特許 7654328 目盛り付きプレート、及び研削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-24

(45)【発行日】2025-04-01

(54)【発明の名称】目盛り付きプレート、及び研削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/04 20060101AFI20250325BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20250325BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20250325BHJP

【ＦＩ】

B24B7/04 A

B24B49/10

H01L21/304 631

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2021088253

(22)【出願日】2021-05-26

(65)【公開番号】P2022181348

(43)【公開日】2022-12-08

【審査請求日】2024-03-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 真也

(72)【発明者】

【氏名】浅井 宏平

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－１２４７５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０３０９３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０３０３７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３４３３０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】登録実用新案第３２１９６３７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】米国特許第０５１７２４８４（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ３／００－７／３０

Ｂ２４Ｂ２１／００－５７／０４

Ｂ２３Ｑ１７／００－２３／００

Ｂ２４Ｄ３／００－９９／００

Ｇ０１Ｂ３／００－３／０８

Ｇ０１Ｂ３／１１－３／５６

Ｇ０１Ｂ５／００－５／３０

Ｈ０１Ｌ２１／３０４；２１／４６３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上面に保持面を有し、円板状の被加工物を該保持面において吸引保持するチャックテーブルと、
研削送りユニットにより昇降可能であり、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの下端に接続され環状に配列された研削砥石を底面に有する研削ホイールを着脱可能に支持できるホイールマウントと、を有し、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削する研削ユニットと、を備え、
該ホイールマウントに取り付けられた該研削ホイールを回転させ、該研削ユニットを下降させ、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物に該研削砥石を接触させることで該被加工物を研削できる研削装置であって、
該ホイールマウントには、該ホイールマウントに対する該チャックテーブルの該保持面の高さ位置を測定する高さ測定器を取り付け可能な高さ測定器取付け機構が設けられ、
該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの該スピンドルを回転させても動かない外面と、の一方に目盛りが設けられ、他方に該目盛り上の一点を指す目印が設けられ、
該高さ測定器取付け機構で該ホイールマウントに取り付けられた該高さ測定器を該チャックテーブルの該保持面上における該研削砥石の回転軌道に沿って移動させて該保持面の各所の高さ位置を該高さ測定器により測定可能であり、
該目印が指す該目盛り上の点を読み取ることで該保持面における該高さ測定器の該回転軌道に沿った位置を検出可能であることを特徴とする研削装置。

【請求項2】

該目盛りは、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの該スピンドルを回転させても動かない外面と、の該一方に取り付けられたプレートに印字されていることを特徴とする請求項１に記載の研削装置。

【請求項3】

該ホイールマウントには、該研削ホイールを該ホイールマウントに固定するためのホイール固定具が通される研削ホイール固定穴が形成されており、
該プレート及び該目印の一方は、該研削ホイール固定穴に通される固定具により固定可能であることを特徴とする請求項２に記載の研削装置。

【請求項4】

該目盛りは、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの該スピンドルを回転させても動かない外面と、の該一方に印字されていることを特徴とする請求項１に記載の研削装置。

【請求項5】

該目盛りは、第１の目盛り線と、第２の目盛り線と、第３の目盛り線と、を含み、
該スピンドルを６０°回転させたとき、該第２の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致し、
該スピンドルを１２０°回転させたとき、該第３の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の研削装置。

【請求項6】

該目盛りは、第４の目盛り線と、第５の目盛り線と、をさらに含み、
該スピンドルを３０°回転させたとき、該第４の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致し、
該スピンドルを９０°回転させたとき、該第５の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致することを特徴とする請求項５に記載の研削装置。

【請求項7】

上面に保持面を有し、円板状の被加工物を該保持面において吸引保持するチャックテーブルと、
研削送りユニットにより昇降可能であり、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの下端に接続され環状に配列された研削砥石を底面に有する研削ホイールを着脱可能に支持できるホイールマウントと、を有し、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削する研削ユニットと、を備え、
該ホイールマウントに取り付けられた該研削ホイールを回転させ、該研削ユニットを下降させ、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物に該研削砥石を接触させることで該被加工物を研削できる研削装置の該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの外面と、の一方に取り付け可能であり、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの外面と、の他方に設けられた目印と組み合わせて使用可能な目盛り付きプレートであって、
目盛りが印字されており、
該目盛りは、第１の目盛り線と、第２の目盛り線と、第３の目盛り線と、を含み、
該スピンドルを６０°回転させたときに該第２の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように、かつ、該スピンドルを１２０°回転させたときに該第３の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように該研削装置に取り付け可能であることを特徴とする目盛り付きプレート。

【請求項8】

該目盛りは、第４の目盛り線と、第５の目盛り線と、をさらに含み、
該スピンドルを３０°回転させたときに該第４の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように、かつ、該スピンドルを９０°回転させたときに該第５の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように該研削装置に取り付け可能であることを特徴とする請求項７に記載の目盛り付きプレート。

【請求項9】

該研削装置の該ホイールマウントには、該研削ホイールを該ホイールマウントに固定するためのホイール固定具が通される研削ホイール固定穴が形成されており、
該研削ホイール固定穴に通される固定具により該研削装置に固定可能であることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の目盛り付きプレート。

【請求項10】

テープまたは磁石により該研削装置に固定可能であることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の目盛り付きプレート。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物をチャックテーブルの保持面で保持して研削する研削装置において、該保持面の各所の高さを測定するための高さ測定器を所定の位置に位置付ける際に使用される目盛り付きプレートと、目盛りが設けられた研削装置と、に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Integrated circuit）やＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスを搭載したデバイスチップは、円板状のウェーハから製造される。ウェーハの表面に複数のデバイスを設け、該ウェーハを裏面側から研削して薄化し、該ウェーハをデバイス毎に分割すると、個々のデバイスチップが得られる。ウェーハ等の被加工物の研削は、研削装置で実施される（特許文献１参照）。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルで保持された被加工物を研削する研削ユニットと、有する。

【0003】

研削ユニットは、研削ホイールを下面に固定できるホイールマウントと、ホイールマウントの上面の中心に下端が固定されたスピンドルと、スピンドルの上端部を回転可能に収容するスピンドルハウジングと、を備える。スピンドルハウジングの内部には、スピンドルを回転させるモーター等の回転駆動源が設けられている。

【0004】

また、ホイールマウントに固定される研削ホイールは、ホイールマウントの下面に接する環状のホイール基台と、ホイール基台の下面に固定された環状に並ぶ研削砥石と、を備える。スピンドルを回転させると研削ホイールが回転し、研削砥石がチャックテーブルの保持面とおおよそ平行な回転軌道上を回転移動する。さらに、研削装置は、保持面の中心を通るテーブル回転軸の周りにチャックテーブルを回転できる。研削ホイール及びチャックテーブルを回転させ、研削砥石を被加工物に接触させると、被加工物が研削される。

