特許 7684138 保持テーブル及び保持方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-05-19

(45)【発行日】2025-05-27

(54)【発明の名称】保持テーブル及び保持方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20250520BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20250520BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 P

H01L21/304 643A

H01L21/304 648A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021130063

(22)【出願日】2021-08-06

(65)【公開番号】P2023024025

(43)【公開日】2023-02-16

【審査請求日】2024-06-27

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】高乗 佑

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１２２９７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０３２６６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０８５１４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２０１５６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－２７４０６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２５２２７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状のワークピースと該ワークピースを囲む環状のフレームとがテープを介して一体化されたフレームユニットを保持する際に使用される保持テーブルであって、
該フレームユニットを保持する保持面を上部に備え、回転駆動源の動力により該保持面と交差する回転軸の周りに回転する保持板と、
該保持板の周縁部に設けられ、該回転駆動源で該保持板を回転させる時に生じる遠心力を利用して該保持面に保持された該フレームユニットを上方から押さえる押さえ機構と、
該保持板に対する該フレームユニットの位置を調整する位置調整機構と、を含み、
該位置調整機構は、
該押さえ機構で押さえることができる該フレームユニットの端部の位置に対応した第１位置と、該第１位置に比べて該保持板の中央部から遠い第２位置と、の間で移動できるように該保持板の該周縁部に設けられた可動部材を含み、
該可動部材は、該中央部から遠い外側に比べて該中央部に近い内側の高さが低くなるように傾斜した傾斜面と、該傾斜面の下端に上端が接続され該保持面に対して垂直な又は該保持面に対する傾きが該傾斜面よりも大きな内側面と、を有し、
該傾斜面と該内側面の少なくとも一部とは、該保持面よりも上方に配置されている保持テーブル。

【請求項2】

該位置調整機構は、
該第１位置へと向かう向きの力を該可動部材に付与する付勢部材を更に含む請求項１に記載の保持テーブル。

【請求項3】

該保持板には、
該保持面に接続される一端と、バルブを介して吸引源とエア供給源とに選択的に接続される他端と、を有する流路が設けられている請求項２に記載の保持テーブル。

【請求項4】

請求項３に記載の保持テーブルを用いて該フレームユニットを保持する保持方法であって、
該保持板の上方から該フレームユニットを下降させて該保持面に載置する載置ステップと、
該載置ステップを実施した後、該付勢部材により付与される力で該可動部材が該第１位置へと戻るのを待つ待機ステップと、
該待機ステップを実施した後、該流路を通じて該吸引源の負圧を該保持面に作用させることにより該フレームユニットを該保持面で吸引する吸引ステップと、を含む保持方法。

【請求項5】

該待機ステップでは、該流路を通じて該エア供給源から該保持面にエアを供給しながら、該付勢部材により付与される力で該可動部材が該第１位置へと戻るのを待つ請求項４に記載の保持方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状のワークピースと環状のフレームとがテープを介して一体化されたフレームユニットを保持する際に使用される保持テーブル、及びこの保持テーブルを用いてフレームユニットを保持する保持方法に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面側をストリートと呼ばれる分割予定ラインで複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。

【0003】

ウェーハに代表される板状のワークピースをデバイスチップ等の小片へと分割する際には、例えば、切削ブレードと呼ばれる環状の工具をスピンドルに装着した切削装置が使用される。切削ブレードを高速に回転させて、純水等の液体を供給しながら分割予定ラインに沿ってワークピースに切り込ませることで、このワークピースを切削加工して複数の小片へと分割できる（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

ところで、上述した切削装置のような加工装置でワークピースを加工する際には、例えば、ワークピースと、このワークピースを囲む環状のフレームと、がテープを介して一体化されたフレームユニットが構成される。これにより、ワークピースがテープを介してフレームに支持されるので、加工の前後でワークピースを取り扱い易くなる。

