知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-02-21
(45)【発行日】2025-03-04
(54)【発明の名称】切削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 45/00 20060101AFI20250225BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20250225BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20250225BHJP
B23Q 17/00 20060101ALI20250225BHJP
B23Q 3/155 20060101ALI20250225BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20250225BHJP
【ＦＩ】
B24B45/00 A
B24B49/10
B24B27/06 M
B23Q17/00 B
B23Q3/155 K
B23Q3/155 E
H01L21/78 F
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2021101356
(22)【出願日】2021-06-18
(65)【公開番号】P2023000496
(43)【公開日】2023-01-04
【審査請求日】2024-04-23
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(74)【代理人】
【識別番号】100185959
【弁理士】
【氏名又は名称】今藤 敏和
(72)【発明者】
【氏名】蘇 志博
(72)【発明者】
【氏名】寺田 一貴
【審査官】マキロイ 寛済
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－０９８５３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－１７６５７３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－２１４５６４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－１８３０７１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ４５／００
Ｂ２４Ｂ ４９／１０
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｂ２３Ｑ １７／００
Ｂ２３Ｑ ３／１５５
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被加工物を切削する切削装置であって、スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントとを有し、該ブレードマウントに装着される切削ブレードで該被加工物を切削する切削ユニットと、
該ブレードマウントからの該切削ブレードの取り外しと、該ブレードマウントへの該切削ブレードの装着とを行うブレード交換ユニットと、
判定部と、
報知部と、を備え、
該ブレードマウントは、
雄ねじ部を有し該切削ブレードに設けられた貫通孔に挿入されるボス部と、
該ボス部の端部から突出し該切削ブレードを支持するフランジ部と、
該雄ねじ部に螺合され該切削ブレードを該フランジ部と挟持する固定ナットと、を含み、
該ブレード交換ユニットは、
該切削ブレードを保持するブレード保持部と、
該固定ナットを保持する固定ナット保持部と、
該ブレード保持部及び該固定ナット保持部に連結された回転部と、
該固定ナット保持部を回転させるモータと、
該ブレード保持部及び該固定ナット保持部を移動させる移動部と、を含み、
該回転部は、該回転部の内部を通る直線を回転軸として回転し、
該ブレード保持部及び該固定ナット保持部は、該回転軸の周りに互いに離隔した状態で、該回転軸に対して外側を向くように配置され、
該判定部は、該固定ナット保持部によって保持され該ボス部に対面する初期位置に位置付けられた該固定ナットを該モータによって回転させて該雄ねじ部に螺合させる際、該固定ナットが該切削ブレードの固定に適した固定位置に到達したか否かを判定し、
該報知部は、該判定部による判定の結果を報知することを特徴とする切削装置。
【請求項2】
該判定部は、該固定ナットの回転が開始してから該モータのトルクが閾値に達するまでの時間に基づいて、該固定ナットが該固定位置に到達したか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項3】
該判定部は、該固定ナットの回転が開始してから該モータのトルクが閾値に達するまでの間における該固定ナットの回転数に基づいて、該固定ナットが該固定位置に到達したか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装し、実装されたデバイスチップを樹脂でなる封止材（モールド樹脂）で被覆することにより、パッケージ基板が得られる。パッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップをそれぞれ備える複数のパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【0003】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割する際には、切削装置が用いられる。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に切削加工を施す切削ユニットとを備える。切削ユニットは、スピンドルと、スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントとを備えており、ブレードマウントに被加工物を切削する環状の切削ブレードが装着される。
【0004】
切削装置で被加工物を切削する際には、固定ナットによって切削ブレードがブレードマウントに固定される（特許文献１参照）。そして、ブレードマウントに切削ブレードが装着された状態でスピンドルを回転させ、回転する切削ブレードをチャックテーブルによって保持された被加工物に切り込ませることにより、被加工物が切削され、分割される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１３－１３２７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
切削ユニットに装着された切削ブレードは、被加工物の加工によって摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレードを固定している固定ナットを緩めて取り外し、使用済みの切削ブレードをブレードマウントから取り外す。その後、交換用の切削ブレード（未使用の切削ブレード）をブレードマウントに装着し、固定ナットで固定する。
【0007】
切削ブレードの交換を手作業で行うと、手間がかかる上、作業中に切削ブレードや固定ナットが誤って落下するおそれがある。そこで、切削装置には、切削ブレードを自動で着脱して交換するブレード交換ユニットが搭載されることがある。ブレード交換ユニットは、切削ブレードを保持する複数のブレード保持部と、固定ナットを保持する固定ナット保持部とを備えている。
【0008】
ブレード交換ユニットで切削ユニットに切削ブレードを装着する際には、まず、ブレード保持部によって保持された切削ブレードがブレードマウントに装着される。次に、固定ナット保持部によって保持された固定ナットが、ブレードマウントの正面に位置付けられる。その後、固定ナット保持部を回転させると、固定ナットが回転してブレードマウントに螺合し、切削ブレードがブレードマウントと固定ナットとによって挟持される。
【0009】
しかしながら、固定ナットをブレードマウントの正面に位置付ける際、様々な要因によって固定ナットが意図せずブレードマウントに対して僅かに傾いた状態で配置されることがある。この場合、固定ナットを回転させても固定ナットがブレードマウントに適切に螺合せず、固定ナットを切削ブレードの固定に適した位置（固定位置）まで締め付けることが困難になる。
【0010】
切削ブレードが固定位置に到達しないと、切削ブレードがブレードマウントに確実に固定されていない状態となる。そして、切削ブレードの固定が不十分な状態のままで被加工物の切削加工が続行されると、被加工物の加工不良や切削ブレードの破損が発生するおそれがある。
【0011】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの固定が不十分な状態で切削加工が実施されることを防止可能な切削装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明の一態様によれば、被加工物を切削する切削装置であって、スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントとを有し、該ブレードマウントに装着される切削ブレードで該被加工物を切削する切削ユニットと、該ブレードマウントからの該切削ブレードの取り外しと、該ブレードマウントへの該切削ブレードの装着とを行うブレード交換ユニットと、判定部と、報知部と、を備え、該ブレードマウントは、雄ねじ部を有し該切削ブレードに設けられた貫通孔に挿入されるボス部と、該ボス部の端部から突出し該切削ブレードを支持するフランジ部と、該雄ねじ部に螺合され該切削ブレードを該フランジ部と挟持する固定ナットと、を含み、該ブレード交換ユニットは、該切削ブレードを保持するブレード保持部と、該固定ナットを保持する固定ナット保持部と、該ブレード保持部及び該固定ナット保持部に連結された回転部と、該固定ナット保持部を回転させるモータと、該ブレード保持部及び該固定ナット保持部を移動させる移動部と、を含み、該回転部の内部を通る直線を回転軸として回転し、該ブレード保持部及び該固定ナット保持部は、該回転軸の周りに互いに離隔した状態で、該回転軸に対して外側を向くように配置され、該判定部は、該固定ナット保持部によって保持され該ボス部に対面する初期位置に位置付けられた該固定ナットを該モータによって回転させて該雄ねじ部に螺合させる際、該固定ナットが該切削ブレードの固定に適した固定位置に到達したか否かを判定し、該報知部は、該判定部による判定の結果を報知する切削装置が提供される。
【0013】
なお、好ましくは、該判定部は、該固定ナットの回転が開始してから該モータのトルクが閾値に達するまでの時間に基づいて、該固定ナットが該固定位置に到達したか否かを判定する。また、好ましくは、該判定部は、該固定ナットの回転が開始してから該モータのトルクが閾値に達するまでの間における該固定ナットの回転数に基づいて、該固定ナットが該固定位置に到達したか否かを判定する。
【発明の効果】
【0014】
本発明の一態様に係る切削装置は、初期位置に位置付けられた固定ナットを回転させてブレードマウントのボス部に設けられた雄ねじ部に螺合させる際、固定ナットが切削ブレードの固定に適した固定位置に到達したか否かを判定する判定部を備える。これにより、切削装置で被加工物を加工する際に、切削ブレードが固定ナットによって適切に固定されているか否かを確認することが可能となる。その結果、切削ブレードの固定が不十分な状態で切削加工が実施されることを回避でき、被加工物の加工不良や切削ブレードの破損の発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】切削装置を示す斜視図である。
【図2】切削ユニットを示す分解斜視図である。
【図3】ストックユニットを示す斜視図である。
【図4】ブレード交換ユニットを示す斜視図である。
【図5】交換装置を示す斜視図である。
【図8】図８（Ａ）は交換用ブレード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図８（Ｂ）は固定ナット取り外しステップにおける交換装置を示す模式図であり、図８（Ｃ）は第１退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図８（Ｄ）は使用済み切削ブレード保持ステップにおける交換装置を示す模式図である。
【図9】図９（Ａ）は第２退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図９（Ｂ）は切削ブレード装着ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図９（Ｃ）は第３退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図９（Ｄ）は固定ナット装着ステップにおける交換装置を示す模式図である。
【図10】ブレードマウントと固定ナット保持部とを示す一部断面正面図である。
【図11】図１１（Ａ）は固定ナットが固定位置に到達した状態のブレードマウント及び固定ナット保持部を示す一部断面正面図であり、図１１（Ｂ）は固定ナットが固定位置に到達していない状態のブレードマウント及び固定ナット保持部を示す一部断面正面図である。
【図12】図１２（Ａ）は固定ナットが固定位置に到達する場合における固定ナットの回転時間とモータのトルクとの関係を示すグラフであり、図１２（Ｂ）は固定ナットが固定位置に到達しない場合における固定ナットの回転時間とモータのトルクとの関係を示すグラフである。
【図13】制御部を示すブロック図である。
【図14】固定ナットの螺合状態の判定方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る切削装置の構成例を説明する。図１は、切削装置２を示す斜視図である。なお、図１において、Ｘ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）とＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）とは、互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と垂直な方向である。
【0017】
