの各々の配線長よりも短く、
前記決定部は、前記位置ずれと第１対応関係とに基づいて選択した複数の第１配線パターンの１つと、前記位置ずれと第２対応関係とに基づいて選択した複数の第２配線パターンの１つとに基づいて前記中継配線のパターンを決定する第１１項又は第１２項に記載の露光システム。

【0207】

（第２０項）
前記パターン露光部が前記パターン決定部を備える第１７項～第１９項のいずれか一項に記載の露光システム。

【0208】

（第２１項）
基板上に設けられた複数の半導体チップを露光する露光装置であって、
前記複数の半導体チップの設計位置からの位置ずれに基づいて前記複数の半導体チップと出力配線とを中継する中継配線のパターンを決定するパターン決定部と、
前記パターン決定部からの出力を用いて設定されたパターン形成装置を介したエネルギービームにより前記複数の半導体チップの上に前記決定された中継配線のパターンを露光する露光部とを備える露光装置。

【0209】

（第２２項）
前記パターン決定部が、
複数種類の前記位置ずれと複数の配線パターンとの対応関係を記憶する記憶部と、
前記位置ずれと前記対応関係とに基づいて前記中継配線のパターンを決定する決定部とを有する第２１項に記載の露光装置。

【0210】

（第２３項）
前記パターン決定部が、
複数種類の前記位置ずれと複数の第１配線パターンとの第１対応関係、及び複数種類の前記位置ずれと複数の第２配線パターンとの第２対応関係を記憶する記憶部と、
前記位置ずれ、第１対応関係、及び第２対応関係に基づいて前記中継配線のパターンを決定する決定部とを有し、
前記複数の第２配線パターンの各々の配線長が前記複数の第１配線パターンの各々の配線長よりも短く、
前記決定部は、前記位置ずれと第１対応関係とに基づいて選択した複数の第１配線パターンの１つと、前記位置ずれと第２対応関係とに基づいて選択した複数の第２配線パターンの１つとに基づいて前記中継配線のパターンを決定する第２１項又は第２２項に記載の露光装置。

【0211】

（第２４項）
基板と、
前記基板に設けられた複数の半導体チップとを備えるデバイスであって、
前記複数の半導体チップの各々は、中央部に設けられた回路と、前記回路に電気的に接続され且つ前記回路の外側に一方向に配列された複数の電極とを有し、
前記複数の半導体チップは、前記複数の半導体チップの各々の前記複数の電極が配列された前記一方向が互いに一致又は略一致するように前記ウエハに固定されているデバイス。

【0212】

（第２５項）
前記複数の電極は、前記回路の外側のみに設けられている第２４項に記載のデバイス。

【0213】

（第２６項）
前記複数の半導体チップのうちの少なくとも２つが前記基板上の第１区画に設けられ、前記複数の半導体チップのうちの前記少なくとも２つとは異なる少なくとも２つの前記半導体チップが前記基板上の前記第１区画とは異なる第２区画に設けられている第２４項又は第２５項に記載のデバイス。

【0214】

（第２７項）
前記第１及び第２区画の各々において前記少なくとも２つの半導体チップが前記一方向に並んでいる第２６項に記載のデバイス。

【0215】

（第２８項）
前記複数の半導体チップを前記基板に固定する固定層を更に備え、
前記固定層の上面と前記複数の半導体チップの上面とが面一である第２４項～第２７項のいずれか一項に記載のデバイス。

【0216】

（第２９項）
前記複数の半導体チップの上方に設けられた出力配線層を更に備え、
前記出力配線層が、前記区画ごとに、前記少なくとも２つの半導体チップを接続する出力配線を有する２６項～第２８項のいずれか一項に記載のデバイス。

【0217】

（第３０項）
前記複数の半導体チップの上方且つ前記出力配線層の下方に設けられた中継配線層を更に備え、
前記中継配線層が、前記複数の領域ごとに、前記少なくとも２つの半導体チップと前記出力配線パターンとを電気的に中継する中継配線を有する第２９項に記載のデバイス。

【符号の説明】

【0218】

１０ 半導体デバイス
１００ 計測部
２００ パターン決定部
３００ パターン露光部
３２０ パターン生成装置
４００ マスク露光部
ＣＰ１、ＣＰ２、ＣＰ３ 半導体チップ
Ｔ 引出電極
ＴＡ１ 第１電極形成領域
ＴＡ２ 第２電極形成領域
Ｗ２ 中継配線（中継配線層）
Ｗ４ 再配線（再配線層）
Ｗ４１ 出力配線（出力配線層）
Ｗ４２ チップ間配線（チップ間配線層）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】