特許 7639677 圧電装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-25

(45)【発行日】2025-03-05

(54)【発明の名称】圧電装置

(51)【国際特許分類】

   H10N 30/853 20230101AFI20250226BHJP

   H10N 30/87 20230101ALI20250226BHJP

   H10N 30/06 20230101ALI20250226BHJP

   H04R 17/02 20060101ALI20250226BHJP

   H03H 9/17 20060101ALI20250226BHJP

【ＦＩ】

H10N30/853

H10N30/87

H10N30/06

H04R17/02

H03H9/17 F

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2021214370

(22)【出願日】2021-12-28

(65)【公開番号】P2023097953

(43)【公開日】2023-07-10

【審査請求日】2024-05-10

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(73)【特許権者】

【識別番号】000003207

【氏名又は名称】トヨタ自動車株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】520124752

【氏名又は名称】株式会社ミライズテクノロジーズ

(73)【特許権者】

【識別番号】000191238

【氏名又は名称】日清紡マイクロデバイス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001128

【氏名又は名称】弁理士法人ゆうあい特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】櫻井 悠也

(72)【発明者】

【氏名】山田 英雄

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 愛美

(72)【発明者】

【氏名】榎本 哲也

(72)【発明者】

【氏名】勅使河原 明彦

(72)【発明者】

【氏名】臼井 孝英

(72)【発明者】

【氏名】池上 尚克

(72)【発明者】

【氏名】片上 崇治

【審査官】小山 満

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－２５２２５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－２５６３９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２１／１３１３１１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２００５／０２１０９８８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】欧州特許出願公開第１５７１５８６（ＥＰ，Ａ２）

【文献】米国特許出願公開第２０２２／０２３２３２８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】欧州特許出願公開第４０８２９６１（ＥＰ，Ａ１）

【文献】特開２０１０－１１８７３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０９２４３７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ１０Ｎ ３０／８５３

Ｈ１０Ｎ ３０／８７

Ｈ１０Ｎ ３０／０６

Ｈ０４Ｒ １７／０２

Ｈ０３Ｈ ９／１７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電装置であって、
下地材（４、１６、１４）と、
前記下地材の上面（４ａ、１６ａ、１４ａ）に接して前記下地材の上に配置され、導電材料で構成される第１導電膜（５、１７、１５）と、
前記第１導電膜の上面（５ａ、１７ａ、１５ａ）に接して前記第１導電膜の上に配置され、圧電材料で構成される圧電膜（６、１８、１６）と、
前記圧電膜の上に配置され、導電材料で構成される第２導電膜（７、１９、１７）と、
前記第２導電膜の上面から前記圧電膜および前記第１導電膜を貫通するトレンチ（９、２５、２７）の内部に設けられ、前記圧電膜よりも電気抵抗率が高い絶縁部（８、２１、２３）と、を備え、
前記絶縁部は、前記トレンチの内部に埋め込まれた絶縁材料で構成され、前記トレンチの底部から前記第２導電膜の上面と同じ位置まで埋め込まれている、圧電装置。

【請求項2】

圧電装置であって、
下地材（１４）と、
前記下地材の上面（１４ａ）に接して前記下地材の上に配置され、導電材料で構成される第１導電膜（１５）と、
前記第１導電膜の上面（１５ａ）に接して前記第１導電膜の上に配置され、圧電材料で構成される第１圧電膜（１６）と、
前記第１圧電膜の上に配置され、導電材料で構成される第２導電膜（１７）と、
前記第２導電膜の上面（１７ａ）に接して前記第２導電膜の上に配置され、圧電材料で構成される第２圧電膜（１８）と、
前記第２圧電膜の上に配置され、導電材料で構成される第３導電膜（１９）と、
前記第３導電膜の上面から前記第２圧電膜および前記第２導電膜を少なくとも貫通するトレンチ（２５、２７）の内部に設けられ、前記第２圧電膜よりも電気抵抗率が高い絶縁部（２１、２３）と、を備え、
前記絶縁部は、前記トレンチの底部から前記第３導電膜の上面と同じ位置まで埋め込まれている、圧電装置。

【請求項3】

前記トレンチ（２７）は、前記第２圧電膜、前記第２導電膜、前記第１圧電膜、前記第１導電膜を貫通する、請求項２に記載の圧電装置。

【請求項4】

前記絶縁部は、前記トレンチとして、前記第２圧電膜および前記第２導電膜を貫通し、前記第１圧電膜を貫通しない第１トレンチ（２５）に設けられた第１絶縁部（２１）であり、
前記圧電装置は、前記第１圧電膜の上面（１６ａ）に沿う方向で前記第１トレンチから離れた位置で、前記第１圧電膜および前記第１導電膜を貫通し、前記第２導電膜を貫通しない第２トレンチ（２６）の内部に設けられた第２絶縁部（２２）備える、請求項２に記載の圧電装置。

【請求項5】

前記絶縁部は、前記トレンチとして、前記第２圧電膜および前記第２導電膜を貫通し、前記第１圧電膜を貫通しない第１トレンチ（２５）に設けられた第１絶縁部（２１）であり
前記圧電装置は、
前記第１圧電膜の上面（１６ａ）に沿う方向で前記第１トレンチから離れた位置で、前記第１圧電膜および前記第１導電膜を貫通し、前記第２導電膜を貫通しない第２トレンチ（２６）の内部に設けられた第２絶縁部（２２）と、
前記第１圧電膜の上面に沿う方向で前記第１トレンチと前記第２トレンチとのそれぞれから離れた位置で、前記第２圧電膜、前記第２導電膜、前記第１圧電膜および前記第１導電膜を貫通する第３トレンチ（２７）の内部に設けられた第３絶縁部（２３）と、を備える、請求項２に記載の圧電装置。

【請求項6】

前記圧電装置は、前記第２絶縁部と前記第１圧電膜の両方の真上の位置に連続して配置された絶縁性のアモルファス膜（３１）を備え、
前記第２導電膜は、前記アモルファス膜の上面（３１ａ）に接して、前記第２絶縁部と前記第１圧電膜の両方の真上の位置に連続して配置されている、請求項４または５に記載の圧電装置。

