特許 7633048 真空蒸着装置用の蒸着源

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-10

(45)【発行日】2025-02-19

(54)【発明の名称】真空蒸着装置用の蒸着源

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20250212BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2021038763

(22)【出願日】2021-03-10

(65)【公開番号】P2022138718

(43)【公開日】2022-09-26

【審査請求日】2023-12-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110000305

【氏名又は名称】弁理士法人青莪

(72)【発明者】

【氏名】中村 寿充

(72)【発明者】

【氏名】小野田 淳吾

【審査官】宮崎 園子

(56)【参考文献】

【文献】特開平０３－０７５３１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０６５９５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１６０５６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／２３５１１８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－００１６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特公昭４６－００１２４６（ＪＰ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空チャンバ内に配置され、固体の蒸着物質を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源であって、蒸着物質が充填される収容箱と、収容箱内の蒸着物質の加熱を可能とする第１の加熱手段とを備えるものにおいて、
一部が加熱により収容箱内で融解した蒸着物質に浸漬されると共にその残余部が収容箱内から外方へと延出された気化体を更に備え、
気化体は、有底筒状の輪郭を有してその開口面側を先頭にして収容箱の上方から収容箱内に挿入されるメッシュ部材であって、収容箱への挿入状態でメッシュ部材の外面と収容箱の内側面との間の隙間が１００μｍ以下になるように構成したものであり、融解した蒸着物質が毛細管現象により残余部に浸透し、残余部のうち、メッシュ部材の底面をなす収容箱の上壁部と平行な部分に浸透した蒸着物質を加熱して気化させる第２の加熱手段を設けたことを特徴とする真空蒸着装置用の蒸着源。

【請求項2】

真空チャンバ内に配置され、固体の蒸着物質を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源であって、蒸着物質が充填される収容箱と、収容箱内の蒸着物質の加熱を可能とする第１の加熱手段とを備えるものにおいて、
一部が加熱により収容箱内で融解した蒸着物質に浸漬されると共にその残余部が収容箱内から外方へと延出された気化体を更に備え、
気化体は、シート状のメッシュ部材で構成され、メッシュ部材が、収容箱の内側面との間に１００μｍ以下の隙間を存して対向する第１部分と、収容箱内に充填される蒸着物質より上方に位置する第１部分の先端から屈曲されて収容箱の外方に向けてのびる第２部分と、第２部分から鉛直方向下方にのびる第３部分とを有して、融解した蒸着物質が毛細管現象により残余部に浸透するように構成され、第３部分に浸透した蒸着物質を加熱して気化させる第２の加熱手段を設けたことを特徴とする真空蒸着装置用の蒸着源。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空チャンバ内に配置され、固体の蒸着物質を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、有機ＥＬ素子の製造工程においては、真空雰囲気中で基板などの被蒸着物に対して、α－ＮＰＤや２－ＴＮＡＴＡといった固体の蒸着物質（有機材料）を蒸発させて被蒸着物表面に所定の薄膜を蒸着する工程があり、蒸着工程には、一般に、真空蒸着装置が利用される。このような真空蒸着装置に用いられる蒸着源は、例えば特許文献１で知られている。このものは、鉛直方向上面を開口した坩堝（収容箱）と、坩堝を加熱する加熱手段とを備える。加熱手段としては、誘導コイルを備える誘導加熱式のものが利用される（従来技術の欄、参照）。