【0005】

加工装置で加工された後のワークピースは、一般的に、洗浄装置で洗浄される。これにより、加工の際に発生する屑を除去して、この屑に起因する不具合の発生を抑えることができる。洗浄装置は、例えば、フレームユニットを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持されたフレームユニットのワークピースに洗浄用の流体を吹き付けるノズルと、を備えており（例えば、特許文献２参照）、保持テーブルを回転させながら洗浄用の流体を吹き付けることでワークピースを洗浄する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開平３－１９８３６３号公報

【文献】特開２００８－８５１４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、上述した保持テーブルの周縁部には、フレームユニットのフレームを上方から押さえることができる押さえ機構が設けられている。この押さえ機構は、鉤状の押さえ部と、押さえ部よりも重い錘部と、の間の位置で軸支されたてこ（振り子）のような構造を有し、保持テーブルの回転に伴う遠心力が加わると、フレームを押さえる下向きの力が押さえ部に作用するように構成されている。よって、保持テーブルを高速に回転させる場合にも、この押さえ機構によって、フレームユニットが適切に保持される。

【0008】

しかしながら、フレームユニットを保持テーブルへと搬入する際に、保持テーブルに対するフレームユニットの位置がずれると、上述した押さえ機構によってフレームを適切に保持できなくなる。そして、この押さえ機構によってフレームが適切に保持されていない状態で保持テーブルを高速に回転させると、保持テーブルからフレームユニットが脱落して、ワークピースが破損することがあった。

【0009】

よって、本発明の目的は、フレームユニットが適切ではない位置に搬入された場合でもフレームユニットを確実に保持できる保持テーブル、及びこの保持テーブルを用いてフレームユニットを保持する保持方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一側面によれば、板状のワークピースと該ワークピースを囲む環状のフレームとがテープを介して一体化されたフレームユニットを保持する際に使用される保持テーブルであって、該フレームユニットを保持する保持面を上部に備え、回転駆動源の動力により該保持面と交差する回転軸の周りに回転する保持板と、該保持板の周縁部に設けられ、該回転駆動源で該保持板を回転させる時に生じる遠心力を利用して該保持面に保持された該フレームユニットを上方から押さえる押さえ機構と、該保持板に対する該フレームユニットの位置を調整する位置調整機構と、を含み、該位置調整機構は、該押さえ機構で押さえることができる該フレームユニットの端部の位置に対応した第１位置と、該第１位置に比べて該保持板の該中央部から遠い第２位置と、の間で移動できるように該保持板の該周縁部に設けられた可動部材を含み、該可動部材は、該中央部から遠い外側に比べて該中央部に近い内側の高さが低くなるように傾斜した傾斜面と、該傾斜面の下端に上端が接続され該保持面に対して垂直な又は該保持面に対する傾きが該傾斜面よりも大きな内側面と、を有し、該傾斜面と該内側面の少なくとも一部とは、該保持面よりも上方に配置されている保持テーブルが提供される。

【0011】

好ましくは、該位置調整機構は、該第１位置へと向かう向きの力を該可動部材に付与する付勢部材を更に含む。好ましくは、該保持板には、該保持面に接続される一端と、バルブを介して吸引源とエア供給源とに選択的に接続される他端と、を有する流路が設けられている。

【0012】

本発明の別の一側面によれば、上述した保持テーブルを用いて該フレームユニットを保持する保持方法であって、該保持板の上方から該フレームユニットを下降させて該保持面に載置する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該付勢部材により付与される力で該可動部材が該第１位置へと戻るのを待つ待機ステップと、該待機ステップを実施した後、該流路を通じて該吸引源の負圧を該保持面に作用させることにより該フレームユニットを該保持面で吸引する吸引ステップと、を含む保持方法が提供される。

【0013】

好ましくは、該待機ステップでは、該流路を通じて該エア供給源から該保持面にエアを供給しながら、該付勢部材により付与される力で該可動部材が該第１位置へと戻るのを待つ。