切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。基台４の前方側の角部には、エレベータ６が設けられている。エレベータ６は、昇降台８と、昇降台８をＺ軸方向に沿って移動（昇降）させる昇降機構（不図示）とを備えている。昇降台８上には、切削装置２による切削加工の対象となる複数の被加工物１１を収容可能なカセット１０が載置される。
【0018】
カセット１０は、互いに対向する一対の側面を有する。また、カセット１０の各側面には、カセット１０の高さ方向に沿って所定の間隔で配置された複数のガイドレール１０ａが固定されている。カセット１０の両側面に固定された同じ高さ位置にある一対のガイドレール１０ａにより、被加工物１１を含むフレームユニット（被加工物ユニット）１７が支持される。
【0019】
例えば被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであり、互いに概ね平行な表面及び裏面を含む。また、被加工物１１は、互いに交差するように格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって、複数の矩形状の領域に区画されている。分割予定ラインによって区画された領域の表面（上面）側にはそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス等のデバイスが形成されている。被加工物１１を分割予定ラインに沿って切削して分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。
【0020】
ただし、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハであってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。さらに、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。
【0021】
被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付される。テープ１３としては、円形に形成されたフィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを有するシート等を用いることができる。例えば、基材はポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層はエポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。また、粘着層には、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いてもよい。
【0022】
テープ１３の外周部は、環状のフレーム１５に貼付される。フレーム１５はＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属等でなり、フレーム１５の中央部にはフレーム１５を厚さ方向に貫通する円柱状の開口が設けられている。なお、フレーム１５の開口の直径は被加工物１１の直径よりも大きく、被加工物１１はフレーム１５の開口の内側に配置される。
【0023】
テープ１３の中央部が被加工物１１に貼付されるとともにテープ１３の外周部がフレーム１５に貼付されると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。これにより、被加工物１１、テープ１３、フレーム１５を含むフレームユニット１７が構成される。そして、１又は複数のフレームユニット１７がカセット１０に収容される。
【0024】
基台４の上面側のうちエレベータ６にＸ軸方向において隣接する領域には、円柱状の開口４ａが設けられている。開口４ａの内部には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット１２が配置されている。洗浄ユニット１２は、被加工物１１を保持するスピンナテーブル１４と、スピンナテーブル１４の上方に設けられ純水等の洗浄液を供給するノズル（不図示）とを備える。
【0025】
スピンナテーブル１４には、スピンナテーブル１４をＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。スピンナテーブル１４によって被加工物１１を保持した状態で、スピンナテーブル１４を回転させつつノズルから洗浄液を被加工物１１に供給することにより、被加工物１１が洗浄される。なお、洗浄液としては、液体（純水等）と気体（エアー等）とが混合された気液混合流体等を用いることもできる。
【0026】
洗浄ユニット１２の上方には、フレームユニット１７を支持する一対のガイドレール１６がＸ軸方向に沿って設けられている。一対のガイドレール１６には、一対のガイドレール１６をＹ軸方向に沿って互いに接近及び離隔するように移動させる移動機構（不図示）が接続されている。一対のガイドレール１６でフレームユニット１７を挟み込むことにより、フレームユニット１７のＹ軸方向における位置が調整される。
【0027】
基台４の上面側の、ガイドレール１６にＹ軸方向で隣接する領域には、長手方向がＸ軸方向に沿うように形成された直方体状の開口４ｂが設けられている。開口４ｂの内部には、平板状のテーブルカバー１８が設けられている。また、テーブルカバー１８のＸ軸方向における両側には、Ｘ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー２０が設けられている。
【0028】
テーブルカバー１８上には、被加工物１１を保持するチャックテーブル（保持テーブル）２２が設けられている。チャックテーブル２２の上面は、水平方向（ＸＹ平面方向）と概ね平行な平坦面であり、被加工物１１を保持する保持面を構成している。また、チャックテーブル２２の周囲には、フレーム１５を把持して固定する複数のクランプ２４が設けられている。
【0029】
例えばチャックテーブル２２は、ステンレス鋼等の金属でなる円柱状の枠体（不図示）を備える。また、枠体の中央部の上面側には円形の凹部が形成されており、この凹部にはポーラスセラミックス等の多孔質材料でなる円盤状のポーラス部材が嵌め込まれている。チャックテーブル２２の保持面は、ポーラス部材、チャックテーブル２２の内部に設けられた流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。
【0030】
例えばフレームユニット１７は、被加工物１１の表面側が上方に露出し、被加工物１１の裏面側（テープ１３側）がチャックテーブル２２の保持面と対向するように、チャックテーブル２２上に配置される。また、フレーム１５が複数のクランプ２４によって固定される。この状態で、チャックテーブル２２の保持面に吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル２２によって吸引保持される。
【0031】
また、テーブルカバー１８上には、一対のサブテーブル（保持テーブル）２６がチャックテーブル２２に隣接して設けられている。一対のサブテーブル２６は、チャックテーブル２２の後方側に、Ｙ軸方向において互いに離隔した状態で配置されている。
【0032】
サブテーブル２６の上面は、切削加工のセットアップ、検査、評価等に用いられる板状の部材（ボード）を保持する平坦な保持面を構成する。例えば、サブテーブル２６の保持面は矩形状に形成され、サブテーブル２６の内部に設けられた流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。サブテーブル２６によって、後述のドレッシングボードや検査用ボードが保持される。
【0033】
テーブルカバー１８の下方には、移動ユニット（不図示）及び回転駆動源（不図示）が設けられている。移動ユニットは、ボールねじ式の移動機構等によって構成され、チャックテーブル２２及びサブテーブル２６をテーブルカバー１８とともにＸ軸方向に沿って移動させる。また、回転駆動源は、モータ等によって構成され、チャックテーブル２２をＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りで回転させる。
【0034】
開口４ｂの前方側（開口４ａと隣接する領域）は、被加工物１１の搬入及び搬出が行われる搬送領域に相当する。また、開口４ｂの後方側は、被加工物１１の加工が行われる加工領域に相当する。移動ユニットによってチャックテーブル２２及びサブテーブル２６をＸ軸方向に沿って移動させることにより、チャックテーブル２２及びサブテーブル２６を搬送領域又は加工領域に位置付けることができる。
【0035】
加工領域の上方には、被加工物１１が切削される空間を形成する加工室（カバー）２８が設けられている。図１では、加工室２８の輪郭を二点鎖線で示している。加工室２８は、例えば金属等によって直方体状に形成され、加工領域を覆うように配置される。また、加工室２８の搬送領域側の側面には、後述の交換装置１００（図４等参照）が通過可能な出入口（開口）２８ａが設けられている。そして、加工室２８の内側には、被加工物１１を切削する一対の切削ユニット３０が設けられている。
【0036】
図２は、切削ユニット３０を示す分解斜視図である。切削ユニット３０には、環状の切削ブレード３６が装着される。切削ユニット３０は、切削ブレード３６を回転させて被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１を切削する。
【0037】
切削ユニット３０は、筒状のハウジング３２を備える。ハウジング３２には、Ｙ軸方向に沿って配置された円柱状のスピンドル３４が収容されている。スピンドル３４の先端部（一端側）はハウジング３２の外部に露出しており、スピンドル３４の先端部にはねじ穴３４ａが設けられている。また、スピンドル３４の基端部（他端側）には、モータ等の回転駆動源が接続されている。
【0038】
スピンドル３４の先端部には、切削ブレード３６が装着される。スピンドル３４の先端部に装着された切削ブレード３６は、回転駆動源からスピンドル３４を介して伝達される動力によって回転する。例えば切削ブレード３６は、金属等でなる環状の基台３８と、基台３８の外周縁に沿って形成された環状の切り刃４０とが一体となって構成されたハブタイプの切削ブレード（ハブブレード）である。切削ブレード３６の中央部には、切削ブレード３６（基台３８）を厚さ方向に貫通する円柱状の貫通孔（開口）３６ａが設けられている。
【0039】
基台３８は、互いに概ね平行な表面（第１面）３８ａと裏面（第２面）３８ｂとを備える。基台３８の表面３８ａは、切削ブレード３６の着脱時に保持される被保持面に相当する。また、基台３８の裏面３８ｂ側には切り刃４０が設けられている。切り刃４０は、基台３８の外周縁から基台３８の半径方向外側に向かって突出するように形成されている。例えば切り刃４０は、ダイヤモンド等でなる砥粒がニッケルめっき層等の結合材によって固定された電鋳砥石によって構成される。
【0040】
スピンドル３４の先端部には、ブレードマウント４２が固定される。ブレードマウント４２は、円柱状のボス部（支持軸）４４と、ボス部４４の端部（基端部）に接続された円盤状のフランジ部４６とを含む。フランジ部４６は、ボス部４４の端部からボス部４４の半径方向外側に向かって突出するように形成されている。すなわち、ボス部４４は、フランジ部４６の表面４６ａの中央部から突出するように形成されている。また、ボス部４４及びフランジ部４６には、ボス部４４の中央部及びフランジ部４６の中央部を貫通する円柱状の貫通孔（開口）４２ａが設けられている。
【0041】
ボス部４４の先端部の外周面には、雄ねじ部（ねじ溝）４４ａが設けられている。また、フランジ部４６の外周部には、フランジ部４６の表面４６ａから突出する環状の凸部４６ｂが設けられている。凸部４６ｂの先端面は、表面４６ａと概ね平行な平坦面であり、切削ブレード３６を支持する環状の支持面４６ｃを構成している。
【0042】
また、ブレードマウント４２は、切削ブレード３６をブレードマウント４２に固定する環状の固定ナット４８を含む。固定ナット４８は、ボス部４４に形成されている雄ねじ部４４ａに螺合され、締結される。
【0043】
固定ナット４８の中央部には、固定ナット４８を厚さ方向に貫通する円柱状の貫通孔（開口）４８ａが設けられている。貫通孔４８ａは、ボス部４４と概ね同径に形成されている。また、貫通孔４８ａで露出する固定ナット４８の側面（内周面）には、ボス部４４の雄ねじ部４４ａに対応する雌ねじ部（ねじ溝）が設けられている。さらに、固定ナット４８には、固定ナット４８を厚さ方向に貫通する複数（図２では４個）の円柱状の貫通孔４８ｂが、固定ナット４８の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。
【0044】
ねじ５０を、ブレードマウント４２の貫通孔４２ａを介してスピンドル３４のねじ穴３４ａに挿入し、ねじ穴３４ａに螺合させて締め付けることにより、ブレードマウント４２がスピンドル３４の先端部に固定される。また、切削ブレード３６の貫通孔３６ａにボス部４４を挿入すると、切削ブレード３６がブレードマウント４２に装着される。この状態で、ボス部４４の雄ねじ部４４ａに固定ナット４８を螺合させて締め付けると、切削ブレード３６がフランジ部４６の支持面４６ｃと固定ナット４８とによって挟持され、ブレードマウント４２に固定される。
【0045】
なお、切削ユニット３０には、ワッシャータイプの切削ブレード（ワッシャーブレード）が装着されてもよい。ワッシャーブレードは、砥粒がメタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材で固定された環状の切り刃のみによって構成される。
【0046】
切削ブレード３６は、図１に示す一対の切削ユニット３０にそれぞれに装着される。すなわち、切削装置２は、一対の切削ブレード３６が互いに対面するように配置される、所謂フェイシングデュアルスピンドルタイプの切削装置である。ただし、切削装置２が備える切削ユニット３０の数は１組であってもよい。
【0047】
