特許 7636281 板状ワークを吸引保持するチャックテーブル、チャックテーブルを備える加工装置、及び加工装置を用いた板状ワークの加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-17

(45)【発行日】2025-02-26

(54)【発明の名称】板状ワークを吸引保持するチャックテーブル、チャックテーブルを備える加工装置、及び加工装置を用いた板状ワークの加工方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 41/06 20120101AFI20250218BHJP

   B24B 55/06 20060101ALI20250218BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20250218BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20250218BHJP

【ＦＩ】

B24B41/06 L

B24B55/06

B24B7/04 A

H01L21/304 631

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021111391

(22)【出願日】2021-07-05

(65)【公開番号】P2023008104

(43)【公開日】2023-01-19

【審査請求日】2024-05-24

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山中 聡

【審査官】大屋 静男

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－０６８８７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２０４８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１６０７００（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／００５３８２２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｑ ３／０８

Ｂ２４Ｂ ７／０４、４１／０６、５５／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４、２１／６８、２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

中央部分よりも外周が反り上がっている板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルであって、
中央に開口を有する平面視環状で板状の弾性板部材と、該保持面の中心に該弾性板部材の開口の中心を一致させ該弾性板部材の外周部分を該保持面より上に飛び出させ該弾性板部材の内周部分を該保持面より下で把持する弾性板部材把持部と、該保持面の外周より外側に配置され該保持面より上に飛び出ている該弾性板部材の外周部分の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口と、を備え、
該弾性板部材吸引口が該弾性板部材の下面を吸引して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げることが可能なチャックテーブル。

【請求項2】

中央部分よりも外周が反り上がっている板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルであって、
中央に開口を有する平面視環状で板状の弾性板部材と、該保持面の中心に該弾性板部材の開口の中心を一致させ該弾性板部材の内周部分を該保持面より上に飛び出させ該弾性板部材の外周部分を該保持面より下で把持する弾性板部材把持部と、該保持面の外周より外側に配置され該保持面より上に飛び出ている該弾性板部材の内周部分の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口と、を備え、
該弾性板部材吸引口が該弾性板部材の下面を吸引して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げることが可能なチャックテーブル。

【請求項3】

請求項１、又は請求項２記載のチャックテーブルの保持面で板状ワークを吸引保持して加工する加工装置であって、
該保持面を洗浄する洗浄機構と、該保持面を第１吸引源に連通させる保持面吸引路と、前記弾性板部材吸引口を第２吸引源に連通させる弾性板部材吸引路と、を備え、
該弾性板部材吸引口が該弾性板部材の下面を吸引して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げた状態で、該洗浄機構が該保持面を洗浄する加工装置。

【請求項4】

請求項３記載の加工装置を用いた板状ワークの加工方法であって、
前記弾性板部材吸引口を前記第２吸引源に連通させないで前記保持面を前記第１吸引源に連通させ該保持面が該板状ワークを吸引保持する保持工程と、
該保持工程の後、保持された該板状ワークを加工する加工工程と、
加工された該板状ワークを該保持面から離間させる離間工程と、
該保持面から該板状ワークを離間する前に、該弾性板部材吸引口を該第２吸引源に連通させ前記弾性板部材を吸引保持する弾性板部材吸引工程と、
該保持面から該板状ワークを離間させた後、該弾性板部材吸引口で該弾性板部材の下面を吸引保持して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げた状態で、該保持面を洗浄する洗浄工程と、からなる板状ワークの加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブル、チャックテーブルを備える加工装置、及び加工装置を用いた板状ワークの加工方法に関する。

【背景技術】

【0002】

研削装置は、研削砥石でチャックテーブルの保持面が保持した板状ワークを研削している。板状ワークは、例えば、基板の上面の中央に樹脂の層を形成していて、樹脂の外側に基板がはみ出したはみ出し部を備えており、基板は、樹脂の硬化時の収縮等によって外周部分が反り上がっている。

【0003】

このような板状ワークを保持面で吸引保持する際には、搬送機構で板状ワークを保持面に押し付けて保持面に板状ワークの反った外周部分も倣わせてから、保持面を吸引源に連通させて板状ワークを吸引保持している。

【0004】

そして、チャックテーブルは、例えば特許文献１に開示されているように、板状ワークの下面の外周部分に環状のスポンジを接触させ外周部分のバキュームリークを防止している。そして、ワーク研削後、保持面から板状ワークを離間させた後、保持面をブラシ洗浄（スポンジ洗浄）、又は二流体洗浄している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１８－２０７０３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

板状ワークを吸引保持していないチャックテーブルは、保持面より上にスポンジの上部が飛び出ている。そのため、保持面を洗浄する際は、保持面の周りがスポンジで囲われている状態になっており、加工屑が保持面上から流下しにくく、保持面上に留まってしまうという問題が有る。そして、保持面に加工屑が残ると、次に保持面が保持する板状ワークの下面と保持面との間に加工屑が挟まるので、板状ワークの研削した樹脂が均一な厚みにならなくなるという問題が有る。

【0007】

よって、反りがある板状ワークを保持面に保持させ例えば研削砥石で研削する加工装置においては、洗浄した保持面に加工屑が残っていないようにするという解決すべき課題がある。
また、保持面の洗浄が容易なチャックテーブルを加工装置に配設するという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するための本発明は、中央部分よりも外周が反り上がっている板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルであって、中央に開口を有する平面視環状で板状の弾性板部材と、該保持面の中心に該弾性板部材の開口の中心を一致させ該弾性板部材の外周部分を該保持面より上に飛び出させ該弾性板部材の内周部分を該保持面より下で把持する弾性板部材把持部と、該保持面の外周より外側に配置され該保持面より上に飛び出ている該弾性板部材の外周部分の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口と、を備え、該弾性板部材吸引口が該弾性板部材の下面を吸引して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げることが可能なチャックテーブルである。

【0009】

また、上記課題を解決するための本発明は、中央部分よりも外周が反り上がっている板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルであって、中央に開口を有する平面視環状で板状の弾性板部材と、該保持面の中心に該弾性板部材の開口の中心を一致させ該弾性板部材の内周部分を該保持面より上に飛び出させ該弾性板部材の外周部分を該保持面より下で把持する弾性板部材把持部と、該保持面の外周より外側に配置され該保持面より上に飛び出ている該弾性板部材の内周部分の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口と、を備え、該弾性板部材吸引口が該弾性板部材の下面を吸引して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げることが可能なチャックテーブルである。

【0010】

また、上記課題を解決するための本発明は、前記チャックテーブルの保持面で板状ワークを吸引保持して加工する加工装置であって、該保持面を洗浄する洗浄機構と、該保持面を第１吸引源に連通させる保持面吸引路と、前記弾性板部材吸引口を第２吸引源に連通させる弾性板部材吸引路と、を備え、該弾性板部材吸引口が該弾性板部材の下面を吸引して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げた状態で、該洗浄機構が該保持面を洗浄する加工装置である。

