特許7748495基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御

発明の名称　基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 162 位（68件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 163 位（62件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7748495

公報発行日　2025年10月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7748495

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