特許7643820基板厚み測定装置、基板処理システム、及び基板厚み測定方法

発明の名称　基板厚み測定装置、基板処理システム、及び基板厚み測定方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（763件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7643820

公報発行日　2025年3月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7643820

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