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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-03-27
(45)【発行日】2025-04-04
(54)【発明の名称】保持具、保持方法、及び加工方法
(51)【国際特許分類】
B24B 41/06 20120101AFI20250328BHJP
B24B 7/04 20060101ALI20250328BHJP
B23Q 3/08 20060101ALI20250328BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20250328BHJP
【ＦＩ】
B24B41/06 L
B24B7/04 A
B23Q3/08 Z
H01L21/304 631
H01L21/304 622J
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020145894
(22)【出願日】2020-08-31
(65)【公開番号】P2022040934
(43)【公開日】2022-03-11
【審査請求日】2023-06-29
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】小野 貴司
(72)【発明者】
【氏名】下谷 誠
(72)【発明者】
【氏名】小野寺 寛
【審査官】山内 康明
(56)【参考文献】
【文献】特開２００６－３０３１８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０４１９７３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－３２４１４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０７５４０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１７０８４８（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００８／０２６８２２３（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ４１／０６
Ｂ２４Ｂ ７／０４
Ｂ２３Ｑ ３／０８
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
裏面が加工される板状被加工物を保持する保持具であって、保持する板状被加工物より大きいサイズの硬質プレートと、
該硬質プレート以下且つ該板状被加工物より大きいサイズを有し、該硬質プレート上に密着する非粘着性の基材層のみで構成されたシートと、
該シートの外周縁のみを該硬質プレートに接着するシート接着部材と、
該シート上に配設されて該シートに板状被加工物の表面全体を接着する樹脂であり、かつ硬化前では液状の樹脂であって紫外線の照射又は加熱により硬化した硬化樹脂と、からなる保持具。
【請求項2】
請求項１に記載の保持具で板状被加工物を保持する保持方法であって、該シート上に該硬化樹脂を介して板状被加工物の表面全体を接着するステップと、
該板状被加工物の表面全体を接着するステップを実施した後、板状被加工物が接着された該シートを該硬質プレートに密着させ、該シートの外周縁を該硬質プレートに接着するシート接着ステップと、を備えた保持方法。
【請求項3】
請求項１に記載の保持具で板状被加工物を保持する保持方法であって、該硬質プレート上に該シートを密着させるシート密着ステップと、
該シート密着ステップを実施した後、該シート上に該硬化樹脂を介して板状被加工物の表面全体を接着するステップと、
該シート密着ステップを実施した後、該板状被加工物の表面全体を接着するステップを実施する前または後に、該シートの外周縁を該硬質プレートに接着するシート接着ステップと、を備えた保持方法。
【請求項4】
該シート密着ステップでは、該硬質プレート上に液体を介して該シートを密着させ、該シートと該硬質プレート間から該液体を除去する、請求項３に記載の保持方法。
【請求項5】
請求項１に記載の保持具を用いた板状被加工物の加工方法であって、該シート上に該硬化樹脂を介して板状被加工物を接着するとともに該シートを該硬質プレートに密着させ、該シートの外周縁を該硬質プレートに接着した状態とする保持具装着ステップと、
該保持具装着ステップを実施した後、該硬質プレートを保持テーブルで保持し、板状被加工物を露出させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、板状被加工物に加工を施す加工ステップと、
該加工ステップを実施した後、該硬質プレートの表面と該シート接着部材との間を切断、又は、該シートの該外周縁及び該シート接着部材を切断して、板状被加工物が接着された該シートから該硬質プレートを取り外す硬質プレート取り外しステップと、
該硬質プレート取り外しステップを実施した後、該シートの一端部を湾曲させた後、該一端部を該シートの他端部に向かって板状被加工物の表面に沿って移動させて、該シート及び該硬化樹脂を該シートの一端部から他端部に向かって順に剥離して、板状被加工物を該シートから取り外す板状被加工物取り外しステップと、を備えた加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、板状被加工物を保持する保持具、保持方法、及び保持具で保持された板状被加工物の加工方法に関する。
【背景技術】
【0002】
