特許7678823ガス冷却を使用するシャワーヘッド熱管理

発明の名称　ガス冷却を使用するシャワーヘッド熱管理

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 159 位（69件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 165 位（62件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7678823

公報発行日　2025年5月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7678823

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