特許7759767マグネトロンスパッタリング装置及びスパッタリング方法

発明の名称　マグネトロンスパッタリング装置及びスパッタリング方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 538 位（25件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 631 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7759767

公報発行日　2025年10月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7759767

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