一対の切削ユニット３０にはそれぞれ、チャックテーブル２２によって保持された被加工物１１等を撮像する撮像ユニット５２が装着されている。例えば撮像ユニット５２は、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラ等によって構成される。撮像ユニット５２の撮像によって得られた画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３０との位置合わせ等が行われる。
【0048】
さらに、基台４の上方には、被加工物１１を搬送する第１搬送ユニット５４が設けられている。第１搬送ユニット５４には、第１搬送ユニット５４をＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動させる移動機構（不図示）が接続されている。また、第１搬送ユニット５４はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。
【0049】
エアシリンダのロッドの下端部には、フレームユニット１７を保持する保持ユニット５４ａが固定されている。例えば保持ユニット５４ａは、フレーム１５の上面側を吸引して保持する複数の吸引パッドを備える。また、保持ユニット５４ａのエレベータ６側の端部には、フレームユニット１７の端部（フレーム１５の端部）を把持する把持機構５４ｂが設けられている。
【0050】
保持ユニット５４ａの上方には、被加工物１１を搬送する第２搬送ユニット５６が設けられている。第２搬送ユニット５６には、第２搬送ユニット５６をＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動させる移動機構（不図示）が接続されている。また、第２搬送ユニット５６はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。エアシリンダのロッドの下端部には、フレームユニット１７を保持する保持ユニット５６ａが固定されている。保持ユニット５６ａの構成は、第１搬送ユニット５４の保持ユニット５４ａと同様である。
【0051】
また、チャックテーブル２２の側方には、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６（図２参照）の交換を行うブレード交換ユニット５８が設けられている。ブレード交換ユニット５８は、ブレードマウント４２（図２参照）からの切削ブレード３６の取り外しと、ブレードマウント４２への切削ブレード３６の装着とを行う。なお、ブレード交換ユニット５８の詳細については後述する。
【0052】
基台４のブレード交換ユニット５８側の縁部には、板状のカバー６０が設けられている。カバー６０の一端部は、基台４の縁に沿って配置されたヒンジ６２を介して基台４に接続されており、カバー６０はヒンジ６２を中心に回転可能となっている。
【0053】
切削ユニット３０による被加工物１１の加工が行われる際には、カバー６０は図１に実線で示すように、Ｚ軸方向に沿って立った状態（開状態）となる。一方、ブレード交換ユニット５８による切削ブレード３６の交換が行われる際には、カバー６０は図１に二点鎖線で示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿って横たわった状態（閉状態）となる。
【0054】
基台４の開口４ｂの前方には、切削装置２で使用される各種の用具を保管するストックユニット６４が設けられている。ストックユニット６４は、切削ブレード３６等の用具が載置される回転式の載置台６６を備える。
【0055】
図３は、ストックユニット６４を示す斜視図である。例えば載置台６６は、円盤状に形成された板状の部材である。載置台６６の上面は、水平方向（ＸＹ平面方向）と概ね平行な平坦面であり、各種の用具が載置される載置面６６ａを構成している。
【0056】
例えば、載置台６６の載置面６６ａ上には交換用の切削ブレード３６（未使用の切削ブレード３６）が載置される。具体的には、載置台６６の載置面６６ａ上には、切削ブレード３６を保管する複数のブレード保管部６８が固定されている。例えばブレード保管部６８は、切削ブレード３６を収容可能なプラスチック製のケース（ブレードケース）によって構成され、載置台６６の載置面６６ａ上に固定されている。複数のブレード保管部６８は、載置台６６の周方向に沿って概ね等間隔に配置される。
【0057】
図３には一例として、円形の底面と、底面の外周部から底面と垂直な方向に突出する環状の側壁とを備えるブレード保管部６８を図示している。ブレード保管部６８の中央部には、底面から突出する柱状の凸部６８ａが設けられている。ブレード保管部６８で切削ブレード３６を保管する際には、切削ブレード３６の貫通孔３６ａに凸部６８ａが挿入されるように、切削ブレード３６がブレード保管部６８内に配置される。
【0058】
載置台６６の中央部の下面側には、モータ等の回転駆動源（不図示）から伝達される動力によって回転する回転部（シャフト）７０が連結されている。回転駆動源で回転部７０を回転させると、載置台６６がＺ軸と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
【0059】
載置台６６の下側には、切削ブレード３６に付された識別マークを読み取る読み取りユニット７２が設けられている。例えば切削ブレード３６には、切削ブレード３６に関する情報を含む識別マークが付されている。そして、切削ブレード３６は、識別マークが付された面が載置面６６ａと対向するようにブレード保管部６８に収容される。
【0060】
識別マークの例としては、バーコードや２次元コードが挙げられる。なお、識別マークは、切削ブレード３６に直接印字されていてもよいし、識別マークが印字されたシールを切削ブレード３６に貼り付けてもよい。例えば、切削ブレード３６に付される識別マークには、切削ブレード３６の種類（ハブタイプ又はワッシャータイプ）、外径、内径、厚さ、砥粒の材質及び粒径、結合材の材質、シリアル番号等の情報が含まれる。
【0061】
読み取りユニット７２は、例えば可視光カメラ、赤外線カメラ等によって構成され、載置台６６及びブレード保管部６８を介して、切削ブレード３６に付された識別マークを読み取る。そのため、載置台６６及びブレード保管部６８の材質は、読み取りユニット７２の種類に応じて選択される。
【0062】
例えば、読み取りユニット７２が可視光カメラである場合、載置台６６及びブレード保管部６８の全体又は一部が、可視光が透過する部材によって構成される。具体的には、載置台６６としては、プラスチック、ガラス（例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス）等の透明体でなる基板を用いることができる。また、ブレード保管部６８としては、プラスチック等の透明体でなるケースを用いることができる。
【0063】
ただし、載置台６６及びブレード保管部６８の材質は、読み取りユニット７２の種類に応じて適宜変更できる。例えば、読み取りユニット７２が赤外線カメラである場合には、載置台６６及びブレード保管部６８は赤外線が透過する部材によって構成される。
【0064】
読み取りユニット７２は、一のブレード保管部６８の直下に配置される。そして、読み取りユニット７２の直上に配置されたブレード保管部６８に保管されている切削ブレード３６に付された識別マークが、読み取りユニット７２によって読み取られる。また、載置台６６を回転させることにより、読み取りユニット７２の直上に配置されるブレード保管部６８を変更することができる。これにより、載置台６６に載置されている任意の切削ブレード３６に付された識別マークの読み取りが可能となる。
【0065】
なお、読み取りユニット７２は載置台６６の上側に設けられていてもよい。この場合、切削ブレード３６は、識別マークが付された面が上方に露出するようにブレード保管部６８に収容される。
【0066】
また、図１に示すように、切削装置２は情報を表示する表示部（表示ユニット、表示装置）７４を備える。表示部７４は、各種のディスプレイによって構成され、切削装置２に関する各種の情報（加工条件、加工状況、被加工物１１の画像等）を表示する。
【0067】
表示部７４としては、例えばタッチパネルが用いられる。この場合、表示部７４には切削装置２を操作するための操作画面が表示され、切削装置２のオペレーターは表示部７４のタッチ操作によって切削装置２に情報を入力できる。すなわち、表示部７４は、切削装置２に各種の情報を入力するための入力部（入力ユニット、入力装置）としても機能し、ユーザーインターフェースとして用いられる。ただし、入力部は、表示部７４とは別途独立して設けられたマウス、キーボード等であってもよい。
【0068】
また、切削装置２は表示灯（警告灯）７６を備える。例えば表示灯７６は、切削装置２で異常が発生した際に所定の色又はパターンで点灯する。また、切削装置２には、音又は音声を発するスピーカー（不図示）が搭載されていてもよい。
【0069】
表示部７４に表示された情報、表示灯７６の点灯色又は点灯パターンに対応する情報、スピーカーが発する情報は、オペレーターに報知される。すなわち、表示部７４、表示灯７６及びスピーカーは、オペレーターに情報を報知する報知部（報知ユニット、報知装置）に相当する。
【0070】
さらに、切削装置２は、切削装置２を制御する制御部（制御ユニット、制御装置）７８を備える。制御部７８は、切削装置２を構成する各構成要素（エレベータ６、洗浄ユニット１２、ガイドレール１６、チャックテーブル２２、クランプ２４、サブテーブル２６、切削ユニット３０、撮像ユニット５２、第１搬送ユニット５４、第２搬送ユニット５６、ブレード交換ユニット５８、ストックユニット６４、表示部７４、表示灯７６等）に接続されている。制御部７８は、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を生成し、切削装置２の稼働を制御する。
【0071】
例えば制御部７８は、コンピュータによって構成される。具体的には、制御部７８は、切削装置２の稼働に必要な演算を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサと、切削装置２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリとを含んで構成される。
【0072】
上記の切削装置２によって、被加工物１１の切削加工が行われる。被加工物１１を加工する際は、まず、加工の対象となる被加工物１１を含むフレームユニット１７が、カセット１０に収容される。そして、カセット１０がエレベータ６の昇降台８上に載置される。
【0073】
カセット１０に収容されたフレームユニット１７は、第１搬送ユニット５４によってカセット１０から搬出される。具体的には、第１搬送ユニット５４は把持機構５４ｂでフレーム１５の端部を把持した状態で、カセット１０から離れるようにＸ軸方向に沿って移動する。これにより、フレームユニット１７がカセット１０から引き出され、一対のガイドレール１６上に配置される。そして、フレームユニット１７が一対のガイドレール１６によって挟み込まれ、フレームユニット１７の位置合わせが行われる。
【0074】
次に、第１搬送ユニット５４は保持ユニット５４ａでフレーム１５の上面側を保持し、フレームユニット１７を搬送領域に配置されたチャックテーブル２２上に搬送する。そして、チャックテーブル２２は、被加工物１１の裏面側（テープ１３側）を吸引保持した状態で搬送領域から加工領域に移動する。これにより、被加工物１１が加工室２８の内側に配置される。
【0075】
そして、撮像ユニット５２で被加工物１１を撮像することによって取得された画像に基づいて被加工物１１と切削ユニット３０との位置合わせが行われた後、被加工物１１が切削ユニット３０によって切削される。例えば、被加工物１１は、切削ブレード３６（図２参照）によって分割予定ラインに沿って切削され、複数のデバイスチップに分割される。
【0076】
切削加工が完了すると、チャックテーブル２２は搬送領域へ移動する。そして、第２搬送ユニット５６は保持ユニット５６ａでフレーム１５の上面側を保持し、フレームユニット１７をチャックテーブル２２から洗浄ユニット１２へ搬送する。そして、洗浄ユニット１２によって被加工物１１の洗浄が行われる。
【0077】
被加工物１１の洗浄が完了すると、第１搬送ユニット５４は保持ユニット５４ａでフレーム１５を保持し、フレームユニット１７を一対のガイドレール１６上へ搬送する。そして、フレームユニット１７が一対のガイドレール１６によって挟み込まれ、フレームユニット１７の位置合わせが行われる。その後、第１搬送ユニット５４は把持機構５４ｂでフレーム１５を把持した状態でカセット１０側に向かって移動し、フレームユニット１７をカセット１０に収容する。
【0078】
なお、切削ブレード３６（図２参照）によって被加工物１１を加工する際には、切削ブレード３６の形状の修正や切削ブレード３６の切れ味の確保等を目的として、切削ブレード３６の先端部を意図的に摩耗させるドレッシングを実施してもよい。このドレッシングは、切削ブレード３６をドレッシングボードに切り込ませることによって行われる。例えばドレッシングボードは、グリーンカーボランダム（ＧＣ）、ホワイトアランダム（ＷＡ）等でなる砥粒を、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材で固定することによって形成される。
【0079】
ドレッシングを実施すると、切削ブレード３６の結合材がドレッシングボードと接触して摩耗し、切削ブレード３６の形状がスピンドル３４と同心状に整えられるとともに（真円出し）、砥粒が結合材から適度に露出する（目立て）。ドレッシングが施された切削ブレード３６を用いることにより、切削加工の質が向上する。
【0080】
また、切削ブレード３６によって被加工物１１を加工する際には、切削ブレード３６を検査用ボードに切り込ませ、切削ブレード３６の形状の検査や位置の修正が行われることがある。例えば、切削ブレード３６を検査用ボードに切り込ませ、検査用ボードに形成された溝（切削溝）を観察することにより、切削ブレード３６の先端部が所望の形状となっているか否かが検査される。また、検査用ボードに形成された切削溝の長さに基づいて、切削ブレード３６の下端の位置（切り込み深さ）が算出され、切削ブレード３６の高さ位置の調整が行われる。
【0081】
検査用ボードとしては、例えばシリコンでなる板状の部材（シリコンボード）が用いられる。ただし、検査用ボードの材質は、切削ブレード３６によって検査用ボードを切削可能であれば制限はない。検査用ボードの材質の例は、被加工物１１と同様である。