【発明の効果】

【0014】

本発明の一側面にかかる保持テーブルの位置調整機構は、押さえ機構で押さえることができるフレームユニットの端部の位置に対応した第１位置と、第１位置に比べて保持板の中央部から遠い第２位置と、の間で移動できるように保持板の周縁部に設けられた可動部材を含む。

【0015】

そして、この可動部材は、保持板の中央部から遠い外側に比べて中央部に近い内側の高さが低くなるように傾斜した傾斜面と、傾斜面の下端に上端が接続され保持面に対して垂直な又は保持面に対する傾きが傾斜面よりも大きな内側面と、を有し、傾斜面と内側面の少なくとも一部とは、保持板の保持面よりも上方に配置されている。

【0016】

そのため、保持板の上方からフレームユニットを下降させて保持面に載置する際に、フレームユニットが適切ではない位置に搬入されると、可動部材の傾斜面にフレームユニットの端部が接触し、可動部材は、フレームユニットの下降に合わせて第１位置から第２位置に向かって移動する。そして、フレームユニットは、傾斜面の下方の内側面にフレームユニットの端部が接触した状態で、保持面に載置される。

【0017】

よって、この可動部材を任意の方法で第１位置に戻すだけで、押さえ機構で適切に押さえることができる位置にフレームユニットを移動させて、フレームユニットを押さえ機構で適切に押さえることができるようになる。このように、本発明の一側面にかかる保持テーブルによれば、フレームユニットが適切ではない位置に搬入された場合でもフレームユニットを確実に保持できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、洗浄装置を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、保持テーブルの一部を模式的に示す断面図である。

【図3】図３は、適切ではない位置にフレームユニットが載置された状態の保持テーブルの一部を模式的に示す断面図である。

【図4】図４は、保持テーブルの別の一部を模式的に示す断面図である。

【図5】図５は、適切ではない位置にフレームユニットが搬入される様子を模式的に示す断面図である。

【図6】図６は、適切ではない位置にフレームユニットが載置された後の様子を模式的に示す断面図である。

【図7】図７は、適切ではない位置にフレームユニットが載置された状態でエアが供給される様子を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態の洗浄装置２を模式的に示す斜視図である。なお、図１では、説明の便宜上、一部の要素が切断された状態の洗浄装置２が示されている。また、図１では、洗浄の対象となる板状のワークピース１１が併せて示されている。

【0020】

図１の洗浄装置２で洗浄されるワークピース１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）等の半導体を用いて円盤状に形成されたウェーハであり、円形状の表面１１ａと、表面１１ａとは反対側の円形状の裏面１１ｂと、を有する。このワークピース１１の表面１１ａ側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）１３で複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。

【0021】

ワークピース１１の裏面１１ｂ側には、この裏面１１ｂの全体を覆うことができる大きさのテープ１７が貼付されている。また、テープ１７の周縁部には、ワークピース１１を囲む環状のフレーム１９が固定されている。このように、本実施形態の洗浄装置２は、板状のワークピース１１と、ワークピース１１を囲む環状のフレーム１９と、がテープ１７を介して一体化されたフレームユニット２１の状態で、ワークピース１１を洗浄する。

【0022】

洗浄装置２は、ワークピース１１を含むフレームユニット２１を保持できる保持テーブル４を備えている。保持テーブル４は、例えば、セラミックスや金属等を用いて形成された円盤状の保持板６を含む。保持板６の円形状の上面（保持面）６ａには、同心円状に配置された複数の環状の第１溝６ｂと、複数の第１溝６ｂを径方向に連結する複数の直線状の第２溝６ｃと、が設けられている。第１溝６ｂの上端と第２溝６ｃの上端とは、保持板６の上面６ａに開口している。