板状被加工物であるウェーハの裏面研削や研磨時には、予めウェーハ表面に保護部材を配設してウェーハ表面を保護している。保護部材としては、基材と基材上に形成された糊層とからなる表面保護テープや、硬質プレート（例えば、特許文献１参照）が広く利用されている。
【0003】
表面保護テープは、一般に糊層が軟らかく、研削や研磨時に工具でウェーハ裏面が押圧されるとウェーハがテープに僅かに沈み込み、加工品質が悪化するおそれがある。
【0004】
そこで、特許文献１に示された硬質プレート上に接着材等でウェーハを固着させて加工する場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００４－２０７６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、特許文献１に示された硬質プレートは、接着材でウェーハが固定されるために、加工後の薄化されたウェーハを剥離し難く、剥離する際にウェーハを破損させてしまうおそれがある。特許文献１に示された硬質プレートは、特に、外径が２００ｍｍや３００ｍｍ等の大径のウェーハを固着する場合、剥離の際の加工後のウェーハの破損リスクが高まる。
【0007】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、板状被加工物の加工品質の低下を抑制しながらも、加工後の板状被加工物の破損を抑制することができる保持具、保持方法、及び加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保持具は、裏面が加工される板状被加工物を保持する保持具であって、保持する板状被加工物より大きいサイズの硬質プレートと、該硬質プレート以下且つ該板状被加工物より大きいサイズを有し、該硬質プレート上に密着する非粘着性の基材層のみで構成されたシートと、該シートの外周縁のみを該硬質プレートに接着するシート接着部材と、該シート上に配設されて該シートに板状被加工物の表面全体を接着する樹脂であり、かつ硬化前では液状の樹脂であって紫外線の照射又は加熱により硬化した硬化樹脂と、からなることを特徴とする。
【0009】
本発明の保持方法は、前記保持具で板状被加工物を保持する保持方法であって、該シート上に該硬化樹脂を介して板状被加工物の表面全体を接着するステップと、該板状被加工物の表面全体を接着するステップを実施した後、板状被加工物が接着された該シートを該硬質プレートに密着させ、該シートの外周縁を該硬質プレートに接着するシート接着ステップと、を備えたことを特徴とする。
【0010】
本発明の保持方法は、前記保持具で板状被加工物を保持する保持方法であって、該硬質プレート上に該シートを密着させるシート密着ステップと、該シート密着ステップを実施した後、該シート上に該硬化樹脂を介して板状被加工物の表面全体を接着するステップと、該シート密着ステップを実施した後、該板状被加工物の表面全体を接着するステップを実施する前または後に、該シートの外周縁を該硬質プレートに接着するシート接着ステップと、を備えたことを特徴とする。
【0011】
前記保持方法において、該シート密着ステップでは、該硬質プレート上に液体を介して該シートを密着させ、該シートと該硬質プレート間から該液体を除去しても良い。
【0012】
本発明の加工方法は、前記保持具を用いた板状被加工物の加工方法であって、該シート上に該硬化樹脂を介して板状被加工物を接着するとともに該シートを該硬質プレートに密着させ、該シートの外周縁を該硬質プレートに接着した状態とする保持具装着ステップと、該保持具装着ステップを実施した後、該硬質プレートを保持テーブルで保持し、板状被加工物を露出させる保持ステップと、該保持ステップを実施した後、板状被加工物に加工を施す加工ステップと、該加工ステップを実施した後、該硬質プレートの表面と該シート接着部材との間を切断、又は、該シートの該外周縁及び該シート接着部材を切断して、板状被加工物が接着された該シートから該硬質プレートを取り外す硬質プレート取り外しステップと、該硬質プレート取り外しステップを実施した後、該シートの一端部を湾曲させた後、該一端部を該シートの他端部に向かって板状被加工物の表面に沿って移動させて、該シート及び該硬化樹脂を該シートの一端部から他端部に向かって順に剥離して、板状被加工物を該シートから取り外す板状被加工物取り外しステップと、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0013】
本発明は、板状被加工物の加工品質の低下を抑制しながらも、加工後の板状被加工物の破損を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0016】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る保持具を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る保持具の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された保持具を分解して示す斜視図である。図３は、図１に示された保持具により保持される板状被加工物を示す斜視図である。図４は、図２中のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面を誇張して示す断面図である。図５は、図１中のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。図６は、図５に示された保持具の変形例の断面図である。図７は、図５に示された保持具の他の変形例の断面図である。
