発明の名称 移載装置、研磨設備、及び移載方法
出願人 三菱マテリアルテクノ株式会社 (識別番号 390004879)
特許公開件数ランキング 966 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 956 位(0件)(共同出願を含む)
出願人 株式会社SUMCO (識別番号 302006854)
特許公開件数ランキング 966 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 956 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7748892
公報発行日 2025年10月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7748892
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