特許7692148パターニングされた基板に形成された開口内の充填材を凹ませる方法

発明の名称　パターニングされた基板に形成された開口内の充填材を凹ませる方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（572件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（757件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7692148

公報発行日　2025年6月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7692148

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7692148「パターニングされた基板に形成された開口内の充填材を凹ませる方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録