【0011】

また、上記課題を解決するための本発明は、前記加工装置を用いた板状ワークの加工方法であって、前記弾性板部材吸引口を前記第２吸引源に連通させないで前記保持面を前記第１吸引源に連通させ該保持面が該板状ワークを吸引保持する保持工程と、該保持工程の後、保持された該板状ワークを加工する加工工程と、加工された該板状ワークを該保持面から離間させる離間工程と、該保持面から該板状ワークを離間する前に、該弾性板部材吸引口を該第２吸引源に連通させ前記弾性板部材を吸引保持する弾性板部材吸引工程と、該保持面から該板状ワークを離間させた後、該弾性板部材吸引口で該弾性板部材の下面を吸引保持して、該弾性板部材を該保持面以下の位置に引き下げた状態で、該保持面を洗浄する洗浄工程と、からなる板状ワークの加工方法である。

【発明の効果】

【0012】

中央部分よりも外周が反り上がっている板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する本発明に係るチャックテーブルは、中央に開口を有する平面視環状で板状の弾性板部材と、保持面の中心に弾性板部材の開口の中心を一致させ弾性板部材の外周部分を保持面より上に飛び出させ弾性板部材の内周部分を保持面より下で把持する弾性板部材把持部と、保持面の外周より外側に配置され保持面より上に飛び出ている弾性板部材の外周部分の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口と、を備えていることで、保持面洗浄を行うにあたって、弾性板部材吸引口が弾性板部材の下面を吸引して、弾性板部材を保持面以下の位置に引き下げることが可能になり、反りがある板状ワークを保持面にバキュームリーク無く吸引保持させることと、保持面を洗浄した後に保持面に加工屑が残っていない状態にすることとを達成できる。

【0013】

中央部分よりも外周が反り上がっている板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する本発明に係るチャックテーブルは、中央に開口を有する平面視環状で板状の弾性板部材と、保持面の中心に弾性板部材の開口の中心を一致させ弾性板部材の内周部分を保持面より上に飛び出させ弾性板部材の外周部分を保持面より下で把持する弾性板部材把持部と、保持面の外周より外側に配置され保持面より上に飛び出ている弾性板部材の内周部分の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口と、を備えていることで、保持面洗浄を行うにあたって、弾性板部材吸引口が弾性板部材の下面を吸引して、弾性板部材を保持面以下の位置に引き下げることが可能になり、反りがある板状ワークを保持面にバキュームリーク無く吸引保持させることと、保持面を洗浄した後に保持面に加工屑が残っていない状態にすることとを達成できる。

【0014】

また、前記チャックテーブルの保持面で板状ワークを吸引保持して加工する本発明に係る加工装置は、保持面を洗浄する洗浄機構と、保持面を第１吸引源に連通させる保持面吸引路と、弾性板部材吸引口を第２吸引源に連通させる弾性板部材吸引路と、を備えていることで、弾性板部材吸引口が弾性板部材の下面を吸引して、弾性板部材を保持面以下の位置に引き下げた状態で、洗浄機構が保持面を洗浄することが可能となるので、保持面を洗浄した後に保持面に加工屑が残っていない状態にすることができる。

【0015】

また、前記加工装置を用いた本発明に係る板状ワークの加工方法は、弾性板部材吸引口を第２吸引源に連通させないで保持面を第１吸引源に連通させ保持面が板状ワークを吸引保持する保持工程と、保持工程の後、保持された板状ワークを加工する加工工程と、加工された板状ワークを保持面から離間させる離間工程と、保持面から板状ワークを離間する前に、弾性板部材吸引口を第２吸引源に連通させ弾性板部材を吸引保持する弾性板部材吸引工程と、保持面から板状ワークを離間させた後、弾性板部材吸引口で弾性板部材の下面を吸引保持して、弾性板部材を保持面以下の位置に引き下げた状態で、保持面を洗浄する洗浄工程と、からなることで、反りがある板状ワークを保持面にバキュームリーク無く吸引保持させて加工を施すことができ、また、保持面を洗浄した後に保持面に加工屑が残っていない状態にすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】研削装置の一例を示す斜視図である。

【図2】搬送ユニット、板状ワーク、及び実施形態１のチャックテーブルを示す断面図である。

【図3】洗浄機構を構成する洗浄ブラシの一例を示す斜視図である。

【図4】保持工程において、実施形態１のチャックテーブルの保持面に板状ワークを吸引保持した状態を説明する断面図である。

【図5】洗浄工程において、実施形態１のチャックテーブルの保持面を洗浄スポンジで洗浄している状態を説明する断面図である。

【図6】洗浄工程において、実施形態１のチャックテーブルの保持面を洗浄ブラシで洗浄している状態を説明する断面図である。

【図7】搬送ユニット、板状ワーク、及び実施形態２のチャックテーブルを示す断面図である。

【図8】実施形態２のチャックテーブルにおける弾性板部材把持部、及び弾性板部材の別例を示す部分断面図である。

【図9】保持工程において、実施形態２のチャックテーブルの保持面に板状ワークを吸引保持した状態を説明する断面図である。

【図10】洗浄工程において、実施形態２のチャックテーブルの保持面を洗浄ブラシで洗浄している状態を説明する断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

図１に示す加工装置は、チャックテーブル３（以下、実施形態１のチャックテーブル３とする）上に吸引保持された板状ワーク９を研削ユニット１６によって研削加工する研削装置１であり、研削装置１の装置ベース１０上の前方（－Ｙ方向側）は、チャックテーブル３に対して板状ワーク９の着脱が行われる着脱領域であり、装置ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削ユニット１６によってチャックテーブル３上に保持された板状ワーク９の研削加工が行われる加工領域である。
なお、本発明に係る加工装置は、研削装置１のような研削ユニット１６が１軸の加工装置に限定されるものではなく、粗研削ユニットと仕上げ研削ユニットとを備え、回転するターンテーブルで板状ワーク９を粗研削ユニット又は仕上げ研削ユニットの下方に位置づけ可能な２軸以上の研削装置等であってもよい。
なお、本発明に係る加工装置は、研磨パッドで板状ワーク９を研磨する研磨装置、切削ブレードで板状ワーク９をダイシングする切削装置、または、旋削バイトで板状ワーク９を旋削するバイト加工装置であってもよい。

【0018】

図１、図２に示す板状ワーク９は、例えば、ＰＣＢ等からなる矩形の基板９０の上面の中央領域に等間隔にＩＣチップが配置されており、該ＩＣチップを含めて基板９０の上面が樹脂９２（例えば、エポキシ樹脂）によってモールドされている。そして、該モールドされた樹脂９２の収縮力等によって、全体が平面視矩形状の板状ワーク９は外周部分９０５における反りを有している。図２に示すように、板状ワーク９の外周部分９０５における反りは、例えば板状ワーク９の吸引保持される下面９０２の中央部分９０４から外周部分９０５に向かって徐々に高くなっていくような反りである。そして、板状ワーク９の樹脂９２の上面９２０が研削される被研削面となる。また、樹脂９２からはみ出した外周部分９０５は、後に主に不要になる端材部分となる。
なお、板状ワーク９は本例に限定されるものではなく、平面視円形のシリコンウェーハ等であってもよいし、樹脂９２でＩＣチップがモールドされていないワークであってもよい。また、板状ワーク９の下面９０２には、図示しない保護テープが貼着されていてもよい。