【0003】

上記蒸着源を備える真空蒸着装置により被蒸着物表面に所定の薄膜を蒸着するのに際しては、坩堝内に例えば粉末状の蒸着物質を充填し、真空雰囲気の真空チャンバ内で誘導加熱コイルに交流電流を通電する。すると、坩堝に誘導電流（渦電流）が流れるときの抵抗損失により発生するジュール熱で、坩堝が加熱され、主として坩堝からの伝熱で坩堝内の蒸着物質が加熱され、坩堝内の蒸着物質が融解（液化）する。そして、蒸気圧に応じた所定温度まで加熱されると、融解した蒸着物質が気化する。このとき、坩堝の上面開口を臨むその液面からしか蒸着物質は気化しない。このため、坩堝内に充填された蒸着物質の上層部分が気化する温度に達するように坩堝全体を加熱すると、坩堝内の下層部分に存する蒸着物質に過剰な熱負荷が加わって蒸着物質が熱劣化（有機材料の場合、熱分解や熱変性等）するといった問題を招来する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１０－１５２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、以上の点に鑑み、収容箱内に充填した蒸着物質に過剰な熱負荷が加わることなく、効率よく蒸着物質を蒸発させることができるようにした真空蒸着装置用の蒸着源を提供することをその課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、真空チャンバ内に配置され、固体の蒸着物質を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための本発明の真空蒸着装置用の蒸着源は、蒸着物質が充填される収容箱と、収容箱内の蒸着物質の加熱を可能とする第１の加熱手段とを備え、一部が加熱により収容箱内で融解した蒸着物質に浸漬されると共にその残余部が収容箱内から外方へと延出された気化体を更に備え、気化体は、融解した蒸着物質が毛細管現象により残余部に浸透するように構成され、残余部に浸透した蒸着物質を加熱して気化させる第２の加熱手段を設けたことを特徴とする。

【0007】

本発明によれば、収容箱内に、例えば、粉末状の蒸着物質を所定の充填率で充填し、真空雰囲気中で収容箱を第１の加熱手段により所定温度（融解温度）に加熱すると、主として収容箱の壁面からの伝熱で収容箱内の蒸着物質が融解（液化）する。この液化した蒸着物質の一部は、毛細管現象により気化体の残余部へと浸透する。そして、この残余部へと浸透した蒸着物質が、第２の加熱手段により蒸気圧に応じた所定温度（気化温度）まで更に加熱されることで、気化する（なお、残余部へと浸透した蒸着物質を気化させていくと、残余部には、液化した蒸着物質が毛細管現象により順次浸透していくため、連続して蒸着することができる）。このように本発明では、蒸着物質を融解させる部分と蒸着物質を気化させる部分とにわけたことで、蒸着物質を融解させる部分としての収容箱内では、第１の加熱手段が、蒸着物質を融解させるのに必要な熱量を加えて保持するだけで済む。このため、蒸着物質に過剰な熱負荷が加わることが可及的に抑制され、しかも、第２の加熱手段を設けたことで、残余部に浸透した蒸着物質を加熱して効率よく気化させることができる。

【0008】

本発明において、前記気化体はメッシュ部材で構成され、前記収容箱の上壁部または前記収容箱内に充填される蒸着物質より上方に位置する収容箱の側壁部に、前記残余部の挿通を可能とする透孔が設けられる構成を採用することができる。メッシュ部材としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）、チタン、タンタル、タングステン、モリブデンやカーボンといった耐熱性を持つ材料製で且つ所定径を持つ線材またはこのような線材の複数本を撚ったものを例えば平織りし、または、線材を綾畳織りして線材間に細い空間（隙間）が形成されるようにしたものが利用できる。これにより、収容箱内で液化した蒸着物質の一部を毛細管現象により気化体の残余部へと浸透させる構成が実現できるばかりか、収容箱の加熱時に、収容箱の壁面からの輻射による加熱量が増加して、収容箱内の蒸着物質をより効率よく加熱することができる。ここで、上記従来例のものでは、蒸着物質の気化量を調整しようとする場合、加熱手段により坩堝（収容箱）に加える熱量を変化させて坩堝全体の温度を制御することになるが、坩堝の熱容量により蒸着物質の気化量を応答性よく調整することはできない。それに対して、本発明では、蒸着物質を気化させる部分の熱容量は、収容箱と比較して小さくできるため、応答性よく気化量を調整することができる。また、第２の加熱手段により加える熱量を低下させるだけで、蒸着物質の気化を停止できるため、例えば、真空チャンバ内で成膜済みの被成膜物と成膜前の被成膜物とを交換するような場合に、無駄に蒸着物質が消費されることを抑制でき、しかも、被成膜物に対する蒸着も速やかに再開することができる。

