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特許7744422ポリマーシェルを備えたポロゲンを有する化学機械研磨サブパッド
発明の名称 ポリマーシェルを備えたポロゲンを有する化学機械研磨サブパッド
出願人 キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション （識別番号 500397411）
特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7744422
公報発行日 2025年9月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7744422
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