本発明の実施形態１に係る保持具を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る保持具の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された保持具を分解して示す斜視図である。図３は、図１に示された保持具により保持される板状被加工物を示す斜視図である。図４は、図２中のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面を誇張して示す断面図である。図５は、図１中のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。図６は、図５に示された保持具の変形例の断面図である。図７は、図５に示された保持具の他の変形例の断面図である。
【0017】
（板状被加工物）
実施形態１に係る図１及び図２に示された保持具１は、図３に示された板状被加工物２００を保持するものである。実施形態１に係る保持具１により保持される板状被加工物２００は、窒化ガリウムで構成されかつ円板状の基板を有する所謂ＧａＮウェーハである。なお、実施形態１では、板状被加工物２００は、ＧａＮウェーハであるが、本発明では、ＧａＮウェーハに限らず、基板がサファイアで構成されたウェーハ、基板がＳｉＣ（炭化ケイ素）で構成されたＳｉＣウェーハ、又は基板がＩｎＰ（リン化インジウム）に構成されたＩｎＰウェーハ等の基板が硬質材で構成された円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハであるのが好適である。また、本発明では、板状被加工物２００は、基板がシリコン、化合物半導体、ＬＴ（タンタル酸リチウム）又はＬＮ（ニオブ酸リチウム）で構成されたウェーハでも良い。
実施形態１に係る図１及び図２に示された保持具１は、図３に示された板状被加工物２００を保持するものである。実施形態１に係る保持具１により保持される板状被加工物２００は、窒化ガリウムで構成されかつ円板状の基板を有する所謂ＧａＮウェーハである。なお、実施形態１では、板状被加工物２００は、ＧａＮウェーハであるが、本発明では、ＧａＮウェーハに限らず、基板がサファイアで構成されたウェーハ、基板がＳｉＣ（炭化ケイ素）で構成されたＳｉＣウェーハ、又は基板がＩｎＰ（リン化インジウム）に構成されたＩｎＰウェーハ等の基板が硬質材で構成された円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハであるのが好適である。また、本発明では、板状被加工物２００は、基板がシリコン、化合物半導体、ＬＴ（タンタル酸リチウム）又はＬＮ（ニオブ酸リチウム）で構成されたウェーハでも良い。
【0018】
また、実施形態１では、板状被加工物２００は、基板の表面２０１にＩＣ（Integrated Circuit）、あるいやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、またはＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されていないが、本発明では、基板の表面２０１にデバイスが形成されても良い。
【0019】
【0020】
実施形態１では、硬質プレート２は、サイズである外径が板状被加工物２００の外径よりも大きくかつ厚みが板状被加工物２００の厚みより厚い円盤状に形成されている。また、実施形態１では、硬質プレート２は、透光性を有しかつ硬質材料であるガラスにより構成されているが、本発明では、ガラスに限らず、セラミックス又は金属で構成されても良い。
【0021】
また、実施形態１では、硬質プレート２の表面２１は、図４に示すように、中心の厚みが最も薄くかつ外縁に向かうにしたがって徐々に厚みが厚くなるとともに稜線が形成されることがない曲面で形成されている。即ち、硬質プレート２の表面２１は、表面２１から凹の曲面に形成されている。硬質プレート２の外径が４インチ（約１００ｍｍ）である場合、硬質プレート２の中心の厚みと、硬質プレート２の外縁の厚みとの差は、２μｍ以上でかつ３μｍ以下である。なお、硬質プレート２の表面２１の曲面は、目視では確認することが困難ななだらかな曲面である。図４は、硬質プレート２の表面２１の曲面の曲率を誇張して示し、他の図は、硬質プレート２の表面２１の曲面を省略している。なお、実施形態１では、硬質プレート２の表面２１は、前述した凹状の曲面で形成されているが、本発明では、硬質プレート２の表面２１は、平坦に形成されて、硬質プレート２の厚みが一定であっても良い。
【0022】
なお、硬質プレート２の表面２１の曲面は、硬質プレート２の表面２１の裏側の裏面２２が研磨装置のチャックテーブルに保持され、チャックテーブルとともに軸心回りに回転された硬質プレート２の表面２１が軸心回りに回転される研磨パッドにより研磨させて形成される。具体的には、側方からみて硬質プレート２の表面２１のほぼ半分に研磨パッドが当接し、チャックテーブルの軸心と研磨パッドの軸心とが間隔をあけて配置され、チャックテーブルの軸心の鉛直方向に対する傾きが調整されて、硬質プレート２の表面２１の曲面が形成される。
【0023】
シート３は、硬質プレート２以下且つ板状被加工物２００より大きいサイズを有し、硬質プレート２の表面２１上に密着するものである。シート３は、サイズである外径が硬質プレート２の外径以下でかつ板状被加工物２００の外径よりも大きいとともに、厚みが硬質プレート２の厚みより薄い円板状に形成され、厚みが一定に形成されている。シート３は、粘着層を備えずに非粘着性の基材層のみで構成されている。実施形態１では、シート３の基材層は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）又はＰＯ（ポリオレフィン）等の可撓性を有する樹脂により構成されている。また、本発明では、シート３の基材層は、硬化樹脂４と同じ材質で構成されて、変形自在な材質により構成されても良い。