【0023】

図２は、保持テーブル４の一部を模式的に示す断面図である。なお、図２では、一部の要素が記号や機能ブロックで表現されている。図２に示されるように、保持板６の内部には、第１溝６ｂの底又は第２溝６ｃの底に一端が開口した流路６ｄが設けられている。すなわち、この流路６ｄの一端は、第１溝６ｂ又は第２溝６ｃを介して保持板６の上面６ａに接続されている。

【0024】

一方で、流路６ｄの他端には、第１バルブ１２を介してエジェクタ等の吸引源１４が接続され、また、第２バルブ１６を介してエア供給源１８が接続されている。つまり、流路６ｄの他端は、第１バルブ１２及び第２バルブ１６を介して、吸引源１４とエア供給源１８とに選択的に接続される。

【0025】

そのため、第２バルブ１６を閉じた状態で第１バルブ１２を開けば、吸引源１４で発生する負圧を流路６ｄ、第１溝６ｂ、及び第２溝６ｃを通じて保持板６の上面６ａに作用させることができる。また、第１バルブ１２を閉じた状態で第２バルブ１６を開けば、エア供給源１８から流れ出るエアを流路６ｄ、第１溝６ｂ、及び第２溝６ｃを通じて保持板６の上面６ａに供給できる。

【0026】

よって、例えば、保持板６の上面６ａにフレームユニット２１を載せた状態で、この上面６ａに吸引源１４の負圧を作用させると、フレームユニット２１は、保持板６の上面６ａに吸引される。このように、保持板６の上面６ａは、フレームユニット２１を吸引して保持するための保持面として機能する。言い換えれば、保持板６は、フレームユニット２１を吸引して保持するための保持面を上部に備えている。

【0027】

図１に示されるように、保持板６の下部には、円柱状のスピンドル２０を介して、モータ等の回転駆動源２２が連結されている。保持テーブル４は、この回転駆動源２２が生じる動力によって、保持板６の上面６ａと交差するスピンドル２０の軸心（回転軸）の周りに回転する。回転駆動源２２の側部には、複数（本実施形態では、３組）のエアアクチュエータ２４が設けられており、各エアアクチュエータ２４を動作させると、回転駆動源２２は、スピンドル２０や保持テーブル４等とともに昇降する。

【0028】

保持板６の周縁部には、この保持板６を回転させる時に生じる遠心力を利用して、保持板６の上面６ａに保持されたフレームユニット２１を上方から押さえることができる複数（本実施形態では、４組）の押さえ機構２６が、保持板６の周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。図２に示されるように、各押さえ機構２６は、保持板６の周縁部から外向きに突出する支持アーム２８を備えている。

【0029】

この支持アーム２８の基端部（内側の端部）は、ねじ等（不図示）によって保持板６の周縁部に固定されている。支持アーム２８の先端部（外側の端部）には、上面６ａに対して概ね平行で、保持板６の中央部と支持アーム２８の先端部とを結ぶ直線（すなわち、保持板６の径方向）に対して概ね垂直な支持軸２８ａが設けられている。そして、この支持軸２８ａには、押さえ部材３０が回転自在な態様で支持されている。

【0030】

押さえ部材３０は、支持軸２８ａに支持される支持部３０ａと、支持部３０ａの一方側に位置する鉤状の押さえ部３０ｂと、支持部３０ａの他方側に位置する錘部３０ｃと、を含む。錘部３０ｃの重量は、押さえ部３０ｂの重量に比べて大きくなっている。よって、保持板６を回転させていない静止状態（遠心力が作用していない状態）では、押さえ部３０ｂの先端が錘部３０ｃよりも上方に位置付けられる。

【0031】

なお、押さえ部材３０の各部の位置や重量、形状等は、保持板６を回転させていない静止状態で、押さえ部３０ｂの先端部が錘部３０ｃよりも外側（保持板６の径方向において外側）に位置付けられるように調整されている。これにより、保持テーブル４の適切な位置にフレームユニット２１が搬入された場合に、フレームユニット２１と押さえ部３０ｂとが干渉することはない。