【0019】

図１、図２に示す実施形態１のチャックテーブル３は、板状ワーク９の下面９０２の面積より例えば狭い面積の保持面３４２を備えるポーラス部３４を備えている。ポーラス部３４の上面である保持面３４２は、例えば、矩形の板状ワーク９に合わせて平面視矩形に形成されている。なお、保持面３４２は、円形の板状ワークに合わせて平面視円形に形成されていてもよい。

【0020】

図１に示すように、チャックテーブル３は、例えば平面視円形のテーブル枠体３１を備えており、該テーブル枠体３１の上面に形成された平面視矩形で凹状の図２に示す収容部３１１にポーラス部３４がはめ込むようにして配設されている。例えば、ポーラス部３４は収容部３１１の底面に接着固定されており、テーブル枠体３１の上面と保持面３４２とは面一となっている。
なお、チャックテーブル３は、ポーラス部３４の代わりに、吸引溝が上面に形成された吸着部を備えていてもよい。

【0021】

図２に示すように、収容部３１１の底面には、チャックテーブル３の中心を中心として同心円状及び放射状に吸引溝３１３が形成されている。さらに、吸引溝３１３からテーブル枠体３１の下面、さらに該下面から図示しない回転軸にかけては、保持面吸引路２１を構成する内部吸引路２１０が形成されている。図２に示すように、該内部吸引路２１０は、さらに図示しないロータリージョイント等を介して、保持面吸引路２１を構成する外部の吸引配管２１４を介して、真空発生装置等の第１吸引源２９に連通している。
例えば、保持面吸引路２１を構成する該吸引配管２１４には、保持面吸引路２１を開閉して第１吸引源２９と保持面３４２との連通と非連通とを切り換えるソレノイドバルブ等の保持面吸引弁２１９が配設されている。

【0022】

本発明に係るチャックテーブル３は、中央に開口３５０を有する平面視環状で板状の板スポンジ３５と、保持面３４２の中心に板スポンジ３５の開口３５０の中心を一致させ板スポンジ３５の外周部分３５７を保持面３４２より上に飛び出させ板スポンジ３５の内周部分３５４を保持面３４２より下で把持する弾性板部材把持部３６（以下、本実施形態においてはスポンジ把持部３６とする）と、保持面３４２の外周より外側に配置され保持面３４２より上に飛び出ている板スポンジ３５の外周部分３５７の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口３２（以下、本実施形態においてはスポンジ吸引口３２とする）と、を備えている。

【0023】

図２に示す実施形態１のチャックテーブル３におけるスポンジ把持部３６は、例えば、テーブル枠体３１の上面の収容部３１１の周囲に形成されたクランプ嵌め溝３６０と、クランプ嵌め溝３６０の外側周囲に形成されたスポンジ載置溝３６２と、平面視矩形環状の固定クランプ３６４とを備えている。

【0024】

図２に示すスポンジ載置溝３６２は、例えば、平面視四角環状にテーブル枠体３１の上面を切り欠いて形成されており、その溝底は外周側の領域が平坦となっており、内周側の領域がクランプ嵌め溝３６０に向かって低くなるように傾斜している。

【0025】

平面視四角環状に形成された図２に示す固定クランプ３６４は、例えば、クランプ嵌め溝３６０に挿し込まれる環筒部３６９と、環筒部３６９の上端側においてチャックテーブル３の外側に向かって略水平に延出されたフランジ部３６８と、を備えている。そして、フランジ部３６８の下面とスポンジ載置溝３６２の底の傾斜している領域とによって、スポンジ載置溝３６２に載置された板スポンジ３５の内周部分３５４を保持面３４２よりも下の位置で上下両側から把持できる。そして、スポンジ載置溝３６２の底の傾斜している領域に載置され把持された板スポンジ３５は内側から外側に向かって高くなっていくように傾斜して、保持面３０２よりも上に飛び出した板スポンジ３５の外周部分３５７の下面とスポンジ載置溝３６２の底の平坦な領域との間には所定の隙間３６６が形成される。
また、図２に示す固定クランプ３６４は、テーブル枠体３１にボルト固定され、その平坦な上面は例えば保持面３４２、及びテーブル枠体３１の上面と面一になる。

【0026】

平面視四角環状に形成された図１、図２に示す弾性板部材の一例である板スポンジ３５は、例えば、ウレタンフォーム、又はシリコンスポンジ等の単独気泡スポンジである。なお、連泡スポンジであってもよい。また、弾性板部材は、ゴム板であってもよい。
図２に示すスポンジ載置溝３６２に載置された状態で固定クランプ３６４によって固定された板スポンジ３５の厚みは、図２に示すように、板スポンジ３５に板状ワーク９からの外力が付与されていない自然体の状態においては、ポーラス部３４の保持面３４２よりも板スポンジ３５の外周部分３５７が高い位置になり保持面３４２によりも上に飛び出るように設定されている。そして、板スポンジ３５は、外周部分３５７が－Ｚ方向の外力が加えられて隙間３６６に収容されるように変形した場合に、その上面３５１が保持面３４２と面一になる。

【0027】

図２に示すスポンジ載置溝３６２の底の平坦な領域に開口するスポンジ吸引口３２は、本実施形態においては、例えば、チャックテーブル３の保持面３４２の中心を中心としてＸ軸方向、及びＹ軸方向においてそれぞれ等間隔を空けて複数形成された丸穴であるが、これに限定されず、１本の四角環状に形成されたスポンジ吸引口であってもよい。

【0028】

図２に示すスポンジ吸引口３２からテーブル枠体３１の下面、さらに該下面から図示しない回転軸にかけては、弾性板部材吸引路２４（以下、本実施形態においてはスポンジ吸引路２４とする）を構成する内部吸引路２４０が形成されている。該内部吸引路２４０は、さらに図示しないロータリージョイント等を介して、スポンジ吸引路２４を構成する外部の吸引配管２４４を介して真空発生装置等の第２吸引源２６に連通している。
例えば、吸引配管２４４には、スポンジ吸引路２４を開閉して第２吸引源２６とスポンジ吸引口３２との連通と非連通とを切り換えるソレノイドバルブ等のスポンジ吸引弁２４７が配設されている。
なお、第１吸引源２９と第２吸引源２６とは一つの吸引源であり、弁の開閉によって、例えばスポンジ吸引路２４に吸引力が伝達されず、かつ保持面吸引路２１には吸引力が伝達されるように切り換え可能となっていてもよい。

【0029】

図１に示すように、チャックテーブル３は、カバー１８によって周囲から囲まれつつ軸方向がＺ軸方向（鉛直方向）である回転軸を軸に回転可能であり、また、カバー１８及びカバー１８に連結されＹ軸方向に伸縮する蛇腹カバー１８０の下方に配設された図示しないＹ軸移動機構によって、装置ベース１０上をＹ軸方向に往復移動可能である。図示しないＹ軸移動機構は、ボールネジ等からなる電動スライダーである。

