特許7662613タングステンエッチング抑制用組成物及び方法

発明の名称　タングステンエッチング抑制用組成物及び方法

出願人　ビーエーエスエフ　ソシエタス・ヨーロピア　（識別番号 508020155）

　　　　特許公開件数ランキング 117 位（267件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 222 位（137件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7662613

公報発行日　2025年4月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7662613

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