【0082】
ドレッシングボード及び検査用ボードは、一対のサブテーブル２６によって保持され、切削ブレード３６によって切削される。なお、一方のサブテーブル２６には一方の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６によって切削されるドレッシングボード又は検査用ボードが保持され、他方のサブテーブル２６には他方の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６によって切削されるドレッシングボード又は検査用ボードが保持される。すなわち、一対のサブテーブル２６は、一対の切削ユニット３０に対応して設けられている。
【0083】
制御部７８のメモリには、切削装置２の一連の動作を記述するプログラムが記憶されている。そして、オペレーターが切削装置２に被加工物１１、ドレッシングボード、又は検査用ボードの切削を指示すると、制御部７８はプログラムを読み出して実行し、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を順次生成する。
【0084】
切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６は、被加工物１１を切削することによって徐々に摩耗するため、定期的に交換される。切削装置２においては、ブレード交換ユニット５８によって切削ブレード３６の交換が自動で実施される。
【0085】
図４は、ブレード交換ユニット５８を示す斜視図である。ブレード交換ユニット５８は、移動部８０と、切削ブレード３６の交換を行う交換装置（交換機構）１００とを備える。移動部８０は、交換装置１００を移動させて任意の位置に位置付ける移動機構（移動ユニット）であり、交換装置１００をＺ軸方向に沿って移動（昇降）させる昇降機構８２と、交換装置１００を水平方向（ＸＹ平面方向）に沿って移動させる多関節アーム８６とを備える。
【0086】
昇降機構８２は、Ｚ軸方向に沿って配置された平板状の支持部材８４を備え、多関節アーム８６を支持部材８４に沿ってＺ軸方向に移動させる。例えば昇降機構８２は、支持部材８４の下部に設けられ出力軸（シャフト）に駆動プーリーが固定されたモータ（不図示）と、支持部材８４の上部に設けられた従動プーリー（不図示）とを備える。駆動プーリーと従動プーリーとには１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられ、歯付無端ベルトには金属等でなる第１支持具８８Ａが固定される。
【0087】
モータの出力軸を第１の方向に回転させると、第１支持具８８Ａが上昇し、第１の方向とは逆の第２の方向に回転させると第１支持具８８Ａが下降する。これにより、第１支持具８８ＡがＺ軸方向に沿って昇降する。
【0088】
ただし、昇降機構８２の構成は、第１支持具８８Ａの昇降が可能であれば制限はない。例えば昇降機構８２は、ボールねじ式の昇降機構であってもよい。ボールねじ式の昇降機構は、Ｚ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール（不図示）を有する。また、一対のガイドレールには、平板状の移動プレート（不図示）がガイドレールに沿ってスライド可能な状態で取り付けられる。
【0089】
移動プレートの表面（第１面）側には、第１支持具８８Ａが固定される。また、移動プレートの裏面（第２面）側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部は、一対のガイドレールと概ね平行に配置されたボールねじに螺合される。ボールねじの一端部にはパルスモータ（不図示）が連結されており、このパルスモータを回転させると第１支持具８８ＡがＺ軸方向に沿って昇降する。
【0090】
第１支持具８８Ａには、モータ等の回転駆動源を有する第１回転機構９０Ａが固定されている。この回転駆動源は、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されるように設けられている。第１回転機構９０Ａには、水平方向（ＸＹ平面方向）に沿って配置された第１アーム９２Ａの一端部が取り付けられている。
【0091】
第１アーム９２Ａの他端部には、第２回転機構９０Ｂが取り付けられている。第２回転機構９０Ｂは、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されたモータ等の回転駆動源を有する。第２回転機構９０Ｂには、水平方向（ＸＹ平面方向）に沿って配置された第２アーム９２Ｂの一端部が取り付けられている。
【0092】
第２アーム９２Ｂの他端部には、第３回転機構９０Ｃが取り付けられている。第３回転機構９０Ｃは、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されたモータ等の回転駆動源を有する。第３回転機構９０Ｃには、金属製の第２支持具８８Ｂが取り付けられている。そして、第２支持具８８Ｂには、切削ブレード３６の交換を行う交換装置１００が装着されている。
【0093】
切削装置２で被加工物１１の切削が行われる際は、交換装置１００は支持部材８４に隣接する位置（退避位置）に配置される（図１参照）。そして、切削ブレード３６の交換が実施される際には、交換装置１００は、昇降機構８２によってＺ軸方向に沿って昇降するとともに、多関節アーム８６によって水平方向（ＸＹ平面方向）に沿って移動し、任意の位置に位置付けられる。
【0094】
次に、交換装置１００の構成例について説明する。図５は、交換装置１００を示す斜視図である。また、図６（Ａ）は交換装置１００を示す側面図であり、図６（Ｂ）は交換装置１００を示す正面図である。なお、図６（Ｂ）では、後述の連結部材１１４ａ，１１４ｂの図示を省略している。以下、主に図５を参照して交換装置１００の構成を説明する。
【0095】
交換装置１００は、切削ブレード３６及び固定ナット４８（図２参照）の着脱を行う着脱ユニット１０２を備える。また、着脱ユニット１０２には、着脱ユニット１０２を回転させる回転機構１０４が連結されている。
【0096】
回転機構１０４は、着脱ユニット１０２に連結される回転部（シャフト）１０６と、回転部１０６を、回転部１０６の内部を通る回転軸１０６ａの周りで回転（自転）させるモータ（回転駆動源、不図示）とを備える。モータは、回転部１０６を回転軸１０６ａの周りで双方向（第１の方向と、第１の方向とは逆方向の第２の方向）に回転させる。回転部１０６が回転すると、回転部１０６に連結された着脱ユニット１０２が回転部１０６に連動して回転軸１０６ａの周りで回転する。
【0097】
着脱ユニット１０２は、回転機構１０４の回転部１０６に連結された枠体１１０を備える。枠体１１０は、金属等でなり互いに概ね平行に配置された一対の板状の支持部材１１２ａ，１１２ｂを備える。
【0098】
支持部材１１２ａ，１１２ｂの間には、直方体状の連結部材１１４ａ，１１４ｂが設けられている。連結部材１１４ａは、支持部材１１２ａ，１１２ｂの一端部（回転部１０６側）に固定され、連結部材１１４ｂは、支持部材１１２ａ，１１２ｂの他端部（回転部１０６とは反対側）に固定されている。すなわち、支持部材１１２ａ，１１２ｂは、連結部材１１４ａ，１１４ｂを介して互いに連結されている。
【0099】
枠体１１０には、切削ブレード３６を切削ユニット３０に装着するための固定ナット４８（図２参照）を保持して回転させる固定ナット着脱ユニット１２０が装着されている。固定ナット着脱ユニット１２０は、固定ナット４８を保持する固定ナット保持部１２２と、固定ナット保持部１２２に連結された柱状の回転部（シャフト）１２４（図６（Ｂ）参照）とを備える。
【0100】
回転部１２４は、筒状のハウジング１２６に収容されている。回転部１２４の一端側（先端部）はハウジング１２６から露出しており、回転部１２４の一端側に固定ナット保持部１２２が接続される。また、回転部１２４の他端側（基端部）には、固定ナット保持部１２２及び回転部１２４を回転させるモータ（回転駆動源）１２８が連結されている。
【0101】
モータ１２８は、回転部１２４を、回転部１２４の内部を通る回転軸１２４ａの周りで双方向（第１の方向と、第１の方向とは逆方向の第２の方向）に回転（自転）させる。回転部１２４が回転すると、回転部１２４に連結された固定ナット保持部１２２が回転部１２４に連動して回転軸１２４ａの周りを回転する。
【0102】
なお、支持部材１１２ａの中央部には、支持部材１１２ａを厚さ方向に貫通する開口（不図示）が設けられており、支持部材１１２ｂの中央部には、支持部材１１２ｂを厚さ方向に貫通する開口（不図示）が設けられている。そして、ハウジング１２６から露出する回転部１２４の一端側は、支持部材１１２ａの開口に挿入され、支持部材１１２ａから枠体１１０の外側に向かって突出する。また、回転部１２４の他端側は、ハウジング１２６の端部とともに支持部材１１２ｂの開口に挿入され、支持部材１１２ｂから枠体１１０の外側に向かって突出する。
【0103】
回転部１２４の一端側は、枠体１１０の外側で固定ナット保持部１２２に連結される。また、回転部１２４の他端側は、枠体１１０の外側でモータ１２８に連結される。これにより、枠体１１０が固定ナット保持部１２２とモータ１２８とによって挟まれ、固定ナット着脱ユニット１２０が枠体１１０に装着される。そして、固定ナット着脱ユニット１２０は、固定ナット保持部１２２の回転軸（回転軸１２４ａ）が回転部１０６の回転軸１０６ａと垂直な方向に沿うように配置される。
【0104】
固定ナット保持部１２２は、回転部１２４の一端側に固定された円柱状の回転部材１３０を備える。回転部材１３０は、ばね等によって支持部材１１２ａとは反対側に向かって付勢されており、外力が付与されると支持部材１１２ａ側に向かって移動する。
【0105】
また、回転部材１３０は、支持部材１１２ａとは反対側に位置する表面１３０ａを備える。そして、回転部材１３０には、表面１３０ａから突出する複数（図５では４個）の保持ピン１３２が、表面１３０ａの周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。
【0106】
保持ピン１３２は、固定ナット４８の貫通孔４８ｂ（図２参照）に対応して形成されており、貫通孔４８ｂに挿入可能となっている。なお、保持ピン１３２の数、大きさ、配置等は、貫通孔４８ｂに応じて適宜設定される。
【0107】
回転部材１３０の周囲には、固定ナット４８を把持する複数（図５では４個）の把持部材１３４が、回転部材１３０の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１３４はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１３４の基端部（一端側）は回転部材１３０の外周面に固定されている。
【0108】
把持部材１３４の先端部（他端側）は回転部材１３０の表面１３０ａから突出しており、この先端部には、回転部材１３０の中心側に向かって屈曲した爪部１３４ａが形成されている。また、把持部材１３４は、ばね等によって回転部材１３０の半径方向外側に向かって付勢されており、外力が付与されると爪部１３４ａが回転部材１３０の半径方向内側に向かって移動する。
【0109】
さらに、回転部材１３０の周囲には、中空の円柱状に形成されたカバー１３６が設けられている。カバー１３６は、回転部材１３０とは独立して回転軸１２４ａの周りで回転可能に構成されており、回転部材１３０と複数の把持部材１３４の基端側とを囲むように配置されている。回転部材１３０の表面１３０ａがカバー１３６の内側（支持部材１１２ａ側）に向かって押圧されると、回転部材１３０を付勢するばね等が縮み、回転部材１３０が複数の把持部材１３４とともにカバー１３６の内側に押し込まれる。
【0110】
回転部材１３０が押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、複数の把持部材１３４の先端側（爪部１３４ａ側）がカバー１３６の内壁と接触して押圧され、把持部材１３４を付勢するばね等が縮む。これにより、複数の把持部材１３４の先端側が回転部材１３０の半径方向内側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１３４は、その長さ方向がカバー１３６の内壁に沿うように配置された状態となる（閉状態）。このとき、把持部材１３４の爪部１３４ａは、例えば回転部材１３０の外周縁よりも回転部材１３０の半径方向内側に配置される。
【0111】
一方、回転部材１３０に対する押圧が解除されると、回転部材１３０がカバー１３６の外側に向かって移動し、把持部材１３４の先端側がカバー１３６の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１３４の先端側が回転部材１３０の半径方向外側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１３４の先端側が、閉状態の際よりも回転部材１３０の半径方向外側に配置された状態となる（開状態）。このとき、把持部材１３４の爪部１３４ａは、例えば回転部材１３０の外周縁よりも回転部材１３０の半径方向外側に配置される。
【0112】
さらに、回転部材１３０の外周面には、回転部材１３０の外周面から突出する複数（例えば４個）のピン１３８が設けられている。また、カバー１３６には、カバー１３６を外周面から内周面（内壁）まで貫通する複数（例えば４個）の開口１３６ａが設けられている。そして、ピン１３８の先端部はそれぞれ、開口１３６ａに挿入される。
【0113】
開口１３６ａの支持部材１１２ａとは反対側に位置する端部は、段差状に形成されており、第１ピン受け部１３６ｂと第２ピン受け部１３６ｃとを含む。第２ピン受け部１３６ｃは、第１ピン受け部１３６ｂよりも回転部材１３０の表面１３０ａから離れた位置（支持部材１１２ａ側）に配置されている。
【0114】
固定ナット保持部１２２は、初期状態ではピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂに接触した状態となっている。そして、回転部材１３０が押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂから離れる。この状態で回転部１２４を第１の方向に回転させると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂ側から第２ピン受け部１３６ｃ側に移動する。