【0005】

ここで、チャックテーブルの保持面は極めて緩やかに傾斜した円錐面である。研削装置では、該保持面を構成する母線のうち研削砥石の回転軌道を含む回転面に最も近い母線が該回転面と平行となるように、テーブル回転軸及びスピンドルの傾きが決定される。このようにテーブル回転軸及びスピンドルの相対的な傾きが調整されていると、被加工物の全域が均一な厚みとなるように該被加工物を研削できる。

【0006】

テーブル回転軸等の傾き等を調整する際には、保持面の各所の高さを測定できる高さ測定器を使用する。高さ測定器は、ホイールマウントに治具を介して装着される。高さ測定器は、保持面の各測定点上に順次位置付けられ、各測定点で保持面の高さの測定を実施する（特許文献２参照）。例えば、研削装置の調整作業者は、手でホイールマウントをスピンドルの周りに回転させ、高さ測定器を所定の測定点に移動させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２００９－１４１１７６号公報

【文献】特開２０１３－１４１７２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

ホイールマウントに装着される研削ホイールの研削砥石と同様に、高さ測定器は、ホイールマウントを回転させたときにスピンドルを中心とした回転軌道上を移動する。この軌道は、チャックテーブルの保持面の中心と重なる。そして、テーブル回転軸等の傾き等を調整する際には、保持面においてこの軌道と重なる円弧状の領域の２つの端部と、保持面の中心と、該端部及び該中心の間の中点と、等において保持面の高さが測定される。

【0009】

従来、作業者は、研削ユニット及びチャックテーブルの間の空間を側方から覗き込み、高さ測定器が所定の測定点に位置付けられていることを確認していた。しかしながら、作業者から見たときの奥行き方向において高さ測定器の位置を精密に感知するのは容易ではない。また、研削ユニットの上方で作業する場合に、高さ測定器の位置を変更する都度、作業者がチャックテーブルの側方に移動して高さ測定器の位置を確認する必要があった。そのため、高さ測定器の位置合わせが作業効率を低下させる要因となっていた。

【0010】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ホイールマウントに固定される高さ測定器の高精度な位置合わせを容易に実現できる目盛り付きプレート及び研削装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の一態様によると、上面に保持面を有し、円板状の被加工物を該保持面において吸引保持するチャックテーブルと、研削送りユニットにより昇降可能であり、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの下端に接続され環状に配列された研削砥石を底面に有する研削ホイールを着脱可能に支持できるホイールマウントと、を有し、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削する研削ユニットと、を備え、該ホイールマウントに取り付けられた該研削ホイールを回転させ、該研削ユニットを下降させ、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物に該研削砥石を接触させることで該被加工物を研削できる研削装置であって、該ホイールマウントには、該ホイールマウントに対する該チャックテーブルの該保持面の高さ位置を測定する高さ測定器を取り付け可能な高さ測定器取付け機構が設けられ、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの該スピンドルを回転させても動かない外面と、の一方に目盛りが設けられ、他方に該目盛り上の一点を指す目印が設けられ、該高さ測定器取付け機構で該ホイールマウントに取り付けられた該高さ測定器を該チャックテーブルの該保持面上における該研削砥石の回転軌道に沿って移動させて該保持面の各所の高さ位置を該高さ測定器により測定可能であり、該目印が指す該目盛り上の点を読み取ることで該保持面における該高さ測定器の該回転軌道に沿った位置を検出可能であることを特徴とする研削装置が提供される。

【0012】

好ましくは、該目盛りは、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの該スピンドルを回転させても動かない外面と、の該一方に取り付けられたプレートに印字されている。

【0013】

さらに、好ましくは、該ホイールマウントには、該研削ホイールを該ホイールマウントに固定するためのホイール固定具が通される研削ホイール固定穴が形成されており、該プレート及び該目印の一方は、該研削ホイール固定穴に通される固定具により固定可能である。

【0014】

または、好ましくは、該目盛りは、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの該スピンドルを回転させても動かない外面と、の該一方に印字されている。

【0015】

また、好ましくは、該目盛りは、第１の目盛り線と、第２の目盛り線と、第３の目盛り線と、を含み、該スピンドルを６０°回転させたとき、該第２の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致し、該スピンドルを１２０°回転させたとき、該第３の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致する。

【0016】

さらに、好ましくは、該目盛りは、第４の目盛り線と、第５の目盛り線と、をさらに含み、該スピンドルを３０°回転させたとき、該第４の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致し、該スピンドルを９０°回転させたとき、該第５の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係は、該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致する。

【0017】

また、本発明の他の一態様によると、上面に保持面を有し、円板状の被加工物を該保持面において吸引保持するチャックテーブルと、研削送りユニットにより昇降可能であり、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの下端に接続され環状に配列された研削砥石を底面に有する研削ホイールを着脱可能に支持できるホイールマウントと、を有し、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削する研削ユニットと、を備え、該ホイールマウントに取り付けられた該研削ホイールを回転させ、該研削ユニットを下降させ、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物に該研削砥石を接触させることで該被加工物を研削できる研削装置の該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの外面と、の一方に取り付け可能であり、該ホイールマウントの上面又は側面と、該ホイールマウント及び該スピンドル以外の該研削ユニットの外面と、の他方に設けられた目印と組み合わせて使用可能な目盛り付きプレートであって、目盛りが印字されており、該目盛りは、第１の目盛り線と、第２の目盛り線と、第３の目盛り線と、を含み、該スピンドルを６０°回転させたときに該第２の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように、かつ、該スピンドルを１２０°回転させたときに該第３の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように該研削装置に取り付け可能であることを特徴とする目盛り付きプレートが提供される。

【0018】

好ましくは、該目盛りは、第４の目盛り線と、第５の目盛り線と、をさらに含み、該スピンドルを３０°回転させたときに該第４の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように、かつ、該スピンドルを９０°回転させたときに該第５の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係が該回転前の該第１の目盛り線及び該目印の相対的な位置関係と一致するように該研削装置に取り付け可能である。

【0019】

また、好ましくは、該研削装置の該ホイールマウントには、該研削ホイールを該ホイールマウントに固定するためのホイール固定具が通される研削ホイール固定穴が形成されており、該研削ホイール固定穴に通される固定具により該研削装置に固定可能である。

【0020】

または、好ましくは、テープまたは磁石により該研削装置に固定可能である。

【発明の効果】

【0021】

本発明の一態様に係る研削装置及び目盛り付きプレートは、目盛りを備える。この目盛りは、研削装置に設けられた目印とともに使用される。例えば、研削装置の調整作業者がスピンドルを回転させてホイールマウントを回転させたとき、該スピンドルの回転角に応じて目盛りと目印の相対的な位置関係が変化する。そのため、スピンドルを回転させたときの該位置関係の変化を確認することにより、スピンドルの回転角を検出できる。