【0030】

図１に示すように、加工領域には、コラム１１が立設されており、コラム１１の－Ｙ方向側の前面には研削ユニット１６をチャックテーブル３に対して離間又は接近する鉛直方向（Ｚ軸方向）に研削送りする研削送りユニット１７が配設されている。研削送りユニット１７は、軸方向がＺ軸方向であるボールネジ１７０と、ボールネジ１７０と平行に配設された一対のガイドレール１７１と、ボールネジ１７０の上端に連結しボールネジ１７０を回動させる昇降モータ１７２と、内部のナットがボールネジ１７０に螺合し側部がガイドレール１７１に摺接する昇降板１７３とを備えており、昇降モータ１７２がボールネジ１７０を回動させると、これに伴い昇降板１７３がガイドレール１７１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板１７３に固定された研削ユニット１６がＺ軸方向に研削送りされる。

【0031】

チャックテーブル３に保持された板状ワーク９を研削する研削ユニット１６は、軸方向がＺ軸方向である回転軸１６０と、回転軸１６０を回転可能に支持するハウジング１６１と、回転軸１６０を回転駆動するモータ１６２と、回転軸１６０の下端に接続された円環状のマウント１６３と、マウント１６３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール１６４と、ハウジング１６１を支持し研削送りユニット１７の昇降板１７３に固定されたホルダ１６５とを備える。

【0032】

研削ホイール１６４は、ホイール基台１６４１と、ホイール基台１６４１の底面に環状に配置された略直方体形状の複数の研削砥石１６４２とを備える。研削砥石１６４２は、例えば、レジンボンドやメタルボンド等でダイヤモンド砥粒等が固着されて成形されている。

【0033】

回転軸１６０の内部には、研削水供給源に連通し研削水の通り道となる図示しない流路が、回転軸１６０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられており、該図示しない流路は、さらにマウント１６３を通り、ホイール基台１６４１の底面において研削砥石１６４２に向かって研削水を噴出できるように開口している。

【0034】

図１に示すように、例えば、装置ベース１０上の着脱領域におけるチャックテーブル３の移動経路脇となる位置には、チャックテーブル３の保持面３４２上に板状ワーク９を搬入する、又は保持面３４２から板状ワーク９を搬出する搬送ユニット４が配設されている。

【0035】

搬送ユニット４は、装置ベース１０上に配設された電動シリンダ又はエアシリンダ等の昇降機構４０と、昇降機構４０の図示しない昇降ロッドの上端側に後端側が取り付けられチャックテーブル３の移動経路上方まで水平に延在するアーム部４１と、アーム部４１の先端下面に取り付けられた保持パッド４４と、を備えている。

【0036】

昇降機構４０によってＺ軸方向に昇降可能であり、Ｚ軸方向においてチャックテーブル３の保持面３４２の中心と中心を合致させて正対可能な保持パッド４４は、その下面がポーラス部材等からなる吸引面４４３となっており、吸引面４４３には、継手及び樹脂チューブ等を介して真空発生装置等の搬送吸引源４４９が連通している。

【0037】

図１に示すように、研削装置１は、チャックテーブル３の保持面３４２を洗浄する洗浄機構５を備えている。
洗浄機構５は、例えば装置ベース１０上にチャックテーブル３の移動経路をＸ軸方向に跨ぐように配設された門型コラム１０９の前面（－Ｙ方向側面）に、昇降ユニット５４を介して配設されている。

【0038】

昇降ユニット５４は、門型コラム１０９に取り付けられた電動シリンダ（又は、空圧シリンダ）等である。
図１に示す洗浄機構５を構成する洗浄スポンジ５０は、例えば、所定の厚みを備えるスポンジを円筒形状に形成したロールスポンジであり、Ｘ軸方向にチャックテーブル３の少なくとも保持面３４２の横幅以上の長さで延在している。

【0039】

洗浄スポンジ５０は、例えば、ポリウレタンを発泡成形して作られるスポンジ、ＰＶＡスポンジ、又はゴムに発泡剤等を練り込み成形されるスポンジ等を用いる。洗浄スポンジ５０の外周面が、チャックテーブル３の保持面３４２に接触し洗浄する洗浄面となる。

【0040】

洗浄スポンジ５０は、例えば、昇降ユニット５４によって昇降する支持ユニット５６によって回転自在に支持されている。支持ユニット５６は、例えば、洗浄スポンジ５０の筒内に挿入され外側面に複数の水供給孔が配設されたシャフト５６０と、シャフト５６０を回転自在に支持するアーム５６１と、を備える。

【0041】

シャフト５６０は内部に流路が形成されており、該流路は各水供給孔と連通している。アーム５６１の略コの字部分に収容されたシャフト５６０は、例えば図示しないベアリングを介してアーム５６１により支持されている。そして、上記流路の一端は、アーム５６１の側面に取り付けられた図示しない継手、樹脂チューブ等を介して、図示しない洗浄水供給源に連通している。なお、洗浄機構５は、このように洗浄スポンジ５０の内部から洗浄水を外に向かって噴出させる形態に限定されず、洗浄スポンジ５０の近傍に洗浄スポンジ５０とチャックテーブル３の保持面３４２との接触部位に向かって洗浄水を噴出可能な洗浄ノズルを備えていてもよい。また、洗浄スポンジ５０を回転可能に支持するシャフト５６０は、図示しないモータによって回転駆動されてもよい。

【0042】

洗浄機構５は、図１に示す洗浄スポンジ５０に代えて、図３に示す洗浄ブラシ５７を備えていてもよい。洗浄ブラシ５７は、例えば、弾力性を備える樹脂繊維（例えば、ナイロン）を直毛状に形成し密集させたものであり、該樹脂繊維が円形板状のブラシ用プレート５７３の下面に植設されている。ブラシ用プレート５７３の上面は、図１に示す昇降ユニット５４のロッドの下端に連結されている。例えば、ブラシ用プレート５７３の中央には、毛と毛との隙間となる箇所に１つ又は複数の水噴出口５７８が形成されており、水噴出口５７８には、図示しない洗浄水供給源が樹脂チューブや継手等を介して連通している。

【0043】

例えば、洗浄ブラシ５７は、図１に示す昇降ユニット５４によってＺ軸方向において上下動可能となっているとともに、軸方向がＺ軸方向である回転軸を軸に回転となっていてもよい。また、洗浄ブラシ５７の直径は、例えば、少なくとも図１に示すチャックテーブル３の保持面３４２の中心から保持面３４２の外周までの長さを超える大きさとなっている。
例えば、洗浄機構５は、洗浄ブラシ５７の代わりに洗浄砥石を用いたストーン洗浄を行う構成となっていてもよい。また、水とエアとの二流体を噴射する二流体洗浄でもよい。

【0044】

以下に、図１に示す研削装置１において、実施形態１のチャックテーブル３に保持された板状ワーク９を研削する場合の研削装置１の動作について説明する。また、研削装置１を用いた板状ワーク９の加工方法の各工程について説明する。

【0045】

（１）保持工程
まず、図２に示すスポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させないでチャックテーブル３の保持面３４２を第１吸引源２９に連通させ保持面３４２が板状ワーク９を吸引保持する保持工程を実施する。
具体的には、まず、図２に示すように、板状ワーク９が、搬送ユニット４の保持パッド４４の吸引面４４３に互いの中心を略合致させ、吸引面４４３によって樹脂９２の上面９２０が吸引保持される。
なお、保持パッド４４の形と板状ワーク９の形とを略合致させた状態で吸引面４４３によって樹脂９２の上面９２０が吸引保持してもよい。