【0115】
その後、回転部材１３０の押圧が解除されると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃと接触し、第２ピン受け部１３６ｃによって支持された状態となる。これにより、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態が維持され、複数の把持部材１３４が閉状態に維持される。
【0116】
一方、カバー１３６の内側に押し込まれた状態の回転部材１３０が、さらに押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃから離れる。この状態で回転部１２４を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃ側から第１ピン受け部１３６ｂ側に移動する。
【0117】
その後、回転部材１３０の押圧が解除されると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂと接触し、第１ピン受け部１３６ｂによって支持された状態となる。これにより、回転部材１３０はカバー１３６の内側から押し出され、複数の把持部材１３４が開状態となる。
【0118】
上記の固定ナット着脱ユニット１２０は、固定ナット４８を保持して回転する。具体的には、まず、保持ピン１３２が固定ナット４８の貫通孔４８ｂ（図２参照）に挿入されるように、回転部材１３０の表面１３０ａが固定ナット４８と接触する。この状態で回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれると、複数の把持部材１３４が閉状態となり、爪部１３４ａが固定ナット４８の外周面と接触して固定ナット４８を把持する。
【0119】
複数の把持部材１３４によって固定ナット４８が保持された状態で、モータ１２８で回転部１２４（図６（Ｂ）参照）を回転させると、回転部１２４に連結された回転部材１３０が回転し、把持部材１３４によって保持された固定ナット４８も回転する。
【0120】
固定ナット着脱ユニット１２０で固定ナット４８を保持して回転させることにより、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６の交換を行う際の、固定ナット４８の取り外し及び締め付けを自動で行うことができる。
【0121】
例えば、切削ユニット３０のブレードマウント４２に装着された固定ナット４８（図２参照）を取り外す際は、まず、昇降機構８２及び多関節アーム８６（図４参照）によって交換装置１００を移動させ、加工室２８の出入口２８ａ（図１参照）を介して交換装置１００を加工室２８の内部に配置する。そして、回転機構１０４によって着脱ユニット１０２を回転させ、固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２と対向させる。
【0122】
その後、固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２側に移動させる。これにより、ブレードマウント４２に装着されている固定ナット４８に、回転部材１３０の表面１３０ａ側が押し付けられる。このとき、回転部材１３０が備える複数の保持ピン１３２は、固定ナット４８の貫通孔４８ｂに挿入される。
【0123】
そして、回転部材１３０が固定ナット４８によって押圧されて回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれ、複数の把持部材１３４が閉状態となる。これにより、固定ナット４８が複数の把持部材１３４の爪部１３４ａによって把持される。
【0124】
次に、モータ１２８によって回転部１２４（図６（Ｂ）参照）を回転させ、回転部材１３０を回転軸１２４ａの周りで第１の方向（固定ナット４８を緩める方向）に回転させる。これにより、複数の把持部材１３４によって把持された固定ナット４８が回転して緩み、ブレードマウント４２のボス部４４から取り外される。なお、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態で第１の方向に回転すると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂ側から第２ピン受け部１３６ｃ側に移動する。
【0125】
その後、固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２から離れる方向に移動させる。このとき、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃによって支持されることにより、回転部材１３０はカバー１３６の内側に押し込まれた状態が維持される。これにより、複数の把持部材１３４が固定ナット４８を把持した状態（閉状態）が維持される。
【0126】
一方、切削ユニット３０のブレードマウント４２に固定ナット４８を取り付ける際は、まず、固定ナット４８を保持した状態の固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２と対向させ、固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２側に移動させる。これにより、固定ナット保持部１２２よって保持されている固定ナット４８がブレードマウント４２のボス部４４の先端部に位置付けられるとともに、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれる。
【0127】
次に、モータ１２８によって回転部１２４（図６（Ｂ）参照）を回転させ、回転部材１３０を回転軸１２４ａの周りで第１の方向とは逆方向の第２の方向（固定ナット４８を締める方向）に回転させる。これにより、固定ナット４８が回転してブレードマウント４２のボス部４４に形成された雄ねじ部４４ａに締め付けられ、ブレードマウント４２に装着される。なお、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態で第２の方向に回転すると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃ側から第１ピン受け部１３６ｂ側に移動する。
【0128】
その後、固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２から離れる方向に移動させる。このとき、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂによって支持される。そして、回転部材１３０がカバー１３６の内側から押し出され、複数の把持部材１３４による固定ナット４８の把持が解除される。
【0129】
なお、複数の把持部材１３４を閉状態又は開状態に維持する方法は、上記に限定されない。例えば、回転部材１３０にピン１３８を設ける代わりに、カバー１３６をカバー１３６の高さ方向に沿って移動させるアクチュエーターを着脱ユニット１０２に設けてもよい。例えばアクチュエーターは、エアシリンダ等によって構成され、支持部材１１２ａに固定される。このアクチュエーターによってカバー１３６を移動させることにより、複数の把持部材１３４の閉状態と開状態とを自由に切り替えることができる。
【0130】
支持部材１１２ａ，１１２ｂの間には、金属等でなる環状部材１４０が設けられている。環状部材１４０は、ハウジング１２６（回転部１２４）を囲み、且つ、ハウジング１２６と接触しないように、支持部材１１２ａ，１１２ｂと概ね平行な状態で配置されている。
【0131】
環状部材１４０は、複数の弾性体（弾性部材）１４２ａを介して支持部材１１２ａに連結されるとともに、複数の弾性体（弾性部材）１４２ｂを介して支持部材１１２ｂに連結されている。すなわち、環状部材１４０は弾性体１４２ａ，１４２ｂによって吊られ、支持部材１１２ａ，１１２ｂと接触していない状態で保持される（図６（Ｂ）参照）。
【0132】
例えば弾性体１４２ａ，１４２ｂは、ばね、ゴム等の伸縮可能な部材でなる。環状部材１４０に外力が付与されると、弾性体１４２ａ，１４２ｂの伸縮によって環状部材１４０は任意の方向に移動又は回転する。
【0133】
環状部材１４０の外周面には、切削ブレード３６を保持するブレード保持部（第１ブレード保持部）１５０Ａ及びブレード保持部（第２ブレード保持部）１５０Ｂが連結されている。ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、樹脂、金属等でなる円盤状の部材であり、環状部材１４０とは反対側を向く円形状の表面１５０ａ側で切削ブレード３６を保持する。ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、ブレード保持部１５０Ａの表面１５０ａとブレード保持部１５０Ｂの表面１５０ａとが枠体１１０の外側を向き、枠体１１０を挟んで互いに対向するように配置されている。
【0134】
ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、回転機構１０４の回転部１０６の周方向（回転方向）において、固定ナット保持部１２２と９０°離れるように配置される。そして、固定ナット保持部１２２と、ブレード保持部１５０Ａの表面１５０ａと、ブレード保持部１５０Ｂの表面１５０ａとは、回転部１０６の回転軸１０６ａの周りに互いに離隔した状態で、回転軸１０６ａとは反対側を向くように配置されている。
【0135】
次に、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂの構成例について説明する。図７（Ａ）はブレード保持部１５０Ａを示す正面図であり、図７（Ｂ）はブレード保持部１５０Ａを示す断面図である。なお、以下ではブレード保持部１５０Ａの構成及び機能について説明するが、ブレード保持部１５０Ｂの構成及び機能もブレード保持部１５０Ａと同じである。
【0136】
ブレード保持部１５０Ａは、樹脂、金属等でなる円盤状の枠体１５２を備える。枠体１５２は、互いに概ね平行な表面（第１面）１５２ａと裏面（第２面）１５２ｂとを備える。枠体１５２の表面１５２ａ側が、ブレード保持部１５０Ａの表面１５０ａ側に相当する。枠体１５２の表面１５２ａ側の中央部には、円形の第１溝（第１凹部）１５２ｃが設けられている。なお、第１溝１５２ｃの直径は、切削ブレード３６の基台３８の表面３８ａの直径よりも大きい（図７（Ｂ）参照）。
【0137】
さらに、第１溝１５２ｃの底部の中央部には、円形の第２溝（第２凹部）１５２ｄが設けられている。そして、第２溝１５２ｄの底部には、環状の第３溝（第３凹部）１５２ｅが、第２溝１５２ｄの外周に沿って所定の幅で形成されている。
【0138】
第３溝１５２ｅには、環状の弾性部材１５４が嵌め込まれている。弾性部材１５４は、ゴム、樹脂等の弾性変形が可能な弾性材料でなる。弾性部材１５４は、第３溝１５２ｅの内側に埋め込まれた基部１５４ａと、基部１５４ａから突出する一対のリップ部１５４ｂとを含む。一方のリップ部１５４ｂは、枠体１５２の半径方向外側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って配置されている。また、他方のリップ部１５４ｂは、枠体１５２の半径方向内側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って配置されている。
【0139】
一対のリップ部１５４ｂは、基部１５４ａから離れるほど互いに離隔するように、枠体１５２の表面１５２ａに対して傾斜している。すなわち、一対のリップ部１５４ｂはそれぞれ、第３溝１５２ｅの幅方向において、第３溝１５２ｅの内側から外側に向かって配置されている。また、一対のリップ部１５４ｂの先端は、枠体１５２の厚さ方向において、枠体１５２の表面１５２ａから突出している。
【0140】
基部１５４ａのうち、一対のリップ部１５４ｂの間の空間と重なる領域には、基部１５４ａを貫通する複数の貫通孔１５４ｃが設けられている。例えば図７（Ａ）に示すように、基部１５４ａには６つの貫通孔１５４ｃが、弾性部材１５４の周方向に沿って概ね等間隔に形成される。貫通孔１５４ｃの一端側は枠体１５２の表面１５２ａ側で開口しており、貫通孔１５４ｃの他端側は第３溝１５２ｅの底部に設けられた環状の第４溝（第４凹部）１５２ｆに連結されている。
【0141】
第４溝１５２ｆには、チューブ、パイプ等によって構成される流路１５６の一端側が接続されている。また、流路１５６の他端側は、バルブ１５８を介して吸引源１６０に接続されている。例えば、バルブ１５８は開閉が電気的に制御される電磁弁によって構成され、吸引源１６０はエジェクタによって構成される。バルブ１５８を開くと、吸引源１６０の負圧が、枠体１５２の第４溝１５２ｆ及び弾性部材１５４の貫通孔１５４ｃを介して、一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用する。
【0142】
また、流路１５６のうち第４溝１５２ｆとバルブ１５８との間の領域には、流路１５６の圧力を測定する圧力測定器（圧力センサ）１６２が接続されている。例えば圧力測定器１６２は、ゲージ圧（絶対圧と大気圧との差）に基づいて流路１５６の内部の負圧を測定する。圧力測定器１６２によって測定された流路１５６の圧力値は、制御部７８（図１参照）に出力され、記憶される。
【0143】
切削ブレードの交換を実施する際には、ブレードマウント４２（図２参照）に装着されている切削ブレード（使用済みの切削ブレード）３６、又は、ストックユニット６４（図１参照）に保管されている交換用の切削ブレード（未使用の切削ブレード）３６が、ブレード保持部１５０Ａによって保持される。
【0144】
ブレード保持部１５０Ａで切削ブレード３６を保持する際は、まず、バルブ１５８を開き、吸引源１６０の負圧を一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用させる。そして、ブレード保持部１５０Ａの表面１５０ａ側を切削ブレード３６に対向させた状態で、ブレード保持部１５０Ａを切削ブレード３６の基台３８に近づける。基台３８の表面３８ａが一対のリップ部１５４ｂの先端に接触すると、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉され、吸引源１６０の負圧によって減圧される。これにより、切削ブレード３６がブレード保持部１５０Ａによって吸引保持される。