【0022】

治具を介して又は介さずにホイールマウントに取り付けられる高さ測定器は、スピンドルを回転させたとき、研削ホイールの研削砥石の回転軌道に沿って移動する。移動後の高さ測定器の位置はスピンドルの回転角により決まるため、スピンドルの回転角を検出できると、高さ測定器の位置を特定できる。すなわち、目印が指す目盛り上の点を読み取ることで保持面における高さ測定器の位置を検出できる。

【0023】

そのため、研削装置の調整作業者は、研削ユニットとチャックテーブルの間を覗き込み高さ測定器を直接視認することなく、目盛りと目印を確認することで該高さ測定器の位置を容易に把握できる。このとき、調整作業者から見た奥行方向で高さ測定器の位置を感知する必要はなく、高さ測定器の位置をより正確に特定できる。そのため、高さ測定器の位置合わせ精度も上がる。

【0024】

したがって、本発明により、ホイールマウントに固定される高さ測定器の高精度な位置合わせを容易に実現できる目盛り付きプレート及び研削装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】研削装置を模式的に示す斜視図である。

【図2】研削装置で研削される被加工物を模式的に示す斜視図である。

【図3】被加工物を研削する研削装置を模式的に示す断面図である。

【図4】ホイールマウントに研削ホイールを取り付ける様子を模式的に示す斜視図である。

【図5】研削砥石の回転軌道と、被加工物の裏面における研削砥石の接触領域を模式的に示す平面図である。

【図6】治具を介して研削ユニットに高さ測定器を取り付ける様子を模式的に示す側面図である。

【図7】研削ユニットに取り付けられた高さ測定器によりチャックテーブルの保持面の各点の高さを測定する様子を模式的に示す側面図である。

【図8】チャックテーブルと、治具と、高さ測定器と、を模式的に示す平面図である。

【図9】図９（Ａ）は、ホイールマウントに目盛り付きプレートを取り付ける様子を模式的に示す斜視図であり、図９（Ｂ）は、目盛り付きプレートが取り付けられたホイールマウントを模式的に示す斜視図であり、図９（Ｃ）は、目盛りが印字されたホイールマウントを模式的に示す斜視図である。

【図10】目盛り付きプレートを模式的に示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態に係る目盛り付きプレートが取り付けられる研削装置は、被加工物を研削して薄化する。まず、被加工物について説明する。図２には、被加工物１を模式的に示す斜視図が含まれている。

【0027】

被加工物１は、例えば、Ｓｉ、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料からなる略円板状のウェーハ等である。ただし、被加工物１は、これに限定されない。

【0028】

円板状のウェーハ等の被加工物１の表面１ａに複数のデバイスを行列状に配し、被加工物１をデバイス毎に分割すると、個々のデバイスチップが得られる。この際、予め研削装置で被加工物１を裏面１ｂ側から研削して該被加工物１を薄化しておくと、最終的に薄型のデバイスチップが得られる。研削装置で研削される被加工物１の表面１ａ側には、該表面１ａに形成されたデバイス等を保護するテープ状の保護部材３（図３参照）が貼着される。

【0029】

次に、研削装置について詳述する。図１は、研削装置２の一例を模式的に示す斜視図であり、図３は、研削装置２の一部を模式的に示す断面図である。研削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の上面には、Ｙ軸方向に沿った凹部４ａが形成されている。

【0030】

凹部４ａには、ボールねじ式の移動機構によりＹ軸方向に沿って移動可能な移動テーブル６と、移動テーブル６に支持されたチャックテーブル８と、チャックテーブル８を露出しながら凹部４ａの開口を覆う防塵防滴カバー４ｂと、が設けられる。ただし、図３では、防塵防滴カバー４ｂ等が省略されている。移動テーブル６をＹ軸方向に沿って移動させると、チャックテーブル８がＹ軸方向に沿って移動する。

【0031】

チャックテーブル８は、研削される被加工物１を吸引保持できる。チャックテーブル８は、ステンレス鋼またはセラミックス製の枠体８ａを有する。枠体８ａ内には吸引路（不図示）が設けられており、この吸引路の一端にはエジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されている。枠体８ａは、円板状の空間から成る凹部を上面側に有する。この凹部には略円板状の多孔質部材８ｂが収容されて固定されている。

【0032】

多孔質部材８ｂの径は、被加工物１の径と略同一とされる。多孔質部材８ｂの上面は、保持面８ｃとなる。被加工物１を多孔質部材８ｂの上に載せ、吸引源を動作させると、吸引路及び多孔質部材８ｂを通じて被加工物１に負圧が作用し、被加工物１がチャックテーブル８に吸引保持される。

【0033】

チャックテーブル８は、移動テーブル６の上面に設けられたテーブル支持台８ｄの上に固定されている。テーブル支持台８ｄの下面には、移動テーブル６上に固定されたモーター等で構成された回転駆動源８ｅがスピンドルを介して接続されている。回転駆動源８ｅを作動させると、テーブル支持台８ｄに固定されたチャックテーブル８が保持面８ｃに交差するテーブル回転軸８ｆの周りに回転する。

【0034】

図３に示す通り、チャックテーブル８の保持面８ｃは、極めて傾斜の小さい円錐面となっている。研削装置２は、チャックテーブル８を傾きの調整が可能であり回転可能に支持する支持機構８ｇを備える。支持機構８ｇは、１つ以上の固定支持部と、２つ以上の可動支持部と、を有する傾き調整機構を有する。可動支持部材の上端の高さを調整することにより、チャックテーブル８の保持面８ｃを鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して所定角度傾けることができる。

【0035】

研削装置２は、チャックテーブル８で保持された被加工物を研削する研削ユニット２４と、研削ユニット２４を昇降させる研削送りユニット１２と、を備える。研削装置２の後方側には支持部１０が立設されており、この支持部１０により研削送りユニット１２を介して研削ユニット２４が支持されている。支持部１０の前面には、Ｚ軸方向（鉛直方向）に沿った一対のガイドレール１４が設けられている。それぞれのガイドレール１４には、昇降プレート１６がスライド可能に取り付けられている。

【0036】

昇降プレート１６の裏面側（後面側）には、ナット部１８が設けられており、このナット部１８には、ガイドレール１４に平行なボールねじ２０が螺合されている。ボールねじ２０の一端部には、パルスモータ２２が連結されている。パルスモータ２２でボールねじ２０を回転させると、昇降プレート１６は、ガイドレール１４に沿ってＺ軸方向に移動する。

【0037】

昇降プレート１６の前面側には、被加工物１の研削加工を実施する研削ユニット２４が固定されている。昇降プレート１６を移動させれば、研削ユニット２４はＺ軸方向（研削送り方向）に移動できる。研削ユニット２４は、切断された円筒状の保持部材２６を有する。保持部材２６は、昇降プレート１６の前方側の表面に固定されており、研削ユニット２４の外装となる。