【0046】

また、図１に示すチャックテーブル３が図示しないＹ軸移動機構によってＹ軸方向に移動して、例えば、着脱領域内における搬送ユニット４の保持パッド４４の直下に位置付けされる。また、チャックテーブル３が所定角度回転されて、保持パッド４４に吸引保持された板状ワーク９の形とチャックテーブル３の保持面３４２の形とが略合致する。また、図２に示す第１吸引源２９が作動して生み出された吸引力が、保持面吸引路２１を通してチャックテーブル３の保持面３４２に伝達される。

【0047】

さらに、図４に示すように、昇降機構４０によって保持パッド４４が所定の速度で下降していく。そして保持パッド４４によって吸引保持された板状ワーク９の下面９０２が、チャックテーブル３の保持面３４２に接触する。また、反り上がる要素を備えた板状ワーク９の外周部分９０５が板スポンジ３５の保持面３４２より上に飛び出した外周部分３５７に接触することによって、板状ワーク９の下面９０２、板スポンジ３５の外周部分（飛び出し部分）３５７、及びチャックテーブル３の保持面３４２で形成される空間が密閉空間となり、該空間からのバキュームリークが無い状態になる。

【0048】

次いで、保持面吸引弁２１９を開き、保持面３４２を第１吸引源２９に連通させることによって、この該空間が第１吸引源２９に連通され、保持面３４２が板状ワーク９を吸引保持する。また、板スポンジ３５の飛び出した外周部分３５７の上端が保持面３４２に面一になり、図４に示すように、保持面３４２全面で板状ワーク９の下面９０２が吸引保持される。また、板状ワーク９の外周部分９０５によって下方に押されて変形した板スポンジ３５の外周部分３５７が、スポンジ載置溝３６２内に隙間３６６（図２参照）を埋めるように入り込み、外周部分３５７の上面が固定クランプ３６４の上面、テーブル枠体３１の上面、及び保持面３４２と略面一になる。なお、板状ワーク９の外周部分９０５である基板９０の保持面３４２から外側にはみ出し部分（樹脂９２でモールドされていない部分）は、製品とならない不要な端材部分であるが、研削砥石１６４２が接触しないように、保持面３４２に倣うように、環状の板スポンジ３５は、樹脂９２の外周の直下に接触させるように構成されているとよい。製品チップとなる基板９０の樹脂９２で覆われた領域は、保持面３４２により適切に吸引保持され続ける。

【0049】

図４に示すように、板状ワーク９は、外周部分９０５の反りが解消された状態で、チャックテーブル３によってバキュームリーク無く吸引保持された状態になり、保持工程が完了する。

【0050】

（２）加工工程
保持パッド４４がチャックテーブル３によって吸引保持された板状ワーク９から離脱した後、板状ワーク９を吸引保持したチャックテーブル３が、図示しないＹ軸移動機構によって、着脱領域から加工領域内の図１に示す研削ユニット１６の下まで＋Ｙ方向へ移動する。そして、研削ユニット１６の研削砥石１６４２の回転中心が板状ワーク９の回転中心に対して所定距離だけ水平方向にずれ、研削砥石１６４２の回転軌跡が板状ワーク９の回転中心を通るように位置づけされる。

【0051】

次いで、図１に示すモータ１６２が回転軸１６０を所定の回転速度で回転駆動し、これに伴って研削ホイール１６４も回転する。そして、研削ユニット１６が研削送りユニット１７により－Ｚ方向へと送られ、回転する研削砥石１６４２が板状ワーク９の樹脂９２の上面９２０に当接することで研削が行われる。研削中は、チャックテーブル３が所定の回転速度で回転して保持面３４２上に保持された板状ワーク９も回転するので、研削砥石１６４２が板状ワーク９の樹脂９２の上面９２０の全面の研削加工を行う。また、図示しない流路を通る研削水が研削砥石１６４２と板状ワーク９との接触部位に対して供給され、接触部位が冷却・洗浄される。そして、板状ワーク９の樹脂９２が所望の厚みまで研削された後に、研削送りユニット１７によって研削ユニット１６が上方に引き上げられて、研削砥石１６４２が板状ワーク９から離間して研削が終了する。また研削により、板状ワーク９の外周部分９０５の反りも解消される。

【0052】

例えば、複数枚の板状ワーク９に対して上記のような研削加工が１枚ずつ連続的に行われることで、チャックテーブル３の保持面３４２に研削屑等が付着する。そこで、保持面３４２を洗浄するために、ある一枚の板状ワーク９の研削が終了して、その次の新しい板状ワーク９を研削する前の適宜のタイミング等において、以下に説明するスポンジ吸引工程から洗浄工程までを実施する。

【0053】

（３）スポンジ吸引工程（弾性板部材吸引工程）
ある板状ワーク９の研削が終了して、例えば、研削加工後の板状ワーク９を吸引保持したチャックテーブル３が、図示しないＹ軸移動機構によって－Ｙ方向に移動して、図１に示す搬送ユニット４の保持パッド４４の直下に位置付けされて保持面３４２から板状ワーク９を離間する前の段階において、図５に示すスポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させ板スポンジ３５を吸引保持するスポンジ吸引工程を実施する。

【0054】

図５に示すスポンジ吸引弁２４７が開かれた状態になり、第２吸引源２６が作動して生み出された吸引力が、スポンジ吸引路２４を通して、スポンジ吸引口３２に伝達される。そして、保持面３４２に吸引保持されている板状ワーク９によってスポンジ載置溝３６２内に隙間３６６を埋めるように入り込んだ状態の板スポンジ３５の外周部分３５７の下面が、スポンジ吸引口３２によって吸引保持される。

【0055】

（４）離間工程
研削加工後の板状ワーク９を吸引保持したチャックテーブル３が、図示しないＹ軸移動機構によって－Ｙ方向に移動して、図１に示す搬送ユニット４の保持パッド４４の直下に位置付けされる。そして、例えば図５に示す第１吸引源２９の生み出す吸引力が、保持面吸引弁２１９が閉じられることで、保持面３４２への伝達が遮断されて、そして保持パッド４４によって吸引保持された板状ワーク９が保持面３４２から搬出される。板状ワーク９が離間した板スポンジ３５の外周部分３５７は、スポンジ吸引口３２に伝達された吸引力によって、スポンジ載置溝３６２内に隙間３６６を埋めるように入り込んだ状態が維持され、板スポンジ３５の上面が保持面３４２以下（本実施形態においては、保持面３４２と面一）の位置に引き下げられた状態が維持される。

【0056】

（５）洗浄工程
チャックテーブル３の保持面３４２から板状ワーク９を離間させた後、スポンジ吸引口３２で板スポンジ３５の外周部分３５７の下面を吸引保持して、板スポンジ３５を保持面３４２以下の位置に引き下げた状態で、保持面３４２を洗浄する洗浄工程を実施する。

