特許7648310収容容器及び基板状センサの充電方法

発明の名称　収容容器及び基板状センサの充電方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（769件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7648310

公報発行日　2025年3月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7648310

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