【0038】

保持部材２６の内側には、該保持部材２６に支持されたスピンドルハウジング２８が設けられている。スピンドルハウジング２８には、スピンドル３０の一部が回転可能な態様で収容されている。スピンドル３０の上端には、モーター等の回転駆動機構（不図示）が連結されている。回転駆動機構を作動させると、スピンドル３０は回転軸の周りに回転する。

【0039】

スピンドル３０の下端は、保持部材２６の底部よりも下方に位置している。スピンドル３０の下端には、円盤状のホイールマウント３２の上面側が連結されている。図４は、ホイールマウント３２に研削ホイール３８を固定する様子を模式的に示す斜視図である。

【0040】

研削ホイール３８は、円環状のホイール基台４０を有する。ホイール基台４０は、アルミニウム等の金属で形成され、被加工物１の径に対応する径とされる。ホイール基台４０の下面（底面）側の外周部には、環状に配列された複数の研削砥石４２が設けられている。各研削砥石４２は、例えば、ビトリファイドやレジノイド等の結合材に、ダイヤモンドやｃＢＮ（cubic boron nitride）等の砥粒を混合し、混合体を焼結することで形成されている。

【0041】

ホイールマウント３２には上下に貫通する複数の研削ホイール固定穴３４が設けられており、ホイール基台４０にはボルト等のホイール固定具３６が締め込まれる締結穴４０ａが形成されている。研削ホイール固定穴３４にホイール固定具３６を通し、ホイール固定具３６を締結穴４０ａに締め込むと研削ホイール３８がホイールマウント３２に固定される。このとき、ホイールマウント３２は、研削ホイール３８を上方から支持する。

【0042】

研削装置２は、基台４の上に設けられた厚み測定ユニット４４（図３参照）を備える。厚み測定ユニット４４は、例えば、被加工物１の上面に接触する第１のプローブ４４ａと、チャックテーブル８の保持面８ｃに接触する第２のプローブ４４ｂと、第１のプローブ４４ａ及び第２のプローブ４４ｂを支持する軸部４４ｃと、を備える。厚み測定ユニット４４は、被加工物１の上面の高さと、保持面８ｃ高さと、を測定し、被加工物１の厚みを測定する。ただし、厚み測定ユニット４４はこれに限定されない。

【0043】

チャックテーブル８に吸引保持された被加工物１を研削ユニット２４で研削する際には、スピンドル３９に接続された回転駆動源を作動させてスピンドル３０をホイール回転軸３０ａの周りに回転させる。すると、研削ホイール３８が回転して研削砥石４２が回転軌道上を移動する。また、回転駆動源８ｅを作動させてチャックテーブル８をテーブル回転軸８ｆの周りに回転させる。

【0044】

そして、研削送りユニット１２を作動させて研削ユニット２４を下降させ、回転軌道上を移動する研削砥石４２の底面を被加工物１の被研削面（裏面１ｂ）に接触させる。すると、被加工物１が研削されて被加工物１が徐々に薄化する。このとき、厚み測定ユニット４４で被加工物１の厚みを監視し、被加工物１が所定の厚みとなったときに研削ユニット２４の下降を終了する。すると、所定の厚みとなった被加工物１が得られる。

【0045】

ここで、テーブル回転軸８ｆ及びホイール回転軸３０ａの相対的な傾きが適切でない場合、研削後の被加工物１の厚み分布が均一とはならず、厚みに偏りが生じ、研削後の被加工物１の表面１ａと裏面１ｂとが平行にならない。そこで、円錐面で構成される保持面８ｃを構成する母線のうち研削砥石４２の回転軌道を含む回転面に最も近い母線が該回転面と平行となるようにテーブル回転軸８ｆ等の傾きが予め調整される。

【0046】

図５は、テーブル回転軸８ｆが適切に調整されている場合において被加工物１の裏面１ｂにおける研削砥石４２が接触する接触領域４８を模式的に示す平面図である。図５には、チャックテーブル８に吸引保持された被加工物１と、研削砥石４２の移動経路となる回転軌道４６と、が模式的に示されている。

【0047】

回転軌道４６は、チャックテーブル８の中心と重なる点５０ｂを通るように設定される。そして、点５０ｂと、回転軌道４６上の被加工物１の一端と重なる点５０ａと、の間でチャックテーブル８の保持面８ｃを構成する母線が回転軌道４６と平行とされる。この場合、回転軌道４６に沿って移動する研削砥石４２が点５０ａに到達したときに被加工物１の裏面１ｂに接触しはじめ、点５０ｂに到達するまで研削砥石４２が被加工物１の裏面１ｂに接触し続ける。

【0048】

そして、点５０ｂから回転軌道４６上の被加工物１の他の一端と重なる点５０ｃにかけて保持面８ｃが回転軌道４６から離れるため、点５０ｂを過ぎた研削砥石４２は被加工物１の裏面１ｂに接触しなくなる。したがって、被加工物１の裏面１ｂは、接触領域４８において研削砥石４２に研削される。このとき、チャックテーブル８がテーブル回転軸８ｆの周りに回転しており、裏面１ｂの各所が次々に接触領域４８にかかるため、被加工物１の裏面１ｂの全域が均一に研削される。

【0049】

ここで、テーブル回転軸８ｆ等の傾きが不適切であると、回転軌道４６の点５０ａ及び点５０ｂの中点である点５０ｄにおいて研削砥石４２が被加工物１を深く削り込むことがある。したがって、点５０ａ、点５０ｄ、点５０ｂのいずれにおいても保持面８ｃと回転軌道４６の距離が等しいことが重要である。

【0050】

テーブル回転軸８ｆ等の傾きの調整は、例えば、研削装置２の初期設定段階や、メンテナンス時に重点的に実施される。この調整を実施するには、回転軌道４６上の各点において、回転軌道４６（ホイールマウント３２）と、チャックテーブル８の保持面８ｃと、の距離を測定する必要がある。そこで、ホイールマウント３２に高さ測定器が接続され、該高さ測定器によりチャックテーブル８の保持面８ｃの高さ位置が測定される。

【0051】

図６は、高さ測定器５４をホイールマウント３２に接続する様子を模式的に示す側面図である。高さ測定器５４は、治具５６を介してホイールマウント３２に接続される。治具５６は、保持面８ｃの該回転軌道４６と重なる領域の各点において高さ測定器５４で該保持面８ｃの高さを測定するために、回転軌道４６に沿った高さ測定器５４の移動を実現する機能を有する。

【0052】

ホイールマウント３２には、治具５６を介して高さ測定器５４を取り付け可能な高さ測定器取付け機構５２が設けられる。高さ測定器取付け機構５２は、例えば、ホイールマウント３２のスピンドル３０と重なる中央底面に設けられたネジ穴であり、例えば、ねじ山が設けられた治具５６の接続部５６ａに螺合される。治具５６は、上端に接続部５６ａが設けられた軸部５６ｂと、軸部５６ｂから側方に伸長した腕部５６ｃと、を備える。腕部５６ｃの先端には、高さ測定器５４が固定されている。

