特許7756761基板処理システム

発明の名称　基板処理システム

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 30 位（239件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25 位（241件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7756761

公報発行日　2025年10月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7756761

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7756761「基板処理システム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録