特許7662324基板を保持するためのヘッドおよび基板処理装置

発明の名称　基板を保持するためのヘッドおよび基板処理装置

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 204 位（141件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7662324

公報発行日　2025年4月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7662324

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