特許7679136収納容器、処理システム及びベースプレート

発明の名称　収納容器、処理システム及びベースプレート

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 34 位（592件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 19 位（782件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7679136

公報発行日　2025年5月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7679136

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