特許7744516誘電体層を含む上部セラミック層を含む静電チャック、ならびに関連する方法および構造

発明の名称　誘電体層を含む上部セラミック層を含む静電チャック、ならびに関連する方法および構造

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 303 位（100件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 346 位（72件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7744516

公報発行日　2025年9月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7744516

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