【0145】
なお、ブレード保持部１５０Ａによって所望の対象物が適切に保持されているか否かは、圧力測定器１６２によって流路１５６の圧力を測定することによって判別することができる。例えば、ブレード保持部１５０Ａで切削ブレード３６を保持すると、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉される。そのため、ブレード保持部１５０Ａが切削ブレード３６を保持している状態での流路１５６の圧力Ｐ１と、ブレード保持部１５０Ａが切削ブレード３６と接触していない状態での流路１５６の圧力Ｐ２（＞Ｐ１）とは異なる。そのため、圧力測定器１６２によって測定された圧力と、予め設定された閾値Ｐｔｈ（Ｐａ＜Ｐｔｈ＜Ｐ２）とを比較することにより、切削ブレード３６がブレード保持部１５０Ａによって保持されているか否かを判別できる。
【0146】
上記の判別は、例えば、制御部７８（図１参照）に予め閾値Ｐｔｈを記憶しておき、圧力測定器１６２によって測定された圧力と閾値Ｐｔｈとを比較する処理を制御部７８に実行させることによって実施できる。この場合、制御部７８には、測定された圧力と閾値Ｐｔｈとを比較する処理が記述されたプログラムが記憶される。そして、制御部７８はプログラムを読み出して実行することにより、測定された圧力と閾値Ｐｔｈとの比較を行う。
【0147】
上記のように、ブレード保持部１５０Ａによって切削ブレード３６が保持される。なお、ブレード保持部１５０Ｂによって切削ブレード３６が保持される場合の手順も、ブレード保持部１５０Ａの場合と同様である。
【0148】
また、枠体１５２の表面１５２ａ側のうち、第４溝１５２ｆの内側の領域には、円柱状の第５溝（第５凹部）１５２ｇが設けられている。そして、第５溝１５２ｇの直径は、ブレードマウント４２のボス部４４（図２参照）の直径よりも大きく設定される。これにより、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂを切削ユニット３０に近づけた際、ボス部４４の先端部が第５溝１５２ｇに挿入され、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂと切削ユニット３０との接触が回避される。
【0149】
なお、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂには、必ずしも弾性部材１５４が設けられていなくてもよい。例えば、弾性部材１５４の代わりに、径の異なる２つのＯリングが同心円状に配置されてもよい。この場合、一方のＯリングは枠体１５２の半径方向外側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられ、他方のＯリングは枠体１５２の半径方向内側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられる。
【0150】
ここで、図５及び図６（Ｂ）に示すように、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、弾性体１４２ａ，１４２ｂを介して回転機構１０４の回転部１０６に連結されている。これにより、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、表面１５０ａ側が傾動可能な状態に維持される。すなわち、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂに外力が付与された際、表面１５０ａは任意の方向に自在に傾くことが可能となっている。
【0151】
そのため、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂの表面１５０ａ側に上記の切削ブレード３６が接触した際、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、表面１５０ａが切削ブレード３６の表面３８ａと平行に配置されるように傾く。これにより、ブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂの表面１５０ａ側が切削ブレード３６と適切に接触し、切削ブレード３６が確実に吸引保持される。
【0152】
上記の交換装置１００によって、切削ブレード３６の交換が行われる。切削ブレード３６の交換は、切削ユニット３０に装着されている使用済みの切削ブレード３６を取り外し、その後、交換用の切削ブレード３６を切削ユニット３０に装着することによって行われる。交換用の切削ブレード３６は、予めストックユニット６４（図１参照）にストックされている。
【0153】
次に、切削装置２の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６を交換するブレードの交換方法の具体例について説明する。切削ブレード３６を交換する際は、交換装置１００の固定ナット保持部１２２及びブレード保持部１５０Ａ，１５０Ｂ（図５等参照）を移動部８０（図４参照）によって移動させ、切削ブレード３６及び固定ナット４８の着脱を行う。
【0154】
まず、ストックユニット６４が備える載置台６６（図３参照）の載置面６６ａ上に、交換用の切削ブレード３６を載置する（準備ステップ）。具体的には、載置台６６の載置面６６ａ上に固定された複数のブレード保管部６８にそれぞれ、交換用の切削ブレード３６（未使用の切削ブレード３６）を収容する。
【0155】
次に、載置台６６の載置面６６ａ上に載置された交換用の切削ブレード３６を、交換装置１００のブレード保持部１５０Ｂによって保持する（交換用ブレード保持ステップ）。図８（Ａ）は、交換用ブレード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0156】
交換用ブレード保持ステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８２及び多関節アーム８６（図４参照）によって移動させ、ストックユニット６４の載置台６６上に配置する。また、回転機構１０４（図５等参照）によって枠体１１０を回転させ、ブレード保持部１５０Ｂを載置台６６の載置面６６ａと対向させる。
【0157】
次に、交換装置１００を下降させ、載置台６６の載置面６６ａ上に配置された交換用の切削ブレード３６にブレード保持部１５０Ｂを接触させる。そして、ブレード保持部１５０Ｂによって交換用の切削ブレード３６を吸引保持する。
【0158】
その後、交換装置１００を上昇させ、ブレード保持部１５０Ｂを載置台６６の載置面６６ａから離れる方向に移動させる。これにより、交換用の切削ブレード３６がブレード保持部１５０Ｂによって持ち上げられる。
【0159】
なお、交換用ブレード保持ステップでは、交換用の切削ブレード３６に付された識別マークを読み取りユニット７２（図３参照）によって読み取ってもよい。この場合には、識別マークに含まれる情報が制御部７８（図１参照）に出力される。そして、制御部７８は、識別マークに含まれる情報に基づいてブレード保持部１５０Ｂによって保持される交換用の切削ブレード３６を選択する。
【0160】
次に、切削ユニット３０のブレードマウント４２に装着されている固定ナット４８を、ブレードマウント４２から取り外す（固定ナット取り外しステップ）。図８（Ｂ）は、固定ナット取り外しステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0161】
固定ナット取り外しステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８２及び多関節アーム８６（図４参照）によって移動させ、交換装置１００を加工室２８（図１参照）内に配置する。また、交換装置１００の固定ナット保持部１２２を、切削ブレード３６及び固定ナット４８が装着された状態のブレードマウント４２と対向させる。
【0162】
そして、ブレードマウント４２に装着されている固定ナット４８を、固定ナット保持部１２２によって保持して回転させる。具体的には、複数の把持部材１３４（図５等参照）によって固定ナット４８を把持した状態で、回転部材１３０（図５等参照）をモータ１２８によって回転させることにより、固定ナット４８を第１の方向（固定ナット４８が緩む方向）に回転させる。その結果、固定ナット４８が緩み、ブレードマウント４２から取り外される。
【0163】
次に、固定ナット保持部１２２とブレードマウント４２とを離隔させる（第１退避ステップ）。図８（Ｃ）は、第１退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0164】
第１退避ステップでは、多関節アーム８６（図４参照）によって交換装置１００をブレードマウント４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、固定ナット保持部１２２が固定ナット４８を保持した状態でブレードマウント４２から離れる方向に移動する。
【0165】
次に、切削ユニット３０のブレードマウント４２に装着されている切削ブレード３６を、交換装置１００のブレード保持部１５０Ａによって保持する（使用済み切削ブレード保持ステップ）。図８（Ｄ）は、使用済み切削ブレード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0166】
使用済み切削ブレード保持ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図５等参照）を回転させることにより、ブレード保持部１５０Ａの表面１５０ａ側（図７（Ａ）等参照）をブレードマウント４２と対向させる。そして、交換装置１００をブレードマウント４２側に移動させ、ブレードマウント４２に装着されている使用済みの切削ブレード３６にブレード保持部１５０Ａを接触させる。そして、ブレード保持部１５０Ａによって使用済みの切削ブレード３６を吸引保持する。
【0167】
次に、ブレード保持部１５０Ａとブレードマウント４２とを離隔させる（第２退避ステップ）。図９（Ａ）は、第２退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0168】
第２退避ステップでは、多関節アーム８６（図４参照）によって交換装置１００をブレードマウント４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、ブレード保持部１５０Ａが使用済みの切削ブレード３６を保持した状態でブレードマウント４２から離れる方向に移動し、使用済みの切削ブレード３６がブレードマウント４２から取り外される。
【0169】
次に、交換装置１００のブレード保持部１５０Ｂによって保持されている交換用の切削ブレード３６を、ブレードマウント４２に装着する（切削ブレード装着ステップ）。図９（Ｂ）は、切削ブレード装着ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0170】
切削ブレード装着ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図５等参照）を回転させることにより、交換用の切削ブレード３６を保持しているブレード保持部１５０Ｂの表面１５０ａ（図７（Ａ）等参照）側をブレードマウント４２と対向させる。
【0171】
そして、交換装置１００をブレードマウント４２側に移動させ、交換用の切削ブレード３６の貫通孔３６ａ（図２参照）にブレードマウント４２のボス部４４（図２参照）が挿入されるように、交換用の切削ブレード３６を配置する。この状態で、ブレード保持部１５０Ｂによる交換用の切削ブレード３６の吸引保持を解除すると、交換用の切削ブレード３６がブレードマウント４２に装着される。
【0172】
次に、ブレード保持部１５０Ｂとブレードマウント４２とを離隔させる（第３退避ステップ）。図９（Ｃ）は、第３退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0173】
第３退避ステップでは、多関節アーム８６（図４参照）によって交換装置１００をブレードマウント４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、ブレード保持部１５０Ｂがブレードマウント４２から離れる方向に移動し、ブレードマウント４２に装着された交換用の切削ブレード３６から離れる。
【0174】
次に、固定ナット保持部１２２によって保持されている固定ナット４８を、ブレードマウント４２に装着する（固定ナット装着ステップ）。図９（Ｄ）は、固定ナット装着ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0175】
固定ナット装着ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図５等参照）を回転させることにより、固定ナット４８を保持している固定ナット保持部１２２をブレードマウント４２と対向させる。また、交換装置１００をブレードマウント４２側に移動させ、固定ナット４８をブレードマウント４２のボス部４４（図２参照）の先端部に位置付ける。
【0176】
そして、回転部材１３０（図５等参照）をモータ１２８によって回転させることにより、複数の把持部材１３４（図５等参照）によって把持されている固定ナット４８を、第２の方向（固定ナット４８が締まる方向）に回転させる。その結果、固定ナット４８がブレードマウント４２のボス部４４（図２参照）に締め付けられ、ブレードマウント４２に装着される。これにより、切削ブレード３６がブレードマウント４２と固定ナット４８とによって挟持され、スピンドル３４の先端部に固定される。
【0177】
以上の手順により、ブレードマウント４２に装着されている切削ブレード３６の交換が行われる。そして、ブレード保持部１５０Ａによって保持されている使用済みの切削ブレード３６は、ストックユニット６４のブレード保管部６８に載置される。
【0178】