【0024】
硬化樹脂４は、シート３上に配設されてシート３に板状被加工物２００を仮接着するものである。硬化樹脂４は、液状の樹脂であって、外的刺激により硬化する樹脂により構成されている。硬化樹脂４は、液状の状態でシート３と板状被加工物２００との間に配設され、外的刺激が付与されることで硬化し、板状被加工物２００をシート３に接着して固定する樹脂で構成されている。実施形態１では、硬化樹脂４は、外的刺激として紫外線１０８（図１０に示す）が照射されることで、硬化するが、本発明では、紫外線１０８の照射に限らず、例えば加熱等の他の外的刺激が付与されることで硬化するものでも良い。
【0025】
シート接着部材５は、図５に示すように、シート３の外周縁３１を硬質プレート２の表面２１に接着するものである。なお、外周縁３１とは、硬化樹脂４によりシート３に板状被加工物２００が接着、固定された際に、シート３の板状被加工物２００の外縁よりも外周側の部分をいう。シート接着部材５は、液状の状態で、シート３の外周縁３１と硬質プレート２の表面２１とに亘って、シート３の全周に亘って塗布され、硬化して、シート３の外周縁３１を硬質プレート２の表面２１に接着、固定する接着剤である。シート接着部材５は、硬化樹脂４と同じ材質で構成されても良い。この場合、シート接着部材５は、シート３の外周縁３１と硬質プレート２の表面２１とに亘って、シート３の全周に亘って塗布され塗布された後、外的刺激が付与されて硬化する。
【0026】
また、本発明では、シート接着部材５は、前述した接着剤に限定されることなく、例えば、図６に示す粘着テープ５－１により構成されても良く、図７に示す両面テープ５－２により構成されても良い。なお、図６に示す粘着テープ５－１は、非粘着性の樹脂で構成された基材層と、基材層の一方の表面に積層され粘着性の樹脂で構成された粘着層とを備え、粘着層がシート３の外周縁３１と硬質プレート２の表面２１とに亘って貼着して、シート３の外周縁３１を硬質プレート２の表面２１に接着、固定する。
【0027】
図７に示す両面テープ５－２は、非粘着性の樹脂で構成された基材層と、基材層の両表面に積層され粘着性の樹脂で構成された粘着層とを備え、シート３の外周縁３１と硬質プレート２の表面２１との間に挿入され、一方の粘着層がシート３の外周縁３１に貼着し、他方の粘着層が硬質プレート２の表面２１に貼着して、シート３の外周縁３１を硬質プレート２の表面２１に接着、固定する。
【0028】
前述した構成の保持具１は、硬化樹脂４によりシート３上に板状被加工物２００を接着して、板状被加工物２００を保持する。
【0029】
（保持方法）
次に、実施形態１に係る保持方法を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態１に係る保持方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る保持方法は、前述した構成の保持具１で板状被加工物２００を保持する方法である。実施形態１に係る保持方法は、図８に示すように、仮接着ステップ１００１と、シート接着ステップ１００２とを備える。
次に、実施形態１に係る保持方法を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態１に係る保持方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る保持方法は、前述した構成の保持具１で板状被加工物２００を保持する方法である。実施形態１に係る保持方法は、図８に示すように、仮接着ステップ１００１と、シート接着ステップ１００２とを備える。
【0030】
（仮接着ステップ）
図９は、図８に示された保持方法の仮接着ステップのシート上に配設された硬化樹脂に板状被加工物を対向させた状態の断面図である。図１０は、図９に示された硬化樹脂がシートに板状被加工物を接着した状態の断面図である。仮接着ステップ１００１は、シート３上に硬化樹脂４を介して板状被加工物２００を仮接着するステップである。
図９は、図８に示された保持方法の仮接着ステップのシート上に配設された硬化樹脂に板状被加工物を対向させた状態の断面図である。図１０は、図９に示された硬化樹脂がシートに板状被加工物を接着した状態の断面図である。仮接着ステップ１００１は、シート３上に硬化樹脂４を介して板状被加工物２００を仮接着するステップである。
【0031】
仮接着ステップ１００１では、図９に示すように、仮接着装置１００のガラス等の透光性の材料で構成された支持台１０１の水平方向と平行でかつ平坦な支持面１０２にシート３を載置し、シート３上に硬化前の硬化樹脂４を供給する。実施形態１では、硬化樹脂４をシート３の中央上に供給する。仮接着ステップ１００１では、仮接着装置１００が、開閉弁１０３を開いて吸引源１０４により保持部材１０５の水平方向と平行でかつ平坦な保持面１０６に板状被加工物２００の表面２０１の裏側の裏面２０２を吸引保持し、板状被加工物２００の表面２０１をシート３上の硬化樹脂４に対向させる。
【0032】
仮接着ステップ１００１では、図１０に示すように、仮接着装置１００が、保持部材１０５の保持面１０６に吸引保持した板状被加工物２００をシート３に近づけて、板状被加工物２００をシート上の硬化樹脂４に押し付ける。すると、保持部材１０５に吸引保持された板状被加工物２００がシート３上の硬化樹脂４に接触し、板状被加工物２００の移動とともに、シート３上の硬化樹脂４がシート３の外周に向かって押し広げられる。そして、仮接着ステップ１００１では、硬化樹脂４の厚みが所定の厚みとなる位置までシート３に近づけられると、硬化樹脂４が板状被加工物２００の表面２０１全体を被覆することとなる。
