発明の名称 荷電粒子ビーム処理システム
出願人 株式会社日立ハイテクサイエンス (識別番号 503460323)
特許公開件数ランキング 1329 位(5件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2323 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7700249
公報発行日 2025年6月30
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7700249
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7700249「荷電粒子ビーム処理システム」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録