なお、ブレードマウント４２と交換装置１００との接近及び離隔は、切削ユニット３０（ブレードマウント４２）を移動させることによって実施してもよい。例えば、第１退避ステップ、第２退避ステップ、及び第３退避ステップでは、切削ユニット３０を交換装置１００から離れるようにＹ軸方向に沿って移動させることにより、交換装置１００とブレードマウント４２とを互いに離隔させてもよい。
【0179】
次に、固定ナット４８がブレードマウント４２に装着される際（固定ナット装着ステップ、図９（Ｄ）参照）における、交換装置１００の動作の詳細について説明する。図１０は、切削ユニット３０のブレードマウント４２と交換装置１００の固定ナット保持部１２２とを示す一部断面正面図である。ブレードマウント４２には、切削ブレード３６が装着されている。また、固定ナット保持部１２２は固定ナット４８を保持しており、固定ナット４８は切削ブレード３６と接触して切削ブレード３６を支持する支持面４８ｃを備えている。
【0180】
固定ナット４８をブレードマウント４２に装着する際には、まず、固定ナット保持部１２２によって保持された固定ナット４８が、ブレードマウント４２のボス部４４に対面する初期位置に位置付けられる。例えば固定ナット４８は、ボス部４４の先端部に接触するように、ボス部４４の先端面と同心円状に位置付けられる。初期位置に位置付けられた固定ナット４８の支持面４８ｃのＹ軸方向（ボス部４４の長さ方向）における位置を、位置Ｐｉとする。
【0181】
次に、モータ１２８の動力によって固定ナット保持部１２２及び固定ナット４８を回転させる。これにより、固定ナット４８はボス部４４の雄ねじ部４４ａに螺合し、回転しながらフランジ部４６側に移動する。なお、固定ナット４８は、切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達するまで回転する。具体的には、固定ナット４８は支持面４８ｃが切削ブレード３６（基台３８の表面３８ａ）に接触するまで回転してボス部４４に締め付けられる。
【0182】
図１１（Ａ）は、固定ナット４８が固定位置に到達した状態のブレードマウント４２及び固定ナット保持部１２２を示す一部断面正面図である。固定位置に位置付けられた固定ナット４８の支持面４８ｃのＹ軸方向（ボス部４４の長さ方向）における位置を、位置Ｐｆとする。
【0183】
固定ナット保持部１２２を回転させ、固定ナット４８を固定位置に到達するまでフランジ部４６側に進行させると、支持面４８ｃが位置Ｐｉから位置Ｐｆに移動し、切削ブレード３６がフランジ部４６と固定ナット４８とによって挟持される。これにより、切削ブレード３６がブレードマウント４２に固定される。
【0184】
なお、固定ナット４８を初期位置に位置付ける際、移動部８０（図４参照）の経年劣化等の様々な要因によって、固定ナット４８が意図せずボス部４４の先端面に対して僅かに傾いた状態、すなわち、固定ナット４８の径方向とボス部４４の径方向とがずれた状態で配置されることがある。この場合、固定ナット４８を回転させても固定ナット４８がボス部４４の雄ねじ部４４ａに適切に螺合せず、固定ナット４８の締め付けが阻害されることがある。
【0185】
図１１（Ｂ）は、固定ナットが固定位置に到達していない状態のブレードマウント４２及び固定ナット保持部１２２を示す一部断面正面図である。固定ナット４８がボス部４４の先端面に対して傾斜した状態で固定ナット４８が回転すると、ボス部４４の雄ねじ部４４ａと固定ナット４８の雌ねじ部とが適切に噛み合わず、固定ナット４８の回転が妨げられる。その結果、固定ナット４８が固定位置に到達する前に固定ナット４８の回転が停止してしまう。
【0186】
固定ナット４８が固定位置に到達しないと、切削ブレード３６がブレードマウント４２に確実に固定されていない状態となる。そして、切削ブレード３６の固定が不十分な状態のままで被加工物１１の切削加工が続行されると、被加工物１１の加工不良や切削ブレード３６の破損が発生しやすくなる。
【0187】
そこで、本実施形態においては、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かの判定が行われる。これにより、切削ブレード３６の固定が不十分であることに気づかないまま被加工物１１の加工が開始されることを防止できる。
【0188】
固定ナット４８が固定位置に到達したか否かは、固定ナット４８の回転時間や回転数に基づいて判定できる。例えば、固定ナット４８及び固定ナット保持部１２２を回転させるモータ１２８（図１０等参照）のトルクが所定の閾値に達するまでの固定ナット４８の回転時間又は回転数に基づいて、固定ナット４８が固定位置に到達したか否かが判定される。
【0189】
図１２（Ａ）は、固定ナット４８が固定位置に到達する場合における固定ナット４８（固定ナット保持部１２２）の回転時間とモータ１２８のトルクとの関係を示すグラフである。固定ナット４８が初期位置に配置された状態で（図１０参照）、固定ナット保持部１２２をモータ１２８によって回転させると、固定ナット４８が所定の回転速度で回転し始める（時刻ｔ０）。そして、固定ナット４８がボス部４４の雄ねじ部４４ａに到達して固定ナット４８と雄ねじ部４４ａとが噛み合うまで（時刻ｔ１）、モータ１２８のトルクが徐々に増加する。
【0190】
その後、固定ナット４８は雄ねじ部４４ａと噛み合った状態で回転しながらフランジ部４６側に移動し、切削ブレード３６に接近する。そして、時刻ｔ１から所定の時間が経過すると、固定ナット４８の支持面４８ｃが切削ブレード３６に接触し、切削ブレード３６がフランジ部４６と固定ナット４８とによって挟まれる（図１１（Ａ）参照）。その結果、モータ１２８のトルクが急増する（時刻ｔ２）。
【0191】
ここで、時刻ｔ１におけるトルクの値と時刻ｔ２におけるトルクの値との間の値（例えば、時刻ｔ２の直前におけるトルクの値）、又は、時刻ｔ２におけるトルクの値が、トルクの閾値Ｔｔｈに設定される。また、固定ナット４８の回転が開始してからモータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達するまでの時間が、固定ナット４８の回転時間の基準値（基準時間ｔｒｅｆ）に設定される。そして、固定ナット４８が初期位置に正しく配置され、ボス部４４の雄ねじ部４４ａに正常に螺合する場合には、固定ナット４８の回転が開始してから基準時間ｔｒｅｆが経過すると、モータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達する。
【0192】
図１２（Ｂ）は、固定ナット４８が固定位置に到達しない場合における固定ナット４８（固定ナット保持部１２２）の回転時間とモータ１２８のトルクとの関係を示すグラフである。固定ナット４８がボス部４４の先端面に対して傾いた状態でボス部４４の雄ねじ部４４ａに螺合した場合にも、固定ナット４８の回転開始（時刻ｔ０）から固定ナット４８と雄ねじ部４４ａとが噛み合うまで（時刻ｔ１）、図１２（Ａ）と同様にモータ１２８のトルクが徐々に増加する。
【0193】
しかしながら、固定ナット４８がボス部４４の雄ねじ部４４ａに不適切に螺合するため、固定ナット４８が雄ねじ部４４ａに到達した後、固定ナット４８の回転が妨げられる。その結果、固定ナット４８が固定位置に到達して切削ブレード３６に接触する前に、固定ナット４８の回転が停止する。その結果、固定ナット４８の回転が開始してから基準時間ｔｒｅｆを経過する前に、モータ１２８のトルクが急増して閾値Ｔｔｈに達する（時刻ｔ３）。
【0194】
従って、固定ナット４８の回転が開始してからモータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達するまでの時間（ナット回転時間）を計測し、ナット回転時間と予め設定された基準時間ｔｒｅｆとを比較することにより、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かを判定できる。
【0195】
なお、ナット回転時間の代わりに、固定ナット４８の回転が開始してからモータ１２８のトルクが閾値に達するまでの間における固定ナット４８の回転数（ナット回転数）を計測してもよい。この場合には、固定ナット４８の回転数の基準値（基準回転数Ｒｒｅｆ）が予め設定される。基準回転数Ｒｒｅｆは、固定ナット４８がボス部４４の雄ねじ部４４ａに正常に螺合している場合において（図１１（Ａ）参照）、固定ナット４８の回転が開始してからモータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達するまでの間に固定ナット４８が回転した回数に相当する。
【0196】
固定ナット４８が初期位置に正しく配置され、ボス部４４の雄ねじ部４４ａに正常に螺合する場合には、固定ナット４８の回転数が基準回転数Ｒｒｅｆに達した際に、モータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達する。一方、固定ナット４８がボス部４４の先端面に対して僅かに傾いた状態で配置されると、固定ナット４８が雄ねじ部４４ａに不適切に螺合し、固定ナット４８の回転数が基準回転数Ｒｒｅｆに達する前に、モータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達する。そのため、ナット回転数と基準回転数Ｒｒｅｆとを比較することにより、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かを判定できる。
【0197】
固定ナット保持部１２２の動作及び固定ナット４８の位置の判定は、制御部７８によって制御される。図１３は、制御部７８を示すブロック図である。なお、図１３には制御部７８の機能的な構成を示すブロックに加えて、切削装置２の一部の構成要素（表示部７４、表示灯７６、交換装置１００のモータ１２８）を示すブロックを図示している。制御部７８は、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かを判定する判定部２００と、判定部２００による判定に用いられる情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部２０２とを含む。
【0198】
固定ナット４８を回転させてボス部４４の雄ねじ部４４ａに螺合させる際には、モータ１２８から制御部７８にモータ１２８のトルクの値が逐次入力される。また、記憶部２０２は、モータ１２８のトルクの閾値Ｔｔｈ（図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）参照）を記憶する閾値記憶部２０２ａを含む。
【0199】
判定部２００は、モータ１２８のトルクと閾値Ｔｔｈとを比較するトルク比較部２００ａを含む。トルク比較部２００ａには、モータ１２８からトルクの測定値が入力されるとともに、閾値記憶部２０２ａからトルクの閾値Ｔｔｈが入力される。そして、トルク比較部２００ａはトルクの測定値と閾値Ｔｔｈとを比較することにより、モータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達しているか否かを判定する。
【0200】
また、判定部２００は、時間を計測する計測部２００ｂと、固定ナット４８の螺合状態を判定する螺合判定部２００ｃとを含む。さらに、記憶部２０２は、螺合状態の判定に用いられる基準値を記憶する基準値記憶部２０２ｂを含む。例えば基準値記憶部２０２ｂには、基準時間ｔｒｅｆ（図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）参照）が判定値として記憶される。
【0201】
固定ナット４８の回転が開始すると、計測部２００ｂは固定ナット４８の回転が開始してから経過した時間を計測する。そして、計測部２００ｂによって計測された時間（計測時間）が螺合判定部２００ｃに入力される。また、基準値記憶部２０２ｂから螺合判定部２００ｃに基準時間ｔｒｅｆが入力される。
【0202】
モータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達すると、トルク比較部２００ａはトルクが閾値Ｔｔｈに達した旨を示す信号（閾値到達信号）を螺合判定部２００ｃに出力する。そして、螺合判定部２００ｃに閾値到達信号が入力されると、螺合判定部２００ｃは、計測部２００ｂによって計測された時間（計測時間）と、基準値記憶部２０２ｂに記憶されている基準時間ｔｒｅｆとを比較する。
【0203】
計測時間が時間ｔｒｅｆに達している場合には、螺合判定部２００ｃは固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達していると判定する。一方、計測時間が時間ｔｒｅｆ未満である場合には、螺合判定部２００ｃは固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達していないと判定する。このようにして、固定ナット４８の螺合状態が判定部２００によって判定される。
【0204】
判定部２００（螺合判定部２００ｃ）による判定の結果、すなわち、固定ナット４８が固定位置に到達しているか否かの情報は、制御部７８に含まれる報知部２０４及び報知制御部２０６に出力される。そして、報知部２０４は、判定部２００による判定の結果を外部のコンピュータ、サーバ等に送信することにより、判定結果を報知する。
【0205】
また、報知制御部２０６は、表示部７４及び表示灯７６を制御して、判定部２００による判定の結果を表示部７４及び表示灯７６に報知させる。例えば報知制御部２０６は、表示部７４に判定結果を示すメッセージ等を表示させるための制御信号を生成し、表示部７４に出力する。また、報知制御部２０６は、表示灯７６を判定結果に対応する色又はパターンで点灯させるための制御信号を生成し、表示灯７６に出力する。また、前述の通り、切削装置２にはスピーカーが搭載されていてもよい。この場合には、報知制御部２０６は、スピーカーに判定結果を示す音又は音声を発させるための制御信号を生成し、スピーカーに出力する。これにより、表示部７４、表示灯７６及びスピーカーが、固定ナット４８の螺合状態をオペレーターに報知する報知部として機能する。
【0206】