【0033】
実施形態１において、仮接着ステップ１００１では、仮接着装置１００が、紫外線ランプ１０７を点灯させて、支持台１０１越しに硬化樹脂４に紫外線１０８を照射して、硬化樹脂４を硬化させて、シート３に板状被加工物２００の表面２０１側を接着、固定する。なお、実施形態１では、板状被加工物２００をシート３と同軸となる位置に配置する。
【0034】
（シート接着ステップ）
図１１は、図８に示された保持方法のシート接着ステップの硬質プレートに表面に板状被加工物を接着したシートを対向させた状態の斜視図である。図１２は、図１１に示された硬質プレートの表面にシートを載置し、シートの外周縁と硬質プレートの表面にシート接着部材を塗布する状態の斜視図である。図１３は、図１２に示された硬質プレートにシートを接着して保持具で板状被加工物を保持した状態の断面図である。
図１１は、図８に示された保持方法のシート接着ステップの硬質プレートに表面に板状被加工物を接着したシートを対向させた状態の斜視図である。図１２は、図１１に示された硬質プレートの表面にシートを載置し、シートの外周縁と硬質プレートの表面にシート接着部材を塗布する状態の斜視図である。図１３は、図１２に示された硬質プレートにシートを接着して保持具で板状被加工物を保持した状態の断面図である。
【0035】
シート接着ステップ１００２は、仮接着ステップ１００１を実施した後、板状被加工物２００が仮接着されたシート３を硬質プレート２に密着させ、シート３の外周縁３１を硬質プレート２に接着するステップである。シート接着ステップ１００２では、図１１に示すように、板状被加工物２００が接着、固定されたシート３を硬質プレート２の表面２１に対向させた後、硬質プレート２の表面２１にシート３を載置する。シート接着ステップ１００２では、板状被加工物２００を硬質プレート２に対して押圧することで、シート３と硬質プレート２との間から大気を押し出し、板状被加工物２００が仮接着されたシート３を硬質プレート２に密着させる。実施形態１では、硬質プレート２の表面２１が前述した凹状の曲面に形成されているために、シート３と硬質プレート２との間の大気が押し出されてシート３が硬質プレート２に密着した後に、シート３が平坦に戻ろうとするため、シート３と硬質プレート２の表面２１との間の気圧が非常に低くなり、周りの気圧との違いでシート３が硬質プレート２の表面２１に密着し、シート３を介して板状被加工物２００が硬質プレート２に押しつけられる。なお、実施形態１では、シート３及び板状被加工物２００を硬質プレート２と同軸となる位置に配置する。
【0036】
シート接着ステップ１００２では、図１２に示すように、シート３の外周縁３１と硬質プレート２の表面２１とに亘ってノズル１０９からシート接着部材５を塗布する。シート接着ステップ１００２では、全周に亘ってシート３の外周縁３１と硬質プレート２の表面２１にシート接着部材５を塗布した後、シート接着部材５を硬化させて、シート３の外周縁３１を硬質プレート２の表面２１に接着する。こうして、実施形態１に係る保持方法は、図１３に示すように、シート３と硬質プレート２との界面が全周に渡って封止されて、保持具１に板状被加工物２００を保持する。
【0037】
（加工方法）
次に、実施形態１に係る加工方法を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態１に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る加工方法は、前述した構成の保持具１を用いた板状被加工物２００の加工方法である。実施形態１に係る加工方法は、図１４に示すように、保持具装着ステップ２００１と、保持ステップ２００２と、加工ステップ２００３と、硬質プレート取り外しステップ２００４と、板状被加工物取り外しステップ２００５とを備える。
次に、実施形態１に係る加工方法を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態１に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る加工方法は、前述した構成の保持具１を用いた板状被加工物２００の加工方法である。実施形態１に係る加工方法は、図１４に示すように、保持具装着ステップ２００１と、保持ステップ２００２と、加工ステップ２００３と、硬質プレート取り外しステップ２００４と、板状被加工物取り外しステップ２００５とを備える。
【0038】
（保持具装着ステップ）
保持具装着ステップ２００１は、シート３上に硬化樹脂４を介して板状被加工物２００を仮接着するとともにシート３を硬質プレート２に密着させ、シート３の外周縁３１を硬質プレート２に接着した状態とするステップである。実施形態１では、保持具装着ステップ２００１は、前述した保持方法である。
保持具装着ステップ２００１は、シート３上に硬化樹脂４を介して板状被加工物２００を仮接着するとともにシート３を硬質プレート２に密着させ、シート３の外周縁３１を硬質プレート２に接着した状態とするステップである。実施形態１では、保持具装着ステップ２００１は、前述した保持方法である。
【0039】
（保持ステップ）
図１５は、図１４に示された加工方法の保持ステップを示す断面図である。保持ステップ２００２は、保持具装着ステップ２００１を実施した後、硬質プレート２を加工装置１１０の保持テーブル１１１で保持し、板状被加工物２００を露出させるステップである。保持ステップ２００２では、図１５に示すように、加工装置１１０が、保持テーブル１１１の保持面１１２に硬質プレート２の裏面２２側が載置され、開閉弁１１３を開いて吸引源１１４により保持面１１２に硬質プレート２を吸引保持する。