【請求項7】

前記第２絶縁部および前記アモルファス膜は、同じ種類の絶縁材料で構成されている、請求項６に記載の圧電装置。

【請求項8】

前記下地材は、前記第１導電膜および前記第１圧電膜を構成する材料の結晶性を向上させる第１シード膜（１４）であり、
前記圧電装置は、前記第２絶縁部と前記第１圧電膜の両方の真上の位置に連続して配置され、前記第１シード膜と同じ材料で構成された第２シード膜（３２）を備え、
前記第２導電膜は、前記第２シード膜の上面（３２）に接して、前記第２絶縁部と前記第１圧電膜の両方の真上の位置に連続して配置されている、請求項４または５に記載の圧電装置。

【請求項9】

前記第２絶縁部は、前記第１シード膜と同じ材料で構成されている、請求項８に記載の圧電装置。

【請求項10】

前記圧電装置は、前記トレンチの側壁部に設けられた酸化物層（４１）を備える、請求項１ないし９のいずれか１つに記載の圧電装置。

【請求項11】

前記圧電材料は、ＳｃＡｌＮである、請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の圧電装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、下地材と、下地材の上に配置される第１導電膜と、第１導電膜の上に配置される圧電膜と、圧電膜の上に配置される第２導電膜とを備える圧電装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１２－５９７７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、２つの第１導電膜が、下地材の上面に間をあけて配置される。圧電膜が、２つの第１導電膜の上面と、下地材のうち２つの第１導電膜の間に位置する部分の上面とに接して連続して配置される。２つの第２導電膜が、圧電膜の上に間をあけて配置される。このような構造を持つ圧電装置を製造するときでは、１つの連続する圧電膜が、異なる材料の上面にまたがって成膜される。

【0005】

この場合、異なる材料の継ぎ目部分や、各材料上に成長した圧電層同士が合わさる部位等で、圧電膜の成膜の乱れが発生する。このため、圧電膜のうち２つの第１導電膜の間に位置する部分では、圧電材料の結晶性が悪化したり、クラックが発生したりする。この結果、一方の第１導電膜、圧電膜および一方の第２導電膜が積層された一方の積層部と、他方の第１導電膜、圧電膜および他方の第２導電膜が積層された他方の積層部との少なくとも一方を、圧電素子として使用したときに、各積層部の第１導電膜と第２導電膜との間の電流リーク、または、２つの第１導電膜の間の電流リークが生じる。

【0006】

なお、この問題は、圧電装置が１層の圧電膜を備える場合に限らず、圧電装置が複数の圧電膜を備える場合においても生じる。すなわち、この問題は、２つの導電膜が間をあけて配置され、２つの導電膜のそれぞれの上に圧電膜が配置される圧電装置において、圧電膜が２つの導電膜の間の位置に配置される場合に生じる。

【0007】

本発明は上記点に鑑みて、上記の場合に生じる電流リークを回避することができる圧電装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明によれば、
圧電装置は、
下地材（４、１６、１４）と、
下地材の上面（４ａ、１６ａ、１４ａ）に接して下地材の上に配置され、導電材料で構成される第１導電膜（５、１７、１５）と、
第１導電膜の上面（５ａ、１７ａ、１５ａ）に接して第１導電膜の上に配置され、圧電材料で構成される圧電膜（６、１８、１６）と、
圧電膜の上に配置され、導電材料で構成される第２導電膜（７、１９、１７）と、
第２導電膜の上面から圧電膜および第１導電膜を貫通するトレンチ（９、２５、２７）の内部に設けられ、圧電膜よりも電気抵抗率が高い絶縁部（８、２１、２３）と、を備え、
絶縁部は、トレンチの内部に埋め込まれた絶縁材料で構成され、トレンチの底部から第２導電膜の上面と同じ位置まで埋め込まれている。

【0009】

これによれば、絶縁部を挟んだ一方側に積層された第１導電膜および圧電膜と、絶縁部を挟んだ他方側に積層された第１導電膜および圧電膜との間の絶縁性が、絶縁部によって確保されている。すなわち、２つの第１導電膜の間に、圧電膜は配置されていない。これにより、本発明と異なり、圧電膜が２つの第１導電膜の間に配置されている場合に、圧電膜のうち２つの第１導電膜の間に位置する部分に生じる電流リークを回避することができる。

【0010】

また、請求項２に記載の発明によれば、
圧電装置は、
下地材（１４）と、
下地材の上面（１４ａ）に接して下地材の上に配置され、導電材料で構成される第１導電膜（１５）と、
第１導電膜の上面（１５ａ）に接して第１導電膜の上に配置され、圧電材料で構成される第１圧電膜（１６）と、
第１圧電膜の上に配置され、導電材料で構成される第２導電膜（１７）と、
第２導電膜の上面（１７ａ）に接して第２導電膜の上に配置され、圧電材料で構成される第２圧電膜（１８）と、
第２圧電膜の上に配置され、導電材料で構成される第３導電膜（１９）と、
第３導電膜の上面から第２圧電膜および第２導電膜を少なくとも貫通するトレンチ（２５、２７）の内部に設けられ、第２圧電膜よりも電気抵抗率が高い絶縁部（２１、２３）と、を備え、
絶縁部は、トレンチの底部から第３導電膜の上面と同じ位置まで埋め込まれている。

【0011】

これによれば、絶縁部を挟んだ一方側に積層された第２導電膜および第２圧電膜と、絶縁部を挟んだ他方側に積層された第２導電膜および第２圧電膜との間の絶縁性が、絶縁部によって確保されている。すなわち、２つの第２導電膜の間に、第２圧電膜は配置されていない。これにより、本発明と異なり、第２圧電膜が２つの第２導電膜の間に配置されている場合に、第２圧電膜のうち２つの第２導電膜の間に位置する部分に生じる電流リークを回避することができる。

【0012】

なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第１実施形態の圧電装置の断面図である。

【図2A】第１実施形態の圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図2B】図２Ａに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図2C】図２Ｂに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図3】比較例１の圧電装置の断面図である。

【図4】第２実施形態の圧電装置の断面図である。

【図5A】第２実施形態の圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図5B】図５Ａに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図5C】図５Ｂに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図5D】図５Ｃに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図5E】図５Ｄに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図6】第３実施形態の圧電装置の断面図である。

【図7】第４実施形態の圧電装置の断面図である。

【図8】第５実施形態の圧電装置の断面図である。

【図9A】第５実施形態の圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【図9B】図９Ａに続く圧電装置の製造工程を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