【0053】

なお、高さを測定器５４は、ホイールマウント３２の研削ホイール固定穴３４に固定されてもよい。この場合、研削ホイール固定穴３４が高さ測定器取付け機構として機能する。以下、スピンドル３０と重なる高さ測定器取付け機構５２に治具５６を介して高さ測定器５４が取り付けられる場合を例に説明する。

【0054】

治具５６が接続されたホイールマウント３２を回転させると、腕部５６ｃの先端に固定された高さ測定器５４がホイール回転軸３０ａを中心に回転する。このとき高さ測定器５４が研削砥石４２の回転軌道４６に沿って移動するように、腕部５６ｃにおける高さ測定器５４の取り付け位置は、ホイール回転軸３０ａからの距離が回転軌道４６の半径と一致するように設定されることが好ましい。

【0055】

図７は、治具５６を介してホイールマウント３２に接続された高さ測定器５４を模式的に示す側面図である。また、図８は、回転軌道４６に沿って移動する高さ測定器５４を模式的に示す平面図である。

【0056】

高さ測定器５４は、下端にプローブを備え、プローブをチャックテーブル８の保持面８ｃに接触させることで接触点における保持面８ｃの高さを測定できる。研削装置２の調整作業者は、ホイールマウント３２を回転させて高さ測定器５４を回転軌道４６に沿って移動させて測定点を切り替えつつ高さ測定器５４で保持面８ｃの各所の高さを測定する。そして、測定結果に基づいてテーブル回転軸８ｆ等の傾きを調整する。

【0057】

ここで、テーブル回転軸８ｆ等の傾きを調整する上で特に高さの測定が求められる保持面８ｃ上の点は、回転軌道４６と重なる保持面８ｃの２つの端部と、保持面８ｃの中央と、それぞれの端部及び中央の２つの中点と、である。図８で説明すると、高さ測定器５４は、回転軌道４６上の点５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅに精密に位置付けられ、保持面８ｃの高さを測定する。

【0058】

所定の位置への高さ測定器５４の移動は、研削装置２の調整作業者が手作業で実施する。すなわち、調整作業者は、ホイールマウント３２を手で回転させることで高さ測定器５４を移動させ、高さ測定器５４の位置を目視で確認しながら高さ測定器５４を所定の位置に位置付ける。ここで、調整作業者は、高さ測定器５４の位置を確認するために、ホイールマウント３２と、チャックテーブル８と、間の隙間を側方から覗き込む必要がある。

【0059】

例えば、調整作業者が研削ユニット２４の上方で所定の調整作業を実施する場合、高さ測定器５４を移動させる都度、該隙間を覗き込むことのできる位置に移動して、高さ測定器５４の位置を目視で確認する必要がある。これは、大変な手間である。しかも、高さ測定器５４の位置を側方から精密に感知するのは容易ではない。研削装置２の内部構造次第では、調整作業者が離れた位置から該隙間を視認しなければならない場合があり、この場合に高さ測定器５４の位置の精密な感知は特に困難である。

【0060】

そこで、本実施形態に係る目盛り付きプレート及び研削装置２では、チャックテーブル８と、ホイールマウント３２と、の間の隙間を側方から覗き込むことなく、高さ測定器５４の位置を容易かつ高精度に特定可能とした。以下、研削装置２等の説明を続ける。本実施形態に係る研削装置２では、ホイールマウント３２の上面又は側面と、該ホイールマウント３２以外の研削ユニット２４の外面と、の一方に目盛りが設けられ、他方に該目盛り上の一点を指す目印が設けられる。

【0061】

例えば、目盛りは、プレートに印字され、該プレートが研削装置２に取り付けられることで研削装置２に設けられる。図９（Ａ）は、目盛りが印字された目盛り付きプレート５８がホイールマウント３２の上面に取り付けられる様子を模式的に示す斜視図であり、図１０は、目盛り付きプレート５８を模式的に示す平面図である。ここで、目盛り付きプレート５８について詳述する。

【0062】

目盛り付きプレート５８は、金属、樹脂、紙等の材料で形成されたシート状の部材であり、例えば、ホイールマウント３２の上面の外周に沿って湾曲した帯状の部材である。目盛り付きプレート５８の外周は、ホイールマウント３２の上面の外周の半径と同じ半径の円弧により構成されることが好ましい。この場合、ホイールマウント３２の上面の外周に目盛り付きプレート５８の外周を合わせることで、ホイールマウント３２の径方向における目盛り付きプレート５８の位置合わせを実施できる。

【0063】

目盛り付きプレート５８には、目盛り６０が設けられている。目盛り６０は、円弧状の軸線６２と、軸線６２に等間隔に設けられた複数の目盛り線６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ，６４ｅと、により構成される。また、目盛り付きプレート５８には、外周に沿って長く形成された開口７０が設けられる。

【0064】

目盛り付きプレート５８のホイールマウント３２の上面への固定には、研削ホイール固定穴３４を利用可能である。例えば、ホイールマウント３２の上面に目盛り付きプレート５８を載せ、開口７０中に研削ホイール固定穴３４を露出させる。この状態で、開口７０にボルト等の固定具を通し、該固定具を研削ホイール固定穴３４に締め込むと、目盛り付きプレート５８をホイールマウント３２に固定できる。

【0065】

ここで、開口７０は目盛り付きプレート５８の外周に沿って長く形成されているため、ホイールマウント３２の周方向に沿って目盛り付きプレート５８を移動させても開口７０中に研削ホイール固定穴３４を露出しやすい。換言すると、目盛り付きプレート５８は、開口７０中に研削ホイール固定穴３４を露出できる範囲であれば、任意の位置でホイールマウント３２に固定可能である。すなわち、作業者は、位置を調整して目盛り付きプレート５８をホイールマウント３２に固定できる。

【0066】

目盛り６０とともに使用される目印６８について説明する。例えば、目盛り６０がホイールマウント３２の上面に設けられる場合、目印６８は、ホイールマウント３２及びスピンドル３０を除く研削ユニット２４の外面に設けられる。

【0067】

例えば、目印６８は、研削ユニット２４の保持部材２６の外面に設けられ、目盛り６０の一点を指す三角形のマークである。ただし、目印６８はこれに限定されず、目盛り６０と組み合わせて使用されるためだけに設けられる専用のマーク等である必要はない。目印６８は、研削ユニット２４の保持部材２６の外面に設けられた各種の構造物や模様等でもよい。研削装置２の調整作業者は、任意の構造物等を目印６８として使用できる。

