特許7753939３－ヒドロキシ－γ－ブチロラクトン、（メタ）アクリル酸エステル、重合体、レジスト組成物、及びパターンが形成された基板の製造方法

発明の名称　３－ヒドロキシ－γ－ブチロラクトン、（メタ）アクリル酸エステル、重合体、レジスト組成物、及びパターンが形成された基板の製造方法

出願人　三菱レイヨン株式会社　（識別番号 6035）

　　　　特許公開件数ランキング 60 位（163件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 39 位（194件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7753939

公報発行日　2025年10月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7753939

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