特許7755048基板の熱処理を補正するためのシステム、方法及び装置

発明の名称　基板の熱処理を補正するためのシステム、方法及び装置

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（269件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7755048

公報発行日　2025年10月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7755048

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