特許7688364露光用ペリクル膜、ペリクル、露光原版、露光装置及び露光用ペリクル膜の製造方法

発明の名称　露光用ペリクル膜、ペリクル、露光原版、露光装置及び露光用ペリクル膜の製造方法

出願人　三井化学株式会社　（識別番号 5887）

　　　　特許公開件数ランキング 87 位（332件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 108 位（246件）（共同出願を含む）

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（262件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 138 位（280件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7688364

公報発行日　2025年6月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7688364

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