【0032】

保持テーブル４の適切な位置にフレームユニット２１が搬入された状態で保持板６を高速に回転させると、この回転に伴う遠心力が押さえ部材３０に加わる。上述のように、錘部３０ｃの重量は、押さえ部３０ｂの重量に比べて大きくなっている。よって、保持板６を高速に回転させると、この回転に伴う遠心力の作用で錘部３０ｃが外向きに移動し、また、押さえ部３０ｂが内向きに移動する。

【0033】

その結果、図１の破線で示されるように、フレームユニット２１のフレーム１９に対して、押さえ部３０ｂの先端部が上方から接触し、フレームユニット２１が上方から押さえられる。よって、保持板６（保持テーブル４）を高速に回転させる場合にも、この押さえ機構２６によって、フレームユニット２１を適切に保持できる。

【0034】

図１に示されるように、保持テーブル４の傍には、洗浄流体供給ノズル３２が配置されている。洗浄流体供給ノズル３２は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源の動力により保持テーブル４の上方で揺動しながら、保持テーブル４に保持されたワークピース１１に向けて洗浄用の流体を噴射する。洗浄用の流体としては、純水に代表される液体や、エア等の気体を液体に混合した混合流体（二流体）が使用される。

【0035】

同様に、保持テーブル４の傍には、エア供給ノズル３４が配置されている。エア供給ノズル３４も、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源の動力により保持テーブル４の上方で揺動しながら、保持テーブル４に保持されたワークピース１１に向けてエアを噴射する。これにより、洗浄後のワークピース１１を乾燥させることができる。

【0036】

保持テーブル４、洗浄流体供給ノズル３２、及びエア供給ノズル３４は、液受け容器３６の内側の空間に収容されている。この液受け容器３６は、円盤状の底壁３６ａと、底壁３６ａの外周縁に沿って設けられた円筒状の外周壁３６ｂと、を含む。つまり、液受け容器３６は、上端部に円形の開口部３６ｃを持つ有底円筒状に構成されている。

【0037】

円盤状の底壁３６ａの中央部には、スピンドル２０を通す円形の開口部が形成されており、この開口部を囲むように、外周壁３６ｂよりも径及び高さが小さい円筒状の内周壁３６ｄが設けられている。そのため、例えば、洗浄流体供給ノズル３２から噴射される流体中の液体は、保持テーブル４上のワークピース１１に衝突して周囲に飛散し、円筒状の外周壁３６ｂと円筒状の内周壁３６ｄとで挟まれた底壁３６ａ上の領域に溜まる。なお、保持テーブル４の下部には、スピンドル２０を囲む円筒状のカバー３８が設けられている。

【0038】

底壁３６ａの外周壁３６ｂと内周壁３６ｄとで挟まれた部分には、底壁３６ａを厚みの方向に貫通する排液口３６ｅが設けられている。排液口３６ｅには、ドレーンホース４０が接続されており、液受け容器３６に溜まった液体は、排液口３６ｅ及びドレーンホース４０を通じて洗浄装置２の外部へと排出される。液受け容器３６の下部には、脚４２が設けられており、液受け容器３６の高さは、保持テーブル４の高さに合わせて調整されている。

【0039】

ところで、フレームユニット２１を保持テーブル４へと搬入する際に、保持板６に対するフレームユニット２１の位置がずれると、押さえ機構２６によってフレームユニット２１のフレーム１９を適切に保持できなくなる。図３は、適切ではない位置にフレームユニット２１が載置された状態の保持テーブル４の一部を模式的に示す断面図である。

【0040】

図３に示されるように、押さえ部材３０の回転が阻害されるような位置にフレームユニット２１が載置されると、この押さえ部材３０によってフレームユニット２１のフレーム１９を上方から押さえることができない。この状態で保持板６（保持テーブル４）を高速に回転させると、保持テーブル４からフレームユニット２１が脱落して、ワークピース１１が破損することがある。