【0068】

次に、ホイールマウント３２における目盛り付きプレート５８の固定位置について説明する。調整作業者は、高さ測定器取付け機構５２及び治具５６によりホイールマウント３２に取り付けられた高さ測定器５４をチャックテーブル８の保持面８ｃの一端に位置付け、その場で高さ測定器５４により保持面８ｃの高さを測定する。

【0069】

そして、例えば、目盛り付きプレート５８の目盛り６０の最も端に位置する目盛り線６４ａが目印６８に合うようにホイールマウント３２の周方向における目盛り付きプレート５８の位置を調整する。その後、開口７０中に露出した研削ホイール固定穴３４に固定具を挿入し、目盛り付きプレート５８をホイールマウント３２に固定する。図９（Ｂ）は、ホイールマウント３２に固定された目盛り付きプレート５８を模式的に示す斜視図である。なお、図９（Ｂ）では、説明の便宜のために開口７０及び固定具を省略している。

【0070】

次に、保持面８ｃ上の別の箇所で高さの測定を実施するために、スピンドル３０を回転させて高さ測定器５４を移動させる。例えば、このときにスピンドル３０を６０°回転させると、高さ測定器５４が保持面８ｃの中央に位置付けられる。換言すると、高さ測定器５４を保持面８ｃの中央に位置付けるには、スピンドル３０を６０°の回転角で回転させるとよい。

【0071】

目盛り付きプレート５８には、スピンドル３０を所定の回転角で回転させる際の指標となるように目盛り６０が形成されている。ここで、目盛り付きプレート５８に設けられた目盛り６０の第１の目盛り線６４ａと、第２の目盛り線６４ｂと、第３の目盛り線６４ｃと、の配設位置について説明する。また、目盛り６０及び目印６８を利用した高さ測定器５４の位置合わせの方法についても説明する。

【0072】

第２の目盛り線６４ｂは、スピンドル３０を６０°回転させたとき、該第２の目盛り線６４ｂ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように目盛り付きプレート５８に設けられる。また、第３の目盛り線６４ｃは、スピンドル３０を１２０°回転させたとき、該第３の目盛り線６４ｃ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように目盛り付きプレート５８に設けられる。

【0073】

この場合、スピンドル３０を６０°回転させたとき回転前の第１の目盛り線６４ａの位置に第２の目盛り線６４ｂが到達する。また、スピンドル３０を１２０°回転させたとき回転前の第１の目盛り線６４ａの位置に第３の目盛り線６４ｃが到達する。

【0074】

図８を用いてさらに説明する。図８は、研削砥石４２の回転軌道４６に沿って移動する高さ測定器５４と、チャックテーブル８と、を模式的に示す平面図である。ここで、回転前に第１の目盛り線６４ａが合わせられていた目印６８に第２の目盛り線６４ｂを合わせるようにスピンドル３０を回転させる。すると、回転前に保持面８ｃの端部（回転軌道４６の点５０ａと重なる位置）に位置付けられていた高さ測定器５４が保持面８ｃの中心（回転軌道４６の点５０ｂと重なる位置）に移動する。

【0075】

また、回転前に第１の目盛り線６４ａが合わせられていた目印６８に第３の目盛り線６４ｃを合わせるようにスピンドル３０を回転させる。すると、回転前に保持面８ｃの端部（回転軌道４６の点５０ａと重なる位置）に位置付けられていた高さ測定器５４が保持面８ｃの他の端部（回転軌道４６の点５０ｃと重なる位置）に移動する。

【0076】

このように、目盛り６０及び目印６８を参照してスピンドル３０を回転させると、高さ測定器５４を特定の位置に移動できる。ここで、目盛り６０及び目印６８は、ホイールマウント３２の底面及びチャックテーブル８の保持面８ｃの隙間を覗き込むことなく研削ユニット２４の外部から視認可能である。そのため、例えば研削ユニット２４の上方で調整作業を実施している作業者でも、目盛り６０及び目印６８を確認しながらスピンドル３０を回転させることで高さ測定器５４を所定の位置に位置付けられる。

【0077】

また、該隙間を覗き込み高さ測定器５４を保持面８ｃの中央に移動させる場合、作業者が側方から目視して保持面８ｃの中央等の位置を判別しなければならず、高さ測定器５４の位置合わせの精度を確保しにくい。これに対して、本実施形態に係る研削装置２では、特定の目盛り線を目印６８に合わせることで高さ測定器５４を移動させるため、作業者が移動目標を判別する必要がない。したがって、高さ測定器５４の位置合わせ精度が高くなる。

【0078】

さらに、第４の目盛り線６４ｄ及び第５の目盛り線６４ｅについて説明する。第４の目盛り線６４ｄは、スピンドル３０を３０°回転させたとき、該第４の目盛り線６４ｄ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように設けられる。第５の目盛り線６４ｅは、スピンドル３０を９０°回転させたとき、該第５の目盛り線６４ｅ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように設けられる。

【0079】

目盛り６０がホイールマウント３２に付されている場合、スピンドル３０を３０°回転させたとき回転前の第１の目盛り線６４ａの位置に第４の目盛り線６４ｄが到達する。また、スピンドル３０を９０°回転させたとき回転前の第１の目盛り線６４ａの位置に第５の目盛り線６４ｅが到達する。第４の目盛り線６４ｄ及び第５の目盛り線６４ｅは、保持面８ｃの中心及び端部の間の中点に高さ測定器５４を位置付ける際に使用される。図８を用いてさらに説明する。

【0080】

例えば、回転前に第１の目盛り線６４ａが合わせられていた目印６８に第４の目盛り線６４ｄを合わせるようにスピンドル３０を回転させる。すると、回転前に保持面８ｃの端部（回転軌道４６の点５０ａと重なる位置）に位置付けられていた高さ測定器５４が保持面８ｃ上の一つの該中点（回転軌道４６の点５０ｄと重なる位置）に移動する。

【0081】

また、回転前に第１の目盛り線６４ａが合わせられていた目印６８に第５の目盛り線６４ｅを合わせるようにスピンドル３０を回転させる。すると、回転前に保持面８ｃの端部（回転軌道４６の点５０ａと重なる位置）に位置付けられていた高さ測定器５４が保持面８ｃ上の他の該中点（回転軌道４６の点５０ｅと重なる位置）に移動する。

【0082】

ここまで、最初に高さ測定器５４を保持面８ｃの端部に位置付け、第１の目盛り線６４ａを目印６８に合わせるように目盛り付きプレート５８を固定する場合について説明した。しかしながら、ホイールマウント３２における目盛り６０の配設位置、すなわち、目盛り付きプレート５８の固定位置は、これに限定されない。例えば、目盛り付きプレート５８は、高さ測定器５４が特定の位置に位置付けられる前にホイールマウント３２に固定されてもよい。