【0057】

洗浄工程において、例えば、図１、及び図５に示す洗浄スポンジ５０を用いる場合について説明する。
例えば、図１に示すチャックテーブル３が＋Ｙ方向へ送られるとともに、昇降ユニット５４が、図５に示すように、洗浄スポンジ５０の外周面下部が保持面３４２に接する所定の高さまで、アーム５６１を－Ｚ方向へと降下させる。また、洗浄スポンジ５０の内部から洗浄水を洗浄スポンジ５０の外周面に供給する、又は、図示しない洗浄ノズルから洗浄水を洗浄スポンジ５０と保持面３４２との接触部位に向かって噴射／供給する。そして、洗浄スポンジ５０に保持面３４２が接触しつつ洗浄スポンジ５０の下方をチャックテーブル３が＋Ｙ方向に移動していくことで、洗浄スポンジ５０が保持面３４２との間の摩擦力によって回転して、洗浄水と共に保持面３４２全面を洗浄していく。または、図示しないモータによって、図１に示すシャフト５６０が回転するとともに洗浄スポンジ５０も回転して、洗浄スポンジ５０が保持面３４２全面を洗浄していく。

【0058】

先に説明した保持工程においては、板状ワーク９の吸引保持を完了させるために保持面３４２より上に外周部分３５７が飛び出ていた板スポンジ３５は、洗浄工程においては、保持面３４２以下の位置に外周部分３５７が引き下げられているため、保持面３４２の周りが板スポンジ３５で囲われておらず、保持面３４２から除去された研削屑を含んだ洗浄水が保持面３４２上から適切に流下するので、保持面３４２上に研削屑が残ってしまうことが防がれる。そして、チャックテーブル３から流下した研削屑を含んだ洗浄水は、図１に示す蛇腹カバー１８０の側方に配設された図示しない排水口から装置ベース１０内部のウォータケースに流れていく。
また、板スポンジ３５が洗浄スポンジ５０によって傷んでしまうことがない。

【0059】

洗浄スポンジ５０と洗浄水とによって保持面３４２の洗浄を行っていき、例えばチャックテーブル３が洗浄スポンジ５０の下方を通過しきるまで＋Ｙ方向へ移動することで、洗浄スポンジ５０による保持面３４２の洗浄が完了する。なお、チャックテーブル３をＹ軸方向に往復移動させることで、更に洗浄スポンジ５０による保持面３４２の洗浄を行ってもよい。

【0060】

洗浄工程において、例えば、図３、図６に示す洗浄ブラシ５７を用いる場合について説明する。
例えば、スポンジ吸引工程が実施されたチャックテーブル３がＹ軸方向へ送られて、図６に示すように、チャックテーブル３の中心からテーブル枠体３１の１側辺までの間を洗浄ブラシ５７が覆うように、チャックテーブル３と洗浄ブラシ５７との位置合わせが行われた後、チャックテーブル３が洗浄ブラシ５７の直下でＹ軸方向の移動を停止する。

【0061】

次いで、図１に示す昇降ユニット５４が、洗浄ブラシ５７を保持面３４２に接する所定の高さまで降下させる。また、洗浄ブラシ５７の内部から洗浄水を保持面３４２との接触部位に供給する、又は、図示しない洗浄ノズルから洗浄水を洗浄ブラシ５７と保持面３４２との接触部位に向かって噴射／供給する。そして、洗浄ブラシ５７に保持面３４２が接触しつつ、チャックテーブル３が所定の回転速度で回転し、また、洗浄ブラシ５７が所定の回転速度で回転することで、洗浄ブラシ５７が洗浄水と共に保持面３４２全面を洗浄していく。

【0062】

洗浄工程においては、保持面３４２以下の位置に板スポンジ３５の外周部分３５７が引き下げられているため、保持面３４２の周りが板スポンジ３５で囲われておらず、保持面３４２から除去された研削屑を含んだ洗浄水が保持面３４２上から適切に流下するので、保持面３４２上に研削屑が残ってしまうことが防がれる。そして、洗浄ブラシ５７と洗浄水とによって保持面３４２の洗浄を所定時間行い、洗浄ブラシ５７による保持面３４２の洗浄が完了する。

【0063】

上記のように、中央部分９０４よりも外周が反り上がっている板状ワーク９の下面９０２を吸引保持する保持面３４２を有する本発明に係る実施形態１のチャックテーブル３は、中央に開口３５０を有する平面視環状で板状の板スポンジ３５（弾性板部材３５）と、保持面３４２の中心に板スポンジ３５の開口３５０の中心を一致させ板スポンジ３５の外周部分３５７を保持面３４２より上に飛び出させ板スポンジ３５の内周部分３５４を保持面３４２より下で把持するスポンジ把持部３６（弾性板部材把持部３６）と、保持面３４２の外周より外側に配置され保持面３４２より上に飛び出ている板スポンジ３５の外周部分３５７の下面を吸引する環状のスポンジ吸引口３２（弾性板部材吸引口３２）と、を備えていることで、スポンジ吸引口３２が板スポンジ３５の下面を吸引して、板スポンジ３５を保持面３４２以下の位置に引き下げることが可能になり、反りがある板状ワーク９を保持面３４２にバキュームリーク無く吸引保持させて研削を行うことと、保持面３４２を洗浄した後に保持面３４２に加工屑が残っていない状態にすることとを達成できる。

【0064】

また、前記チャックテーブル３の保持面３４２で板状ワーク９を吸引保持して加工する本発明に係る研削装置１は、保持面３４２を洗浄する洗浄機構５と、保持面３４２を第１吸引源２９に連通させる保持面吸引路２１と、スポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させるスポンジ吸引路２４と、を備えていることで、スポンジ吸引口３２が板スポンジ３５の外周部分３５７の下面を吸引して、板スポンジ３５を保持面３４２以下の位置に引き下げた状態で、洗浄機構５が保持面３４２を洗浄することが可能となるので、保持面３４２を洗浄した後に保持面３４２に加工屑が残っていない状態にすることができる。また、洗浄機構５によって板スポンジ３５が傷つけられてしまうことが無い。

【0065】

さらに、研削装置１を用いた本発明に係る板状ワーク９の加工方法は、スポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させないで保持面３４２を第１吸引源２９に連通させ保持面３４２が板状ワーク９を吸引保持する保持工程と、保持工程の後、チャックテーブル３で吸引保持された板状ワーク９を加工する加工工程と、加工された板状ワーク９を保持面３４２から離間させる離間工程と、保持面３４２から板状ワーク９を離間する前に、スポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させ板スポンジ３５を吸引保持するスポンジ吸引工程と、保持面３４２から板状ワーク９を離間させた後、スポンジ吸引口３２で板スポンジ３５の外周部分３５７の下面を吸引保持して、板スポンジ３５を保持面３４２以下の位置に引き下げた状態で、保持面３４２を洗浄する洗浄工程と、からなることで、反りがある板状ワーク９を保持面３４２にバキュームリーク無く吸引保持させて加工を施すことができ、また、保持面３４２を洗浄した後に保持面３４２に加工屑が残っていない状態にすることが可能となる。さらに、保持面３４２の洗浄中に板スポンジ３５が例えば洗浄ブラシ５７、又は洗浄スポンジ５０によって傷んでしまうことも無い。

【0066】

本発明に係るチャックテーブル、及び研削装置は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、本発明に係る板状ワークの加工方法における各工程についても、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【0067】