【0015】

（第１実施形態）
図１に示す本実施形態の圧電装置１は、センサ、アクチュエータ等に適用される。この圧電装置１は、基板２と、絶縁膜３と、シード膜４と、第１導電膜５と、圧電膜６と、第２導電膜７と、絶縁部８と、を備える。

【0016】

基板２は、シリコン（すなわち、Ｓｉ）等で構成される。絶縁膜３は、基板２の上面２ａに接して、基板２の上に配置されている。絶縁膜３は、絶縁材料で構成される膜である。絶縁膜３を構成する絶縁材料としては、酸化ケイ素（すなわち、ＳｉＯ_２）等が挙げられる。

【0017】

シード膜４は、絶縁膜３の上面３ａに接して、絶縁膜３の上に配置されている。シード膜４は、シード膜４の上に形成される第１導電膜５および圧電膜６を構成する材料の配向性（すなわち、結晶性）の向上のために用いられる。

【0018】

第１導電膜５は、導電材料で構成される膜である。第１導電膜５は、シード膜４の上面４ａに接して、シード膜４の上に配置されている。このため、本実施形態では、シード膜４は、第１導電膜５の下地である。

【0019】

圧電膜６は、第１導電膜５の上面５ａに接して、第１導電膜５の上に配置されている。圧電膜６は、圧電材料で構成される膜である。本実施形態では、圧電材料として、窒化アルミニウムスカンジウム（すなわち、ＳｃＡｌＮ）が用いられる。シード膜４を構成する材料として、窒化アルミニウム（すなわち、ＡｌＮ）が用いられる。なお、圧電材料として、ＡｌＮ、チタン酸ジルコン酸鉛（すなわち、ＰＺＴ）等の他の圧電材料が用いられてもよい。圧電材料として、ＡｌＮが用いられる場合、シード膜４を構成する材料として、ＡｌＮが用いられる。

【0020】

第２導電膜７は、圧電膜６の上面６ａに接して、圧電膜６の上に配置されている。第２導電膜７は、導電材料で構成される膜である。第１導電膜５と第２導電膜７のそれぞれを構成する導電材料としては、モリブデン、チタン、プラチナ、アルミニウム、ルテニウム等のいずれか１つを主成分とする金属材料が用いられる。導電材料として、金属材料以外の材料が用いられてもよい。第２導電膜７を構成する導電材料は、第１導電膜５を構成する導電材料と同じであるが、異なってもよい。

【0021】

絶縁部８は、第２導電膜７の上面７ａから圧電膜６および第１導電膜５を貫通するトレンチ９の内部に設けられている。トレンチ９の底部９ａは、シード膜４に位置する。絶縁部８は、圧電膜６と比較して、電気抵抗率が高い。電気抵抗率は、体積抵抗率である。絶縁部８の電気抵抗率は、１０^８Ω・ｍ以上である。絶縁部８は、トレンチ９の内部に埋め込まれた絶縁材料で構成される。絶縁材料は、トレンチ９の底部９ａから第２導電膜７の上面７ａと同じ位置まで埋め込まれている。絶縁部８を構成する絶縁材料としては、ＳｉＯ_２、窒化ケイ素（すなわち、ＳｉＮ）等が挙げられる。

【0022】

本実施形態の圧電装置１では、第１導電膜５のうち絶縁部８の一方側の第１導電膜５１、圧電膜６のうち絶縁部８の一方側の圧電膜６１、第２導電膜７のうち絶縁部８の一方側の第２導電膜７１が積層された一方側の積層部Ａ１を、圧電素子として使用することが可能である。一方側の積層部Ａ１を圧電素子として使用する場合、一方側の第１導電膜５１が下部電極として用いられ、一方側の第２導電膜７１が上部電極として用いられる。

【0023】

さらに、第１導電膜５のうち絶縁部８の他方側の第１導電膜５２、圧電膜６のうち絶縁部８の他方側の圧電膜６２、第２導電膜７のうち絶縁部８の他方側の第２導電膜７２が積層された他方側の積層部Ａ２を、圧電素子として使用することが可能である。絶縁部８の他方側は、絶縁部８の一方側の反対側である。他方側の積層部Ａ２を圧電素子として使用する場合、他方側の第１導電膜５２が下部電極として用いられ、他方側の第２導電膜７２が上部電極として用いられる。

【0024】

一方側の第１導電膜５１と、他方側の第１導電膜５２とは、離れているとともに、それらの間の絶縁部８によって、絶縁分離されている。一方側の第２導電膜７１と、他方側の第２導電膜７２とは、離れているとともに、それらの間の絶縁部８によって、絶縁分離されている。

【0025】

なお、一方側の積層部Ａ１と他方側の積層部Ａ２の使用方法によっては、一方側の第２導電膜７１と、他方側の第２導電膜７２とが、図示しない配線部によって、電気的に接続されてもよい。また、一方側の積層部Ａ１と他方側の積層部Ａ２の一方が、圧電素子として使用され、一方側の積層部Ａ１と他方側の積層部Ａ２の他方が圧電素子として使用されなくてもよい。

【0026】

次に、本実施形態の圧電装置１の製造方法について説明する。

【0027】

まず、図２Ａに示すように、基板２と、絶縁膜３と、シード膜４と、第１導電膜５と、圧電膜６と、第２導電膜７とが積層された積層体１０を形成することが行われる。この積層体１０を形成することにおいては、基板２の上に、絶縁膜３と、シード膜４と、第１導電膜５とが、この記載順に成膜される。その後、第１導電膜５の上面５ａに接して、第１導電膜５の上に圧電膜６が成膜される。その後、圧電膜６の上面６ａに接して、圧電膜６の上に第２導電膜７が成膜される。

【0028】

続いて、図２Ｂに示すように、第２導電膜７の上面７ａから第２導電膜７、圧電膜６および第１導電膜５を貫通するトレンチ９を形成することが行われる。トレンチ９の底部９ａは、シード膜４に位置する。トレンチ９は、フォトリソグラフィおよびエッチングによって形成される。エッチングの方法としては、第２導電膜７、圧電膜６および第１導電膜５のそれぞれを構成する材料に応じた方法が採用される。

