特許7743559シリカ質膜形成時にボイドの発生を抑制する方法

発明の名称　シリカ質膜形成時にボイドの発生を抑制する方法

出願人　メルク　パテント　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 591032596）

　　　　特許公開件数ランキング 247 位（130件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 357 位（74件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7743559

公報発行日　2025年9月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7743559

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