例えば、図１に示す研削装置１は、実施形態１のチャックテーブル３に代えて、図７に示すチャックテーブル３９を備えていてもよい。チャックテーブル３９を、以下実施形態２のチャックテーブルとする。
チャックテーブル３９は、中央に開口３５０を有する平面視環状で板状の板スポンジ３５と、保持面３４２の中心に板スポンジ３５の開口３５０の中心を一致させ板スポンジ３５の内周部分３５４を保持面３４２より上に飛び出させ板スポンジ３５の外周部分３５７を保持面３４２より下で把持する弾性板部材把持部３３（以下、本実施形態においてはスポンジ把持部３３とする）と、保持面３４２の外周より外側に配置され保持面３４２より上に飛び出ている板スポンジ３５の内周部分３５４の下面を吸引する環状の弾性板部材吸引口３２（以下、本実施形態においてはスポンジ吸引口３２とする）と、を備えている。

【0068】

以下に、実施形態２のチャックテーブル３９と図２に示す実施形態１のチャックテーブル３との相違部分であるスポンジ把持部３３について説明していき、同様の部分については同様の番号を付して説明を省略する。

【0069】

スポンジ把持部３３は、例えば、テーブル枠体３１の上面の収容部３１１の周囲近傍に形成されたスポンジ載置溝３３２と、スポンジ載置溝３３２の外側周囲に形成されたクランプ嵌め溝３３５と、平面視矩形環状の固定クランプ３３８とを備えている。

【0070】

スポンジ載置溝３３２は、例えば、平面視四角環状にテーブル枠体３１の上面を切り欠いて形成されており、その溝底は内周側の領域が平坦となっており、外周側の領域がその外側に位置するクランプ嵌め溝３３５に向かって低くなるように傾斜している。そして、スポンジ載置溝３３２の溝底部の内周側の平坦な領域に先に説明したスポンジ吸引口３２が開口している。

【0071】

平面視四角環状に形成された固定クランプ３３８は、例えば、クランプ嵌め溝３３５に挿し込まれる環筒部３３９と、環筒部３３９の上端側からチャックテーブル３９の中心側に向かって略水平に延出されたフランジ部３３７と、を備えている。そして、フランジ部３３７の下面とスポンジ載置溝３３２の底の傾斜している領域とによって、スポンジ載置溝３３２に載置された板スポンジ３５の外周部分３５７を保持面３４２よりも下の位置で上下両側から把持できる。また、スポンジ載置溝３３２の底の傾斜している領域に載置された板スポンジ３５は内側から外側に向かって低くなっていくように傾斜して、保持面３０２よりも上に飛び出した内周部分３５４の下面とスポンジ載置溝３３２の底の平坦な領域との間には所定の隙間３３４が形成される。
また、固定クランプ３３８は、テーブル枠体３１にボルト固定され、その平坦な上面は例えば保持面３４２と面一になる。

【0072】

実施形態２のチャックテーブル３９において、スポンジ把持部３３は、図７に示す例に限定されるものではない。
例えば、図８に示す別例のスポンジ把持部３７を構成するスポンジ載置溝３７５は、その底部の内周側の領域が最も深くなっており、この最深領域にスポンジ吸引口３２が開口している。そして、スポンジ吸引口３２に、スポンジ吸引路２４が連通している。該底部の最も深い領域の隣に位置する領域は、溝底で一番高い領域になるように一段四角環凸状に上方に向かって突出した溝底突出部３７５５となっており、溝底の溝底突出部３７５５よりもさらに外周側の領域は、溝底突出部３７５５よりも一段低い平坦面となっている。

【0073】

図８に示すように、スポンジ載置溝３７５に載置され固定クランプ３３８によって把持された板スポンジ３５は、板スポンジ３５に板状ワーク９からの外力が付与されていない自然体の状態においては、ポーラス部３４の保持面３４２（図７参照）よりも板スポンジ３５の内周部分３５４が高い位置にあり保持面３４２によりも上に飛び出る。また、保持面３０２よりも上に飛び出した内周部分３５４の下面とスポンジ載置溝３７５の底の最も深くなっている領域との間には所定の隙間が形成される。さらに、スポンジ載置溝３７５の溝底突出部３７５５と、溝底突出部３７５５よりも外周側の領域との稜線部分（角部分）と、板スポンジ３５の下面と、の間には追い出し隙間３７５８が形成される。該追い出し隙間３７５８は、加工屑等のコンタミをスポンジ吸引口３２側に追い出しやすくするための隙間である。

【0074】

以下に、図１に示す研削装置１において、図７に示す実施形態２のチャックテーブル３９に保持された板状ワーク９を研削する場合の研削装置１の動作について説明する。また、研削装置１を用いた板状ワーク９の加工方法の各工程について説明する。

【0075】

（１）保持工程
まず、図１に示す板状ワーク９が、保持パッド４４の形と板状ワーク９の形とを例えば略合致させ、かつ、互いの中心を合わせた状態で吸引面４４３によって樹脂９２の上面９２０が吸引保持される。
また、図７に示すように、チャックテーブル３９が、保持パッド４４の直下に位置付けされる。チャックテーブル３９が所定角度回転されて、保持パッド４４に吸引保持された板状ワーク９の形とチャックテーブル３９の保持面３４２の形とが略合致せしめられ、さらに、第１吸引源２９によって生み出された吸引力が、保持面吸引路２１を通してチャックテーブル３９の保持面３４２に伝達される。

【0076】

図９に示すように、降下する保持パッド４４に吸引保持された板状ワーク９の下面９０２の中央部分９０４が、チャックテーブル３９の保持面３４２に接触する。また、降下する板状ワーク９の下面９０２の反り上がる要素を備えた外周部分９０５が、板スポンジ３５の保持面３４２よりも上に飛び出した内周部分３５４に接触することで、板状ワーク９の下面９０２、板スポンジ３５の内周部分３５４、及びチャックテーブル３９の保持面３４２で形成される空間が密閉空間となり、該空間からのバキュームリークが無い状態になる。次いで、保持面吸引弁２１９を開き、保持面３４２を第１吸引源２９に連通させることによって、この該空間が第１吸引源２９に連通され、保持面３４２が板状ワーク９を吸引保持する。また、板スポンジ３５の飛び出した内周部分３５４の上端が保持面３４２に面一になり、図９に示すように、保持面３４２全面により板状ワーク９の下面９０２が吸引保持される。また、板状ワーク９の外周部分９０５によって下方に押されて変形した板スポンジ３５の内周部分３５４がスポンジ載置溝３３２内に隙間３３４（図７参照）を埋めるように入り込み、内周部分３５４の上面が保持面３４２と略面一になる。
なお、板状ワーク９の外周部分９０５である基板９０の保持面３４２から外側にはみ出し部分（樹脂９２でモールドされていない部分）は、製品とならない不要な端材部分となるが、研削砥石１６４２が接触しないように、保持面３４２に倣うように、環状の板スポンジ３５は、樹脂９２の外周の直下に接触させるように構成されているとよい。製品チップとなる基板９０の樹脂９２で覆われた領域は、保持面３４２により適切に吸引保持され続ける。