図１５は、図１４に示された加工方法の保持ステップを示す断面図である。保持ステップ２００２は、保持具装着ステップ２００１を実施した後、硬質プレート２を加工装置１１０の保持テーブル１１１で保持し、板状被加工物２００を露出させるステップである。保持ステップ２００２では、図１５に示すように、加工装置１１０が、保持テーブル１１１の保持面１１２に硬質プレート２の裏面２２側が載置され、開閉弁１１３を開いて吸引源１１４により保持面１１２に硬質プレート２を吸引保持する。
【0040】
なお、実施形態１では、加工装置１１０は、板状被加工物２００を加工である研削加工する研削装置である。本発明では、加工装置１１０は、研削装置に限定されず、板状被加工物２００を加工である化学機械研磨（Chemical Mechanical Polishing）加工又は乾式研磨（ドライポリッシュ）加工等の研磨加工する研磨装置、プラズマエッチング加工するプラズマエッチング装置、又はレーザー加工するレーザー加工装置でも良い。
【0041】
（加工ステップ）
図１６は、図１４に示された加工方法の加工ステップを示す断面図である。加工ステップ２００３は、保持ステップ２００２を実施した後、板状被加工物２００に加工を施すステップである。実施形態１において、加工ステップ２００３では、板状被加工物２００に加工である研削加工を施すが、本発明では、研削加工に限定されず、板状被加工物２００に化学機械研磨加工又は乾式研磨加工等の研磨加工、プラズマエッチング加工又はレーザー加工を施しても良い。
図１６は、図１４に示された加工方法の加工ステップを示す断面図である。加工ステップ２００３は、保持ステップ２００２を実施した後、板状被加工物２００に加工を施すステップである。実施形態１において、加工ステップ２００３では、板状被加工物２００に加工である研削加工を施すが、本発明では、研削加工に限定されず、板状被加工物２００に化学機械研磨加工又は乾式研磨加工等の研磨加工、プラズマエッチング加工又はレーザー加工を施しても良い。
【0042】
実施形態１において、加工ステップ２００３では、図１６に示すように、加工装置１１０が保持テーブル１１１を軸心回りに回転しつつ研削ユニット１１５の研削ホイール１１６を軸心回りに回転させて、研削ホイール１１６の研削砥石１１７を板状被加工物２００の裏面２０２に接触させて、裏面２０２を研削する。加工ステップ２００３では、加工装置１１０が所定の厚みになるまで板状被加工物２００を研削して薄化する。なお、実施形態１において、加工ステップ２００３では、加工装置１１０が研削時に図示しないノズルから研削砥石１１７と板状被加工物２００とが接触する加工領域に対して研削水を供給する。実施形態１に係る保持具１は、シート３の外周縁３１がシート接着部材５で硬質プレート２に接着されるとともに、シート３と硬質プレート２との界面が全周に渡って封止されているので、加工時に液体（研削水）がシート３と硬質プレート２の界面に浸入してシート３が剥がれるのを防止することができる。
【0043】
（硬質プレート取り外しステップ）
図１７は、図１４に示された加工方法の硬質プレート取り外しステップの硬質プレートの表面とシート接着部材との間にカッター１２０を切り込ませた状態の断面図である。図１８は、図１７に示されたシートから硬質プレートを取り外した状態の断面図である。図１９は、図１４に示された加工方法の硬質プレート取り外しステップの変形例の断面図である。
図１７は、図１４に示された加工方法の硬質プレート取り外しステップの硬質プレートの表面とシート接着部材との間にカッター１２０を切り込ませた状態の断面図である。図１８は、図１７に示されたシートから硬質プレートを取り外した状態の断面図である。図１９は、図１４に示された加工方法の硬質プレート取り外しステップの変形例の断面図である。
【0044】
硬質プレート取り外しステップ２００４は、加工ステップ２００３を実施した後、板状被加工物２００が仮接着されたシート３から硬質プレート２を取り外すステップである。実施形態１において、硬質プレート取り外しステップ２００４では、図１７に示すように、カッター１２０をシート３の外周側から硬質プレート２の表面２１と、シート接着部材５及びシート３との間に切り込ませる。実施形態１において、硬質プレート取り外しステップ２００４では、カッター１２０とシート３とをシート３の周方向に相対的に少なくとも１周移動させて、全周に亘って、硬質プレート２の表面２１と、シート接着部材５との間を切断する。硬質プレート取り外しステップ２００４では、図１８に示すように、板状被加工物２００が接着、固定されたシート３を硬質プレート２の表面２１から取り外す。なお、実施形態１では、シート３の外周縁３１の全周にシート接着部材５が残存している。
【0045】
なお、本発明において、硬質プレート取り外しステップ２００４では、図１９に示すように、カッター１２０を板状被加工物２００側からシート接着部材５及びシート３の外周縁に硬質プレート２に到達するまで切り込ませて、カッター１２０とシート３とをシート３の周方向に相対的に少なくとも１周移動させて、シートの外周縁３１及びシート接着部材５を切断して、シート３を硬質プレート２の表面２１から取り外しても良い。
【0046】
（板状被加工物取り外しステップ）
図２０は、図１４に示された加工方法の板状被加工物取り外しステップを示す断面図である。板状被加工物取り外しステップ２００５は、硬質プレート取り外しステップ２００４を実施した後、板状被加工物２００をシート３から取り外すステップである。
図２０は、図１４に示された加工方法の板状被加工物取り外しステップを示す断面図である。板状被加工物取り外しステップ２００５は、硬質プレート取り外しステップ２００４を実施した後、板状被加工物２００をシート３から取り外すステップである。