【0029】

続いて、図２Ｃに示すように、トレンチ９の内部に絶縁材料を埋め込むことで、絶縁部８を形成することが行われる。このようにして、本実施形態の圧電装置１が製造される。

【0030】

本実施形態の効果について、図３に示す比較例１の圧電装置１Ａと対比して説明する。比較例１の圧電装置１Ａは、本実施形態の絶縁部８を備えていない。比較例１の圧電装置１Ａでは、２つの第１導電膜５１、５２は、シード膜４の上に、互いに間をあけて配置されている。圧電膜６は、２つの第１導電膜５１、５２の上と、それらの２つの第１導電膜５１、５２の間の位置とに、連続して配置されている。

【0031】

この比較例１の圧電装置１Ａの製造方法では、シード膜４の上に２つの第１導電膜５１、５２が間をあけて形成される。その後、２つの第１導電膜５１、５２の上面５ａと、シード膜４のうち２つの第１導電膜５１、５２の間に位置する部分の上面４ａとにわたって、１つの連続する圧電膜６が成膜される。このように、異なる材料の上面にまたがって１つの連続する圧電膜６が成膜される。

【0032】

この場合、異なる材料の継ぎ目部分や、各材料上に成長した圧電層同士が合わさる部位等で、圧電膜６の成膜の乱れが発生する。このため、圧電膜６のうち２つの第１導電膜５１、５２の間に位置する部分では、圧電材料の結晶性が悪化したり、クラックＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４が発生したりする。この結果、一方の第１導電膜５１、圧電膜６、一方の第２導電膜７１が積層された一方の積層部Ａ１と、他方の第１導電膜５２、圧電膜６、他方の第２導電膜７２が積層された他方の積層部Ａ２とのそれぞれを、圧電素子として使用したときに、第１導電膜５１、５２から第２導電膜７１、７２への電流リークＣ１が生じる。または、２つの第１導電膜５１、５２の間の電流リークＣ２が生じる。

【0033】

これに対して、本実施形態の圧電装置１は、シード膜４と、第１導電膜５と、圧電膜６と、第２導電膜７と、絶縁部８とを備える。圧電膜６は、第１導電膜５の上面５ａに接して第１導電膜５の上に配置される。絶縁部８は、圧電膜６および第１導電膜５を貫通するトレンチ９の内部に設けられ、圧電膜６よりも電気抵抗率が高い。

【0034】

この圧電装置１では、絶縁部８を挟んだ一方側に位置する、第１導電膜５、圧電膜６および第２導電膜７が、導電膜と圧電膜が積層された一方側の積層部Ａ１を構成する。絶縁部８を挟んだ他方側に位置する、第１導電膜５、圧電膜６および第２導電膜７が、導電膜と圧電膜が積層された他方側の積層部Ａ２を構成する。絶縁部８によって、一方側の積層部Ａ１の第１導電膜５および圧電膜６と、他方側の積層部Ａ２の第１導電膜５および圧電膜６との間の絶縁性が、確保されている。すなわち、２つの第１導電膜５の間に、圧電膜６は配置されていない。このため、比較例１の圧電装置１Ａで生じる電流リークを回避することができる。

【0035】

さらに、圧電膜６は、シード膜４の上面４ａと第１導電膜５の上面５ａとのうち第１導電膜５の上面５ａのみに接して形成されている。圧電膜６を形成するとき、圧電膜６は、一種類の材料の上面のみに接して形成される。このため、圧電膜６を構成する圧電材料の良好な結晶性を確保することができる。

【0036】

なお、本実施形態の圧電装置１の製造方法は、次のように変更可能である。積層体１０を用意することにおいて、第２導電膜７を有していない積層体１０を用意する。トレンチ９を形成することにおいて、圧電膜６の上面６ａから圧電膜６および第１導電膜５を貫通するトレンチ９を形成する。そして、トレンチ９の内部に絶縁材料を埋め込むことで、絶縁部８を形成する。その後、圧電膜６および絶縁部８のそれぞれの上面にわたって第２導電膜７を成膜する。第２導電膜７をパターニングする。

【0037】

また、本実施形態の圧電装置１の製造方法は、次のように変更可能である。トレンチ９を形成することにおいて、第２導電膜７、圧電膜６、第１導電膜５およびシード膜４を貫通し、トレンチ９の底部９ａが絶縁膜３に位置するトレンチ９を形成してもよい。その後、トレンチ９の内部に絶縁材料が埋め込まれることで、絶縁部８が形成される。これによって、シード膜４は、絶縁部８を挟んだ一方側に位置する一方側のシード膜４と、絶縁部８を挟んだ他方側に位置する他方側のシード膜４とに分断される。

【0038】

また、本実施形態の圧電装置１では、絶縁部８は、トレンチ９の内部に埋め込まれた絶縁材料で構成される。しかしながら、絶縁部８は、トレンチ９の内部に存在する空気、すなわち、空間部で構成されてもよい。空気の電気抵抗率は、２０℃のとき１．３×１０^１６～３．３×１０^１６Ω・ｍ以上である。

【0039】

また、本実施形態の圧電装置１は、シード膜４を備えている。しかしながら、圧電装置１は、シード膜４を備えていなくてもよい。この場合、第１導電膜５は、絶縁膜３の上面３ａに接して、絶縁膜３の上に配置される。絶縁膜３が、第１導電膜５の下地材である。

【0040】

（第２実施形態）
図４に示す本実施形態の圧電装置１１は、バイモルフ型のセンサへ適用される。このようなセンサとしては、圧電型のマイク等の高感度なセンサが挙げられる。圧電装置１１は、基板１２と、絶縁膜１３と、積層構造部Ｄ１とを備える。

【0041】

基板１２は、空間部１２１を有する。基板１２は、第１実施形態の基板２と同じ材料で構成される。絶縁膜１３は、基板１２の上面１２ａに接して、基板１２の上に配置されている。絶縁膜１３は、第１実施形態の絶縁膜３と同じ材料で構成される。

【0042】

積層構造部Ｄ１は、絶縁膜１３と空間部１２１とのそれぞれの上にまたがって配置されている。積層構造部Ｄ１のうち空間部１２１の上に位置する部分は、浮遊しており、振動可能である。この部分がセンシング部である。積層構造部Ｄ１のうち絶縁膜１３および基板１２の上に位置する部分は、絶縁膜１３および基板１２に支持されている。このように、積層構造部Ｄ１は、片持ち支持された状態となっている。

