特許7649847エッチング方法

発明の名称　エッチング方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（570件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（757件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7649847

公報発行日　2025年3月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7649847

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7649847「エッチング方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録