【0047】
板状被加工物取り外しステップ２００５では、剥離装置１３０が、保持テーブル１３１の保持面１３２に板状被加工物２００の裏面２０２側が載置され、開閉弁１３３を開いて吸引源１３４により保持面１３２を吸引して、保持テーブル１３１の保持面１３２に板状被加工物２００を吸引保持する。板状被加工物取り外しステップ２００５では、図２０に示すように、剥離装置１３０が、シート３の一端部を挟持部１３５に挟持し、シート３の一端部を湾曲させるように挟持部１３５を移動させた後、挟持部１３５をシート３の他端部に向かって板状被加工物２００の表面２０１に沿って移動させて、シート３及び硬化樹脂４をシート３の一端部から他端部に向かって順に剥離する。
【0048】
以上説明した実施形態１に係る保持具１は、板状被加工物２００が紫外線１０８の照射により硬化した硬化樹脂４により接着されたシート３を硬質プレート２に密着させてシート３の外周縁３１のみが硬質プレート２に固定される。このために、保持具１は、板状被加工物２００を硬質プレート２、硬化した硬化樹脂４及び粘着層を備えずに非粘着性の基材層のみで構成されたシート３により保持することとなり、粘着層を有する表面保護テープ等よりも、板状被加工物２００を加工する際の保持具１自体の変形を抑制することができる。
【0049】
また、保持具１は、シート３の外周縁３１を硬質プレート２から取り外し、シート３を屈曲させて板状被加工物２００から除去できるため、板状被加工物２００の破損リスクを低減できる。
【0050】
その結果、保持具１は、板状被加工物２００の加工品質の低下を抑制しながらも、加工後の板状被加工物２００の破損を抑制することができるという効果を奏する。
【0051】
また、保持具１は、硬質プレート２の表面２１が前述した曲面に形成されているので、硬質プレート２の表面２１にシート３を密着させることができる。
【0052】
また、実施形態１に係る保持方法及び加工方法は、前述した保持具１に板状被加工物２００を保持するので、板状被加工物２００の加工品質の低下を抑制しながらも、加工後の板状被加工物２００の破損を抑制することができるという効果を奏する。
【0053】
〔実施形態２〕
実施形態２に係る保持方法を図面に基づいて説明する。図２１は、実施形態２に係る保持方法の流れを示すフローチャートである。なお、実施形態２の説明では、図２２、図２３、図２４、図２５、図２６の実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明する。実施形態２に係る保持方法は、実施形態１と同様に、前述した構成の保持具１で板状被加工物２００を保持する方法である。実施形態２に係る保持方法は、図２１に示すように、シート密着ステップ１００３と、シート接着ステップ１００２－２と、仮接着ステップ１００１－２とを備える。
実施形態２に係る保持方法を図面に基づいて説明する。図２１は、実施形態２に係る保持方法の流れを示すフローチャートである。なお、実施形態２の説明では、図２２、図２３、図２４、図２５、図２６の実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明する。実施形態２に係る保持方法は、実施形態１と同様に、前述した構成の保持具１で板状被加工物２００を保持する方法である。実施形態２に係る保持方法は、図２１に示すように、シート密着ステップ１００３と、シート接着ステップ１００２－２と、仮接着ステップ１００１－２とを備える。
【0054】
（シート密着ステップ）
図２２は、図２１に示された保持方法のシート密着ステップの硬質プレートの表面上に液体を供給した状態の断面図である。図２３は、図２２に示された硬質プレートの表面にシートを密着した状態の断面図である。シート密着ステップ１００３は、硬質プレート２の表面２１上にシート３を密着させるステップである。
図２２は、図２１に示された保持方法のシート密着ステップの硬質プレートの表面上に液体を供給した状態の断面図である。図２３は、図２２に示された硬質プレートの表面にシートを密着した状態の断面図である。シート密着ステップ１００３は、硬質プレート２の表面２１上にシート３を密着させるステップである。
【0055】
シート密着ステップ１００３では、図２２に示すように、硬質プレート２の表面２１の中央に揮発性の液体６を、この液体６が硬質プレート２の外縁から垂れない程度の量、供給する。なお、実施形態２では、液体６として純水を供給する。シート密着ステップ１００３では、密着装置１４０が、開閉弁１４１を開いて吸引源１４２により保持部材１４３の水平方向と平行でかつ平坦な保持面１４４にシート３を吸引保持し、シート３を硬質プレート２の表面２１上の液体６に対向させる。
【0056】
シート密着ステップ１００３では、保持部材１４３の保持面１４４に吸引保持したシート３を硬質プレート２に近づけて、シート３を硬質プレート２上の液体６に押し付ける。すると、保持部材１４３に吸引保持されたシート３が硬質プレート２上の液体６に接触し、シート３の移動とともに、硬質プレート２上の液体６が硬質プレート２の外周に向かって押し広げられ、シート３が硬質プレート２の表面２１に近づくのにしたがってシート３と硬質プレート２の表面２１との間から液体６が排出される。また、シート３と硬質プレート２との間に残存した僅かな液体６は、シート３の密着後所定時間（例えば、２４時間）経過することで、シート３を通じて蒸散する。
【0057】
