特許7710987シールド冷却アセンブリ、反応チャンバ、および半導体処理装置

発明の名称　シールド冷却アセンブリ、反応チャンバ、および半導体処理装置

出願人　北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司　（識別番号 510182294）

　　　　特許公開件数ランキング 1022 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 976 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7710987

公報発行日　2025年7月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7710987

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