発明の名称 ウエーハの生成装置
出願人 株式会社ディスコ (識別番号 134051)
特許公開件数ランキング 43 位(518件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 41 位(475件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7648375
公報発行日 2025年3月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7648375
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