【0041】

そこで、本実施形態の保持テーブル４には、図１に示されるように、保持板６に対するフレームユニット２１の位置を調整できる複数（本実施形態では、４組）の位置調整機構４４が、保持板６の周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。図４は、保持テーブル４の位置調整機構４４を含む一部を模式的に示す断面図である。

【0042】

図４に示されるように、位置調整機構４４は、保持板６の周縁部にねじ等（不図示）で固定された筒状の支持部材４６と、支持部材４６に支持される可動部材４８と、を含む。支持部材４６の先端には、支持部材４６の内側の空間と外側の空間とを接続する開口部が設けられており、支持部材４６は、この開口部が保持板６の径方向の外側を向くように、保持板６の周縁部に固定されている。

【0043】

可動部材４８は、一端側の少なくとも一部が支持部材４６の内側の空間に収容されるロッド部５０と、ロッド部５０の他端に設けられ、支持部材４６の外側の空間に配置される接触部５２と、を有している。接触部５２の一部は、保持板６の上面６ａよりも上方に突出している。

【0044】

具体的には、接触部５２は、保持板６の中央部から遠い外側の部分に比べて、保持板６の中央部に近い内側の部分の高さが低くなるように傾斜した傾斜面５２ａと、傾斜面５２ａの下端に上端が接続され、保持板６の上面６ａに対して垂直な内側面５２ｂと、を有している。傾斜面５２ａと、内側面５２ｂの少なくとも一部とは、上面６ａよりも上方に配置されている。

【0045】

傾斜面５２ａと、保持板６の上面６ａと、のなす角度θは、例えば、３０°～６０°、代表的には、４５°であり、保持板６の径方向に沿った傾斜面５２ａの幅は、例えば、３ｍｍ～１０ｍｍ、代表的には、５ｍｍである。また、内側面５２ｂと保持板６の上面６ａとの距離（すなわち、上面６ａから上方への内側面５２ｂの突出量）は、例えば、２ｍｍ～５ｍｍ、代表的には、３ｍｍである。

【0046】

ただし、傾斜面５２ａや内側面５２ｂは、必ずしもこれらの値を満たさなくて良い。フレームユニット２１を保持テーブル４へと搬入する際に想定される位置のずれの量や、ワークピース１１の厚み等に応じて、傾斜面５２ａや内側面５２ｂのパラメータを変更できる。また、内側面５２ｂは、必ずしも保持板６の上面６ａに対して垂直でなくて良い。例えば、内側面５２ｂは、上面６ａに対する傾きが傾斜面５２ａよりも大きな所定の角度φ（θ＜φ＜１８０°－θ）で傾斜していても良い。

【0047】

ロッド部５０は、保持板６の径方向に沿ってスライドできる態様で、支持部材４６の内側の空間に収容されている。具体的には、ロッド部５０は、接触部５２の内側面５２ｂが支持部材４６の先端部と接触する第１位置と、第１位置に比べて保持板６の中央部から遠い第２位置と、の間で可動部材４８が移動できるように、支持部材４６の内側の空間に収容される。

【0048】

図４に示されるように、保持テーブル４の適切な位置にフレームユニット２１（フレーム１９）が搬入された場合には、第１位置に位置付けられた可動部材４８の内側面５２ｂに対して、フレームユニット２１の端部が接触する。すなわち、第１位置は、押さえ機構２６で押さえることができるフレームユニット２１の端部の位置に対応するように設定されている。

【0049】

また、図４に示されるように、ロッド部５０は、圧縮コイルばね（付勢部材）５４に挿入された状態で、支持部材４６の内側の空間に収容されている。可動部材４８には、この圧縮コイルばね５４によって、保持板６の径方向に沿って内側へと向かう向き（第１位置へと向かう向き）の力が付与される。