【0043】

積層構造部Ｄ１は、圧電膜と導電膜とが積層されている。具体的には、積層構造部Ｄ１は、下から上に、シード膜１４と、第１導電膜１５と、第１圧電膜１６と、第２導電膜１７と、第２圧電膜１８と、第３導電膜１９とが、この記載順に積層されている。

【0044】

シード膜１４は、第１導電膜１５および第１圧電膜１６を構成する材料の結晶性を向上させるために用いられる。シード膜１４は、第１実施形態のシード膜４と同じ材料で構成される。シード膜１４は、第１導電膜１５の下地である。第１導電膜１５は、シード膜１４の上面１４ａに接して、シード膜１４の上に配置されている。第１導電膜１５は、導電材料で構成される膜である。第１圧電膜１６は、第１導電膜１５の上面１５ａに接して、第１導電膜１５の上に配置されている。第１圧電膜１６は、圧電材料で構成される膜である。

【0045】

第２導電膜１７は、第１圧電膜１６の上面１６ａに接して、第１圧電膜１６の上に配置されている。第２導電膜１７は、導電材料で構成される膜である。第２圧電膜１８は、第２導電膜１７の上面１７ａに接して、第２導電膜１７の上に配置されている。第２圧電膜１８は、圧電材料で構成される膜である。第３導電膜１９は、第２圧電膜１８の上面１８ａに接して、第２圧電膜１８の上に配置されている。第３導電膜１９は、導電材料で構成される膜である。

【0046】

積層構造部Ｄ１のうち第１導電膜１５、第１圧電膜１６、第２導電膜１７、第２圧電膜１８、第３導電膜１９が積層されている部分は、圧電素子としての使用が可能である。この部分が圧電素子として使用される場合、第１導電膜１５は下部電極として用いられ、第２導電膜１７は中間電極として用いられ、第３導電膜１９は上部電極として用いられる。

【0047】

第１導電膜１５、第２導電膜１７および第３導電膜１９のそれぞれを構成する導電材料は、第１実施形態の第１導電膜５および第２導電膜７のそれぞれを構成する導電材料と同じである。第１導電膜１５を構成する材料と、第２導電膜１７を構成する材料と、第３導電膜１９を構成する材料とは、同じであるが、異なってもよい。

【0048】

第１圧電膜１６および第２圧電膜１８のそれぞれを構成する圧電材料は、第１実施形態の圧電膜６を構成する圧電材料と同じである。なお、第１圧電膜１６を構成する材料と、第２圧電膜１８を構成する材料とは、同じであるが、異なってもよい。

【0049】

積層構造部Ｄ１は、第１絶縁部２１と、第２絶縁部２２と、第３絶縁部２３と、第４絶縁部２４とを有する。

【0050】

第１絶縁部２１は、第１トレンチ２５の内部に設けられている。第１トレンチ２５は、第１圧電膜１６の上面１６ａから第１圧電膜１６および第１導電膜１５を貫通する。第１トレンチ２５の底部２５ａは、第１圧電膜１６に位置する。第１絶縁部２１は、第２圧電膜１８よりも電気抵抗率が高い。第１絶縁部２１は、第１トレンチ２５の内部に埋め込まれた絶縁材料で構成される。絶縁材料は、トレンチ２５の底部２５ａから第３導電膜１９の上面１９ａと同じ位置まで埋め込まれている。

【0051】

第２絶縁部２２は、第２トレンチ２６の内部に設けられている。第２トレンチ２６は、積層構造部Ｄ１の平面方向ＤＲ１で、第１トレンチ２５から離れた位置で、第１圧電膜１６の上面１６ａから第１圧電膜１６および第１導電膜１５を貫通する。平面方向ＤＲ１は、第１圧電膜１６の上面１６ａに沿う方向である。第２トレンチ２６の底部２６ａは、シード膜１４に位置する。第２トレンチ２６は、第３導電膜１９、第２圧電膜１８および第２導電膜１７を貫通しない。第２絶縁部２２は、第１圧電膜１６よりも電気抵抗率が高い。第２絶縁部２２は、第２トレンチ２６の内部に埋め込まれた絶縁材料で構成される。絶縁材料は、第２トレンチ２６の底部２６ａから第１圧電膜１６の上面１６ａと同じ位置まで埋め込まれている。

【0052】

第３絶縁部２３は、第３トレンチ２７の内部に設けられている。第３トレンチ２７は、平面方向ＤＲ１で第１トレンチ２５と第２トレンチ２６とのそれぞれから離れた位置で、第３導電膜１９の上面１９ａから第３導電膜１９、第２圧電膜１８、第２導電膜１７、第１圧電膜１６および第１導電膜１５を貫通する。第３トレンチ２７の底部２７ａは、シード膜１４に位置する。第３絶縁部２３は、第２圧電膜１８および第１圧電膜１６よりも電気抵抗率が高い。第３絶縁部２３は、第３トレンチ２７の内部に埋め込まれた絶縁材料で構成される。絶縁材料は、第３トレンチ２７の底部２７ａから第３導電膜１９の上面１９ａと同じ位置まで埋め込まれている。

【0053】

第１絶縁部２１、第２絶縁部２２および第３絶縁部２３のそれぞれを構成する絶縁材料は、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ等である。第１絶縁部２１、第２絶縁部２２および第３絶縁部２３のそれぞれを構成する絶縁材料は、同じ材料が用いられているが、異なる材料であってもよい。

【0054】

第４絶縁部２４は、第４トレンチ２８の内部に設けられている。第４トレンチ２８は、平面方向ＤＲ１で、第１トレンチ２５、第２トレンチ２６および第３トレンチ２７のそれぞれから離れた位置で、第３導電膜１９の上面１９ａから第３導電膜１９、第２圧電膜１８および第２導電膜１７を貫通し、第１圧電膜１６を貫通しない。第４トレンチ２８の底部２８ａは、第１圧電膜１６に位置する。第４絶縁部２４は、第２圧電膜１８よりも電気抵抗率が高い。第４絶縁部２４は、第４トレンチ２８の内部に存在する空気で構成される。

