特許7675090基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路

発明の名称　基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 159 位（69件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 163 位（62件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7675090

公報発行日　2025年5月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7675090

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