【0050】

次に、上述した保持テーブル４を用いてフレームユニット２１を保持する保持方法について説明する。図５は、保持テーブル４にフレームユニット２１が搬入される様子を模式的に示す断面図であり、図６は、保持テーブル４にフレームユニット２１が載置された後の様子を模式的に示す断面図である。

【0051】

保持テーブル４を用いてフレームユニット２１を保持する際には、まず、フレームユニット２１を保持テーブル４に搬入する。具体的には、搬送機構の搬送パッド５６でフレームユニット２１を保持し、第１バルブ１２と第２バルブ１６とが閉じられた状態で搬送パッド５６を保持板６の上方から下降させて、フレームユニット２１を保持板６の上面６ａに載置する（載置ステップ）。つまり、保持板６の上方からフレームユニット２１を下降させて上面６ａに載せる。

【0052】

例えば、保持テーブル４に対するフレームユニット２１の位置がずれている場合（保持テーブル４の適切ではない位置にフレームユニット２１が搬入される場合）に、保持板６の上方からフレームユニット２１を下降させると、まず、フレームユニット２１の端部が位置調整機構４４の傾斜面５２ａに接触することになる。

【0053】

その後、フレームユニット２１を更に下降させると、図５に示されるように、フレームユニット２１の端部が傾斜面５２ａを滑って下方に移動しながら、可動部材４８は、フレームユニット２１から傾斜面５２ａに作用する力で第２位置の方向に移動する。なお、この可動部材４８の移動は、フレームユニット２１の端部が傾斜面５２ａの下端に達するまで続く。

【0054】

フレームユニット２１の端部が傾斜面５２ａの下端に達した後にフレームユニット２１を更に下降させると、図６に示されるように、フレームユニット２１は、その端部が位置調整機構４４の内側面５２ｂに接触した状態で保持板６の上面６ａに載置される。上述のように、可動部材４８には、圧縮コイルばね５４により第１位置へと向かう向きの力が付与されている。よって、搬送パッド５６によるフレームユニット２１の保持を解除すると、可動部材４８は、圧縮コイルばね５４の力により第１位置への移動を開始する。

【0055】

そこで、本実施形態では、フレームユニット２１を上面６ａに載置した後に、圧縮コイルばね５４により付与される力で可動部材４８が第１位置へと戻るのを待つ（待機ステップ）。最終的に可動部材４８が第１位置に戻ると、フレームユニット２１の端部は、押さえ機構２６で押さえることができる適切な位置に位置付けられる。

【0056】

可動部材４８が第１位置へと戻るのを待った後には、図４に示されるように、第１バルブ１２を開くことで、流路６ｄを通じて吸引源１４の負圧を保持板６の上面６ａに作用させる。その結果、フレームユニット２１は、保持板６の上面６ａにより吸引される（吸引ステップ）。

【0057】

上述のように、フレームユニット２１の端部は、可動部材４８の移動により、押さえ機構２６で押さえることができる適切な位置に位置付けられている。よって、保持板６（保持テーブル４）を高速に回転させると、図２に示されるように、フレームユニット２１の端部は、押さえ機構２６により適切に押さえられる。つまり、フレームユニット２１を保持テーブル４で確実に保持できる。

【0058】

以上のように、本実施形態にかかる保持テーブル４の位置調整機構４４は、押さえ機構２６で押さえることができるフレームユニット２１の端部の位置に対応した第１位置と、第１位置に比べて保持板６の中央部から遠い第２位置と、の間で移動できるように保持板６の周縁部に設けられた可動部材４８を含む。

【0059】

そして、この可動部材４８は、保持板６の中央部から遠い外側に比べて中央部に近い内側の高さが低くなるように傾斜した傾斜面５２ａと、傾斜面５２ａの下端に上端が接続され保持板６の上面（保持面）６ａに対して垂直な（又は上面６ａに対する傾きが傾斜面５２ａよりも大きな）内側面５２ｂと、を有し、傾斜面５２ａと内側面５２ｂの少なくとも一部とは、保持板６の上面６ａよりも上方に配置されている。