【0055】

次に、本実施形態の圧電装置１１の製造方法について説明する。まず、図５Ａに示すように、基板１２と、絶縁膜１３と、シード膜１４と、第１導電膜１５と、第１圧電膜１６とが積層された積層体を形成することが行われる。この積層体を形成することにおいては、基板１２の上に、絶縁膜１３と、シード膜１４と、第１導電膜１５とが、この記載順に成膜される。この基板１２には、空間部１２１が形成されていない。その後、第１導電膜１５の上面１５ａに接して、第１導電膜１５の上に第１圧電膜１６が成膜される。

【0056】

続いて、図５Ｂに示すように、第２トレンチ２６を形成することが行われる。第２トレンチ２６は、第１圧電膜１６の上面１６ａから第１圧電膜１６および第１導電膜１５を貫通する。第２トレンチ２６の底部２６ａは、シード膜１４に位置する。第２トレンチ２６は、フォトリソグラフィおよびエッチングによって形成される。エッチングの方法としては、第１圧電膜１６および第１導電膜１５のそれぞれを構成する材料に応じた方法が採用される。

【0057】

続いて、図５Ｃに示すように、第２トレンチ２６の内部に絶縁材料を埋め込むことで、第２絶縁部２２を形成することが行われる。第２絶縁部２２の上面２２ａをＣＭＰ等によって平坦化した後、第１圧電膜１６の上面１６ａおよび第２絶縁部２２の上面２２ａにまたがって第２導電膜１７を形成することが行われる。その後、第２導電膜１７の上面１７ａに接して、第２導電膜１７の上に第２圧電膜１８を形成することが行われる。その後、第２圧電膜１８の上面１８ａに接して、第２圧電膜１８の上に第３導電膜１９を形成することが行われる。その後、基板１２および絶縁膜１３に対するフォトリソグラフィおよびエッチングにより、基板１２の空間部１２１を形成することが行われる。

【0058】

続いて、図５Ｄに示すように、平面方向ＤＲ１で、第２トレンチ２６から離れた位置に、第１トレンチ２５と第４トレンチ２８とを形成することが行われる。第１トレンチ２５および第４トレンチ２８は、平面方向ＤＲ１で互いに離れている。第１トレンチ２５および第４トレンチ２８は、第３導電膜１９の上面１９ａから第３導電膜１９、第２圧電膜１８および第２導電膜１７を貫通する。第１トレンチ２５と第４トレンチ２８のそれぞれの底部２５ａ、２８ａは、第１圧電膜１６に位置する。第１トレンチ２５および第４トレンチ２８は、フォトリソグラフィおよびエッチングによって形成される。エッチングの方法としては、第３導電膜１９、第２圧電膜１８および第２導電膜１７のそれぞれを構成する材料に応じた方法が採用される。

【0059】

また、平面方向ＤＲ１で、第１、第２、第４トレンチ２５、２６、２８のそれぞれから離れた位置に、第３トレンチ２７を形成することが行われる。第３トレンチ２７は、第３導電膜１９の上面１９ａから第３導電膜１９、第２圧電膜１８、第２導電膜１７、第１圧電膜１６、第１導電膜１５を貫通する。第３トレンチ２７の底部２７ａは、シード膜１４に位置する。第３トレンチ２７は、フォトリソグラフィおよびエッチングによって形成される。エッチングの方法としては、第３導電膜１９、第２圧電膜１８、第２導電膜１７、第１圧電膜１６、第１導電膜１５のそれぞれを構成する材料に応じた方法が採用される。

【0060】

続いて、図５Ｅに示すように、第１トレンチ２５の内部に絶縁材料を埋め込むことで、第１絶縁部２１を形成することが行われる。第３トレンチ２７の内部に絶縁材料を埋め込むことで、第３絶縁部２３を形成することが行われる。第４トレンチ２８の内部には絶縁材料は埋め込まれない。第４トレンチ２８の内部の空気によって第４絶縁部２４が構成される。このようにして、本実施形態の圧電装置１１が製造される。

【0061】

なお、基板１２の空間部１２１を形成する時期は、変更可能である。空間部１２１を形成する時期は、例えば、図５Ａに示すように、積層体を形成した後であって、第２トレンチ２６を形成する前であってもよい。また、空間部１２１を形成する時期は、第１～第４トレンチ２５～２８を形成した後であってもよい。

【0062】

本実施形態の圧電装置１１では、音圧等のセンシング対象によって、積層構造部Ｄ１のうち浮遊している部分が振動する。これにより、第１圧電膜１６と第２圧電膜１８との一方に引っ張り応力が加わり、第１圧電膜１６と第２圧電膜１８との他方に圧縮応力が加わる。このとき、第１圧電膜１６と第２圧電膜１８とのそれぞれから、第１導電膜１５、第２導電膜１７、第３導電膜１９を介して、電荷を取り出すことで、センシング対象が検出される。

【0063】

本実施形態の圧電装置１１では、第２導電膜１７は、下地材としての第１圧電膜１６の上面１６ａに接して第１圧電膜１６の上に配置されている。第２圧電膜１８は、第２導電膜１７の上面１７ａに接して第２導電膜１７の上に配置されている。第３導電膜１９は、第２圧電膜１８の上に配置されている。

【0064】

そして、第１絶縁部２１は、第２圧電膜１８および第２導電膜１７を貫通する第１トレンチ２５の内部に設けられている。これによれば、第１絶縁部２１を挟んだ一方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８と、第１絶縁部２１を挟んだ他方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８との間の絶縁性が、第１絶縁部２１によって確保されている。第１絶縁部２１の一方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８が、第１実施形態の絶縁部８の一方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。第１絶縁部２１の他方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８が、第１実施形態の絶縁部８の他方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。第３導電膜１９が、第１実施形態の第２導電膜７に対応する。このため、第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0065】

また、第４絶縁部２４は、第２圧電膜１８および第２導電膜１７を貫通する第４トレンチ２８の内部に設けられている。これによれば、第４絶縁部２４によって、第４絶縁部２４を挟んだ一方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８と、第４絶縁部２４を挟んだ他方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８との間の絶縁性が、確保されている。第４絶縁部２４の一方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８が、第１実施形態の絶縁部８の一方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。第４絶縁部２４の他方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８が、第１実施形態の絶縁部８の他方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。このため、第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0066】