【0077】

（２）加工工程
図９に示すように、板状ワーク９が外周部分９０５の反りが解消された状態で、チャックテーブル３９によってバキュームリーク無く吸引保持された後、板状ワーク９を吸引保持したチャックテーブル３９が、図示しないＹ軸移動機構によって、着脱領域から加工領域内の図１に示す研削ユニット１６の下まで＋Ｙ方向へ移動する。加工工程における板状ワーク９の加工は実施形態１のチャックテーブル３を用いた場合と同様であるため、以下の説明を省略する。

【0078】

（３）スポンジ吸引工程（弾性板部材吸引工程）
板状ワーク９の研削が終了して、例えば、研削加工後の板状ワーク９を吸引保持したチャックテーブル３９が－Ｙ方向に移動して、図１に示す搬送ユニット４の保持パッド４４の直下に位置付けされて保持面３４２から板状ワーク９を離間する前の段階において、図１０に示すスポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させ板スポンジ３５を吸引保持するスポンジ吸引工程を実施する。即ち、図１０に示すスポンジ吸引弁２４７が開かれて、第２吸引源２６により生み出された吸引力が、スポンジ吸引路２４を通りスポンジ吸引口３２に伝達される。そして、保持面３４２に吸引保持されている板状ワーク９によって板スポンジ３５のスポンジ載置溝３３２内に隙間３３４（図７参照）を埋めるように入り込んだ状態の内周部分３５４の下面が、スポンジ吸引口３２で吸引保持される。

【0079】

（４）離間工程
加工された板状ワーク９をチャックテーブル３９の保持面３４２から離間させる離間工程も、実施形態１のチャックテーブル３を用いた場合と同様であるため、以下の説明を省略する。
第１吸引源２９から保持面３４２に対する吸引力の伝達が遮断されてから、保持パッド４４によって吸引保持された板状ワーク９が保持面３４２から搬出された後、板状ワーク９が離間した板スポンジ３５の内周部分３５４は、スポンジ吸引口３２に伝達された吸引力によって、スポンジ載置溝３３２内に隙間３３４を埋めるように入り込んだ状態が維持され、板スポンジ３５の上面が保持面３４２以下（本実施形態においては、保持面３４２と面一）の位置に引き下げられた状態が維持される。

【0080】

（５）洗浄工程
次に実施される洗浄工程において、例えば、図３、図１０に示す洗浄ブラシ５７を用いる場合について説明する。なお、図１に示す洗浄スポンジ５０を用いて、チャックテーブル３９の保持面３４２を洗浄してもよい。
例えば、チャックテーブル３９が＋Ｙ方向へ送られ洗浄ブラシ５７の下方に位置付けされるとともに、図１０に示すように、昇降ユニット５４（図１参照）が、洗浄ブラシ５７を保持面３４２に接する所定の高さまで降下させる。また、洗浄ブラシ５７の内部から洗浄水を保持面３４２との接触部位に供給する、又は、図示しない洗浄ノズルから洗浄水を洗浄ブラシ５７と保持面３４２との接触部位に向かって噴射／供給する。そして、回転する洗浄ブラシ５７に保持面３４２が接触しつつ、チャックテーブル３９が所定の回転速度で回転することで、洗浄ブラシ５７が洗浄水と共に保持面３４２全面を洗浄していく。

【0081】

洗浄工程においては、保持面３４２以下の位置に板スポンジ３５が引き下げられているため、保持面３４２の周りが板スポンジ３５で囲われておらず、保持面３４２から除去された研削屑を含んだ洗浄水が保持面３４２上から適切に流下するので、保持面３４２上に研削屑が残ってしまうことが防がれる。そして、洗浄ブラシ５７と洗浄水とによって保持面３４２の洗浄を所定時間行い、洗浄ブラシ５７による保持面３４２の洗浄が完了する。

【0082】

上記のように、中央部分９０４よりも外周が反り上がっている板状ワーク９の下面を吸引保持する保持面３４２を有する本発明に係る実施形態２のチャックテーブル３９は、中央に開口３５０を有する平面視環状で板状の板スポンジ３５（弾性板部材３５）と、保持面３４２の中心に板スポンジ３５の開口３５０の中心を一致させ板スポンジ３５の内周部分３５４を保持面３４２より上に飛び出させ板スポンジ３５の外周部分３５７を保持面３４２より下で把持するスポンジ把持部３３（弾性板部材把持部３３）と、保持面３４２の外周より外側に配置され保持面３４２より上に飛び出ている板スポンジ３５の内周部分３５４の下面を吸引する環状のスポンジ吸引口３２（弾性板部材吸引口３２）と、を備えていることで、スポンジ吸引口３２が板スポンジ３５の内周部分３５４の下面を吸引して、板スポンジ３５を保持面３４２以下の位置に引き下げることが可能になり、反りがある板状ワーク９を保持面３４２にバキュームリーク無く吸引保持させることと、保持面３４２を洗浄した後に保持面３４２に加工屑が残っていない状態にすることとを達成できる。
また、板スポンジ３５をスポンジ吸引口３２で吸引させ、保持面３４２を洗浄した後、スポンジ吸引口３２を大気開放させ、板スポンジ３５の例えば内周部分３５４を保持面３４２から飛び出させた後、スポンジ吸引口３２を第２吸引源２６に連通させ、スポンジ載置溝３６２内に進入した加工屑を含む水をスポンジ載置溝３６２内から排出させてもよい。

【符号の説明】

【0083】

９：板状ワーク９：基板 ９２：樹脂 ９２０：樹脂の上面（板状ワークの上面）
９０２：板状ワークの下面 ９０５：外周部分
１：研削装置（加工装置） １０：装置ベース １１：コラム
１６：研削ユニット １６４：研削ホイール
１７：研削送りユニット １７０：ボールネジ １７２：昇降モータ
３：実施形態１のチャックテーブル
３４：ポーラス部 ３４２：保持面
３１：テーブル枠体 ３１１：収容部 ３１３：吸引溝
３５：板スポンジ（弾性板部材） ３５０：板スポンジの開口 ３５１：板スポンジの上面 ３５４：板スポンジの下面
３６：スポンジ把持部（弾性板部材把持部） ３６０：クランプ嵌め溝
３６２：スポンジ載置溝 ３６４：固定クランプ
３２：スポンジ吸引口（弾性板部材吸引口）
１８：カバー １８０：蛇腹カバー
２１：保持面吸引路 ２１０：内部吸引路 ２１４：吸引配管 ２１９：保持面吸引弁
２９：第１吸引源
２４：スポンジ吸引路（弾性板部材吸引路） ２４０：内部吸引路 ２４４：吸引配管 ２４７：スポンジ吸引弁 ２６：第２吸引源
４：搬送ユニット ４０：昇降機構 ４１：アーム部
４４：保持パッド ４４３：吸引面 ４４９：搬送吸引源
１０９：門型コラム
５：洗浄機構 ５４：昇降ユニット ５０：洗浄スポンジ
５６：支持ユニット ５６０：シャフト ５６１：アーム
５７：洗浄ブラシ ５７３：ブラシ用プレート ５７８：水噴出口
３９：実施形態２のチャックテーブル
３３：スポンジ把持部（弾性板部材把持部）
３７：スポンジ把持部 ３７５：スポンジ載置溝 ３７５５：溝底突出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】