【0083】

この場合、例えば、高さ測定器５４を保持面８ｃの端部に位置付けたとき、目印６８が目盛り６０の第１の目盛り線６４ａと第４の目盛り線６４ｄの間を指し示すことが考えられる。この場合においても、目印６８が第２の目盛り線６４ｂと第５の目盛り線６４ｅの間を指し示すようにスピンドル３０を回転させることで、高さ測定器５４を保持面８ｃの中央に位置付けられる。

【0084】

このように、高さ測定器５４の位置とは無関係に目盛り６０がホイールマウント３２に付されていても、高さ測定器５４を所定の位置に位置付ける際に目盛り６０及び目印６８を使用できる。

【0085】

そして、高さ測定器５４が回転軌道４６のどの位置に位置していても目盛り６０を使用できるように、目盛り６０は、ホイールマウント３２のより広い範囲にわたって設けられていてもよく、さらなる目盛り線を有していてもよい。例えば、目盛り６０は、ホイールマウント３２の全周にわたって設けられていてもよい。この場合、調整作業者は、目盛り６０を構成する任意の目盛り線を利用して高さ測定器５４を所定の位置に位置付ける。

【0086】

さらに、目盛り６０は、目盛り付きプレート５８ではなくホイールマウント３２の上面又は側面に直接的に印字されていてもよい。図９（Ｃ）は、複数の目盛り線６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ，６６ｅを含む目盛り６０ａが上面に直接印字されたホイールマウント３２を模式的に示す斜視図である。各目盛り線６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ，６６ｅは、図９（Ａ）等に示す目盛り線６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ，６４ｅと同様に配置され、同様に使用される。

【0087】

なお、目盛り６０，６０ａは、必ずしも軸線６２を有している必要はなく、複数の目盛り線のみで構成されていてもよい。図９（Ｃ）に示される目盛り６０ａは、軸線６２を有さない。軸線６２は、高さ測定器５４の位置合わせに必ずしも寄与するものではないため、省略可能である。

【0088】

以上に説明する通り、本実施形態に係る研削装置２では、目印６８が指す目盛り６０，６０ａ上の点を読み取ることで保持面８ｃにおける高さ測定器５４の位置を検出可能であり、高さ測定器５４の高精度な位置合わせを容易に実現できる。

【0089】

なお、目盛り６０が付された目盛り付きプレート５８は、既存の研削装置２にも容易に取り付け可能である。そして、チャックテーブル８の保持面８ｃの各所の高さを測定してテーブル回転軸８ｆ等の調整を終えた後に研削装置２から容易に取り外し可能であり、他の研削装置２の調整作業にも使用可能である。

【0090】

ところで、研削の対象となる被加工物１の大きさは一定ではない。そして、被加工物１の研削には、被加工物１の被研削面の径に対応した保持面８ｃを有するチャックテーブル８及び研削ホイール３８を備える研削装置２が選択されて使用される。そこで、各種の研削装置２においてテーブル回転軸８ｆ等の調整を容易に実施できるように、各種の研削装置２に適用可能な構成の目盛り付きプレート５８が用意されるとよい。

【0091】

具体的には、各目盛り線の間隔が異なる複数の目盛り付きプレート５８が用意されるとよい。この場合、いかなる研削装置２においても、該研削装置２に対応する目盛り付きプレート５８を取り付け可能である。そして、目盛り付きプレート５８は、所定の機能を発揮できる態様で研削装置２に取り付け可能であればよい。

【0092】

すなわち、スピンドル３０を６０°回転させたときに第２の目盛り線６４ｂ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように目盛り付きプレート５８が研削装置２に取り付け可能であるとよい。かつ、スピンドル３０を１２０°回転させたときに第３の目盛り線６４ｃ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように目盛り付きプレート５８が研削装置２に取り付け可能であるとよい。

【0093】

また、スピンドル３０を３０°回転させたときに第４の目盛り線６４ｄ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように目盛り付きプレート５８が研削装置２に取り付け可能であるとよい。かつ、スピンドル３０を９０°回転させたときに第５の目盛り線６４ｅ及び目印６８の相対的な位置関係が回転前の第１の目盛り線６４ａ及び目印６８の相対的な位置関係と一致するように目盛り付きプレート５８が研削装置２に取り付け可能であるとよい。

【0094】

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、ホイールマウント３２の研削ホイール固定穴３４に通される固定具により研削装置２に目盛り付きプレート５８が固定できる場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様に係る研削装置２及び目盛り付きプレート５８は、これに限定されない。

【0095】

目盛り付きプレート５８は、テープまたは磁石により研削装置２に固定可能でもよく、テープまたは磁石により研削装置２に固定されていてもよい。目盛り付きプレート５８の固定方法には、特に限定はない。

【0096】

また、上記実施形態では、ホイールマウント３２の上面に目盛り６０が設けられる場合を中心に説明したが、本発明の一態様に係る研削装置２はこれに限定されない。すなわち、目盛り６０は、外部から視認可能なホイールマウント３２の側面に設けられてもよい。

【0097】

また、ホイールマウント３２に目盛り６０が設けられ、研削ユニット２４の保持部材２６の外面に目印６８が設けられる場合を中心に説明したが、本発明の一態様に係る研削装置２及び目盛り付きプレート５８はこれに限定されない。目盛り６０は、ホイールマウント３２及びスピンドル３０を除く研削ユニット２４の外面に設けられてもよく、目印６８はホイールマウント３２の上面または側面に設けられてもよい。

【0098】

ここで重要なことは、スピンドル３０を回転させることで動く要素に目盛り６０と目印６８の一方が付され、スピンドル３０を回転させても動かない要素に目盛り６０と目印６８の他方が付されることである。これにより、目盛り６０と目印６８は、スピンドル３０の回転角の表示として機能を発揮するようになる。そして、目盛り６０と目印６８の位置関係を作業者が目視で確認可能であれば、該作業者は高さ測定器５４を所定の位置に位置付けられる。

【0099】

さらに、上記実施形態では、目印６８に第１の目盛り線６４ａが合うように目盛り６０がホイールマウント３２に設けられ、スピンドル３０を６０°回転させたときに第２の目盛り線６４ｂが目印６８に合う場合について説明した。また、スピンドル３０を１２０°回転させたときに第３の目盛り線６４ｃが、３０°回転させたときに第４の目盛り線６４ｄが、９０°回転させたときに第５の目盛り線６４ｅが、目印６８に合う場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様はこれに限定されない。

【0100】

チャックテーブル８、ホイールマウント３２、研削ホイール３８、高さ測定器５４、及び治具５６等の研削装置２の構成次第では、所定の角度でスピンドル３０を回転させることでは高さ測定器５４を所定の測定点に厳密に位置付けられないことも考えられる。また、高さ測定器５４による高さの測定が企図される保持面８ｃの測定点の位置次第でも、所定の角度でスピンドル３０を回転させることでは高さ測定器５４を所定の測定点に厳密に位置付けられないことも考えられる。