そして、シート密着ステップ１００３では、図２３に示すように、硬質プレート２の表面２１にシート３を密着させる。なお、シート密着ステップ１００３では、シート３を密着させる前に、硬質プレート２の表面２１に液体６を供給しておくので、シート３を硬質プレート２の表面２１に密着させることで、シート３と硬質プレート２との間に大気が残存することを抑制できる。こうして、実施形態２では、シート密着ステップ１００３では、硬質プレート２の表面２１上に液体６を介してシート３を密着させ、シート３と硬質プレート２の表面２１との間から液体６を除去することとなる。なお、実施形態２では、シート３を硬質プレート２と同軸となる位置に配置する。
【0058】
（シート接着ステップ）
図２４は、図２１に示された保持方法のシート接着ステップを示す断面図である。シート接着ステップ１００２－２は、シート密着ステップ１００３を実施した後、仮接着ステップ１００１－２を実施する前に、シート３の外周縁３１を硬質プレート２に接着するステップである。
図２４は、図２１に示された保持方法のシート接着ステップを示す断面図である。シート接着ステップ１００２－２は、シート密着ステップ１００３を実施した後、仮接着ステップ１００１－２を実施する前に、シート３の外周縁３１を硬質プレート２に接着するステップである。
【0059】
シート接着ステップ１００２－２は、実施形態１に係る保持方法のシート接着ステップ１００２と同様に、シート接着部材５によりシート３の外周縁３１を硬質プレート２に接着する。なお、実施形態２では、シート接着ステップ１００２－２は、シート密着ステップ１００３を実施した後、仮接着ステップ１００１－２を実施する前に実施されるが、本発明では、これに限定されることなく、シート密着ステップ１００３と仮接着ステップ１００１－２とを実施した後に実施されても良い。
【0060】
（仮接着ステップ）
図２５は、図２１に示された保持方法の仮接着ステップのシート上に配設された硬化樹脂に板状被加工物を対向させた状態の断面図である。図２６は、図２５に示された硬化樹脂がシートに板状被加工物を接着した状態の断面図である。仮接着ステップ１００１は、シート密着ステップ１００３を実施した後、シート３上に硬化樹脂４を介して板状被加工物２００を仮接着するステップである。
図２５は、図２１に示された保持方法の仮接着ステップのシート上に配設された硬化樹脂に板状被加工物を対向させた状態の断面図である。図２６は、図２５に示された硬化樹脂がシートに板状被加工物を接着した状態の断面図である。仮接着ステップ１００１は、シート密着ステップ１００３を実施した後、シート３上に硬化樹脂４を介して板状被加工物２００を仮接着するステップである。
【0061】
仮接着ステップ１００１－２では、図２５に示すように、仮接着装置１００のガラス等の透光性の材料で構成された支持台１０１の支持面１０２に硬質プレート２を載置し、硬質プレート２の表面２１上のシート３上に硬化前の硬化樹脂４を供給する。実施形態２では、硬化樹脂４をシート３の中央上に供給する。仮接着ステップ１００１では、仮接着装置１００が、開閉弁１０３を開いて吸引源１０４により保持部材１０５の保持面１０６に板状被加工物２００の裏面２０２を吸引保持し、板状被加工物２００の表面２０１をシート３上の硬化樹脂４に対向させる。
【0062】
仮接着ステップ１００１では、図２６に示すように、仮接着装置１００が、保持部材１０５の保持面１０６に吸引保持した板状被加工物２００をシート３に近づけて、板状被加工物２００をシート上の硬化樹脂４に押し付ける。すると、保持部材１０５に吸引保持された板状被加工物２００がシート３上の硬化樹脂４に接触し、板状被加工物２００の移動とともに、シート３上の硬化樹脂４がシート３の外周に向かって押し広げられる。そして、仮接着ステップ１００１では、硬化樹脂４の厚みが所定の厚みとなる位置までシート３に近づけられると、硬化樹脂４が板状被加工物２００の表面２０１全体を被覆することとなる。
【0063】
実施形態２において、仮接着ステップ１００１では、図２６に示すように、仮接着装置１００が、紫外線ランプ１０７を点灯させて、支持台１０１及び硬質プレート２越しに硬化樹脂４に紫外線１０８を照射して、硬化樹脂４を硬化させて、シート３に板状被加工物２００の表面２０１側を接着、固定する。なお、実施形態２では、板状被加工物２００をシート３と同軸となる位置に配置する。こうして、実施形態２に係る保持方法は、保持具１に板状被加工物２００を保持する。
【0064】
実施形態２に係る保持方法は、実施形態１と同様に、前述した構成の保持具１に板状被加工物２００を保持するので、板状被加工物２００の加工品質の低下を抑制しながらも、加工後の板状被加工物２００の破損を抑制することができるという効果を奏する。
【0065】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【0066】
１ 保持具
２ 硬質プレート
３ シート
４ 硬化樹脂
５ シート接着部材
６ 液体
３１ 外周縁
１１１ 保持テーブル
２００ 板状被加工物
１００１，１００１－２ 仮接着ステップ
１００２，１００２－２ シート接着ステップ
１００３ シート密着ステップ
２００１ 保持具装着ステップ
２００２ 保持ステップ
２００３ 加工ステップ
２００４ 硬質プレート取り外しステップ
２００５ 板状被加工物取り外しステップ
２ 硬質プレート
３ シート
４ 硬化樹脂
５ シート接着部材
６ 液体
３１ 外周縁
１１１ 保持テーブル
２００ 板状被加工物
１００１，１００１－２ 仮接着ステップ
１００２，１００２－２ シート接着ステップ
１００３ シート密着ステップ
２００１ 保持具装着ステップ
２００２ 保持ステップ
２００３ 加工ステップ
２００４ 硬質プレート取り外しステップ
２００５ 板状被加工物取り外しステップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】