【0060】

そのため、保持板６の上方からフレームユニット２１を下降させて上面６ａに載置する際に、フレームユニット２１が適切ではない位置に搬入されると、可動部材４８の傾斜面５２ａにフレームユニット２１の端部が接触し、可動部材４８は、フレームユニット２１の下降に合わせて第１位置から第２位置に向かって移動する。そして、フレームユニット２１は、傾斜面５２ａの下方の内側面５２ｂにフレームユニット２１の端部が接触した状態で、上面６ａに載置される。

【0061】

よって、この可動部材４８を第１位置に戻すだけで、押さえ機構２６で適切に押さえることができる位置にフレームユニット２１を移動させて、フレームユニット２１を押さえ機構２６で適切に押さえることができるようになる。このように、本実施形態にかかる保持テーブル４によれば、フレームユニット２１が適切ではない位置に搬入された場合でもフレームユニット２１を確実に保持できる。

【0062】

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、フレームユニット２１を上面６ａに載置した後、可動部材４８が第１位置へと戻るのを待つ際には、第２バルブ１６を開くことで、流路６ｄを通じてエア供給源１８から保持板６の上面６ａにエアを供給しても良い（待機ステップ）。

【0063】

図７は、保持テーブル４にフレームユニット２１が載置された状態でエアが供給される様子を模式的に示す断面図である。流路６ｄを通じて保持板６の上面６ａにエアを供給すると、図７に示されるように、フレームユニット２１は、エアの圧力により保持板６の上面６ａから浮上する。

【0064】

これにより、可動部材４８及びフレームユニット２１をスムーズに移動させることができるようになる。つまり、可動部材４８が第１位置へと戻るのを待つ時間（待機時間）が短縮される。また、保持板６の上面６ａからフレームユニット２１に作用する摩擦力が実質的にゼロになるので、弾性力の小さい圧縮コイルばね５４を用いることができる。

【0065】

また、上述した実施形態では、圧縮コイルばね５４を用いて可動部材４８に力を付与しているが、板ばね等の他の付勢部材を用いて可動部材４８に力を付与することもできる。また、この付勢部材を、任意のアクチュエータ等に置換することも可能である。更に、位置調整機構４４は、必ずしも付勢部材やアクチュエータ等を備えなくて良い。この場合には、例えば、オペレータが手動で可動部材４８を第１位置へと移動させることができる。

【0066】

その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0067】

２ ：洗浄装置
４ ：保持テーブル
６ ：保持板
６ａ ：上面（保持面）
６ｂ ：第１溝
６ｃ ：第２溝
６ｄ ：流路
１２ ：第１バルブ
１４ ：吸引源
１６ ：第２バルブ
１８ ：エア供給源
２０ ：スピンドル
２２ ：回転駆動源
２４ ：エアアクチュエータ
２６ ：押さえ機構
２８ ：支持アーム
２８ａ ：支持軸
３０ ：押さえ部材
３０ａ ：支持部
３０ｂ ：押さえ部
３０ｃ ：錘部
３２ ：洗浄流体供給ノズル
３４ ：エア供給ノズル
３６ ：液受け容器
３６ａ ：底壁
３６ｂ ：外周壁
３６ｃ ：開口部
３６ｄ ：内周壁
３６ｅ ：排液口
３８ ：カバー
４０ ：ドレーンホース
４２ ：脚
４４ ：位置調整機構
４６ ：支持部材
４８ ：可動部材
５０ ：ロッド部
５２ ：接触部
５２ａ ：傾斜面
５２ｂ ：内側面
５４ ：圧縮コイルばね（付勢部材）
５６ ：搬送パッド
１１ ：ワークピース
１１ａ ：表面
１１ｂ ：裏面
１３ ：分割予定ライン（ストリート）
１５ ：デバイス
１７ ：テープ
１９ ：フレーム
２１ ：フレームユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】