【0101】

研削装置２に設けられる目盛り６０を利用してより高精度に高さ測定器５４の位置合わせを実施するために、目盛り６０を構成する各目盛り線は、次に説明する方法により位置が決定されてもよい。

【0102】

すなわち、まず、目盛り線の付されていない無地のプレートをホイールマウント３２の上面に固定する。また、研削ユニット２４の外装となる保持部材２６の外面に所定の形状の目印６８を設ける。そして、高さ測定器取付け機構５２でホイールマウント３２に治具５６を介して取り付けられた高さ測定器５４をチャックテーブル８の保持面８ｃの端部の測定点に位置付ける。このとき、目印６８が示す該プレート上の点に、第１の目盛り線６４ａを記入する。

【0103】

次に、ホイールマウント３２及び保持面８ｃの隙間を側方から覗き込み、スピンドル３０を回転させて高さ測定器５４を保持面８ｃの中央の測定点に位置付ける。このとき、目印６８が示す該プレート上の点に、第２の目盛り線６４ｂを記入する。さらに、ホイールマウント３２及び保持面８ｃの隙間を側方から覗き込み、スピンドル３０を回転させて高さ測定器５４を保持面８ｃの別の端部の測定点に位置付ける。このとき、目印６８が示す該プレート上の点に、第３の目盛り線６４ｃを記入する。

【0104】

同様に、該隙間を直接視認しながら保持面８ｃ上の所定の測定点に高さ測定器５４を移動させ、このときの目印６８が示す該プレート上の点に、第４の目盛り線６４ｄ、第５の目盛り線６４ｅを記入する。これにより、目盛り６０が記載された目盛り付きプレート５８を作製できる。

【0105】

ここで、作製された目盛り付きプレート５８では、第１の目盛り線６４ａに目印６８が合うようにスピンドル３０を回転させた後、スピンドル３０を６０°回転させても第２の目盛り線６４ｂが目印６８に厳密に合わないことも考えられる。また、スピンドル３０を１２０°回転させても第３の目盛り線６４ｃが目印６８に厳密に合わないことも考えられる。しかしながら、各目盛り線６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ，６４ｅが目印６８に合うようにスピンドル３０を回転させたとき、高さ測定器５４が厳密に測定点に位置付けられる。

【0106】

このように、スピンドル３０の回転角に基づいて目盛り６０を作製するよりも、実使用の場面を再現して目盛り６０を作製する方が、高さ測定器５４の精密な位置合わせとの目盛り６０の機能を発揮する上で有利となることもある。したがって、本発明の一態様において、目盛り６０を構成する各目盛り線の位置関係がスピンドル３０の回転角の数字で表現される場合においても、当該数字で表現される位置関係からの各目盛り線の僅かなずれは許容され、むしろ当該ずれが好ましい場合もある。

【0107】

換言すると、スピンドル３０の回転角の数字で各目盛り線の位置関係が表現される場合においても、当該数字は必ずしも各目盛り線の位置関係を厳密に規定するものではなく、各目盛り線の実質的な機能が着目される。そのため、各目盛り線が当該数字で規定される位置関係を厳密に満たしていない目盛りが設けられた研削装置２及び目盛り付きプレート５８でも、それだけでは本発明の一態様に係る研削装置２及び目盛り付きプレート５８であることからは除外されない。

【0108】

また、上記実施形態では、目盛り６０を利用して、高さ測定器５４を保持面８ｃの二つの端部と、中心と、該端部及び該中心の中点と、の各測定点に移動させ、保持面８ｃの高さを測定する場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様はこれに限定されない。

【0109】

すなわち、高さ測定器５４は、これらの測定点以外の他の測定点で保持面８ｃの高さを測定してもよい。この場合、該他の測定点に高さ測定器５４を位置付けるための目盛り線が目盛り６０に含まれることが好ましい。そのため、本発明の一態様に係る研削装置２及び目盛り付きプレート５８では、目盛り６０が目盛り線６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ，６４ｅ以外の目盛り線をさらに含んでもよい。目盛り６０には、保持面８ｃの測定点の分布に対応するように目盛り線が設けられる。

【0110】

ただし、目盛り線の数が多すぎると、研削装置２の調整作業者がいずれの目盛り線を参照するべきか判断に迷うことや、判断を誤ることがある。そこで、目盛り６０は、目盛り線６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ，６４ｅ以外の目盛り線を含まないことも場合により好ましい。さらに、目盛り６０は、第１の目盛り線６４ａ、第２の目盛り線６４ｂ、第３の目盛り線６４ｃ以外の目盛り線を含まないことも場合により好ましい。

【0111】

また、上記実施形態では、チャックテーブル８の保持面８ｃが円錐面状である場合について説明したが、本発明の一態様に係る研削装置２は、これに限定されない。すなわち、保持面８ｃは平坦でもよい。

【0112】

ある種の研削装置２では、保持面８ｃが平坦なチャックテーブル８が使用されることもある。この場合においても、保持面８ｃの所定の位置における高さを高さ測定器５４で測定し、テーブル回転軸８ｆの傾きの調整が望まれる。本実施形態に係る研削装置２及び目盛り付きプレート５８では、保持面８ｃが平坦面である場合においても、目盛り６０及び目印６８を利用して高さ測定器５４を所定の位置に位置付けられる。

【0113】

上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0114】

１ 被加工物
１ａ 表面
１ｂ 裏面
３ 保護部材
２ 研削装置
４ 基台
４ａ 凹部
４ｂ 防塵防滴カバー
６ 移動テーブル
８ チャックテーブル
８ａ 枠体
８ｂ 多孔質部材
８ｃ 保持面
８ｄ テーブル支持台
８ｅ 回転駆動源
８ｆ テーブル回転軸
８ｇ 支持機構
１０ 支持部
１２ 研削送りユニット
１４ ガイドレール
１６ 昇降プレート
１８ ナット部
２０ ボールねじ
２２ パルスモータ
２４ 研削ユニット
２６ 保持部材
２８ スピンドルハウジング
３０ スピンドル
３０ａ ホイール回転軸
３２ ホイールマウント
３４ 研削ホイール固定穴
３６ ホイール固定具
３８ 研削ホイール
４０ ホイール基台
４０ａ 締結穴
４２ 研削砥石
４４ 厚み測定ユニット
４４ａ，４４ｂ プローブ
４４ｃ 軸部
４６ 回転軌道
４８ 接触領域
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ 点
５２ 高さ測定器取付け機構
５４ 高さ測定器
５６ 治具
５６ａ 接続部
５６ｂ 軸部
５６ｃ 腕部
５８ 目盛り付きプレート
６０ 目盛り
６２ 軸線
６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ，６４ｅ 目盛り線
６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ，６６ｅ 目盛り線
６８ 目印
７０ 開口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】