特許7644199荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法

発明の名称　荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 226 位（142件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 338 位（77件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7644199

公報発行日　2025年3月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7644199

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