【0009】

また、本発明において、前記気化体の残余部は、前記収容箱の側壁部内面から隙間を存して配置される浸透部分と、収容箱外に位置して第２の加熱手段により加熱される気化部分とを含む構成を採用することができる。これによれば、収容箱内で融解した蒸着物質が毛細管現象により気化体に浸透する際に、この液化した蒸着物質が収容箱の側壁部内面と浸透部分との間の隙間に引き寄せられてせり上がることで、確実に気化部分へと液化した蒸着物質を浸透させることができる。なお、隙間の大きさは、毛細管現象を発現するものであれば、特に限定はないが、１００μｍ以下、より好ましくは６０μｍ以下に設定される。また、隙間は、その全体に亘って均等に設けられている必要はなく、例えば、部分的に（点）接触していてもよい。更に、被蒸着物が所定面積を持つ基板であるような場合、気化部分を平板状のものとして形成すれば、高い蒸着（成膜）レートで基板に蒸着でき、有利である。

【0010】

更に、本発明において、前記気化体の気化部分は、前記収容箱の上面より下方に向けてのびる部分を含むことが好ましい。これによれば、液化した蒸着物質を気化部分まで浸透させる際に、毛細管現象に重力が加わることで、より確実に気化部分へと液化した蒸着物質を浸透させることができ、有利である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施形態の蒸着源を備える真空蒸着装置を模式的に示す断面図。

【図2】本実施形態の蒸着源の拡大断面図。

【図3】図３（ａ）は、他の実施形態の蒸着源の拡大断面図であり、図３（ｂ）は、更に他の実施形態の蒸着源の拡大断面図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して、被蒸着物を矩形の輪郭を持つ所定厚さのガラス基板（以下、「基板Ｓｗ」という）、蒸着物質を加熱により蒸発（液相を経て気化）する固体の有機材料Ｍｓとし、基板Ｓｗの一方の面に所定の有機膜を蒸着する場合を例に本発明の真空蒸着装置用の蒸着源の実施形態を説明する。以下において、「上」、「下」といった方向を示す用語は、真空蒸着装置の設置姿勢で示す図１を基準にする。

【0013】

図１及び図２を参照して、本実施形態の蒸着源ＤＳ_１を備える真空蒸着装置Ｄｍは、真空チャンバ１を備え、真空チャンバ１には、特に図示して説明しないが、排気管を介して真空ポンプが接続され、所定圧力（真空度）に真空排気して真空雰囲気を形成することができる。また、真空チャンバ１の上部には基板搬送装置２が設けられている。基板搬送装置２は、成膜面としての下面を開放した状態で基板Ｓｗを保持するキャリア２１を有し、図外の駆動装置によってキャリア２１、ひいては基板Ｓｗを真空チャンバ１内の一方向に所定速度で搬送することができる。基板搬送装置２としては公知のものが利用できるため、これ以上の説明は省略する。

【0014】

基板搬送装置２によって搬送される基板Ｓｗと蒸着源ＤＳ_１との間には、板状のマスクプレート３が設けられている。本実施形態では、マスクプレート３は、基板Ｓｗと一体に取り付けられて基板Ｓｗと共に基板搬送装置２によって搬送される。なお、マスクプレート３は、真空チャンバ１に予め固定配置しておくこともできる。マスクプレート３には、板厚方向に貫通する複数の開口３１が形成され、これら開口３１がない位置にて、蒸発した有機材料Ｍｖの基板Ｓｗに対する蒸着範囲が制限されることで所定のパターンで基板Ｓｗに成膜（蒸着）されるようになっている。マスクプレート３としては、インバー、アルミ、アルミナやステンレス等の金属製の他、ポリイミド等の樹脂製のものが用いられる。そして、真空チャンバ１の底面には、基板Ｓｗに対向させて本実施形態の蒸着源ＤＳ_１が設けられている。

【0015】

蒸着源ＤＳ_１は、有機材料Ｍｓが充填される円柱状の収容箱４を有する。収容箱４は、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）、チタン、タンタル、タングステン、モリブデンやカーボンといった熱伝導が良く、高融点の（耐熱性を有する）材料から形成されている。この場合、収容箱４の上壁部４１は、上面を開口した収容箱４の本体４２に着脱自在に装着することができる。なお、収容箱４の形状はこれに限定されるものではなく、例えば、直方体状のものも利用できる。収容箱４には、気化体としてのメッシュ部材５が設けられている。メッシュ部材５は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）、チタン、タンタル、タングステン、モリブデンやカーボンといった耐熱性を持つ材料製で且つ所定径（例えば、Φ０．０１５ｍｍ～Φ０．４５ｍｍの範囲）を持つ線材５１またはこのような線材５１の複数本を撚って所定径としたものを綾畳織り（１５０～３６００メッシュの範囲）することで、線材５１間に細い空間５２（隙間）がその全面に亘って形成されたシート状のものを有底円筒状の輪郭に成形したものである（図１中の拡大図参照）。