また、第３絶縁部２３は、第２圧電膜１８および第２導電膜１７を貫通する第３トレンチ２７の内部に設けられている。これによれば、第３絶縁部２３を挟んだ一方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８と、第３絶縁部２３を挟んだ他方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８との間の絶縁性が、第３絶縁部２３によって確保されている。第３絶縁部２３の一方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８が、第１実施形態の絶縁部８の一方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。第３絶縁部２３の他方側の第２導電膜１７および第２圧電膜１８が、第１実施形態の絶縁部８の他方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。このため、第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0067】

また、第１導電膜１５は、下地材としてのシード膜１４の上面１４ａに接して、シード膜１４の上に配置されている。第１圧電膜１６は、第１導電膜１５の上面１５ａに接して、第１導電膜１５の上に配置されている。第２導電膜１７は、第１圧電膜１６の上に配置されている。

【0068】

そして、第２絶縁部２２は、第１圧電膜１６および第１導電膜１５を貫通する第２トレンチ２６の内部に設けられている。これによれば、第２絶縁部２２を挟んだ一方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６と、第２絶縁部２２を挟んだ他方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６との間の絶縁性が、第２絶縁部２２によって確保されている。第２絶縁部２２の一方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６が、第１実施形態の絶縁部８の一方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。第２絶縁部２２の他方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６が、第１実施形態の絶縁部８の他方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。このため、第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0069】

また、第３絶縁部２３は、第１圧電膜１６および第１導電膜１５を貫通する第３トレンチ２７の内部に設けられている。これによれば、第３絶縁部２３を挟んだ一方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６と、第３絶縁部２３を挟んだ他方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６との間の絶縁性が、第３絶縁部２３によって確保されている。第３絶縁部２３の一方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６が、第１実施形態の絶縁部８の一方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。第３絶縁部２３の他方側の第１導電膜１５および第１圧電膜１６が、第１実施形態の絶縁部８の他方側の第１導電膜５および圧電膜６に対応する。このため、第１実施形態と同様の効果が得られる。

【0070】

また、本実施形態の圧電装置１１によれば、以下の効果を奏する。高感度なセンサは、微小な変化を検知するために用いられる。このため、高感度なセンサに適用される圧電装置において、圧電膜中に、わずかでもクラックが発生していることは、致命的なセンサ特性悪化につながる。一般的に、第１圧電膜と第２圧電膜とが積層されたバイモルフ型の圧電装置の製造においては、上層である第２圧電膜の形成時には、下層である第１圧電膜の形成時よりも、第２圧電膜が形成される表面の均一性が失われている。このため、第２圧電膜では、第１圧電膜よりもクラックが発生しやすい。よって、バイモルフ型の圧電装置を高感度なセンサに適用するためには、第２圧電膜のクラックの抑制が特に必要となる。

【0071】

そこで、本実施形態の圧電装置１１は、第１、第３、第４絶縁部２１、２３、２４を備える。第１、第３、第４絶縁部２１、２３、２４のそれぞれの位置に第２圧電膜１８が形成されている場合、それらの位置の第２圧電膜１８にクラックが発生しやすい。本実施形態の圧電装置１１によれば、これらのクラックが発生しやすい部分に、第１、第３、第４絶縁部２１、２３、２４が配置されている。このため、第２圧電膜１８のクラックの発生を抑制することができる。よって、第２圧電膜１８が２つの第２導電膜１７の間に配置されている場合に、第２圧電膜１８のうち２つの第２導電膜１７の間に位置する部分に生じる電流リークを回避することができる。

【0072】

また、本実施形態の圧電装置１１によれば、第３絶縁部２３は、第１圧電膜１６と第２圧電膜１８とを貫通する第３トレンチ２７の内部に位置する。これによれば、本実施形態と異なり、第３絶縁部２３の形成において、第１圧電膜１６を貫通するトレンチと、第２圧電膜１８を貫通するトレンチとが別々に形成される場合と比較して、製造工程を少なくすることができる。さらに、これによれば、本実施形態と異なり、第３絶縁部２３の形成において、第１圧電膜１６を貫通するトレンチと、第２圧電膜１８を貫通するトレンチとが別々に形成される場合に生じる、２つのトレンチの位置ずれの問題を回避することができる。

【0073】

また、本実施形態の圧電装置１１によれば、第１絶縁部２１と第２絶縁部２２とは、平面方向ＤＲ１で異なる位置に配置されている。ここで、積層構造部Ｄ１のうち空間部１２１の上に位置するセンシング部では、強度の確保のために、第１導電膜１５の位置と、第２導電膜１７の位置とを、平面方向ＤＲ１で異ならせることが考えられる。第１絶縁部２１と第２絶縁部２２とを平面方向ＤＲ１で異なる位置に配置することで、第１導電膜１５の位置と、第２導電膜１７の位置とを、平面方向ＤＲ１で異ならせる場合に対応することができる。

【0074】

なお、本実施形態の圧電装置１１は、第１絶縁部２１と第２絶縁部２２の両方を備えているが、第１絶縁部２１と第２絶縁部２２のうち第１絶縁部２１のみを備えていてもよい。この場合であっても、第１絶縁部２１を備えることで、第２圧電膜１８のクラックの発生を抑制することができる。

【0075】

また、本実施形態の圧電装置１１の製造方法では、第３導電膜１９を形成した後に、第１トレンチ２５、第３トレンチ２７を形成することが行われる。しかしながら、第１トレンチ２５、第３トレンチ２７を形成した後、第１絶縁部２１、第３絶縁部２３を形成することが行われる。その後、第３導電膜１９を形成し、第３導電膜１９をパターニングすることが行われてもよい。

【0076】

（第３実施形態）
図６に示すように、本実施形態の圧電装置１１Ａは、絶縁性のアモルファス膜３１を備える。アモルファス膜３１は、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６の両方の真上の位置に連続して配置されている。アモルファス膜３１は、第２絶縁部２２の上面２２ａと第１圧電膜１６の上面１６ａに接している。アモルファス膜３１は、第２絶縁部２２と同じ材料（例えば、ＳｉＯ_２）で構成される。第２導電膜１７は、アモルファス膜３１の上面３１ａに接して、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６の両方の真上の位置に連続して配置されている。第１トレンチ２５の底部２５ａは、アモルファス膜３１に位置する。圧電装置１１Ａの他の構成は、第２実施形態の圧電装置１１と同じである。

