特許7665344ウエーハの分割方法、及び分割装置

発明の名称　ウエーハの分割方法、及び分割装置

出願人　株式会社ディスコ　（識別番号 134051）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（547件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 42 位（487件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7665344

公報発行日　2025年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7665344

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7665344「ウエーハの分割方法、及び分割装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録