【0016】

メッシュ部材５は、その開口面側を先頭にして収容箱４の上方から収容箱４内に挿入し、その先端（下端）を収容箱４の下面４２ａに当接させて設置される。この場合、例えば、収容箱４の下面４２ａに凹溝（図示せず）を形成し、凹溝にメッシュ部材５の下端部を圧入して固定するようにしてもよい。また、上壁部４１には、メッシュ部材５の孔軸を中心とする仮想円周上に沿って透孔としてのスリット孔４１ａが設けられ、メッシュ部材５の外周面を挿通できるようにしている。メッシュ部材５の外径は、メッシュ部材５の外周面がその全面に亘って且つ所定の隙間Ｄ１を存して収容箱４の内側面４２ｂに対向するように設定されている。隙間Ｄ１の大きさは、この隙間Ｄ１により毛細管現象を発現するものであれば、特に限定はないが、１００μｍ以下、より好ましくは６０μｍ以下に設定される。なお、隙間Ｄ１は、その全体に亘って均等である必要はなく、部分的に（点）接触していてもよい。例えば、メッシュ部材５を構成する線材５１の径やその織り方によっては、メッシュ部材５を収容箱４に内嵌して、収容箱４の内側面４２ｂに接触する線材相互の間に上下方向にのびる複数の隙間が形成されるようなものでもよい。

【0017】

収容箱４へのメッシュ部材５の設置状態では、所定の充填率で充填された収容箱４内の固体の有機材料Ｍｓを融解させると、図２に示すように、メッシュ部材５の一部が、液化した有機材料Ｍｌに浸漬され、これが浸漬部分５ａとなる。そして、液化した有機材料Ｍｌの液面より上方に位置して収容箱４内から外方へと延出するメッシュ部材５の残余部のうち、メッシュ部材５の外周面に相当する部分は、毛細管現象により、液化した有機材料Ｍｌが浸透する浸透部分５ｂとなり、この浸透部分５ｂに連なる、収容箱４の上壁部４１と平行な底面部分が、後述の第２加熱手段で加熱される気化部分５ｃとなる。

【0018】

また、蒸着源ＤＳ_１は、収容箱４の周囲を覆うようにして設けられる第１の加熱手段６ａと、収容箱４の上壁部４１と気化部分５ｃとの間に配置される第２の加熱手段６ｂとを備える。第１及び第２の各加熱手段６ａ，６ｂとしては、シースヒータやランプヒータ等の公知のものが利用できる。また、誘導加熱式で収容箱４を加熱する誘導加熱コイルで各加熱手段６ａ，６ｂを構成することができる。本実施形態の蒸着源ＤＳ_１での蒸着に用いられる有機材料Ｍｓとしては、α－ＮＰＤやＢＡＨＩ８などが挙げられる。

【0019】

上記蒸着源ＤＳ_１を用いて基板Ｓｗに有機材料Ｍｓを蒸着する場合、大気雰囲気中にて収容箱４内に固体の有機材料Ｍｓを所定の充填率で充填する（図１参照）。そして、真空チャンバ１内を真空排気し、第１の加熱手段６ａにより収容箱４を加熱すると、主として収容箱４の壁面からの伝熱で固体の有機材料Ｍｓが融解して液化する。この場合、収容箱４が上壁部４１を備えることで、第１の加熱手段６ａにより収容箱４を加熱すると、収容箱４の上壁部４１も加熱され、ここからの輻射熱でも固体の有機材料Ｍｓが加熱される。