【0077】

第２実施形態の圧電装置１１のように、第２絶縁部２２の上面２２ａと第１圧電膜１６の上面１６ａとの両方に接して、第２導電膜１７が形成される場合、第２導電膜１７のうち第２絶縁部２２の真上に位置する部分と、第２導電膜１７のうち第１圧電膜１６の真上に位置する部分とでは、結晶性に差が生じる。

【0078】

これに対して、本実施形態の圧電装置１１Ａによれば、圧電装置１１Ａの製造において、アモルファス膜３１の上面３１ａに接して、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６の両方の真上の位置に連続して第２導電膜１７が形成される。このため、第２導電膜１７のうち第２絶縁部２２の真上に位置する部分１７１と、第２導電膜１７のうち第１圧電膜１６の真上に位置する部分１７２とのそれぞれの結晶性の差を低減することができる。この結果、第２導電膜１７の上面１７ａに接して形成される第２圧電膜１８の結晶性を均一に近づけることができる。

【0079】

また、本実施形態の圧電装置１１Ａによれば、アモルファス膜３１は第２絶縁部２２と同じ材料で構成される。これにより、圧電装置１１Ａの製造において、第２絶縁部２２の形成とアモルファス膜３１の形成とを連続して行うことができる。すなわち、一つの工程で、第２絶縁部２２とアモルファス膜３１の両方を形成することができる。

【0080】

なお、アモルファス膜３１は第２絶縁部２２と異なる材料で構成されてもよい。この場合、例えば、第２絶縁部２２は、ＳｉＯ_２で構成される。アモルファス膜３１は、ＳｉＮで構成される。また、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６とのそれぞれと、アモルファス膜３１との間に、他の膜が配置されてもよい。

【0081】

（第４実施形態）
図７に示すように、本実施形態の圧電装置１１Ｂは、第２シード膜３２を備える。第２シード膜３２は、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６の両方の真上の位置に連続して配置されている。第２シード膜３２は、第２絶縁部２２の上面２２ａと第１圧電膜１６の上面１６ａに接している。第２実施形態で説明したシード膜１４は、本実施形態では第１シード膜１４である。第２シード膜３２は、第１シード膜１４と同じ材料で構成される。本実施形態では、第１圧電膜１６および第２圧電膜１８を構成する圧電材料は、ＳｃＡｌＮである。第１シード膜１４および第２シード膜３２を構成する材料は、ＡｌＮである。

【0082】

第２導電膜１７は、第２シード膜３２の上面３２ａに接して、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６の両方の真上の位置に連続して配置されている。圧電装置１１Ｂの他の構成は、第２実施形態の圧電装置１１と同じである。本実施形態の圧電装置１１Ｂによれば、第３実施形態と同じ効果が得られる。

【0083】

さらに、本実施形態の圧電装置１１Ｂでは、第１、第２、第３絶縁部２１、２２、２３を構成する絶縁材料は、第１シード膜１４を構成する材料と同じ材料である。これによれば、圧電装置１１Ｂの製造において、第１シード膜１４の形成と、第２絶縁部２２の形成と、第２シード膜３２の形成とを連続して行うことができる。

【0084】

なお、第２絶縁部２２を構成する絶縁材料は、第１シード膜１４を構成する材料と同じであり、第１、第３絶縁部２１、２３を構成する絶縁材料は、第１シード膜１４を構成する材料と異なってもよい。また、第１、第２、第３絶縁部２１、２２、２３を構成する絶縁材料は、第１シード膜１４を構成する材料と異なってもよい。また、第２絶縁部２２と第１圧電膜１６とのそれぞれと、第２シード膜３２との間に、他の膜が配置されてもよい。

【0085】

（第５実施形態）
図８に示すように、本実施形態の圧電装置１１Ｃは、第３トレンチ２７の側壁部２７ｂに設けられた酸化物層４１を備える。すなわち、酸化物層４１は、側壁部２７ｂを構成している。酸化物層４１は、第３絶縁部２３と接している。また、酸化物層４１は、第１導電膜１５、第１圧電膜１６、第２導電膜１７、第２圧電膜１８および第３導電膜１９のそれぞれに接している。酸化物層４１は、第１導電膜１５、第１圧電膜１６、第２導電膜１７、第２圧電膜１８および第３導電膜１９のそれぞれを構成する元素と同じ元素を含む。

【0086】

酸化物層４１および第３絶縁部２３の形成方法は、次の通りである。図９Ａに示すように、第２実施形態と同様に、第３トレンチ２７が形成される。このとき、フォトリソグラフィで形成されたレジストパターン４２をマスクとしたエッチングが行われる。この段階では、第３トレンチ２７の側壁部２７ｂは、第１導電膜１５、第１圧電膜１６、第２導電膜１７、第２圧電膜１８および第３導電膜１９によって構成される。

【0087】

その後、図９Ｂに示すように、第３トレンチ２７の側壁に対して酸化処理がされる。酸化処理は、例えば、第３トレンチ２７の内部に酸素が存在する状態での加熱処理である。これにより、側壁部２７ｂに酸化物層４１が形成される。すなわち、側壁部２７ｂは、酸化物層４１によって構成される。その後、第３トレンチ２７の内部に絶縁材料が埋め込まれることで、図８に示す第３絶縁部２３が形成される。

【0088】

圧電装置１１Ｃの他の構成は、第２実施形態の圧電装置１１と同じである。よって、第２実施形態と同じ効果が得られる。さらに、本実施形態の圧電装置１１Ｃによれば、下記の効果が得られる。

【0089】

本実施形態の圧電装置１１Ｃによれば、側壁部２７ｂに酸化物層４１が設けられているので、側壁部２７ｂの電気的な絶縁性が向上するという効果が得られる。また、第３絶縁部２３は酸化物層４１と接するので、第３絶縁部２３と側壁部２７ｂとの密着性が向上するという効果が得られる。

【0090】

なお、酸化物層４１は、第３トレンチ２７に限らず、第１トレンチ２５、第２トレンチ２６のそれぞれの側壁部に設けられてもよい。

【0091】

（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能であり、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、構成要素等の材質、形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の材質、形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その材質、形状、位置関係等に限定されるものではない。

【符号の説明】

【0092】

４ シード層
５ 第１導電膜
６ 圧電膜
７ 第２導電膜
８ 絶縁部
９ トレンチ

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図5E】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】