特許7675954プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

発明の名称　プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 34 位（581件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 19 位（781件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7675954

公報発行日　2025年5月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7675954

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7675954「プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録