【0020】

液化した有機材料Ｍｌの一部は、毛細管現象により収容箱４の内側面４２ｂと、メッシュ部材５の浸透部分５ｂとの間の隙間Ｄ１に引き寄せられて上方にせり上がる。これに加えて、液化した有機材料Ｍｌは、メッシュ部材５の残余部５ｂ，５ｃにも毛細管現象により浸透し、このとき、液化した有機材料Ｍｌの一部が隙間Ｄ１を上方にせり上がるのに伴ってより強い毛細管現象が発現することで、液化した有機材料Ｍｌは、気化部分５ｃまで確実に浸透する。そして、液化した有機材料Ｍｌが浸透した気化部分５ｃが第２の加熱手段６ｂにより蒸気圧に応じて所定温度に加熱されることで、気化部分５ｃの有機材料Ｍｌが気化する。これにより、気化部分５ｃから気化した有機材料Ｍｖが基板Ｓｗに向けて飛散されて付着、堆積することで、基板Ｓｗ表面に所定の薄膜が成膜される（なお、気化部分５ｃへと浸透した有機材料Ｍｌを気化させていくと、気化部分５ｃには、液化した有機材料Ｍｌが毛細管現象により順次浸透していくため、連続して蒸着することができる）。

【0021】

以上の実施形態によれば、収容箱４内で固体の有機材料Ｍｓを融解させる部分と、収容箱４外で、液化した有機材料Ｍｌを気化させる部分とにわけたことで、有機材料Ｍｓを融解させる部分としての収容箱４内では、第１の加熱手段６ａが、有機材料Ｍｓを融解させるのに必要な熱量を加えて保持するだけで済む。このため、有機材料Ｍｓに過剰な熱負荷が加わることが可及的に抑制され、しかも、第２の加熱手段６ｂを設けたことで、残余部としての気化部分５ｃに浸透した有機材料Ｍｌを加熱して効率よく気化させることができる。また、有機材料Ｍｌを気化させる気化部分５ｃの熱容量は、収容箱４と比較して小さいため、応答性よく気化量を調整することができ、しかも、第２の加熱手段６ｂにより加える熱量を低下させるだけで、有機材料Ｍｌの気化を停止できるため、例えば、真空チャンバ１内で成膜済みの基板Ｓｗと成膜前の基板Ｓｗとを交換するような場合に、無駄に有機材料Ｍｌが消費されることを抑制できる一方で、第２の加熱手段６ｂにより気化部分５ｃに加える熱量を増加させるだけで、基板Ｓｗに対する蒸着も速やかに再開することができる。

【0022】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術思想の範囲を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、気化体として、線材５１を綾畳織りしてなるメッシュ部材５を例に説明したが、液化した有機材料Ｍｌから収容箱４内の空間に露出した残余部５ｂ，５ｃにこの液化した有機材料Ｍｌを毛細管現象により浸透させることができるものであれば、これに限定されるものではない。例えば、上記線材５１を平織りしたものや、平織りしたものを２枚以上重ねて構成することもできる。また、上記実施形態では、収容箱４の内側面４２ｂを利用し、この内側面４２ｂに対応させて円筒状に成形したメッシュ部材５を設けるものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、収容箱４の下面４２ａにステンレス製の平板を立設し、この立設した平板を収容箱４の内面にみたて、平板に所定の隙間Ｄ１を介してシート状のメッシュ部材を設けるようにしてもよい。また、上記実施形態では、メッシュ部材５を収容箱４の内側面４２ｂに対応させて成形し、収容箱４の内側面４２ｂ全面に亘ってメッシュ部材５の外表面が対向するようにしているが、これに限定されるものではない。例えば、シート状のものを円弧状に湾曲させて、収容箱４の内側面４２ｂに部分的に対向させ、または、このように湾曲させたものを複数枚設置するようにしてもよい。

【0023】

更に、上記実施形態では、気化体５の気化部分５ｃを収容箱４の上壁部４１より上方に位置させ、所謂デポアップ式で蒸着するものを例に説明したが、これに限定されるものではない。同一の部材、要素に同一の符号を付した図３（ａ）を参照して、他の実施形態の蒸着源ＤＳ_２は、箱状の収容箱４０を備え、その側壁部４０ａには、メッシュ部材５０の挿通を可能とする透孔４０ｂが形成されている。メッシュ部材５０は、上記実施形態と同様、線材５１間に細い空間５２（隙間）がその全面に亘って形成されたシート状のもので構成され、収容箱４０の側壁部４０ａに所定の隙間Ｄ１を存して対向する第１部分５０ａと、第１部分５０ａの先端から略直角に屈曲されて透孔４０ｂを挿通する、収容箱４０の上壁部（図示せず）に平行にのびる第２部分５０ｂと、第２部分５０ｂから鉛直方向斜め下方にのびる第３部分５０ｃとで構成される。第３部分５０ｃと収容箱４０の側壁部４０ａとの間には、第２の加熱手段６ｂが配置され、気化部分としての第３部分５０ｃを加熱できるようにしている。この場合、第２の加熱手段６ｂは、収容箱４０を加熱する第１の加熱手段６ａで兼用することもできる。また、基板Ｓｗは、起立させた姿勢で搬送され、第３部分５０ｃに対向する面が蒸着面となる。