なお、判定部２００は、固定ナット４８の回転時間の代わりに、固定ナット４８の回転数に基づいて螺合状態を判定することもできる。この場合、計測部２００ｂは、固定ナット４８の回転が開始してからモータ１２８のトルクが閾値に達するまでの間における固定ナット４８の回転数をカウントし、螺合判定部２００ｃに逐次出力する。なお、固定ナット４８の回転数は、モータ１２８によって計測され、モータ１２８から螺合判定部２００ｃに入力されてもよい。また、基準値記憶部２０２ｂには、固定ナット４８の回転数の基準値（基準回転数Ｒｒｅｆ）が判定値として記憶される。
【0207】
トルク比較部２００ａから螺合判定部２００ｃに閾値到達信号が入力されると、螺合判定部２００ｃは、モータ１２８又は計測部２００ｂによって計測された固定ナット４８の回転数（計測回転数）と、基準値記憶部２０２ｂに記憶されている基準回転数Ｒｒｅｆとを比較する。そして、計測回転数が基準回転数Ｒｒｅｆに達している場合には、螺合判定部２００ｃは固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達していると判定する。一方、計測回転数が基準回転数Ｒｒｅｆ未満である場合には、螺合判定部２００ｃは固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達していないと判定する。
【0208】
なお、モータ１２８のトルクの値、モータ１２８の回転時間及び回転数、判定部２００による判定の結果及び判定時刻は、記憶部２０２や外部のサーバ等に記憶されてもよい。これにより、固定ナット４８の螺合状態に関する情報が蓄積され、被加工物１１の加工不良や切削ブレード３６の破損が生じた際における原因究明に活用することができる。
【0209】
図１４は、固定ナット４８の螺合状態の判定方法を示すフローチャートである。以下、主に図１３及び図１４を参照しつつ、固定ナット４８の螺合状態を判定する手順について説明する。なお、以下で説明する固定ナット４８の螺合状態の判定方法は、前述の固定ナット装着ステップ（図９（Ｄ）参照）において実施される。
【0210】
固定ナット装着ステップでは、まず、固定ナット４８を初期位置に配置する（ステップＳ１）。具体的には、移動部８０（図４参照）及び回転機構１０４（図５等参照）によって固定ナット保持部１２２の位置が調節され、固定ナット保持部１２２によって保持された固定ナット４８がブレードマウント４２のボス部４４の先端面と対向するように配置される（図１０参照）。
【0211】
次に、固定ナット４８の回転を開始する（ステップＳ２）。具体的には、モータ１２８の動力によって固定ナット保持部１２２を回転させ、固定ナット保持部１２２によって保持されている固定ナット４８を所定の回転速度で回転させる。
【0212】
固定ナット４８の回転が開始すると、モータ１２８のトルクの計測も開始され（ステップＳ３）、トルクの計測値がトルク比較部２００ａに入力される。また、固定ナット４８の回転が開始した後の固定ナット４８の回転時間又は回転数（モータ１２８の回転時間又は回転数）が、モータ１２８又は計測部２００ｂによって計測される。
【0213】
次に、モータ１２８のトルクと閾値Ｔｔｈとがトルク比較部２００ａによって比較される（ステップＳ４）。そして、モータ１２８のトルクが閾値Ｔｔｈに達していない場合は（ステップＳ４でＮＯ）、固定ナット４８の回転とモータ１２８のトルクの計測とが継続される。一方、モータ１２８のトルクが閾値に達している場合には（ステップＳ４でＹＥＳ）、トルク比較部２００ａから螺合判定部２００ｃに閾値到達信号が入力され、螺合判定部２００ｃによって固定ナット４８の螺合状態が判定される（ステップＳ５）。
【0214】
固定ナット４８の螺合状態が正常であり、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達していると判定されると（ステップＳ５でＹＥＳ）、固定ナット４８の螺合状態が正常である旨が、表示部７４、表示灯７６、報知部２０４等によって報知され（ステップＳ６）、固定ナット４８の装着が完了する。
【0215】
一方、固定ナット４８の螺合状態が異常であり、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達していないと判定されると（ステップＳ５でＮＯ）、固定ナット４８の回転が緊急停止される（ステップＳ７）。これにより、ボス部４４に適切に螺合していない固定ナット４８の締め付けが継続されてボス部４４の雄ねじ部４４ａ及び固定ナット４８の雌ねじ部が損傷することを回避できる。そして、固定ナット４８の螺合状態が異常である旨が、表示部７４、表示灯７６、報知部２０４等によって報知される（ステップＳ８）。
【0216】
固定ナット４８の螺合状態が異常であることが報知されると、固定ナット４８の異常な螺合を解消する措置がとられる（ステップＳ９）。例えば、切削装置２のオペレーターは、切削ユニット３０を点検し、必要に応じて固定ナット４８を手作業で取り外す。なお、固定ナット保持部１２２を固定ナット４８の締め付け時とは逆方向に回転させることにより、固定ナット４８をボス部４４から取り外してもよい。
【0217】
固定ナット４８の異常な螺合が解消された後、改めて固定ナット４８が初期位置に配置され（ステップＳ１）、固定ナット４８の装着が再開される。また、固定ナット４８がオペレーターの手作業によって取り外された場合には、オペレーターは続けて固定ナット４８を手作業でボス部４４に正しく螺合させてもよい。
【0218】
以上の通り、本実施形態に係る切削装置２は、初期位置に位置付けられた固定ナット４８を回転させてブレードマウント４２のボス部４４に設けられた雄ねじ部４４ａに螺合させる際、固定ナット４８が、切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かを判定する制御部７８（判定部２００）を備える。これにより、切削装置２で被加工物１１を加工する際に、切削ブレード３６が固定ナット４８によって適切に固定されているか否かを確認することが可能となる。その結果、切削ブレード３６の固定が不十分な状態で切削加工が実施されることを回避でき、被加工物１１の加工不良や切削ブレード３６の破損の発生が防止される。
【0219】
なお、上記実施形態においては、モータ１２８のトルクと、固定ナット４８の回転時間又は回転数とに基づいて固定ナット４８の螺合状態が判定される場合について説明した。ただし、判定部２００は他の情報に基づいて固定ナット４８の螺合状態を判定することもできる。
【0220】
例えば、固定ナット４８の回転は、ボス部４４に正常に螺合した固定ナット４８が固定位置に到達したとき、又は、ボス部４４に適切に螺合していない固定ナット４８が雄ねじ部４４ａに締め付けられた際に、強制的に停止される。そのため、固定ナット４８の回転が開始してから停止するまで（モータ１２８の回転速度がゼロになるまで）の固定ナット４８の回転時間又は回転数に基づいて、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かを判定することもできる。
【0221】
また、固定ナット４８の回転時間及び回転数に代わりに、固定ナット４８の移動距離を計測してもよい。具体的には、固定ナット４８の回転が開始すると、固定ナット４８の進行距離（ボス部４４の長さ方向における移動距離）がモータ１２８又は計測部２００ｂによって計測される。そして、固定ナット４８が固定位置に到達するために必要な固定ナット４８の進行距離と、固定ナット４８の実際の進行距離とが比較されることにより、固定ナット４８が切削ブレード３６の固定に適した固定位置に到達したか否かが判定される。
【0222】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【0223】
１１ 被加工物
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
１７ フレームユニット（被加工物ユニット）
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ 開口
６ エレベータ
８ 昇降台
１０ カセット
１０ａ ガイドレール
１２ 洗浄ユニット
１４ スピンナテーブル
１６ ガイドレール
１８ テーブルカバー
２０ 防塵防滴カバー
２２ チャックテーブル（保持テーブル）
２４ クランプ
２６ サブテーブル（保持テーブル）
２８ 加工室（カバー）
２８ａ 出入口（開口）
３０ 切削ユニット
３２ ハウジング
３４ スピンドル
３４ａ ねじ穴
３６ 切削ブレード
３６ａ 貫通孔（開口）
３８ 基台
３８ａ 表面（第１面）
３８ｂ 裏面（第２面）
４０ 切り刃
４２ ブレードマウント
４２ａ 貫通孔（開口）
４４ ボス部（支持軸）
４４ａ 雄ねじ部（ねじ溝）
４６ フランジ部
４６ａ 表面
４６ｂ 凸部
４６ｃ 支持面
４８ 固定ナット
４８ａ 貫通孔（開口）
４８ｂ 貫通孔
４８ｃ 支持面
５０ ねじ
５２ 撮像ユニット
５４ 第１搬送ユニット
５４ａ 保持ユニット
５４ｂ 把持機構
５６ 第２搬送ユニット
５６ａ 保持ユニット
５８ ブレード交換ユニット
６０ カバー
６２ ヒンジ
６４ ストックユニット
６６ 載置台
６６ａ 載置面
６８ ブレード保管部
６８ａ 凸部
７０ 回転部（シャフト）
７２ 読み取りユニット
７４ 表示部（表示ユニット、表示装置）
７６ 表示灯（警告灯）
７８ 制御部（制御ユニット、制御装置）
８０ 移動部
８２ 昇降機構
８４ 支持部材
８６ 多関節アーム
８８Ａ 第１支持具
８８Ｂ 第２支持具
９０Ａ 第１回転機構
９０Ｂ 第２回転機構
９０Ｃ 第３回転機構
９２Ａ 第１アーム
９２Ｂ 第２アーム
１００ 交換装置（交換機構）
１０２ 着脱ユニット
１０４ 回転機構
１０６ 回転部（シャフト）
１０６ａ 回転軸
１１０ 枠体
１１２ａ，１１２ｂ 支持部材
１１４ａ，１１４ｂ 連結部材
１２０ 固定ナット着脱ユニット
１２２ 固定ナット保持部
１２４ 回転部（シャフト）
１２４ａ 回転軸
１２６ ハウジング
１２８ モータ（回転駆動源）
１３０ 回転部材
１３０ａ 表面
１３２ 保持ピン
１３４ 把持部材
１３４ａ 爪部
１３６ カバー
１３６ａ 開口
１３６ｂ 第１ピン受け部
１３６ｃ 第２ピン受け部
１３８ ピン
１４０ 環状部材
１４２ａ，１４２ｂ 弾性体（弾性部材）
１５０Ａ ブレード保持部（第１ブレード保持部）
１５０Ｂ ブレード保持部（第２ブレード保持部）
１５０ａ 表面
１５２ 枠体
１５２ａ 表面（第１面）
１５２ｂ 裏面（第２面）
１５２ｃ 第１溝（第１凹部）
１５２ｄ 第２溝（第２凹部）
１５２ｅ 第３溝（第３凹部）
１５２ｆ 第４溝（第４凹部）
１５２ｇ 第５溝（第５凹部）
１５４ 弾性部材
１５４ａ 基部
１５４ｂ リップ部
１５４ｃ 貫通孔
１５６ 流路
１５８ バルブ
１６０ 吸引源
１６２ 圧力測定器（圧力センサ）
２００ 判定部
２００ａ トルク比較部
２００ｂ 計測部
２００ｃ 螺合判定部
２０２ 記憶部
２０２ａ 閾値記憶部
２０２ｂ 基準値記憶部
２０４ 報知部
２０６ 報知制御部
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
１７ フレームユニット（被加工物ユニット）
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ 開口
６ エレベータ
８ 昇降台
１０ カセット
１０ａ ガイドレール
１２ 洗浄ユニット
１４ スピンナテーブル
１６ ガイドレール
１８ テーブルカバー
２０ 防塵防滴カバー
２２ チャックテーブル（保持テーブル）
２４ クランプ
２６ サブテーブル（保持テーブル）
２８ 加工室（カバー）
２８ａ 出入口（開口）
３０ 切削ユニット
３２ ハウジング
３４ スピンドル
３４ａ ねじ穴
３６ 切削ブレード
３６ａ 貫通孔（開口）
３８ 基台
３８ａ 表面（第１面）
３８ｂ 裏面（第２面）
４０ 切り刃
４２ ブレードマウント
４２ａ 貫通孔（開口）
４４ ボス部（支持軸）
４４ａ 雄ねじ部（ねじ溝）
４６ フランジ部
４６ａ 表面
４６ｂ 凸部
４６ｃ 支持面
４８ 固定ナット
４８ａ 貫通孔（開口）
４８ｂ 貫通孔
４８ｃ 支持面
５０ ねじ
５２ 撮像ユニット
５４ 第１搬送ユニット
５４ａ 保持ユニット
５４ｂ 把持機構
５６ 第２搬送ユニット
５６ａ 保持ユニット
５８ ブレード交換ユニット
６０ カバー
６２ ヒンジ
６４ ストックユニット
６６ 載置台
６６ａ 載置面
６８ ブレード保管部
６８ａ 凸部
７０ 回転部（シャフト）
７２ 読み取りユニット
７４ 表示部（表示ユニット、表示装置）
７６ 表示灯（警告灯）
７８ 制御部（制御ユニット、制御装置）
８０ 移動部
８２ 昇降機構
８４ 支持部材
８６ 多関節アーム
８８Ａ 第１支持具
８８Ｂ 第２支持具
９０Ａ 第１回転機構
９０Ｂ 第２回転機構
９０Ｃ 第３回転機構
９２Ａ 第１アーム
９２Ｂ 第２アーム
１００ 交換装置（交換機構）
１０２ 着脱ユニット
１０４ 回転機構
１０６ 回転部（シャフト）
１０６ａ 回転軸
１１０ 枠体
１１２ａ，１１２ｂ 支持部材
１１４ａ，１１４ｂ 連結部材
１２０ 固定ナット着脱ユニット
１２２ 固定ナット保持部
１２４ 回転部（シャフト）
１２４ａ 回転軸
１２６ ハウジング
１２８ モータ（回転駆動源）
１３０ 回転部材
１３０ａ 表面
１３２ 保持ピン
１３４ 把持部材
１３４ａ 爪部
１３６ カバー
１３６ａ 開口
１３６ｂ 第１ピン受け部
１３６ｃ 第２ピン受け部
１３８ ピン
１４０ 環状部材
１４２ａ，１４２ｂ 弾性体（弾性部材）
１５０Ａ ブレード保持部（第１ブレード保持部）
１５０Ｂ ブレード保持部（第２ブレード保持部）
１５０ａ 表面
１５２ 枠体
１５２ａ 表面（第１面）
１５２ｂ 裏面（第２面）
１５２ｃ 第１溝（第１凹部）
１５２ｄ 第２溝（第２凹部）
１５２ｅ 第３溝（第３凹部）
１５２ｆ 第４溝（第４凹部）
１５２ｇ 第５溝（第５凹部）
１５４ 弾性部材
１５４ａ 基部
１５４ｂ リップ部
１５４ｃ 貫通孔
１５６ 流路
１５８ バルブ
１６０ 吸引源
１６２ 圧力測定器（圧力センサ）
２００ 判定部
２００ａ トルク比較部
２００ｂ 計測部
２００ｃ 螺合判定部
２０２ 記憶部
２０２ａ 閾値記憶部
２０２ｂ 基準値記憶部
２０４ 報知部
２０６ 報知制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】