特許7707188基板支持部温度プローブの診断および管理

発明の名称　基板支持部温度プローブの診断および管理

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 162 位（68件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 163 位（62件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7707188

公報発行日　2025年7月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7707188

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7707188「基板支持部温度プローブの診断および管理」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録