【0024】

以上の実施形態によれば、上記実施形態と同様に、液化した有機材料Ｍｌの一部が毛細管現象により第２部分５０ｂを経て第３部分５０ｃへと浸透し、液化した有機材料Ｍｌが浸透した第３部分５０ｃが第２の加熱手段６ｂにより蒸気圧に応じて所定温度に加熱されることで、有機材料Ｍｌが気化する。このとき、第３部分５０ｃは、収容箱４０の上面より下方に向けてのびる部分（言い換えると、水平線より下方に向けてのびる部分）を含むことで、液化した有機材料Ｍｌを第３部分５０ｃまで浸透させる際に、毛細管現象に重力が加わることで、より確実に第３部分５０ｃへと液化した有機材料Ｍｌを浸透させることができ、有利である。

【0025】

また、図３（ｂ）を参照して、更に他の実施形態の蒸着源ＤＳ_３は、２個の箱状の収容箱４００ａ，４００ｂを備え、各収容箱４００ａ，４００ｂの側壁部４０１ａ，４０１ｂには、メッシュ部材５００_１，５００_２の挿通を可能とする透孔４０２ａ，４０２ｂが形成されている。各メッシュ部材５００_１，５００_２は、上記実施形態と同様、線材５１間に細い空間５２（隙間）がその全面に亘って形成されたシート状のもので構成され、各収容箱４００ａ，４００ｂの側壁部４０１ａ，４０１ｂに所定の隙間Ｄ１を存して対向する第１部分５００ａと、第１部分５００ａの先端から略直角に屈曲されて透孔４０２ａ，４０２ｂを挿通する、収容箱４００ａ，４００ｂの上壁部（図示せず）に平行にのびる第２部分５００ｂと、第２部分５００ｂから鉛直方向斜め下方にのびて互いに連結された、収容箱４００ａ，４００ｂの底壁部４０３ａ，４０３ｂに平行な第３部分５００ｃとで構成される。底壁部４０３ａ，４０３ｂに平行な第３部分５００ｃの上方には、第２の加熱手段６ｂが配置され、気化部分としての第３部分５００ｃを加熱できるようにしている。この場合、基板Ｓｗは、その蒸着面を上方に向けた姿勢で、収容箱４００ａ，４００ｂの下方を搬送される。

【符号の説明】

【0026】

ＤＳ_１，ＤＳ_２，ＤＳ_３…真空蒸着装置用の蒸着源、Ｄｍ…真空蒸着装置、Ｍｓ…固体の有機材料（蒸着物質）、Ｍｌ…融解した有機材料（蒸着物質）、Ｓｗ…基板（被蒸着物）、１…真空チャンバ、４，４０，４００ａ，４００ｂ…収容箱、４０ａ，４０１ａ，４０１ｂ…収容箱の側壁部、４０ｂ，４０２ａ，４０２ｂ…透孔、４１…収容箱の上壁部、４１ａ…スリット孔（透孔）、５，５０，５００_１，５００_２…メッシュ部材（気化体）、Ｄ１…隙間、５ａ…浸漬部分（気化体の一部分），５ｂ…浸透部分（気化体の残余部の一部分）、５ｃ…気化部分（気化体の残余部の一部分）、５０ａ，５００ａ…第１部分（気化体の浸漬部分）、５０ｂ，５００ｂ…第２部分（気化体の浸透部分）、５０ｃ，５００ｃ…第３部分（気化体の気化部分）、６ａ…第１の加熱手段、６ｂ…第２の加熱手段。

【図1】

【図2】

【図3】