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特許7738034リソグラフィ装置用の光学素子を製造する方法
発明の名称 リソグラフィ装置用の光学素子を製造する方法
出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー （識別番号 503263355）
特許公開件数ランキング 445 位（21件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 626 位（11件）（共同出願を含む）
出願人 カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング （識別番号 396000455）
特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7738034
公報発行日 2025年9月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7738034
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